JP6014050B2 - 改善されたpsd性能を有するシリコン研磨用組成物 - Google Patents
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-
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Description
粗さを測定する他のパラメータは、平均表面水準からの平坦性からの偏差の相加平均である表面粗さ、又は平均粗さ(Ra)である。粗さの分布対特徴部の空間周波数は、パワースペクトル密度(PSD)関数、又はパワースペクトルによって定義される。PSDは、表面の画像から空間パワースペクトルを計算することによって、表面粗さのデータを提供する。
[例1]
[例2]
[例3]
本発明は、以下の態様を含んでいる。
(1)化学機械研磨用組成物であって:(a)シリカ、(b)一つ以上のテトラアルキルアンモニウム塩、(c)一つ以上の重炭酸塩、(d)一つ以上のアルカリ金属水酸化物、(e)一つ以上のアミノホスホン酸、(f)複素環式アミン、モノアミノ酸、及びヒドロキシ酸からなる群から選択した一つ以上の速度促進化合物、(g)ヒドロキシアルキルセルロース、デキストラン、カルボキシル化デキストラン、及びスルホン化デキストランからなる群から選択される一つ以上の多糖であって、少なくとも一つの多糖が300,000g/mol未満の平均分子量を有する多糖、並びに(f)水を含む、化学機械研磨用組成物。
(2)少なくとも一つの速度促進化合物が複素環式アミンである、(1)に記載した研磨用組成物。
(3)複素環式アミンが複素環芳香族アミン、及び複素環脂肪族アミンからなる群から選択される、(2)に記載した研磨用組成物。
(4)複素環式アミンが複素環芳香族アミンである、(3)に記載した研磨用組成物。
(5)複素環芳香族アミンが1,2,4―トリアゾールである、(4)に記載した研磨用組成物。
(6)複素環式アミンが複素環脂肪族アミンである、(3)に記載した研磨用組成物。
(7)複素環脂肪族アミンがアミノエチルピペラジンである、(6)に記載した研磨用組成物。
(8)少なくとも一つの速度促進化合物がモノアミノ酸である、(1)に記載した研磨用組成物。
(9)モノアミノ酸がグリシンである、(8)に記載した研磨用組成物。
(10)少なくとも一つの速度促進化合物がヒドロキシ酸である、(1)に記載した研磨用組成物。
(11)ヒドロキシ酸が乳酸である、(10)に記載した研磨用組成物。
(12)少なくとも一つの多糖がヒドロキシアルキルセルロースである、(1)に記載した研磨用組成物。
(13)ヒドロキシアルキルセルロースがヒドロキシエチルセルロースである、(12)に記載した研磨用組成物。
(14)少なくとも一つの多糖がデキストランである、(1)に記載した研磨用組成物。
(15)少なくとも一つの多糖がカルボキシル化デキストランである、(1)に記載した研磨用組成物。
(16)少なくとも一つの多糖がスルホン化デキストランである、(1)に記載した研磨用組成物。
(17)少なくとも一つのテトラアルキルアンモニウム塩が水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、及び水酸化テトラプロピルアンモニウムからなる群から選択される、(1)に記載した研磨用組成物。
(18)アミノホスホン酸がアミノトリ(メチレンホスホン酸)である、(1)に記載した研磨用組成物。
(19)シリカが研磨用組成物の8質量%〜12質量%の量において存在する、(1)に記載した研磨用組成物。
(20)テトラアルキルアンモニウム塩が研磨用組成物の2質量%〜3質量%の量において存在する、(17)に記載した研磨用組成物。
(21)速度促進化合物が研磨用組成物の0.125質量%〜0.375質量%の量において存在する、(1)に記載した研磨用組成物。
(22)多糖が研磨用組成物の最高0.05質量%の量において存在する、(1)に記載した研磨用組成物。
(23)基質を化学機械研磨する方法であって:(i)基質を、研磨パッド及び(1)に記載した化学機械研磨用組成物に接触させる工程と、(ii)基質と研磨パッドとの間に化学機械研磨用組成物を置いて、研磨パッドを基質に対して動かす工程と、(iii)少なくとも基質の一部を摩耗して、基質を研磨する工程とを含む、基質を化学機械研磨する方法。
Claims (13)
- (a)シリカ、(b)一つ以上のテトラアルキルアンモニウム塩、(c)一つ以上の重炭酸塩、(d)一つ以上のアルカリ金属水酸化物、(e)一つ以上のアミノホスホン酸、(f)複素環式アミン、モノアミノ酸、及びヒドロキシ酸からなる群から選択した一つ以上の速度促進化合物、(g)ヒドロキシアルキルセルロース、デキストラン、カルボキシル化デキストラン、及びスルホン化デキストランからなる群から選択される一つ以上の多糖であって、少なくとも一つの多糖が300,000g/mol未満の平均分子量を有する多糖、並びに(f)水を含む、化学機械研磨用組成物であって、
少なくとも一つの速度促進化合物が複素環式アミンである、研磨用組成物。 - 複素環式アミンが複素環芳香族アミン、及び複素環脂肪族アミンからなる群から選択される、請求項1に記載した研磨用組成物。
- 複素環式アミンが複素環芳香族アミンである、請求項2に記載した研磨用組成物。
- 複素環芳香族アミンが1,2,4―トリアゾールである、請求項3に記載した研磨用組成物。
- 複素環式アミンが複素環脂肪族アミンである、請求項2に記載した研磨用組成物。
- 複素環脂肪族アミンがアミノエチルピペラジンである、請求項5に記載した研磨用組成物。
- (a)シリカ、(b)一つ以上のテトラアルキルアンモニウム塩、(c)一つ以上の重炭酸塩、(d)一つ以上のアルカリ金属水酸化物、(e)一つ以上のアミノホスホン酸、(f)複素環式アミン、モノアミノ酸、及びヒドロキシ酸からなる群から選択した一つ以上の速度促進化合物、(g)ヒドロキシアルキルセルロース、デキストラン、カルボキシル化デキストラン、及びスルホン化デキストランからなる群から選択される一つ以上の多糖であって、少なくとも一つの多糖が300,000g/mol未満の平均分子量を有する多糖、並びに(f)水を含む、化学機械研磨用組成物であって、
少なくとも一つの多糖がデキストランである、研磨用組成物。 - (a)シリカ、(b)一つ以上のテトラアルキルアンモニウム塩、(c)一つ以上の重炭酸塩、(d)一つ以上のアルカリ金属水酸化物、(e)一つ以上のアミノホスホン酸、(f)複素環式アミン、モノアミノ酸、及びヒドロキシ酸からなる群から選択した一つ以上の速度促進化合物、(g)ヒドロキシアルキルセルロース、デキストラン、カルボキシル化デキストラン、及びスルホン化デキストランからなる群から選択される一つ以上の多糖であって、少なくとも一つの多糖が300,000g/mol未満の平均分子量を有する多糖、並びに(f)水を含む、化学機械研磨用組成物であって、
少なくとも一つの多糖がカルボキシル化デキストランである、研磨用組成物。 - (a)シリカ、(b)一つ以上のテトラアルキルアンモニウム塩、(c)一つ以上の重炭酸塩、(d)一つ以上のアルカリ金属水酸化物、(e)一つ以上のアミノホスホン酸、(f)複素環式アミン、モノアミノ酸、及びヒドロキシ酸からなる群から選択した一つ以上の速度促進化合物、(g)ヒドロキシアルキルセルロース、デキストラン、カルボキシル化デキストラン、及びスルホン化デキストランからなる群から選択される一つ以上の多糖であって、少なくとも一つの多糖が300,000g/mol未満の平均分子量を有する多糖、並びに(f)水を含む、化学機械研磨用組成物であって、
少なくとも一つの多糖がスルホン化デキストランである、研磨用組成物。 - 少なくとも一つの速度促進化合物がモノアミノ酸である、請求項7〜9のいずれか1項に記載した研磨用組成物。
- モノアミノ酸がグリシンである、請求項7〜9のいずれか1項に記載した研磨用組成物。
- 少なくとも一つの速度促進化合物がヒドロキシ酸である、請求項7〜9のいずれか1項に記載した研磨用組成物。
- ヒドロキシ酸が乳酸である、請求項12に記載した研磨用組成物。
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