JP6005280B2 - 半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
工程0.絶縁材質からなる板体(以下絶縁シート)に、キャビティ用の穴形成、回路形成
工程1.工程0で形成した絶縁シートと接着層とを積層
工程2.スルーホールの穴開け加工
工程3.スルーホール、積層体底面および天面へのめっき施工
工程4.積層体底面および天面のめっき不要部をエッチングで除去
工程5.ソルダーレジスト塗布、パターニング
工程6.金めっき
工程7.ダイシングにより個片化
図1は、実施の形態1による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図2は、図1(a)および(b)のA−B−C線で切断した状態を示す断面図である。図3(a)から(c)は、実施の形態1の半導体パッケージの分解斜視図である。図4は、実施の形態1の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。
図9は、本発明にかかる積層型半導体パッケージの製造工程を示す要部断面図である。本実施の形態と前記実施の形態1との異なる点は、本実施の形態では第1および第2の積層体の形成に際し、剥離シートを介することなく、周縁領域R0にのみ接着剤24を塗布して接着層を形成して第1および第2の積層体を接合した点である。従って製造に際しても、あらかじめ第1および第2の積層体を形成するのではなく、第1および第2の絶縁性樹脂板および第1および第2中間層を順次積層していくことで第1および第2の積層体を積層した状態を形成する。他の工程については、実施の形態1と同様に形成する。同一部位には同一符号を付した。
図10は、実施の形態3による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図11は、図10(a)および(b)のA−B−C線で切断した状態を示す断面図である。図12は、実施の形態3の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。図13は、実施の形態3の半導体パッケージの製造工程で製造された半導体パッケージの個別ダイシング前の積層体を示す図である。本実施の形態では、第1の積層板10に形成された2つの第1のキャビティ15a,15bを塞ぐように、蓋板80を用いたことを特徴とするもので、他については前記実施の形態1と同様である。同一部位には同一符号を付した。
図14は、実施の形態4による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図15は、同方法で形成された半導体パッケージを示す斜視図である。
Claims (10)
- 第1および第2主面を有する第1の絶縁性樹脂板と、
前記第2主面に積層され少なくともひとつの第1のキャビティを構成する開口部を有する第1中間層とを有する、第1の積層体を形成する工程と、
第1および第2主面を有する第2の絶縁性樹脂板と、
前記第2主面に積層され少なくともひとつの第2のキャビティを構成する開口部を有する第2中間層とを有する、第2の積層体を形成する工程と、
前記第1および第2中間層の少なくとも一方の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記第1および第2のキャビティを互いに塞ぐように前記第1および第2中間層を接合する工程と、
前記周縁領域よりも内側に前記第1および第2の積層体の接合面を含む一部を残して貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含み前記第1および第2の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、前記第1および第2の積層体を分断する工程とを含み、
前記第1のキャビティを有する第1のパッケージおよび第2のキャビティを有する第2のパッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。 - 前記第1および第2中間層は、前記接着剤の形成されていない領域は、剥離シートを介して接合される請求項1に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記第1および第2の積層体を形成する工程は、
各層を貫通する開口部を有する前記第1および第2中間層を形状加工する工程と、
前記第1および第2の絶縁性樹脂板のそれぞれに、接着層を介して前記第1および第2中間層を、積層する工程とを有する請求項1または2に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記接着層は熱硬化性樹脂である請求項3に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記第1および第2の絶縁性樹脂板は、ガラスエポキシ基板である請求項4に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記分断する工程は、前記第1および第2の積層体をそれぞれ複数の半導体パッケージに分断する工程である請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記第1中間層は、前記ダイシングラインに沿って分断される、1つの領域内に、複数の開口部を有する請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記第1中間層は、複数層で構成されており、
前記ダイシングラインに沿って分断される、1つの領域内に、前記複数層のうち最外層で貫通しない第1の開口部と、最外層まで貫通する第2の開口部とを有し、
深さの異なる複数のキャビティを有する半導体パッケージを形成する請求項7に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 第1および第2主面を有する、絶縁性樹脂板と、
前記第2主面に積層され、少なくともひとつのキャビティを構成する開口部を有する絶縁性樹脂からなる中間層とを、
有する、積層体を形成する工程と、
前記中間層の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記キャビティを塞ぐように前記中間層に、蓋板を接合する工程と、
前記接着剤の形成された前記周縁領域よりも内側に、前記蓋板との接合面を含む前記中間層の一部を残して、貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含むダイシングラインに沿って、前記積層体を分断するとともに、前記蓋板を除去する工程と、
を含み、第2主面側にキャビティを有する半導体パッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。 - 第1および第2主面を有する第1の絶縁性樹脂板と、
前記第2主面に積層され少なくともひとつの第1のキャビティを構成する開口部を有する第1中間層とを有する、第1の積層体を形成する工程と、
第1および第2主面を有する第2の絶縁性樹脂板と、
前記第2主面に積層され少なくともひとつの第2のキャビティを構成する開口部を有する第2中間層とを有する、第2の積層体を形成する工程と、
前記第1および第2中間層の少なくとも一方の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記第1および第2のキャビティを互いに塞ぐように前記第1および第2中間層を接合する工程と、
前記周縁領域よりも内側に前記第1および第2の積層体を貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含み前記第1および第2の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、前記第1および第2の積層体を分断する工程とを含み、
前記第1のキャビティを有する第1のパッケージおよび第2のキャビティを有する第2のパッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。
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