JP6112017B2 - 電子部品のコア部材のバリ取り処理方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明は、コンデンサ、インダクタ、半導体ＩＣ、センサデバイスなど小さい電子部品の部材を大量に一度に表面処理する方法及びその装置に関する。より詳しくは、電子部品のコア部材のバリ取り処理方法及びその装置に関する。この電子部品の中には、チップ抵抗やチップコンデンサやチップコイルなどのチップ型電子部品の部材も含まれる。

従来、液晶ディスプレイ等に使われる携帯用ＤＣ-ＤＣコンバータ（電圧変換機器）の部品の製造は、造型後、型成形を行い、バリ取りを行い、巻き線を巻いて、外装部に樹脂モールドして外部電極を付けていた。前記バリ取りは、次工程の巻き線を巻く工程において、残っているバリによって巻き線が切断されないために行う工程である。

このバリ取りのために、電子部品のコア部材の表面にバレル研磨を行なうことは公知である。しかし、バレル研磨は、回転バレル内に被処理部品とメディアを投入し、場合によっては、水、砥粒、および助剤を更に投入し、回転バレル内部を流動状態にさせることで被処理部品の表面処理を行う。

しかし、バレル研磨装置では、研磨終了後に被処理部品とメディアを手作業で分別する必要などがあり、大量に一度に処理が出来ないという問題があった。また、水を用いる場合には研磨後の水処理設備が必要であるという問題があった。更に、部材の隙間が小さくバリが取れないという問題があった。

そこで、ブラスト装置を採用するということが考えられる。特開平１１−３４７９４１号公報（特許文献1）に開示された方法発明は、磁石表面に表面処理被膜を有する永久磁石を、タンブリングブラスト機のタンブラ型ドラム部またはエプロンブラスト機のエプロン型ドラム部に挿入し、該ドラム部を回転させながら永久磁石にスチールショットを噴射することによって、磁石表面の表面処理被膜を剥離する。

また、特許文献１の発明は、ドラム部の回転数が２〜１５ｒｐｍであり、スチールショットの平均粒度が０．１８ｍｍ〜０．５０ｍｍであり、スチールショットの平均硬度が４０〜５０ＨRCであり、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石に対するスチールショットの投射角度が４０°〜９０°であり、投射速度が５０ｍ／ｓｅｃ〜８０ｍ／ｓｅｃである。

しかし、特許文献１に開示されたドラム型のバリ取りを用いた方法を多数の小さい電子部品の部材に適用すると、部材が頻繁に、或いは、強い衝撃力で互いに、衝突する。よって、被処理部品に割れや欠けを多数発生させてしまう。

また、特許文献１に開示されたスチールショットは、平均粒度が０．１８ｍｍ〜０．５０ｍｍであり、かつ、ショットがフランジの隙間より大きくなるので、ショットはフランジの隙間に進入できない。よって、バリ取りができないという問題がある。

更に、特開２００１−３４１０７５号公報（特許文献２）のブラスト処理装置では、メッシュで形成された筒型バレルを使用していることから、メッシュより大きな部材しか処理できない。例えば、特許文献２の実施例１のメシュの目開きは、一辺が５．１ｍｍの正方形で、線径が１．０ｍｍであるため、５ｍｍ角より小さな部材は処理できない。小さな電子部品の部材を処理するため、メッシュの目開きを小さくするということも考えられるが、噴射材がメッシュに当たる確率が高くなり効率的な処理が出来ないという問題がある。

また、特許文献２のブラスト処理装置では、個々の投射ノズルは、円筒形バレルの長手方向に適当な首振り角度を有している。したがって、長手方向に投射範囲の直径よりも長い円筒バレル内のすべての被処理物に対して均一に効率よく噴射材を投射するには、１つの円筒形バレルに対して複数の投射ノズルを有することが前提になっている。そうでなければ、投射範囲から外れた部分の投射は不十分になる。

さらに、特許文献２では永久磁石の表面に生成した酸化層の除去、表面清浄、表面処理被膜のためのショットピーニングを目的としており、小さな電子部品の部材のバリ取りを想定していない。

そこで、本発明は、小さい電子部品の部材のバリ取りを大量に一度に確実にかつ、部材の割れ欠けがないようにバリ取りする方法及びその装置を提供することを目的とする。

本発明の目的を達成するために、第１の発明は、
複数のフランジと巻芯部を備えたバルク状セラミックスからなるコア部材の前記複数のフランジの隙間に生じる凸状のバリを取り除くバリ取り処理方法であって、
一端に開口部を有し他端が閉鎖されている有底の筒状のタンブラに多数のコア部材を投入する工程と、
前記タンブラを回転させ、前記多数のコア部材を攪拌する工程と、
前記開口部を貫通して前記バルク状セラミックスからなるコア部材の複数のフランジの隙間に生じた凸部のバリに向って、前記フランジの隙間より小さい噴射材が混在した気体の噴流を噴射する工程と、
前記噴射された噴射材を前記タンブラの壁面に設けられた貫通穴より該タンブラの外部へ排出する工程とを有し、
前記タンブラの開口部内面部には凸部形状のリングが取り付けられている。

本発明によれば、小さい電子部品の部材のバリ取りを大量に一度に確実にかつ、部材の割れ欠けがないようにバリ取りすることができる。また、該タンブラ内部に向けて噴射された噴射材は、バリ取り後に壁面に設けられた貫通穴より該タンブラの外部へ排出される。

第２の発明では、前記噴射材の比重が１．０〜３．０、噴射材の平均径が０．０２〜０．０８ｍｍ、前記噴流の噴射圧力が０．０３ＭＰａ以上０．１５ＭＰa以下である。
本発明によれば、噴射材の比重及び平均径が小さく、噴射圧力も低いので、電子部品の部材に、割れや欠けが発生することはない。

第３の発明では、前記噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材の距離が２００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であることを特徴とする。
本発明によれば、噴射気流の拡散が大きすぎることなく、効率的なバリ取りができる。また、電子部品の部材に、割れや欠けが発生することはない。

第４の発明では、前記バルク状セラミックスからなるコア部材の位置での前記噴射材が混在した気体の噴流の噴射範囲における噴射中心と噴射外周部の回転速度差が３２ｍｍ／ｓ以上６４ｍｍ／ｓ以下となるようにコア部材をタンブリングすることを特徴とする。
本発明によれば、コア部材が互いに衝突することにより、割れや欠けが発生することはない。一方、効率的なバリ取りができる。

第５の発明では、噴射材の硬さがＨＶ１０００〜２５００であることを特徴とする請求項１に記載のバルク状セラミックスからなるコア部材のバリ取り処理方法。
本発明によれば、バルク状セラミックスのコア部材を効率的にバリ取りができる。

第６の発明では、前記バルク状セラミックスからなるコア部材は、フランジの隙間が０．３ｍｍ〜０．８ｍｍであって、かつ、造型成形後焼成されて製造された電子部品のインダクタ部材又はコイル部材であって、かつ、多角形状でアルミナ若しくは炭化ケイ素からなり、平均径０．０２〜０．０８ｍｍの噴射材を噴射することを特徴とする。
本発明によれば、電子部品のインダクタ部材又はコイル部材のフランジの隙間に対し好適な大きさの噴射材を噴射できるので、効率的なバリ取りができる。

第７の発明では、前記噴射材の噴射量が０．２〜０．８Ｋｇ／分、前記噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離が２００ｍｍ以上３００ｍｍ以下であることを特徴とする。
本発明によれば、より効率よくバルク状セラミックスからなるコア部材のバリ取りを行うことができる。

また、本発明の第８の発明は、コア部材のバリ取り処理方法に用いるバリ取り装置であって、前記複数のタンブラと、
該複数のタンブラを回転させる少なくとも１以上の回転機構と、
噴射材が混在した気体の噴流を噴射する複数のノズル・アセンブリと、を備え、
前記タンブラの外周を形成する壁面に多数の貫通穴が設けられており、前記筒状の内壁には攪拌促進部材が設けられたことを特徴とするバリ取り装置である。
本発明によれば、小さい電子部品の部材のバリ取りを大量に一度に確実にかつ、部材の割れ欠けがないようにバリ取りすることができる。

さらに、本発明の第９の発明では、前記タンブラの開口部と、前記ノズル・アセンブリは、対向しており、前記噴射材の噴射は前記タンブラの開口部から前記有底の筒状のタンブラに投入された前記コア部材の複数のフランジの隙間に生じた凸部のバリに向かって行なわれる。
本発明によれば、小さい電子部品の部材のバリ取りをより確実に大量に一度に、かつ、部材の割れ欠けがないようにバリ取りすることができる。

さらに、本発明の第１０の発明では、前記タンブラは２０°〜４０°の角度で傾けられて設置されていることを特徴とする。
本発明によれば、タンブラを２０°〜４０°の角度で傾けて回転させることで、該タンブラ内の被処理部品の攪拌を効率よく行うことができる。即ち、本発明によれば、小さい電子部品の部材のバリ取りをより確実に大量に一度に、かつ、部材の割れ欠けがないようにバリ取りすることができる。

また、本発明の第１１の発明では、第１０の発明において、前記タンブラが上部に開口部を有する多角形の箱状物もしくは有底の円筒状物であることを特徴とする。
本発明によれば、タンブラの回転により多数のコア部材が撹拌され易く、効率よくバリ取りを行うことができる。

本発明の第１２の発明では、前記ノズル・アセンブリが噴射材の噴射時の移動を可能とするノズル・アセンブリ設置部材により、前記噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離を所定の範囲内に制御することを特徴とする。
本発明によれば、噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離を制御できるので、最適の噴射強度でバリ取りが可能になる。また、噴射強度が強すぎる場合には噴射距離を長くする事も可能である。

本発明の第１３の発明では、前記ノズル・アセンブリ設置部材により、噴射を終えた後に前記ノズル・アセンブリを移動させてタンブラを交換することを特徴とする。
本発明によれば、タンブラを交換するにあたり、ノズル・アセンブリ設置手段によってノズル・アセンブリの位置を移動させることによって、ノズル・アセンブリを取り外すことなく該タンブラを容易に交換できる。
また、タンブラを交換できるので、段取り変え時間をはやくすることができる。すなわち、処理をしていないタンブラで次のバッチの処理の準備が可能である。

本発明の第１４の発明では、前記ノズル・アセンブリは、圧縮空気を前記ノズルホルダ内部に導入し、前記ノズルホルダ内部に負圧を発生させるための空気ノズルと、前記ノズル・アセンブリの内部で発生した負圧により吸引された噴射材が通過する経路と、前記圧縮空気に噴射材を混合する混合室とを有するノズルホルダと、前記混合室で混合された圧縮空気と噴射材を前記コア部材に向かって噴射するための噴射ノズルと、を備え、前記ノズルホルダと前記空気ノズルとの間の接続部と、前記ノズルホルダと前記噴射ノズルとの間の接続部とのうちの少なくとも一方は密封部材を有していることを特徴とする。
本発明によれば、噴射材を加圧タンクに投入し、加圧タンク内を加圧することで噴射材をノズル・アセンブリに送る方式（いわゆる加圧式）とは異なり、大型の付随設備が不要であり、装置全体の小型化を実現できる。また、前記ノズルホルダと前記空気ノズルとの間の接続部と、前記ノズルホルダと前記噴射ノズルとの間の接続部とのうちの少なくとも一方に密封部材を設けることにより噴射材の噴射量を安定させることができる。

この出願は、日本国で２０１２年１月１２日に出願された特願２０１２−００４２８４号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語（例えば、「等」）の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。

本発明のバリ取り装置の構成を概略的に示す正面図及び側面図である。 図１のバリ取り装置におけるブラスト加工室の内部構成を示す説明図である。 図１のバリ取り装置において、タンブラを回転機構に設置する方法を示す説明図である。 図１のバリ取り装置において、駆動伝達部材の設置方法を示す説明図である。 本発明のバリ取り装置に使用可能な円形の縦断面を有するタンブラの一例を示す説明図である。図５（Ａ）はタンブラの側面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）におけるB−B線断面図、図５（Ｃ）は図５（Ａ）のタンブラの斜視図である。 本発明におけるバリ取り装置に使用可能な多角形の縦断面を有するタンブラの一例を示す説明図である。図６（Ａ）はタンブラの側面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）におけるB方向矢視図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）におけるC−C線断面図である。 図１のバリ取り装置におけるノズル・アセンブリを示す説明図である。 図７のノズル・アセンブリにおける噴射ノズルの断面の形状を示す断面図である。 本発明におけるバリ取り装置に使用可能なノズル・アセンブリ設置部材を示す説明図である。図９（Ａ）はノズル・アセンブリ設置部材の駆動例を示す説明図、図９（Ｂ）は同設置部材の構成の一例を示す説明図である。 図１のバリ取り装置における分級装置を示す説明図である。図１０（Ａ）は分級装置の側面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）におけるB方向矢視図、図１０（Ｃ）は図１０（Ｂ）におけるＣ−Ｃ線断面図、図１０（Ｄ）は図１０（Ａ）におけるＤ−Ｄ線断面図である。 図１のバリ取り装置における貯留器を示す側面図である。 図１のバリ取り装置における回収装置を示す説明図である。 本発明におけるバリ取り装置の実施例を示す参考図である。図１３（Ａ）は扉の開閉を機械的動力によってなすためのバリ取り装置、図１３（Ｂ）は扉の開閉を人力によってなすためのバリ取り装置をそれぞれ示す外観図である。

本発明のバリ取り方法の実施形態の一例を、添付図面を参照して説明する。なお、本発
明は本実施形態の構成に限られず、必要に応じて適宜変更することができる。

図１は本発明のブラスト加工装置１の正面図（図１の右側）及び左側面図（図１の左側）を示す。図１に示すようにブラスト加工装置１は被処理部品Ｗの投入および排出を行うための扉１０ａを備えるブラスト加工室１０、および回収装置（回収手段）３０により構成されており、これらが移動部材、例えばローラ５１を有する基台５０上に設置されている。また、噴射材を貯留するための貯留器（貯留手段）２１が連接された分級装置（分離手段）２０はブラスト加工室１０に連接されている。

図２に示すようにブラスト加工室１０内には、中空のタンブラ１１、回転機構（回転手段）１２、ノズル・アセンブリ１３、及びノズル・アセンブリ設置部材（ノズル・アセンブリ設置手段）１４が設置されている。タンブラ１１の設置台数は、被処理部品Ｗの加工量により任意に設定することができる。本実施形態では４台のタンブラ１１を設置した。タンブラ１１は、上部に開口部を有する多角形の箱状体もしくは有底の円筒体であるが、詳細は後述する。

図３に示すようにタンブラ１１はタンブラホルダ１１ａに挿入されて保持されている。挿入されたタンブラ１１をタンブラホルダ１１ａ内に保持するためには、ボルト等を用いてもよく、両者にねじ部等の係合手段を設けてもよく、その方式は特に限定されない。本実施形態ではタンブラホルダ１１ａに凸状のフック（図示せず）を形成し、該フックにタンブラ１１の外壁を係合させることで、ワンタッチで着脱可能な構造とした。タンブラホルダ１１ａの底面の中心には、回転軸１１ｂが備えられており、この回転軸１１ｂには第１の駆動伝達具１１ｃが取り付けられている。本実施形態では、第１の駆動伝達具１１ｃとしてスプロケットを使用した。

回転機構（回転手段）１２は、モータ（回転発生手段）１２ａ、ベース１２ｄを備えて構成されている。本実施形態では、図３の如く１台のタンブラホルダ１１ａの回転軸１１ｂにつき２台の軸受け１２ｅが回転機構（回転手段）１２に設けられており、該軸受け１２ｅを介してタンブラ１１が保持された前記タンブラホルダ１１ａが、回転機構（回転手段）１２に保持されている。また、本実施形態では１台のみのモータ１２ａを使用し、該モータ１２ａはベース１２ｄに設置されている。

図４に示すように、モータ（回転発生手段）１２ａの回転軸１２ｂには、第２の駆動伝達具１２ｃが取り付けられている。第２の駆動伝達具１２ｃは、第１の駆動伝達具１１ｃを同調して作動させる形状とする。例えば、本実施形態のように第１の駆動伝達具１１ｃがスプロケットである場合、第２の駆動伝達具１２ｃは、その山の高さおよび山と山との間隔が第１の駆動伝達具１１ｃと同じであるスプロケットとする。
或いは第１の駆動伝達具１１ｃとしてプーリ（図示せず）を用いる場合、第２の駆動伝達具１２ｃは第１の駆動伝達具１１ｃの溝の形状および溝の深さが同じであるプーリとする。
そこで、本実施形態では、第２の駆動伝達具１２ｃは第１の駆動伝達具１１ｃのスプロケットの山の高さおよび山と山との間隔が同じであるスプロケットを使用した。

モータ（駆動伝達手段）１２ａの回転力が全てのタンブラ１１に伝達されるように、駆動伝達部材１２ｆによって第２の駆動伝達具１２ｃおよびすべての第１の駆動伝達具１１ｃを連結させる。
本実施形態では、駆動伝達部材１２ｆとしてチェーンを使用し、このチェーン１２ｆがモータ（回転発生手段）１２ａの回転軸１２ｂのスプロケット（第２の駆動伝達具）１２ｃの回転力を、タンブラホルダ１１ａ（図４には図示せず）の回転軸１１ｂのスプロケット（第１の駆動伝達具）１１ｃへ伝達するように連結している。従ってモータ（駆動伝達手段）１２ａの回転軸１２ｂの回転に合わせて全てのタンブラホルダ１１ａが回転し、ひいては全てのタンブラ１１が回転する。

次に、タンブラ１１の形状について図５および図６を用いて説明する。タンブラ１１は、実質的に中空体であり、その上端に被処理部品Ｗの投入および排出や、噴射材を被処理部品Ｗに向けて噴射するための開口部１１ｄを有し、底端は閉止している。該タンブラ１１の外周を形成する壁面には複数の貫通穴１１ｉを有している。バリ取りを行う際にはタンブラ１１を回転させるが、これはタンブラ内部に投入された複数の被処理部品Ｗを流動状態にして攪拌するためである。すなわち、全ての被処理部品Ｗをタンブラ１１の底部や壁部に滞留することなく開口部側に出現させることで、全ての被処理部品Ｗに対してバリ取りを行うためである。この攪拌を効率よく行うためには、タンブラ１１の前記開口部１１ｄに平行な断面の形状は多角形状または円形状であることが好ましい。円形状断面の場合には、タンブラ１１の内壁に攪拌促進部材１１ｅを設けることが好ましい（図５参照）。攪拌促進部材１１ｅは、内面に突起した板あるいは棒状の部材等、タンブラ11内の被処理部品Ｗの撹拌を促進する周知の構造でよい。
さらに、タンブラ１１の前記開口部１１ｄに平行な断面形状に依らず、タンブラ１１の底部に被処理部品Ｗが滞留するのを防ぐために、タンブラ１１の底部付近に底部に向かってタンブラ１１の内径（断面積）が連続的に小さくなる攪拌促進面１１ｈを設けることが好ましい。この攪拌促進面１１ｈの傾斜角度θ１は、実験によれば、１１５°から１３５°の範囲であると効果が顕著である。また、貫通穴１１ｉは、タンブラ内部に噴射材が滞留しないように設けてあり、その径は、噴射材は通過できるが、被処理部品が該貫通穴より漏出しない程度の大きさである。
さらに、前記攪拌がより効果的に行われると噴射中の被処理部品Ｗがタンブラ１１より漏出するためタンブラ１１の開口部１１ｄ内面部に凸部形状のリング１１ｊを取り付けるのがよい。内面に突き出る凸部の高さ（１１ｋ）は開口部より噴射材の進入を妨げない１〜８ｍｍが好ましく、より好ましくは３〜６ｍｍである。

さらに、タンブラ１１を傾けて設置することで、前記攪拌がより効果的に行われる。その目的のためのタンブラ１１の傾斜角度θ（図２参照）は、実験によれば、２０°から４０°の範囲が好ましく、より好ましくは２７°から３２°の範囲である。その際、タンブラ１１を傾けたことによりバリ取り中に被処理部品Ｗがタンブラ１１より外部へ漏出しないように、タンブラ１１の開口部付近に開口部１１ｄに向かって径（断面積）が連続的に小さくなる漏出防止面１１ｆを設けることが好ましい。しかしながら、タンブラ１１の側壁面１１ｇに対し略９０°をなす漏出防止面１１ｆを設けた場合、ノズル・アセンブリ１３の設置角度にかかわらずタンブラ１１の側壁面１１ｇと該漏出防止面１１ｆとが成す隅角部の被処理部品Ｗに対して噴射材を噴射することができない。被処理部品Ｗがタンブラ１１の外部に漏出せず、かつバリ取りに影響を及ぼさないようにするためには、漏出防止面１１ｆとタンブラ１１の側壁面１１ｇが成す角度θ_２は、実験によれば、１１５°から１３５°の範囲が好ましい。

本実施形態に用いた中空かつ底部が閉止したタンブラ１１は、図６に示すように、前記開口部１１ｄに平行な断面の形状が８角形状であり、前記傾斜角度θ_１が１１８°である攪拌促進面１１ｈおよび前記傾斜角度θ_２が１３２°である漏出防止面１１ｆを有する。
このタンブラ１１をタンブラホルダ１１ａを介して保持し回転する回転機構１２は、該タンブラ１１の傾斜角度θが前述の通り３０°となるように配置した。

次に図７を参照して、バリ取りのためのノズル・アセンブリ１３について説明する。ノズル・アセンブリ１３はノズルホルダ１３ａと、空気ノズル１３ｂと、噴射ノズル１３ｃと、で構成される。ノズルホルダ１３ａは、噴射材を投入するための噴射材供給口１３ｄを有しており、またノズルホルダ１３ａの内部は噴射材供給口１３ｄから導入された噴射材が通過するための経路１３ｅと、混合室１３ｆとを有している。混合室１３ｆでは、空気ノズル１３ｂを介して導入された圧縮空気と経路１３ｅから到来する前記噴射材とが混合される。

空気ノズル１３ｂは、一端に圧縮空気を噴射するための圧縮空気噴射口１３ｂ_ｏを有しており、この噴射口１３ｂ_ｏに向かって内径が細くなる円筒形状である。この空気ノズル１３ｂは、前記圧縮空気噴射口１３ｂ_ｏに対向する圧縮空気供給口１３ｂ_ｉ側がノズルホルダ１３ａの基端から突出するように、ノズルホルダ１３ａに挿入されている。ノズルホルダ１３ａの基端（圧縮空気の導入側）は、空気ノズル１３ｂの供給口１３ｂ_ｉを通じてホース（図示せず）を介して圧縮空気供給源（図示せず）と連通している。圧縮空気供給源より導入された圧縮空気は、ノズルホルダ１３ａ内に噴射される。この際、ノズルホルダ１３ａの内部で負圧が発生する。この負圧を利用し、噴射材を噴射材供給口１３ｄよりノズルホルダ１３ａの内部に吸引し導入する。噴射材供給口１３ｄより導入された噴射材は噴射材通過経路１３ｅを通過し、混合室１３ｆへ導かれ、ノズルホルダ１３ａ内に導入された圧縮空気と混合される。本実施形態では、噴射材供給口１３ｄは後述のように、貯留器２１とホースＨ_２を介して連通されており、貯留する貯留器２１内部に貯留されている噴射材を吸引している。

噴射ノズル１３ｃは、両端が解放された中空構造であり、圧縮空気と噴射材との固気二相流の供給口１３ｃ_ｉ側の断面積Ｓ_１３ｃｉが、その反対側の固気二相流の噴射口１３ｃ_ｏ側の断面積Ｓ_１３ｃｏに比べ大きくなっている。前記供給口１３ｃ_ｉおよび前記噴射口１３ｃ_ｏの断面形状は円形、長方形を含む多角形のいずれでもよい。本実施形態では、前記供給口１３ｃ_ｉおよび前記噴射口１３ｃ_ｏの断面形状を円形とした。噴射ノズル１３ｃは、空気ノズル１３ｂの長手方向の中心線が噴射ノズル１３ｃの供給口１３ｃ_ｉおよび噴射口１３ｃ_ｏの中心点を結んだ中心線と略同一線上に位置するように、かつ前記混合室１３ｆと前記供給口１３ｃ_ｉが連通するように設置されている。前記混合室１３ｆにて発生した固気二相流は、前記供給口１３ｃ_ｉより噴射ノズル１３ｃの内部を通過し、前記噴射口１３ｃ_ｏより噴射される。

また、ノズルホルダ１３ａと空気ノズル１３ｂとの間の接続部と、ノズルホルダ１３ａと噴射ノズル１３ｃとの間の接続部とのうちの少なくとも一方、より好ましくは両方には、密封部材１３ｇを設けることが望ましい。ノズルホルダ１３ａの内部に導入した圧縮空気が前記接続部の隙間より漏出すると、ノズルホルダ１３内部で発生する負圧が小さくなり噴射材の吸引力が低下するが、この低下は該密封部材１３ｇを設けることで抑制できる。本実施形態では、空気ノズル１３ｂおよび噴射ノズル１３ｃの外周に溝を設け、その溝に密封部材１３ｇとしてＯリングを嵌め込んだ。

なお、空気ノズル１３ｂおよび噴射ノズル１３ｃにおいて、それぞれの供給口１３ｂ_ｉまたは１３ｃ_ｉからそれぞれの噴射口１３ｂ_ｏまたは１３ｃ_ｏに向かって内径が細くなる形状は、連続的に細くなる形状（図８（Ｃ）参照）、段階的に細くなる形状、同一径が連続した空間を含む形状（図８（Ｂ）参照）、連続的または段階的に細くなった後に太くなる形状（図８（Ｄ）参照）、またはそれらを組み合わせた形状（例えば連続的に細くなった後に、同一の径が連続している形状（図８（Ａ）参照））のうちのいずれを選択してもよい。

本実施形態では、タンブラ１１を４台設置しているので、４台のノズル・アセンブリ１３を設置した。ノズル・アセンブリ１３は、図９（Ａ）に示すようにノズル・アセンブリ設置部材１４によってブラスト加工室１０内にそれぞれ取り付けられる。本実施形態のタンブラ１１は傾斜しており、かつ漏出防止面１１ｆを有することから、この形態に合わせてノズル・アセンブリ１３を取り付ける。設置部材１４は、ブラスト加工室１０における取り付け箇所からノズル設置部にかけて、少なくとも一つ以上の可動部材を有したアームによって形成されている。
例えば、図９（Ａ）では複数の角柱部材と複数の円柱部材とを係合させて回動自在なノズル・アセンブリ設置部材１４を形成することで、ノズル・アセンブリ１３をタンブラ１１に対して上下左右方向に自由な位置に設定することができる。ノズル・アセンブリ設置部材１４をブラスト加工室１０内に設置する場所は特に限定されないが、本実施形態では、回転機構１２のベース１２ｄ（図３参照）に配置した。具体的には、図９（Ｂ）に示すようにベース１２ｄ（図９（Ｂ）には図示せず）に対してノズル・アセンブリ設置部材１４を構成するのに係合される第１、第２、第３、第４、および第５のアーム１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、および１４ｅは下記の通りである。
ベース１２ｄ ：それぞれのノズル・アセンブリ１３を設置するのに適した位置に円柱部材を設けている。
第１のアーム１４ａ：角柱部材で形成されており、長手方向（図９（Ｂ）の紙面の垂直方向）に前記円柱部材と同径の第１の穴を有し、この第１の穴にはベース１２ｄの円柱部材が嵌入されている。また、高さ方向（紙面の上下方向）には第２のアーム１４ｂと同径の第２の穴を有する。
第２のアーム１４ｂ：円柱部材で形成されており、その下端が第１のアーム１４ａの第２の穴に嵌入されて係合する。
第３のアーム１４ｃ：角柱部材で形成されており、その一端（図９（Ｂ）の右側）の高さ方向に第２のアーム１４ｂと同径の第３の穴を有し、この穴には第２のアーム１４ｂの上端が嵌入されて係合する。また、他端には紙面に対して垂直方向に第５のアーム１４ｅと同径の第４の穴を有し、この穴には第５のアーム１４ｅの一端が嵌入されて係合する。
第４のアーム１４ｄ：角柱部材で形成されており、その一端（図９（Ｂ）の右側）の紙面に対して垂直方向に第５のアーム１４ｅの円柱部材と同径の第５の穴を有し、この穴には第５のアーム１４ｅの円柱部材が嵌入されて係合する。また、他端付近にはノズル・アセンブリ１３を保持する保持具（図示せず）を有する。
第５のアーム１４ｅ：円柱部材で形成されており、その一端（図９（Ｂ）の紙面に対して奥）は、第３のアーム１４ｃの第４の穴に嵌入されて係合し、その他端は、第４のアーム１４ｄの第５の穴に嵌入されて係合する。
ここで、ノズル・アセンブリ１３の保持具は特に限定されない。例えば、第４のアーム１４ｄにボルト等で固定してもよく、クランプ機構によって保持してもよい。また、該保持具自体を回転可能に構成することで、該ノズル・アセンブリ１３の設置の自由度を向上させてもよい。

本実施形態におけるバリ取り装置では、扉１０ａの開閉に連動して、ノズル・アセンブリ１３の設置部材１４が移動する構造としている。すなわち、扉１０ａを開とした場合はタンブラ１１の着脱が容易となるように、扉１０ａを閉とした場合はタンブラ１１内部に噴射材を噴射できるように、ノズル・アセンブリ１３が移動するようにした。

図１０を参照して、前記ノズル・アセンブリ１３より噴射された噴射材およびバリ取りによって生じた粉塵を分級し、再利用できない噴射材および前記粉塵（以降、「ダスト」と記す）を取り除くと共に再利用可能な噴射材を取り出す分級装置（分離手段）２０について説明する。分級装置２０は、上面が吸引部材２０ｃを有する天井によって閉止され、かつ連続した断面積を持ち側面に投入部材２０ｄを有する第１の筒状体２０ａと、上方から下方に向かって連続的に径（断面積）が小さくなる第２の筒状体２０ｂとを連接させて構成される。分級装置２０の下面には貯留器２１が連接されている。投入部材２０ｄはダクトＤ_１（図１）を介してブラスト加工室１０に連接されている。また、吸引部材２０ｃはダクトＤ_２（図１）を介して回収装置３０に連接されている。すなわち、ブラスト加工室１０内の空間と、分級装置２０内の空間と、貯留器２１内の空間と、回収装置３０とは連続した空間を形成している。

分級装置２０により取り出された再利用可能な噴射材を貯留するための貯留器２１は、図１１に示すように、分級装置２０の底部に連接した第３の筒状体２１ａと、下方に向かって連続的に径（断面積）が小さくなる第４の筒状体２１ｂとを連接させて構成される。なお、連続的に径（断面積）が小さくなるとは、下方に向かって一律に径（断面積）が減少するのみならず、径（断面積）の減少率が段階的に異なってもよく、また同一の径（断面積）が連続する区間を含んでもよい。すなわち、下方に向かって径（断面積）が大きくなる区間を含まなければよい。この場合、第４の筒状体２１ｂの側壁が水平面に対して成す角度θ_３が７３°から８７°の範囲となるように設定する。
この角度が７３°より小さいと、貯留器２１内部の噴射材がブリッチング現象（棚吊り）により取り出せなくなる現象が生じ易い。この現象を防ぐためには、該角度は大きい方がよいが、該角度が８７°よりも大きくなると、後述の排出補助具２１ｄが大型化してしまう。そこで、貯留器２１から噴射材を効率よく取り出せ、かつ排出補助具２１ｄを小さくするためには、該角度θ_３は７３°から８７°の範囲で設定することが好ましい。そして、最下面付近には、貯留器２１の内部に貯留されている噴射材をノズル・アセンブリ１３に供給するための噴射材取り出し具２１ｃが設置されている。噴射材取り出し具２１ｃはホースＨ_２（図２）を介し、ノズル・アセンブリ１３の噴射材供給口１３ｄと連接されている。さらに、第４の筒状体２１ｂの最下面には、貯留器２１に貯留された噴射材を交換等のために排出するために、排出補助具２１ｄが設けられている。この排出補助具２１ｄとしては、本実施形態ではバタフライバルブを使用したが、これに代えてボールバルブやゲートバルブを用いてもよい。なお、貯留器２１の筒状体２１ａおよび２１ｂは、円筒体でもよく、横断面が多角形の筒状体でもよい。本実施形態では横断面が四角形の筒状体を用いた。

本実施形態では、分級装置２０および貯留器２１は、少なくとも貯留器２１の噴射材取り出し具２１ｃがブラスト加工室１０内に配置されるように設置したが、噴射材をノズル・アセンブリ１３へ供給するのに不都合が生じなければ設置場所は特に限定されない。

本実施形態において、前記ダストを回収するための回収装置３０は、固気二相流より固体（ダスト）と気体を分離するための濾布を内包する集塵機を使用した。
また、回収時に濾布上に堆積したダストの除去（払い落とす）方式としては、圧縮空気を間欠的に濾布に吹き付けるパルスジェット方式を使用した。しかし、その方式は特に限定されるものではなく、例えば機械的手段によって払い落とす機械方式を用いてもよい。
図１２に示すように、回収装置３０には、濾布上から払い落とされて、回収装置３０の底部に貯留されたダストを回収装置３０の外部に排出するために、排出具３１が設けられている。この排出具３１は、本実施形態ではボールバルブを用いたが、これに代えて、例えばゲートバルブやロータリーバルブ等を用いてもよい。

（実施例）
次に、本実施形態のバリ取り装置によるバリ取りについて説明する。本実施例では、被処理部品Ｗとして０．８×１．６ｍｍのセラミックス系部材を粗面化するための加工について説明する。なお、本明細書において「小型の被処理部品」とは、径または辺が概ね３０ｍｍ以下程度の大きさの被処理部品を称し、特に径または辺が２ｍｍ以下程度の被処理部品に対して本発明のバリ取り装置を好適に用いることができる。

ブラスト加工室１０の扉１０ａを開け、４つのタンブラ１１をブラスト加工室１０内部から取り出し、各々のタンブラ１１にそれぞれ被処理部品Ｗを略同量投入する。その後再び該タンブラ１１をタンブラホルダ１１ａに係合させ、ブラスト加工室１０内にセットする。また、噴射材（本実施例はジルコニア質）を必要量ブラスト加工室１０内に投入し、扉１０ａを閉める。なお、前記扉１０ａの開閉は手動でもよいが、例えばエアシリンダ等の機械的動作によりなしてもよい。

次に、回収装置３０を稼働させることで、前記噴射材は回収装置３０より発生した吸引力により分級装置２０内に移送され、その後貯留器２１内に貯留される。

次に、モータ１２ａを稼働させることで、４つのタンブラ１１が回転する。この回転によってタンブラ１１内の被処理部品Ｗが攪拌される。

次に圧縮空気発生源を稼働させ、例えば圧力が０．７ＭＰａの圧縮空気を空気ノズル１３ｂより噴射することによってノズル・アセンブリ１３内部に負圧が発生する。この負圧によって噴射材がノズル・アセンブリ１３に供給され、噴射口１３ｃ_ｏから圧縮空気と共に噴射される。噴射された噴射材が被処理部品Ｗの表面に衝突することでバリ取りが行われる。また、タンブラ１１の回転により被処理部品Ｗが攪拌されているので、全ての被処理部品Ｗが順次噴射材に晒され、全ての被処理部品Ｗのバリ取りを行うことができる。

噴射された噴射材とバリ取りによって生じた粉塵との混合体は、回収装置３０より発生した吸引力により、ダクトＤ_１を介して分級装置２０に移送される。分級装置２０の内部には、前記回収装置３０によって発生した吸引力により、渦状の気流が発生している。すなわち、吸引力は分級装置２０の上方より生じているため、分級装置２０に投入された前記噴射材および前記粉塵は、この渦状の気流によって重量の重い粉体は下方に、軽い粉体は上方に移動する。すなわち、再利用が可能な噴射材はダストに比べ重いので下方に移動し、貯留器２１に貯留され、ホースＨ_２を介して再びノズル・アセンブリ１３より噴射され、ダストは軽いので上方に移動し、ダクトＤ_２を介して回収装置３０へ移送される。回収装置３０へ移送されたダストは回収装置３０内部の濾布の表面に堆積する。濾布の表面に堆積したダストはパルスジェットにより払い落とされて底部に貯留される。貯留されたダストは、排出具３１を開放することにより回収装置３０の外部に排出される。

被処理部品Ｗが目的の形状まで加工された場合、圧縮空気供給源の稼働を停止する。その際、モータ１２ａの回転は依然として継続している。これはタンブラ１１内に残留した噴射材を壁面の貫通穴１１ｉを介して外部に排出するためである。同様に、回収装置３０の稼働も依然として継続している。これはブラスト加工室１０の内部は噴射材および粉塵で充満しているので、これらを分級装置２０を介して、噴射材を貯留器２１に貯留（回収）、またはダストを回収装置３０にて回収するためである。

タンブラ１１内部の噴射材が排出され、かつブラスト加工室１０の内部の噴射材およびダストの回収が完了したら、モータ１２ａおよび回収装置３０の稼働を停止し、ブラスト加工室１０の扉１０ａを開放して被処理部品Ｗを取り出し、バリ取りが完了する。

また、被処理部品Ｗを変えたり、加工目的を変えたりする理由から噴射材を交換するために、貯留器２１に貯留された噴射材を排出する必要がある場合は、排出補助具２１ｄを開放することで該噴射材を容易に取り出すことができる。

また、被処理部品Ｗが変わる場合などでタンブラ１１を別の形状に交換する必要がある場合、ノズル・アセンブリ設置部材１４を駆動させノズル・アセンブリ１３の位置を調整して、タンブラ１１の交換を容易に行うことができる。

本実施例におけるバリ取り装置１の一例を図１３に示す。図１３（Ａ）は扉１０ａの開閉を機械的動力（この場合はエアシリンダ）によってなし、図１３（Ｂ）は扉１０ａの開閉を人力（手動）によってなすブラスト装置である。

なお、噴射材の比重が小さすぎると十分なバリ取りの効果が得られず、大きすぎると噴射材による被処理部品の割れや欠けに繋がる。噴射材の平均径が０．０２ｍｍより小さいと十分なバリ取りの効果が得られず、０．０８ｍｍより大きいとバリ取りをする箇所への噴射材の衝突が不十分となる。噴射圧力が低すぎると十分なバリ取り効果が得られず、高すぎると、被処理部品に、割れや欠けが発生する。
すなわち、被処理製品に割れや欠けが発生することなくバリ取りを行うには、噴射材の比重が１．０〜３．０、噴射材の平均径が０．０２〜０．０８ｍｍ、前記噴流の噴射圧力が０．０３ＭＰａ以上０．１５ＭＰa以下に設定するのが好ましい。

また、噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口から被処理部品Ｗであるバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離が、２００ｍｍより短いと十分に噴射材が被処理部品であるバルク状セラミックスからなるコア部材に到達するまでに十分拡散せず噴射された噴射材が無駄になる。また５００ｍｍより大きいと噴射材が被処理部品に対し疎らにしか衝突せずバリ取りが不十分となる。噴射気流の拡散が大きすぎることなく、効率的なバリ取りをするためには、ノズル先端の開口から被処理部品の距離を２００ｍｍ以上５００ｍｍ以下にすることが好ましい。さらに、２００ｍｍ以上３００ｍｍ以下とするとより好適である。この適度な距離により、被処理部品に、割れや欠けが発生することはない。

また、バルク状セラミックスからなるコア部材の位置での噴射材が混在した気体の噴流の噴射範囲における噴射中心と噴射外周部の回転速度差が３２ｍｍ/ｓ以上６４ｍｍ/ｓ以下となるようにコア部材をタンブリングするとよい。
回転速度差が小さいとバリ取りの効率が下がる。回転速度差が大きいとコア部材が互いに衝突して割れや欠けが発生する。
コア部材が互いに衝突することにより、割れや欠けが発生することなく、効率的なバリ取りをするには回転速度差を３２ｍｍ／ｓ以上６４ｍｍ／ｓ以下にするのが好ましい。

また、噴射材の硬さが低すぎると十分なバリ取り効果が得られず、高すぎると被処理部品に割れや欠けが発生することになる。噴射材の硬さがＨＶ１０００〜２５００にすることで、バルク状セラミックスのコア部材の効率的なバリ取りができる。

バルク状セラミックスからなるコア部材は、フランジの隙間が０．３ｍｍ〜０．８ｍｍであって、かつ、造型成形後焼成されて製造された電子部品のインダクタ部材又はコイル部材であって、多角形状でアルミナ若しくは炭化ケイ素からなっていることが多い。そこで、平均径０．０２〜０．０８ｍｍの噴射材を、少なくとも前記複数のフランジの隙間と巻芯部の接続縁又は巻芯部の外周に向かって噴射する。
これにより、電子部品のインダクタ部材又はコイル部材のフランジの隙間に対し好適な大きさの噴射材を噴射できるので、効率的なバリ取りができる。

本発明について特定の実施例について説明したが、幾多の変更例および修正例が可能である。例えば、ノズル・アセンブリ１３は、加圧タンク等の付帯設備を設置するためのスペースが確保できるのであれば、いわゆる直圧式を用いても良い。

上述の実施例では、タンブラ１１を回転保持するために、タンブラホルダ１１ａを用いたが、このタンブラホルダ１１ａを省いて、底部に駆動軸を有したタンブラ１１を用いた実施例も構成可能であることに留意されたい。

噴射材は、鉄系または被鉄系のショットまたはグリットまたは細い線を切断（あるいは切断後角部を丸め加工）した、いわゆるカットワイヤー、セラミックス系、樹脂系、植物系など、一般にバリ取りの噴射材として用いるものであれば好適に適用することができる。

以下に、本明細書あるいは図面で用いた主な符号をまとめて示す。
１ バリ取り装置
１０ ブラスト加工室
１０ａ 扉
１１ タンブラ
１１ａ タンブラホルダ
１１ｂ 回転軸
１１ｃ 第１の駆動伝達具（スプロケット）
１１ｄ 開口部
１１ｅ 攪拌促進部材
１１ｆ 漏出防止面
１１ｇ 側壁面
１１ｈ 攪拌促進面
１１ｉ 貫通穴
１１ｊ 凸部形状のリング
１１ｋ 凸部の高さ
１２ 回転機構（回転手段）
１２ａ モータ（回転発生手段）
１２ｂ 回転軸
１２ｃ 第２の駆動伝達具（スプロケット）
１２ｄ ベース
１２ｅ 軸受け
１２ｆ 駆動伝達手段（チェーン）
１３ ノズル・アセンブリ
１３ａ ノズルホルダ
１３ｂ 空気ノズル
１３ｂ_ｉ 空気ノズルの圧縮空気供給口
１３ｂ_ｏ 空気ノズルの圧縮空気噴射口
１３ｃ 噴射ノズル
１３ｃ_ｉ 固気二相流の供給口
１３ｃ_ｏ 固気二相流の噴射口
１３ｄ 噴射材供給口
１３ｅ 噴射材通過経路
１３ｆ 混合室
１３ｇ 密封部材
１４ ノズル・アセンブリ設置部材（ノズル・アセンブリ設置手段）
１４ａ 第１のアーム
１４ｂ 第２のアーム
１４ｃ 第３のアーム
１４ｄ 第４のアーム
１４ｅ 第５のアーム
２０ 分級装置（分離手段）
２０ａ 第１の筒状体
２０ｂ 第２の筒状体
２０ｃ 吸引部材
２０ｄ 投入部材
２１ 貯留手段
２１ａ 第３の筒状体
２１ｂ 第４の筒状体
２１ｃ 噴射材取り出し手段
２１ｄ 排出補助具
３０ 回収手段
３１ 排出具
５０ 基台
５１ 移動部材（ローラ）
Ｈ_１ ホース（圧縮空気導入用）
Ｈ_２ ホース（噴射材供給用）
Ｄ_１ 分級装置用ダクト
Ｄ_２ 回収装置用ダクト
Ｗ 被処理部品

上述の実施例では、硬脆材料から形成された被処理部品Ｗに対するバリ取りについて説明したが、本発明のバリ取り装置は、被処理部品Ｗが金属材料か非金属材料かを問わず、バリ取り全般に適用することができる。

Claims (8)

1. 複数のフランジと巻芯部を備えたバルク状セラミックスからなるコア部材の前記複数のフランジの隙間に生じる凸状のバリを取り除くバリ取り処理方法であって、
   一端に開口部を有し他端が閉鎖されている有底の筒状のタンブラに多数のコア部材を投入する工程と、
   前記タンブラを回転させ、前記多数のコア部材を攪拌する工程と、
   前記開口部を貫通して前記バルク状セラミックスからなるコア部材の複数のフランジの隙間に生じた凸部のバリに向って、前記フランジの隙間より小さい噴射材が混在した気体の噴流を噴射する工程と、
   噴射された噴射材を該タンブラの壁面に設けられた貫通穴より該タンブラの外部へ排出する工程と、
   を有し、
   前記タンブラの開口部内面部に凸部形状のリングが取り付けられ、
   前記噴射材の比重が１．０〜３．０、噴射材の平均径が０．０２〜０．０８ｍｍ、前記噴流の噴射圧力が０．０３ＭＰａ以上０．１５ＭＰa以下であり、
   前記バルク状セラミックスからなるコア部材の位置での前記噴射材が混在した気体の噴流の噴射範囲における噴射中心と噴射外周部の回転速度差が３２ｍｍ／ｓ以上６４ｍｍ／ｓ以下となるようにコア部材をタンブリングし、
   前記噴射材の硬さがＨＶ１０００〜２５００であり、
   前記バルク状セラミックスからなるコア部材は、フランジの隙間が０．３ｍｍ〜０．８ｍｍであって、かつ、造型成形後焼成されて製造された電子部品のインダクタ部材又はコイル部材であって、かつ、多角形状でアルミナ若しくは炭化ケイ素からなり、平均径０．０２〜０．０８ｍｍの噴射材を噴射し、
   前記噴射材の噴射量が０．２〜０．８Ｋｇ／分、前記噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離が２００ｍｍ以上５００ｍｍ以下である
   ことを特徴とするバルク状セラミックスからなるコア部材のバリ取り処理方法。
2. 請求項１に記載のコア部材のバリ取り処理方法に用いるバリ取り装置であって、前記複数のタンブラと、該複数のタンブラを回転させる少なくとも１以上の回転機構と、噴射材が混在した気体の噴流を噴射する複数のノズル・アセンブリを備え、前記タンブラの外周を形成する壁面に多数の貫通穴が設けられており、前記筒状の内壁には攪拌促進部材が設けられたことを特徴とする電子部品の部材のバリ取り装置。
3. 前記タンブラの開口部と、前記ノズル・アセンブリは、対向しており、前記噴射材の噴射は前記タンブラの開口部から前記有底の筒状のタンブラに投入された前記複数のコア部材の複数のフランジの隙間に生じた凸部のバリに向かって行なわれることを特徴とする請求項２に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。
4. 前記タンブラは２０°〜４０°の角度で傾けられて設置されていることを特徴とする請求項３に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。
5. 前記タンブラが上部に開口部を有する多角形の箱状物もしくは有底の円筒状物であることを特徴とする請求項４に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。
6. 前記ノズル・アセンブリが噴射材の噴射時の移動を可能とするノズル・アセンブリ設置部材により、前記噴射材が混在した気体の噴流を発するノズル先端の開口からバルク状セラミックスからなるコア部材までの距離を所定の範囲内に制御することを特徴とする請求項５に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。
7. 前記ノズル・アセンブリ設置部材により、噴射を終えた後に前記ノズル・アセンブリを移動させてタンブラを交換することを特徴とする請求項６に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。
8. 前記ノズル・アセンブリは、圧縮空気を前記ノズルホルダ内部に導入し、前記ノズルホルダ内部に負圧を発生させる空気ノズルと、
   前記ノズル・アセンブリの内部で発生した負圧により吸引された噴射材が通過する経路と、前記圧縮空気に噴射材を混合する混合室とを有するノズルホルダと、
   前記混合室で混合された圧縮空気と噴射材を前記コア部材に向かって噴射するための噴射ノズルと、を備え、
   前記ノズルホルダと前記空気ノズルとの間の接続部と、前記ノズルホルダと前記噴射ノズルとの間の接続部とのうちの少なくとも一方は密封部材を有していることを特徴とする請求項７に記載の電子部品の部材のバリ取り装置。

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