JP2014022448A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態の固体撮像装置は、半導体基板150の素子分離領域9に囲まれた画素領域と、半導体基板150の第1の面側に設けられ、配線を含む層間絶縁膜92と、画素領域内に設けられ、半導体基板150の第2の面側からの光を光電変換する光電変換素子1と、素子分離領域9内に設けられ、半導体基板150の第2の面から突出する突出部99を有する素子分離層90Aと、半導体基板150の第2の面側に設けられ、突出部99間に設けられた色素膜17を有するカラーフィルタ117と、を含む。
【選択図】図4
Description
以下、図面を参照しながら、本実施形態について詳細に説明する。以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複する説明は必要に応じて行う。
図1乃至図8を参照して、第1の実施形態に係る固体撮像装置及びその製造方法について説明する。
図1乃至図4を用いて、第1の実施形態に係る固体撮像装置の構造について、説明する。
本実施形態のイメージセンサ100のように、半導体基板150の裏面側からの光がフォトダイオード1に照射される構造のイメージセンサは、裏面照射型イメージセンサとよばれる。
図4において、半導体基板150の表面側の層間絶縁膜、配線及び支持基板を簡略化して、示している。
図4において、図示の簡単化のために、フォトダイオード1の構成要素として1つのN型不純物層10のみが図示されているが、フォトダイオード1の特性(例えば、感度及び光電変換効率)を向上させるために、半導体基板150の深さ方向において不純物濃度の異なる複数のN型及びP型不純物層が、フォトダイオード1の形成領域(フォトダイオード形成領域とよぶ)内に設けられてもよい。
トランスファゲート2のゲート電極21は、ゲート絶縁膜22を介して、半導体基板150上に設けられている。フォトダイオード1の構成要素としてのN型不純物層10及びフローティングディフュージョン6としてのN型不純物層60が、トランスファゲート132のソース及びドレインとしてそれぞれ機能する。そして、半導体基板150内において、2つのN型不純物層10,60間の半導体領域が、トランスファゲート2のチャネル領域となる。
半導体基板150の主面に対して垂直方向において半導体基板150の裏面から突出した素子分離層90Aの部分99のことを、突出部99とよぶ。
そして、本実施形態において、カラーフィルタ117が含む各色素膜17は、素子分離層90Aの突出部99によって、フォトダイオード1毎に分割されている。隣り合う色素膜17間に、素子分離層90Aが設けられている。
色素膜17は、塗布法(スピンコート)などによって形成される有機膜でもよいし、CVD法などによって形成される無機膜でもよい。
これらのカラーフィルタの色素膜とフォトダイオードとの合わせずれは、1組の色素膜とそれに対応するフォトダイオードだけでなく、画素アレイ内に配列されている色素膜及びフォトダイオードの組に対して連続して生じる可能性がある。
これによって、各色素膜17は、素子分離層90Aによって区画された単位セル領域/画素領域内に収まるように、形成される。それゆえ、光電変換素子としてのフォトダイオード1と色素膜17との合わせずれを防止できる。
図5乃至図8を用いて、第1の実施形態の固体撮像装置(例えば、イメージセンサ)の製造方法について、説明する。
図5乃至図8は、本実施形態のイメージセンサの製造方法の各工程における画素アレイ120の断面工程図を示している。ここでは、図5乃至図8に加えて、図2及び図4も適宜用いて、本実施形態のイメージセンサの製造方法の各工程について、説明する。
尚、本実施形態のイメージセンサの製造方法において、後述の各構成要素の形成順序は、プロセスの整合性が確保されていれば、適宜変更されてもよい。
例えば、図2に示されるように、STI(Shallow Trench Isolation)構造の素子分離溝が、マスクに基づいて、半導体基板150内に形成され、絶縁体がCVD(Chemical Vapor Deposition)法又は塗布法によって、素子分離溝内に埋め込まれる。これによって、STI構造の素子分離絶縁膜91が、半導体基板150内の所定の位置に形成される。
形成されたゲート絶縁膜22,72上に、ポリシリコン層が、CVD法により、堆積される。そして、フォトリソグラフィ及びRIE法によって、ポリシリコン層が加工され、所定のゲート長及び所定のゲート幅を有するゲート電極21,71,が、ゲート絶縁膜22,72を挟んで、半導体基板150の表面(第1の面)上に形成される。
単位セル領域UCのフローティングディフュージョン形成領域内において、フローティングディフュージョン6としての不純物層60が、イオン注入によって、半導体基板150内に形成される。
素子分離層90Aは、半導体基板150の裏面から突出した突起部99を有するように、形成される。
DTI構造の素子分離層90Aが形成された後、ハードマスク300が、選択的に除去される。
カラーフィルタ117が形成される前に、貫通ビア88Aが形成されてもよい。貫通ビア88Aを埋め込む貫通孔は、画素アレイ120内における素子分離層90Aを埋め込むトレンチDTの形成と同時に、半導体基板150内に形成されてもよい。素子分離層90Aが導電体である場合、素子分離層90Aと同じ材料を用いて、貫通ビア88Aを形成してもよい。
本実施形態において、半導体基板150の裏面から突出した突出部99Aを有する素子分離層90Aが、半導体基板150内に形成される。
図9を参照して、第2の実施形態の固体撮像装置(例えば、イメージセンサ)について、説明する。尚、本実施形態において、第1の実施形態で述べた構成と実質的に同じ構成に関する説明は、必要に応じて行う。
このため、各色の光の取得に寄与するフォトダイオード1(単位セル及び画素)の受光面側の開口面積が、大きくなる。この結果として、被写体からの光の受光に対して有効となる領域(例えば、素子分離層の上方の領域)が拡張するため、各色素膜17からフォトダイオード1に対して入射される光の量を、増大できる。それゆえ、イメージセンサが取得した光に基づく画像の色調が、向上する。
図10及び図11を参照して、実施形態の固体撮像装置の変形例について、説明する。
尚、本変形例において、第1及び第2の実施形態で述べた構成と実質的に同じ構成に関する説明は、必要に応じて行う。また、図10及び図11において、半導体基板の表面側の層間絶縁膜、配線及び支持基板の図示は簡略化している。
この場合、図10に示されるように、反射防止膜115Aは、各色素膜17と半導体基板150の裏面との間に設けられ、素子分離層90Bの突起部99上に形成されない。反射防止膜115は、画素アレイ120内で連続せずに、素子分離層90Bによって単位セル領域(又は、画素領域)ごとに分離されている。
図11に示されるように、突起部99を有する素子分離層90Cの内部は、空洞でもよい。
図10及び図11に示される変形例においても、第1及び第2の実施形態と実質的に同様の効果が得られる。
図12を参照して、各実施形態の固体撮像装置の適用例について、説明する。
本実施形態のイメージセンサ100を含むカメラ900は、形成される画像の画質を改善できる。
Claims (5)
- 半導体基板の素子分離領域に囲まれた画素領域と、
前記半導体基板の第1の面側に設けられ、配線を含む層間絶縁膜と、
前記画素領域内に設けられ、前記半導体基板の前記第1の面に対向する第2の面側からの光を光電変換する光電変換素子と、
前記素子分離領域内の前記半導体基板の前記第2の面側から前記第1の面側に向かって延在するトレンチ内に設けられ、前記半導体基板の第2の面から突出する突出部を有する素子分離層と、
前記半導体基板の前記第2の面側に設けられ、前記突出部間に設けられた色素膜を有するカラーフィルタと、
を具備し、
前記半導体基板の前記第2の面に対して垂直方向における前記突出部の第1の寸法は、前記半導体基板の前記第2の面に対して垂直方向における前記色素膜の第2の寸法より小さく、
前記色素膜は、前記突出部間の下層部と、前記下層部上に設けられた上層部とを含み、
前記半導体基板の前記第2の面に対して平行方向における前記下層部の第3の寸法は、前記半導体基板の前記第2の面に対して平行方向における前記上層部の第4の寸法より小さい、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 半導体基板の素子分離領域に囲まれた画素領域と、
前記半導体基板の第1の面側に設けられ、配線を含む層間絶縁膜と、
前記画素領域内に設けられ、前記半導体基板の前記第1の面に対向する第2の面側からの光を光電変換する光電変換素子と、
前記素子分離領域内に設けられ、前記半導体基板の前記第2の面から突出する突出部を有する素子分離層と、
前記半導体基板の前記第2の面側に設けられ、前記突出部間に設けられた色素膜を有するカラーフィルタと、
を具備することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記半導体基板の前記第2の面に対して垂直方向における前記突出部の第1の寸法は、前記半導体基板の前記第2の面に対して垂直方向における前記色素膜の第2の寸法より小さい、
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記色素膜は、
前記突出部間に設けられる下層部と、
前記半導体基板側と反対側において前記第下層部上に設けられる上層部と、
を含み、
前記半導体基板の前記第2の面に対して平行方向における前記下層部の第3の寸法は、前記半導体基板の前記第2の面に対して平行方向における前記上層部の第4の寸法より小さい、
ことを特徴とする請求項2又は3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記素子分離層は、前記半導体基板の前記第2の面から前記第1の面に向かって延在するトレンチ内に設けられている、
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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