JP5934056B2 - 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 - Google Patents
半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5934056B2 JP5934056B2 JP2012181986A JP2012181986A JP5934056B2 JP 5934056 B2 JP5934056 B2 JP 5934056B2 JP 2012181986 A JP2012181986 A JP 2012181986A JP 2012181986 A JP2012181986 A JP 2012181986A JP 5934056 B2 JP5934056 B2 JP 5934056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- film
- organic compound
- photoelectric conversion
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Description
化合物、CZTSのようなI−II−IV−VI族化合物、あるいは、CdTeのようなII−VI族化合物等がある。
図1は光電変換装置の一例を示す斜視図であり、図2はその断面図である。光電変換装置11は、基板1上に複数の光電変換セル10が並べられて互いに電気的に接続されている。なお、図1においては図示の都合上、2つの光電変換セル10のみを示しているが、実際の光電変換装置11においては、図面左右方向、あるいはさらにこれに垂直な方向に、多数の光電変換セル10が平面的に(二次元的に)配設されていてもよい。
等が挙げられる。
導体7は、例えば半導体や金属、導電ペースト等が用いられ得る。図1、図2においては、集電電極8を延伸して接続導体7が形成されているが、これに限定されない。例えば、上部電極層5が延伸したものであってもよい。
次に、上記構成を有する光電変換装置11の製造方法について説明する。まず、ガラス等から成る基板1の主面に、スパッタリング法等を用いてMo等から成る下部電極層2を所望のパターンに形成する。
合、第1の皮膜に含まれる金属元素であるCu、In、Ga等のI−B族元素およびIII
−B族元素は、有機配位子が結合した有機錯体の状態で含まれていてもよい。第1の皮膜において、有機化合物が金属元素と錯体を形成していると、後述する工程(2)や工程(3)において、配位した有機化合物が金属元素を安定に保持して活性力の高い状態を維持することができ、第1の半導体層3の結晶性を高めることができる。
ゲン元素含有有機化合物が金属元素を安定に保持して活性力の高い状態を維持することができ、後述する工程(2)や工程(3)において、配位したカルコゲン元素含有有機化合物が金属元素を安定に保持して活性力の高い状態を維持することができ、第1の半導体層
3の結晶性を高めることができる。特に、下記構造式(1)や構造式(2)で示されるような、I−B族元素とIII−B族元素とカルコゲン元素含有有機化合物が1つの分子中に
含まれた単一源前駆体(特許文献1参照)を用いた場合、I−B族元素とIII−B族元素
とカルコゲン元素とが接近した状態となるため、I−III−VI族化合物がより良好に生成
しやすくなる。なお、構造式(1)、(2)中のPhはフェニル基を示す。なお、単一源前駆体は、I−B族元素とIII−B族元素とカルコゲン元素含有有機化合物が1つの分子
中に含まれていればよく、構造式(1)や(2)に示される単一源前駆体は一例にすぎない。すなわち、構造式(1)や(2)に存在する複数のフェニル基は、フェニル基でなくてもよく、エチル基等の他の有機基であってもよい。また、これらの複数の有機基はすべて同じ有機基でなくてもよい。同様に、Ph3P基も他の置換基であってもよい。
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
2、2a、2b、2c:下部電極層
3:第1の半導体層
4:第2の半導体層
7:接続導体
10:光電変換セル
11:光電変換装置
Claims (8)
- 金属元素、カルコゲン元素および有機化合物を含む第1の皮膜を作製する工程と、
該第1の皮膜を加熱して、前記有機化合物の一部が熱分解された第2の皮膜を作製する工程と、
該第2の皮膜を、カルコゲン蒸気を主に含む雰囲気で加熱した後、カルコゲン化水素を主に含む雰囲気で加熱して、金属カルコゲナイドを含む半導体層を作製する工程と
を具備する半導体層の製造方法。 - 前記第2の皮膜を作製する工程の後、該第2の皮膜の温度を下げる工程をさらに具備する、請求項1に記載の半導体層の製造方法。
- 前記第2の皮膜を作製する工程の後、該第2の皮膜の温度を15〜35℃まで下げる工程をさらに具備する、請求項1に記載の半導体層の製造方法。
- 前記第1の皮膜において、前記有機化合物は前記金属元素と錯体を形成している、請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体層の製造方法。
- 前記カルコゲン元素および前記有機化合物はカルコゲン元素含有有機化合物であり、該カルコゲン元素含有有機化合物が前記金属元素と錯体を形成している、請求項4に記載の半導体層の製造方法。
- 前記錯体は、熱分解温度の異なる複数種から成る、請求項4または5に記載の半導体層の製造方法。
- 前記金属元素としてI−B族元素およびIII−B族元素を含ませる、請求項1乃至6の
いずれかに記載の半導体層の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体層の製造方法によって第1の半導体層を作製する工程と、
該第1の半導体層に電気的に接続されるように、該第1の半導体層とは異なる導電型の第2の半導体層を作製する工程と
を具備する光電変換装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181986A JP5934056B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-08-21 | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012029131 | 2012-02-14 | ||
JP2012029131 | 2012-02-14 | ||
JP2012181986A JP5934056B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-08-21 | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013191822A JP2013191822A (ja) | 2013-09-26 |
JP5934056B2 true JP5934056B2 (ja) | 2016-06-15 |
Family
ID=49391750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012181986A Expired - Fee Related JP5934056B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-08-21 | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5934056B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015153950A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 京セラ株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
CN113999168A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-01 | 济南大学 | 一种有机修饰的铜硫二维半导体材料及应用 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5137794B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2013-02-06 | 京セラ株式会社 | 薄膜太陽電池の製法 |
JP5137795B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2013-02-06 | 京セラ株式会社 | 化合物半導体薄膜の製法および薄膜太陽電池の製法 |
US8545734B2 (en) * | 2009-08-04 | 2013-10-01 | Precursor Energetics, Inc. | Methods for photovoltaic absorbers with controlled group 13 stoichiometry |
EP2530728B1 (en) * | 2010-01-29 | 2018-01-31 | Kyocera Corporation | Method for manufacturing a semiconductor layer, method for manufacturing a photoelectric conversion device, and a semiconductor layer forming solution |
-
2012
- 2012-08-21 JP JP2012181986A patent/JP5934056B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013191822A (ja) | 2013-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011013657A1 (ja) | 化合物半導体の製造方法および光電変換装置の製造方法ならびに半導体形成用溶液 | |
JP5495849B2 (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP5934056B2 (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP2013245212A (ja) | 半導体原料、半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP5570650B2 (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP2013201179A (ja) | 半導体層形成用溶液、半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP5566335B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5918041B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5464984B2 (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP6162592B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5683377B2 (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP5791802B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5618942B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2013021231A (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP2011138837A (ja) | 半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
JP2013012722A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2015191931A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2013239618A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2013225641A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5832229B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2012015234A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2012160514A (ja) | 金属カルコゲナイド層の製造方法および光電変換装置の製造方法 | |
WO2014115466A1 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2015026711A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2013135091A (ja) | 半導体層形成用原料および光電変換装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160506 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5934056 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |