JP5137795B2 - 化合物半導体薄膜の製法および薄膜太陽電池の製法 - Google Patents
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2・・・電極層
3・・・光吸収層
4・・・バッファ層
5・・・透明電極層
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- 官能基として、チオール基と、アルキル基、アリール基およびアラルキル基のうちいずれか1種とを有するチオール化合物と酸との混合溶媒に、銅、インジウムおよびガリウムのそれぞれのカルコゲナイドを溶解させて、前記銅と、前記インジウムと、前記ガリウムと、前記カルコゲナイドの構成成分である硫黄およびセレンのうち少なくとも1種とを含むチオール錯体を調製する工程と、該チオール錯体を基板の表面に塗布して乾燥し、前記チオール錯体の皮膜を作製する工程と、該チオール錯体の皮膜を、水素、窒素およびこれらの混合ガスのうちいずれかのガスを含む還元雰囲気中で熱処理し、前記基板の表面に前記銅と、前記インジウムと、前記ガリウムと、前記硫黄および前記セレンのうち少なくとも1種とを主成分として含有する薄膜を形成する工程とを具備することを特徴とする化合物半導体薄膜の製法。
- 前記還元雰囲気のガスとして、さらにセレンを含むガスを用いることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体薄膜の製法。
- 官能基として、チオール基と、アルキル基、アリール基およびアラルキル基のうちいずれか1種とを有するチオール化合物と酸との混合溶媒に、銅、インジウムおよびガリウムのそれぞれのカルコゲナイドを溶解させて、前記銅と、前記インジウムと、前記ガリウムと、前記カルコゲナイドの構成成分である硫黄およびセレンのうち少なくとも1種とを含むチオール錯体を調製する工程と、該チオール錯体を予め形成した電極層上に塗布して乾燥し、前記チオール錯体の被膜を作製する工程と、該チオール錯体の被膜を、水素、窒素およびこれらの混合ガスのうちいずれかのガスを含む還元雰囲気中で熱処理し、前記電極層上に、前記銅と、前記インジウムと、前記ガリウムと、前記硫黄および前記セレンのうち少なくとも1種とを主成分として含有する薄膜からなる光吸収層を形成する工程と、該光吸収層上に、バッファ層を形成する工程と、さらに該バッファ層上に透明電極層を形成する工程とを具備することを特徴とする薄膜太陽電池の製法。
- 前記還元雰囲気のガスとして、さらにセレンを含むガスを用いることを特徴とする請求項3に記載の薄膜太陽電池の製法。
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