JP5938712B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5938712B2 JP5938712B2 JP2012539562A JP2012539562A JP5938712B2 JP 5938712 B2 JP5938712 B2 JP 5938712B2 JP 2012539562 A JP2012539562 A JP 2012539562A JP 2012539562 A JP2012539562 A JP 2012539562A JP 5938712 B2 JP5938712 B2 JP 5938712B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- semiconductor device
- vias
- layer
- dummy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 143
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 14
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 113
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 32
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 31
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 31
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 27
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000000191 radiation effect Effects 0.000 description 4
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Geometry (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
実施形態を説明する前に、スタックドビア構造の課題である電流集中及びジュール発熱について図面を参照して説明する。なお、本明細書中において、「スタックドビア」とは、複数層の配線が形成されている場合に、上層配線と下層配線との間を電気的に接続する、複数段積み重ねられたビアの集合体をいい、上層のビアと下層のビアとが基板上方から見て少なくとも一部オーバーラップしていれば、スタックドビアと呼ぶものとする。また、「スタックドビア構造」とは、所定の領域で複数のビア同士がスタックドビアを形成する場合、これらのスタックドビアを含む配線接続構造を指すものとする。
ここで、ビア部の電流集中及びジュール発熱について考えてみる。上記の式から、例えばRwとRvの値が互いに等しいとすると、ビア21bにはビア21aと比較して1.5倍の電流が流れることが分かる。これと同様に、ビア22aにはビア22bと比較して1.5倍の電流が流れることも分かる。このとき、ジュール熱Qは、抵抗Rと電流Iの2乗との積に比例する(Q∝RI2)ので、ビア21bには、ビア21aと比較して2.25倍のジュール熱が発生し、ビア22aにはビア22bと比較して2.25倍のジュール熱が発生する。
本発明の第1の実施形態に係る半導体装置について、図を参照して説明する。
なお、「中間層の配線」とは、複数の配線層内に設けられた配線のうち最下層配線及び最上層配線以外の配線層内に形成された配線のことをいうものとする。
図5(a)は、第1の実施形態の第1の変形例に係る半導体装置におけるスタックドビア構造を示す斜視図(左図)、及び配線12の平面図(右図)であり、(b)は、第2の参考例に係る半導体装置におけるスタックドビア構造を示す斜視図(左図)、及び配線12の平面図(右図)である。
図6は、第1の実施形態の第2の変形例に係る半導体装置を示す断面図である。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
図8(a)は、アナログドライバ回路などを構成する並列トランジスタにスタックドビア構造を使用した第4の参考例に係る半導体装置のセルのレイアウトを示す図であり、(b)は、アナログドライバ回路などを構成する並列トランジスタに第2の実施形態に係るスタックドビア構造を適用した具体例のレイアウトを示す図である。
図9(a)は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
図10(a)は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。同図に示すように、本実施形態に係る半導体装置では、半導体からなる基板(図示せず)の上方に下から順に積層された第1配線層内の配線11、第2配線層内の配線12、及び第3配線層内の配線13と、配線11と配線12とをそれぞれ接続する複数のビア21と、配線12と配線13とを接続する複数のビア22とを備えている。配線12は、複数のビア21のうち、配線12の一方の端部に最も近いビア21b、すなわち配線12に流れる電流の進行方向の先端部のビア21bの端から拡張された拡張部12xを有している。複数のビア21は互いに並列に配置されたビア21a、21bを含み、複数のビア22は互いに並列に配置されたビア22a、22bを含んでいる。これら複数のビア21、22はそれぞれある程度の狭いピッチで並べられている。このようなスタックドビア構造は、通常の多層配線と比較して電流経路における抵抗が低く電圧効果(IRドロップ)が最小となるため、電源供給部など大電流を供給する部分で好ましく使用される。
11x、12x、12y 拡張部
11、12、12a、12b、13、14 配線
11y、13x、14x ダミー配線
21、22、23 (複数の)ビア
21a、21b、22a、22b、23a、23b ビア
21x、22x、23x ダミービア
30a、30b ゲート電極
35、60 不純物拡散層
37 ダミー拡散層
40 素子分離領域
45、45a、45b スタックドビア
Claims (18)
- 基板の上または上方に形成された複数の第1のビアと、前記複数の第1のビア上に形成された第1の配線と、前記第1の配線上に形成された複数の第2のビアと、前記複数の第2のビア上に形成された第2の配線とを含むスタックドビア構造を備え、
前記複数の第1のビアのうち、前記第1の配線の一方の端部に最も近い第1のビアと、前記複数の第2のビアのうち、前記第1の配線の一方の端部に最も近い第2のビアとは平面的に見て少なくとも一部が重なっており、
前記第1の配線の配線抵抗と前記第2の配線の配線抵抗は互いに等しく、
前記複数の第1のビアの各抵抗と前記複数の第2のビアの各抵抗は互いに等しく、
前記第1の配線の一方の端部に最も近い前記第1のビアは、前記複数の第1のビアのうちで前記第1の配線に流れる電流の進行方向の先端に位置するビアであり、
前記第1の配線は、前記第1の配線の一方の端部に最も近い前記第1のビアの端の位置から前記一方の端部に向かって、前記第1のビアのビア幅の6倍以上拡張された第1の拡張部を有している半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記基板は前記複数の第1のビアによって前記第1の配線に接続されている半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記基板上方であって、前記第1の配線の下に形成された第3の配線をさらに備えている半導体装置。 - 請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の配線は、前記第1の配線の一方の端部に最も近い前記第1のビアの端の位置から前記第1の拡張部の拡張方向と交差する方向に向かって拡張する第2の拡張部を有している半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記第2の拡張部の長さは前記第1のビアの前記第1の拡張部の拡張方向と交差する方向におけるビア幅の6倍以上である半導体装置。 - 請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第2の配線の上方に、1層以上形成された上層配線と、
前記第2の配線と前記上層配線との間を電気的に接続し、前記複数の第1のビアおよび前記複数の第2のビアと平面的に見て少なくとも一部が重なる上層ビアとをさらに備えている半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置において、
前記第2の配線及び前記上層配線のうち、最上層配線を除く中間層の配線の少なくとも一つには、前記第2のビアまたは前記上層ビアの端の位置から前記中間層の配線のそれぞれの端部に向かって拡張された第3の拡張部が形成されている半導体装置。 - 請求項6または7に記載の半導体装置において、
前記複数の第1のビアは最下層配線に接続されたビアであり、
前記上層配線のうち、最上層配線に接続された前記上層ビアのビア幅は、前記第1のビアのビア幅の2倍以上である半導体装置。 - 請求項6または7に記載の半導体装置において、
前記複数の第1のビアは最下層配線に接続されたビアであり、
前記上層配線のうち、最上層配線に接続された前記上層ビアの数は前記複数の第1のビアの数よりも少ない半導体装置。 - 請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第2の配線が最上層配線であり、
前記複数の第1のビアは最下層配線に接続されたビアであり、
前記第2のビアのビア幅は、前記第1のビアのビア幅の2倍以上である半導体装置。 - 請求項1〜10のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の拡張部の上に形成された第1のダミービアと、
前記第1のダミービア上であって、前記第2の配線と同じ配線層内に形成され、前記第
2の配線と電気的に接続されない第1のダミー配線とが形成されている半導体装置。 - 請求項11に記載の半導体装置において、
前記第1のダミー配線の上方に1層以上形成された上層ダミー配線と、
前記第1のダミー配線と前記上層ダミー配線との間に形成された上層ダミービアとをさらに備えている半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第1の拡張部の下に形成された第2のダミービアと、
前記第2のダミービアの下であって、前記第3の配線と同じ配線層内に形成され、前記第3の配線と電気的に接続されない第2のダミー配線とをさらに備えている半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記基板は、不純物を含み、前記複数の第1のビアに接続された拡散層と、不純物を含み、前記拡散層と電気的に分離されたダミー拡散層とを有しており、
前記第1の拡張部と前記ダミー拡散層とを直接接続する第3のダミービアをさらに備えている半導体装置。 - 請求項1〜14のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の配線の幅は、前記第2の配線の幅とほぼ等しい半導体装置。 - 請求項1〜15のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の拡張部は、前記第1の配線の一方の端部に最も近い前記第1のビアの端の位置から前記一方の端部に向かって、前記第1のビアのビア幅の8倍以上延伸されたものである半導体装置。 - 請求項1〜16のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の拡張部は屈曲部または曲線部を有している半導体装置。 - 請求項1〜17のうちいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の拡張部には前記第2の配線に接続されたビアが形成されておらず、
前記第1の拡張部には動作時に電流経路が形成されない半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010234868 | 2010-10-19 | ||
JP2010234868 | 2010-10-19 | ||
PCT/JP2011/002969 WO2012053130A1 (ja) | 2010-10-19 | 2011-05-27 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012053130A1 JPWO2012053130A1 (ja) | 2014-02-24 |
JP5938712B2 true JP5938712B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=45974862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012539562A Active JP5938712B2 (ja) | 2010-10-19 | 2011-05-27 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8994183B2 (ja) |
JP (1) | JP5938712B2 (ja) |
WO (1) | WO2012053130A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10741489B2 (en) * | 2011-09-19 | 2020-08-11 | Texas Instruments Incorporated | Rectangular via for ensuring via yield in the absence of via redundancy |
JP6214222B2 (ja) * | 2013-06-04 | 2017-10-18 | ローム株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US9818694B2 (en) | 2015-11-16 | 2017-11-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Active atomic reservoir for enhancing electromigration reliability in integrated circuits |
US9929087B2 (en) | 2015-11-16 | 2018-03-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Enhancing integrated circuit density with active atomic reservoir |
US10950540B2 (en) | 2015-11-16 | 2021-03-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Enhancing integrated circuit density with active atomic reservoir |
US20190148290A1 (en) * | 2017-11-15 | 2019-05-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Two-Dimensional Via Pillar Structures |
DE102018125018A1 (de) * | 2017-11-15 | 2019-05-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Zweidimensionale Durchkontaktierungssäulenstrukturen |
US11094695B2 (en) * | 2019-05-17 | 2021-08-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated circuit device and method of forming the same |
CN112347726B (zh) | 2019-08-08 | 2024-07-12 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 分析集成电路中电迁移的方法 |
US10963609B2 (en) * | 2019-08-08 | 2021-03-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for analyzing electromigration (EM) in integrated circuit |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677225A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-18 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置の配線形成方法 |
JPH0883797A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-03-26 | Texas Instr Inc <Ti> | ダミーバイアスを使用した高速lsi半導体の金属配線の改善方法および半導体素子 |
JPH09213696A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-15 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH1117072A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JPH11307633A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-11-05 | Sony Corp | 低誘電率膜を有する半導体装置、およびその製造方法 |
JP2006140326A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2007235157A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-09-13 | Ricoh Co Ltd | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
JP2007294586A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2008153549A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2009176980A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-08-06 | Seiko Npc Corp | パワーmosトランジスタ |
JP2010219332A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Toshiba Corp | 多層配線層の電源配線構造およびその製造方法 |
JP2010232239A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10214893A (ja) | 1996-11-26 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
US6207553B1 (en) * | 1999-01-26 | 2001-03-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of forming multiple levels of patterned metallization |
US6650010B2 (en) * | 2002-02-15 | 2003-11-18 | International Business Machines Corporation | Unique feature design enabling structural integrity for advanced low K semiconductor chips |
JP4287294B2 (ja) | 2004-01-21 | 2009-07-01 | 株式会社東芝 | 自動設計方法、自動設計装置、及び半導体集積回路 |
JP2008227130A (ja) | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路およびレイアウト設計方法 |
-
2011
- 2011-05-27 WO PCT/JP2011/002969 patent/WO2012053130A1/ja active Application Filing
- 2011-05-27 JP JP2012539562A patent/JP5938712B2/ja active Active
-
2013
- 2013-01-31 US US13/756,164 patent/US8994183B2/en active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677225A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-18 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置の配線形成方法 |
JPH0883797A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-03-26 | Texas Instr Inc <Ti> | ダミーバイアスを使用した高速lsi半導体の金属配線の改善方法および半導体素子 |
JPH09213696A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-15 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH1117072A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JPH11307633A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-11-05 | Sony Corp | 低誘電率膜を有する半導体装置、およびその製造方法 |
JP2006140326A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2007294586A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2008153549A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2007235157A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-09-13 | Ricoh Co Ltd | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
JP2009176980A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-08-06 | Seiko Npc Corp | パワーmosトランジスタ |
JP2010219332A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Toshiba Corp | 多層配線層の電源配線構造およびその製造方法 |
JP2010232239A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012053130A1 (ja) | 2012-04-26 |
JPWO2012053130A1 (ja) | 2014-02-24 |
US8994183B2 (en) | 2015-03-31 |
US20130140711A1 (en) | 2013-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5938712B2 (ja) | 半導体装置 | |
US9171767B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method for the same | |
JP4642908B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP2008182058A (ja) | 半導体装置および半導体装置形成方法 | |
JP2010147254A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009111013A (ja) | 半導体装置 | |
JP3590034B2 (ja) | 半導体容量素子及びその製造方法 | |
US7893536B2 (en) | Semiconductor device | |
JP4993929B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP5168872B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
JP7498094B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5405796B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20180261541A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2004006691A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
US20240249991A1 (en) | Thermal sensor device by back end of line metal resistor | |
JP5552261B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6569334B2 (ja) | 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 | |
JP5640438B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008227227A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6825659B2 (ja) | 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 | |
JP2010074018A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009295873A (ja) | 半導体装置 | |
JP2011071541A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP2005129969A (ja) | 多層接続方法及び半導体集積回路 | |
JP2005340555A (ja) | 半導体集積回路素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140122 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20141008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160419 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5938712 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
SZ03 | Written request for cancellation of trust registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313Z03 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |