JP6087655B2 - 現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 - Google Patents
現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6087655B2 JP6087655B2 JP2013028769A JP2013028769A JP6087655B2 JP 6087655 B2 JP6087655 B2 JP 6087655B2 JP 2013028769 A JP2013028769 A JP 2013028769A JP 2013028769 A JP2013028769 A JP 2013028769A JP 6087655 B2 JP6087655 B2 JP 6087655B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyimide precursor
- group
- resin composition
- developing
- developer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
- G03F7/325—Non-aqueous compositions
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/022—Quinonediazides
- G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0387—Polyamides or polyimides
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
本発明に係るポリイミド前駆体用現像液は、(a)N,N,N’,N’−テトラメチルウレア及び(b)炭素数1〜5の低級アルコールを少なくとも含有する。
(a)N,N,N’,N’−テトラメチルウレアは、本発明に係るポリイミド前駆体用現像液に現像性を付与する成分であり、従来のポリイミド前駆体用現像液に含有されているN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等の双極性非プロトン性極性有機溶剤と同様に、ポリイミド前駆体の現像処理に用いることができる。また、(a)N,N,N’,N’−テトラメチルウレアは、ポリイミド前駆体用現像液に含有されることにより、このような現像液を用いた現像工程において、現像マージンを大きくすることができ、ポリイミド系樹脂膜の膜厚を減少しにくくすることができる。更に、(a)N,N,N’,N’−テトラメチルウレアは、高懸念物質(SVHC)に指定されておらず、毒性の低い化合物であるため、安全性が高い。
(b)炭素数1〜5の低級アルコールは、本発明に係るポリイミド前駆体用現像液において、溶剤成分として用いられる。(b)炭素数1〜5の低級アルコールとしては、例えば、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルケニル基、炭素数1〜5のアルキニル基を有するアルコール等が挙げられ、より具体的には、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、イソブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、n−アミルアルコール、iso−アミルアルコール、アリルアルコール、プロパルギルアルコール等が挙げられ、特にメチルアルコール及びイソプロピルアルコールが好適である。(b)炭素数1〜5の低級アルコールは単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
本発明に係るポリイミド前駆体用現像液は、(c)グリコール及び/又はグリコールエーテルを含有してもよい。本発明に係るポリイミド前駆体用現像液は、(c)グリコール及び/又はグリコールエーテルを含有すると、現像処理後の樹脂膜又は樹脂成形体の面内寸法均一性が向上しやすくなる。
上記式(1)中、RAは炭素数2〜5のアルキレン基を表し、RBは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のヒドロキシアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族基を示す。芳香族基としては、例えば、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基等が挙げられる。置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基等が挙げられる。
本発明に係るポリイミド前駆体用現像液は、現像性等に悪影響を及ぼさない範囲内で、上記以外の溶剤を含有してもよい。これらの溶剤としては、アルコール類、エステル類、炭化水素類、エーテル類等が好適なものとして挙げられる。
本明細書において、本発明に係るポリイミド前駆体用現像液を適用する対象となるポリイミド前駆体とは、加熱や触媒による閉環(イミド化)により、ポリイミド樹脂を与える化合物をいう。ポリイミド前駆体は1種単独の化合物であっても、2種以上の混合物であってもよい。ポリイミド前駆体としては、例えば、ポリアミック酸が挙げられ、下記式(1)で表されるポリアミック酸が好ましい。
本発明に係る、感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法は、ポリイミド前駆体が光の作用によりイミド化する感光性ポリイミド前駆体である場合において、少なくとも一部分が露光された感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を、本発明に係るポリイミド前駆体用現像液で現像処理する工程を含むものである。
本発明に係るパターン形成方法は、感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物からなる塗膜又は成形体を形成する形成工程と、上記塗膜又は成形体を選択的に露光する露光工程と、露光後の塗膜又は成形体を本発明に係る現像処理方法で現像する現像工程とを含むものである。以下、各工程について説明する。
形成工程では、感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を被塗布体の表面に塗布したり、感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を適当な成形方法で成形したりして、感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物からなる塗膜又は成形体を形成する。塗布方法としては、例えば、ディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、スピンコート法、カーテンコート法等が挙げられる。塗膜の厚さは、特に限定されない。典型的には、塗膜の厚さは、2〜100μmが好ましく、3〜50μmがより好ましい。塗膜の厚さは、塗布方法や感エネルギー性樹脂組成物の固形分濃度や粘度を調節することにより、適宜制御することができる。
露光工程では、形成工程で得られる塗膜又は成形体を、所定のパターンに選択的に露光する。選択的露光は、通常、所定のパターンのマスクを用いて行われる。露光に用いられる放射線や露光量は、感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法の説明中で述べたのと同様である。
現像工程では、露光工程において所定のパターンに選択的に露光された塗膜又は成形体を本発明に係る現像処理方法で現像する。これにより、未露光部は、本発明に係るポリイミド前駆体用現像液に溶解し、上記選択的に露光された塗膜又は成形体から除去される。現像方法は、感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法の説明中で述べたのと同様である。
本発明に係るパターン形成方法は、現像後の塗膜又は成形体を加熱する加熱工程を含んでもよい。これにより、露光工程を経ても塗膜又は成形体中にポリイミド前駆体が残存していた場合に、このようなポリイミド前駆体の閉環が更に促進され、イミド化がより十分なものとなる。加熱温度は、適宜、調整されるが、例えば、120〜350℃、好ましくは150〜350℃に設定される。このような範囲の温度でポリイミド前駆体を加熱することにより、ポリイミド樹脂の熱劣化や熱分解を抑制しつつ、イミド化をより十分なものとすることができる。
実施例及び比較例では、以下に示す(a)成分、(a’)成分、(b)成分、(c)成分、テトラカルボン酸二無水物、ジアミン、溶剤、感光剤、及び添加剤を用いた。
・(a)成分
TMU:N,N,N’,N’−テトラメチルウレア
・(a’)成分
NMP:N−メチル−2−ピロリドン
・(b)成分
MeOH:メチルアルコール
iPrOH:イソプロパノール
・(c)成分
EGBE:エチレングリコールモノブチルエーテル
DEG:ジエチレングリコール
・テトラカルボン酸二無水物
TMU:N,N,N’,N’−テトラメチルウレア
・感光剤
撹拌機、温度計、及び窒素導入管を備えた三口フラスコに、表1〜3に記載の種類及び量の、(a)成分又は(a’)成分と、(b)成分と、(c)成分とを入れ、室温で1時間撹拌混合して、ポリイミド前駆体用現像液を得た。
撹拌機、撹拌羽根、還流冷却器、窒素ガス導入管を備えた容量5Lのセパラブルフラスコに、表1〜3に記載の種類及び量の、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンと、溶剤と、添加剤3及び4とを投入した。窒素ガス導入管よりフラスコ内に窒素を導入し、フラスコ内を窒素雰囲気とした。次いで、フラスコの内容物を撹拌しながら、50℃で20時間撹拌して、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンとを反応させて、ポリアミック酸溶液を得た。
続いて、得られたポリアミック酸溶液10gに、撹拌しながら、表1〜3に記載の種類及び量の、感光剤と、添加剤1又は2とを加えて混合した後、フィルタ濾過して感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を得た。
得られた感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物をシリコンウエハ上に滴下し、スピンコートした。次に、ホットプレートを用いて、90℃で120秒加熱し、膜厚12μmの感光性ポリイミド前駆体塗膜を形成した。ラインアンドスペースパターンのマスクを用いて、i線ステッパーで0.5秒間、上記塗膜を露光した。露光された塗膜について、130℃のホットプレート上で60秒加熱した後、上記で調製したポリイミド前駆体用現像液を用いて60秒間パドル現像し、エタノールでリンスした。
(環境毒性)
2012年12月1日現在で、高懸念物質(SVHC)に指定されている物質が現像液に含まれていない場合、環境毒性が低い(○)と判定し、そのような物質が現像液に含まれている場合、環境毒性が高い(×)と判定した。結果を表1〜3に示す。
スピンコート後の膜厚に対する、i線ステッパーで露光し、60秒間現像後の膜厚の比率を算出した。上記比率が85%以上であった場合を良(◎)と判定し、80%以上85%未満であった場合をやや良(○)と判定し、80%未満であった場合を不良(×)と判定した。結果を表1〜3に示す。
i線ステッパーで露光し、60秒間現像した後で、形成されたラインの幅を測定し、最小の線幅を求めた。上記最小の線幅が10μm以下であった場合を良(◎)と判定し、10μm超15μm以下であった場合をやや良(○)と判定し、15μm以上であった場合を不良(×)と判定した。結果を表1〜3に示す。
一方、N−メチル−2−ピロリドンを含有する比較例1〜21のポリイミド前駆体用現像液は、環境毒性が高く、現像工程におけるポリイミド系樹脂膜の膜厚の減少が大きくなる場合や現像マージンが小さくなる場合があった。
Claims (5)
- (a)N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、(b)炭素数1〜5の低級アルコールとを含有してなるポリイミド前駆体用現像液。
- (c)グリコール及び/又はグリコールエーテルを更に含有する請求項1記載のポリイミド前駆体用現像液。
- 前記ポリイミド前駆体が光の作用によりイミド化する感光性ポリイミド前駆体である請求項1又は2に記載のポリイミド前駆体用現像液。
- 少なくとも一部分が露光された感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を請求項3記載のポリイミド前駆体用現像液で現像処理する工程を含み、
前記感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物中のポリイミド前駆体が光の作用によりイミド化する感光性ポリイミド前駆体である、感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法。 - 感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物からなる塗膜又は成形体を形成する形成工程と、
前記塗膜又は成形体を選択的に露光する露光工程と、
露光後の塗膜又は成形体を請求項4記載の現像処理方法で現像する現像工程とを含み、
前記感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物中のポリイミド前駆体が光の作用によりイミド化する感光性ポリイミド前駆体であるパターン形成方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013028769A JP6087655B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 |
US14/168,305 US9891527B2 (en) | 2013-02-18 | 2014-01-30 | Developing solution and development processing method of photosensitive resin composition |
KR1020140015803A KR102149136B1 (ko) | 2013-02-18 | 2014-02-12 | 현상액 및 감광성 수지 조성물의 현상 처리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013028769A JP6087655B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014157310A JP2014157310A (ja) | 2014-08-28 |
JP6087655B2 true JP6087655B2 (ja) | 2017-03-01 |
Family
ID=51351437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013028769A Active JP6087655B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9891527B2 (ja) |
JP (1) | JP6087655B2 (ja) |
KR (1) | KR102149136B1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100376759B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2003-03-17 | 정동빈 | 산소 발생장치 |
JP5871771B2 (ja) * | 2012-10-26 | 2016-03-01 | 東京応化工業株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド樹脂パターンの形成方法、及びパターン化されたポリイミド樹脂膜 |
CN106574050B (zh) * | 2014-06-04 | 2019-09-03 | 宇部兴产株式会社 | 生产聚酰亚胺膜的方法 |
US10696845B2 (en) | 2015-03-27 | 2020-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Energy-sensitive resin composition |
JP6541460B2 (ja) * | 2015-06-24 | 2019-07-10 | 東京応化工業株式会社 | パターン形成方法 |
CN107922733B (zh) | 2015-08-07 | 2020-09-11 | 东京应化工业株式会社 | 聚酰亚胺前体组合物 |
KR20180103120A (ko) | 2016-01-20 | 2018-09-18 | 제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤 | 폴리이미드 필름의 제조 방법, 폴리이미드 필름, 폴리아미드산 용액 및 감광성 조성물 |
WO2019003913A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物、樹脂膜及び電子装置 |
JP7233679B2 (ja) * | 2018-08-22 | 2023-03-07 | 国立大学法人静岡大学 | ポリイミド微細構造体の製造方法 |
KR20230054428A (ko) * | 2020-09-29 | 2023-04-24 | 후지필름 가부시키가이샤 | 경화물의 제조 방법, 적층체의 제조 방법, 및, 반도체 디바이스의 제조 방법 |
WO2023233896A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | 東京応化工業株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58223149A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-24 | Toray Ind Inc | 感光性ポリイミド用現像液 |
JPS59100135A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 樹脂組成物 |
DE4217688A1 (de) * | 1992-05-29 | 1993-12-02 | Basf Lacke & Farben | Durch Einwirkung von Strahlung vernetzendes Gemisch und dessen Verwendung zur Herstellung hochtemperaturbeständiger Reliefstrukturen |
JPH06102674A (ja) * | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 感光性ポリアミド酸エステル樹脂組成物のパターン加工方法 |
US5589324A (en) * | 1993-07-13 | 1996-12-31 | International Paper Company | Antistatic layer for photographic elements comprising polymerized polyfunctional aziridine monomers |
JP3358280B2 (ja) | 1994-03-30 | 2002-12-16 | 東レ株式会社 | 感光性ポリイミド前駆体用現像液 |
JP3501877B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2004-03-02 | 日本ゼオン株式会社 | 感光性ポリイミド用現像液 |
JPH10123725A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nippon Zeon Co Ltd | 感光性ポリイミド用現像液 |
US6120978A (en) * | 2000-01-06 | 2000-09-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Use of N,N-dialkyl ureas in photoresist developers |
US6723493B2 (en) * | 2001-06-04 | 2004-04-20 | Gary Ganghui Teng | Negative lithographic printing plate comprising a specific compound in the photosensitive layer |
JP4164750B2 (ja) * | 2003-05-23 | 2008-10-15 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | 感光性ポリイミド前駆体用現像液及びこれを用いた現像処理方法 |
WO2005101125A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-27 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd. | 耐熱感光性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン製造方法、及び電子部品 |
JP5003481B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2012-08-15 | 東レ株式会社 | 感光性組成物、ディスプレイ部材およびその製造方法 |
JP5123846B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2013-01-23 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物及び感光性フィルム |
JP2008122667A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-05-29 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性樹脂組成物及び半導体デバイス |
JP5571914B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2014-08-13 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置 |
JP2011208025A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ポリイミド前駆体及びポリイミド前駆体を用いた感光性樹脂組成物 |
-
2013
- 2013-02-18 JP JP2013028769A patent/JP6087655B2/ja active Active
-
2014
- 2014-01-30 US US14/168,305 patent/US9891527B2/en active Active
- 2014-02-12 KR KR1020140015803A patent/KR102149136B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140234784A1 (en) | 2014-08-21 |
JP2014157310A (ja) | 2014-08-28 |
US9891527B2 (en) | 2018-02-13 |
KR20140103845A (ko) | 2014-08-27 |
KR102149136B1 (ko) | 2020-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6087655B2 (ja) | 現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 | |
JP5871771B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド樹脂パターンの形成方法、及びパターン化されたポリイミド樹脂膜 | |
JP2005250160A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びその硬化物 | |
JP5538779B2 (ja) | 感光性樹脂組成物および該組成物を使用した反応現像画像形成方法 | |
JP2016200643A (ja) | 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
KR20120069293A (ko) | 포지티브형 감광성 수지 조성물 | |
KR20160087345A (ko) | 감광성 수지 조성물, 그의 드라이 필름 및 경화물, 경화물을 포함하는 전자 부품 또는 광학 제품, 및 감광성 수지 조성물을 포함하는 접착제 | |
JP5257450B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれらを用いた半導体装置、表示体装置 | |
TWI696893B (zh) | 正型感光性樹脂組成物、乾式薄膜、硬化物及印刷配線板 | |
JP5029307B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置。 | |
WO2018056013A1 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および半導体素子 | |
JP2019148750A (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、および電子部品 | |
JP5146821B2 (ja) | 反応現像画像形成法 | |
JP6138943B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、そのレリーフパターン膜、レリーフパターン膜の製造方法、レリーフパターン膜を含む電子部品又は光学製品、及び感光性樹脂組成物を含む接着剤 | |
JP6227916B2 (ja) | 感エネルギー性樹脂組成物 | |
JPH07134414A (ja) | 耐熱性ポジ型フォトレジスト組成物 | |
JPH06161110A (ja) | 耐熱性ポジ型フォトレジスト組成物およびそれを用いた感光性基材ならびにパターン形成方法 | |
CN108700805B (zh) | 感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板和光产碱剂 | |
JP5119547B2 (ja) | 反応現像画像形成法 | |
JP2001255657A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2003302761A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4488611B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2010139931A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法 | |
JP7360380B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および半導体素子 | |
JP7134165B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および半導体素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160719 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6087655 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |