JP5931437B2 - SiO2レジスト層を製造するための組成物およびその使用方法 - Google Patents
SiO2レジスト層を製造するための組成物およびその使用方法 Download PDFInfo
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Description
半導体デバイスは、通常、半導体基板中にある距離で互いに離れて配置された高ドープ領域と、高ドープ領域の間に配置された低ドープ領域とからなるパターンを有する。ドーピングパターンは好適なドーピング組成物を少なくとも高ドープ領域に塗布することによって達成される。その後、基板は拡散工程を受け、塗布されたドーピング組成物から基板中へドーピング原子が拡散し、高ドープ領域上にコンタクトが作製される。
したがって、本発明の目的は、単純で安価な対応するプロセスと、その中で用いることができる適切な組成物とを提供することにあり、以上で概説した欠点および問題を避けることを可能にし、これらによって半導体デバイスの製造プロセス中にパターン化もしくは構造化されたSiO2層またはSiO2ラインを生成することができ、これらはインクジェット処理の適用を可能にする。本発明の更なる目的は、開発されたプロセスの量産への実施を可能にする、製造工程の数が減少した新しく高効率の太陽電池の製造プロセスを提供することにある。
RはA、AOA、Ar、AAr、AArA、AOAr、AOArA、AArOAであり、
ここで、Aは直鎖もしくは分枝鎖のC1−C18アルキル基、または置換されたもしくは未置換の環状のC3−C8アルキルであり;Arは6−18個の炭素原子を有する置換されたまたは未置換の芳香族基であり、
n=1−100であり、
Rは、架橋構造を作るために、Siへのまたは隣接基Rへの更なる直接結合を形成し得る)。
テトラエチレングリコール 314
グリセロール 290
ジプロピレングリコール
4−メトキシベンジルアルコール 259
トリプロピレングリコール 268
ジプロピレングリコールブチルエーテル 228
2−フェノキシエタノール 237
ジエタノールアミン 217
トリエチレングリコール 285
エチレングリコール 197
2−ウンデカノール
エチレングリコール2−エチルヘキシルエーテル 224-275
ジエチレングリコールプロピルエーテル 202-216
エチレングリコールヘキシルエーテル 200-215
ジエチレングリコール 245
1−デカノール 231
a−テルピネオール 218
乳酸
へキシレングリコール 197
プロピレングリコール 187
1−ノナノール 215
ジプロピレングリコールメチルエーテル 189
ジエチレングリコールブチルエーテル 231
1,3−ブタンジオール 204
ベンジルアルコール 206
1−オクタノール 196
2−メチル−2−ヘプタノール
2−オクタノール 178
2,2−ジメチル−1−ペンタノール
1−ヘプタノール 176
エチレングリコールブチルエーテル
4−へプタノール
3−ヘプタノール
ジエチレングリコールエチルエーテル 202
テトラヒドロフルフリルアルコール 178
プロピレングリコールブチルエーテル 170
フルフリルアルコール 170
ジアセトンアルコール 166
2−ヘプタノール 161
エタノールアミン 170
5−メチル−2−ヘキサノール 149
ジエチレングリコールメチルエーテル 194
エチレングリコールブチルエーテル 169-173
1−ヘキサノール 157
シクロヘキサノール 161
3−メチルシクロヘキサノール 163
2,2−ジメチル−1−ブタノール
4−メチル−1−ペンタノール 163
エチレングリコールプロピルエーテル 149-154
乳酸エチル 154
2−ヘキサノール 136
2−メチル−1−ペンタノール 148
2−エチル−1−ブタノール 146
3−ヘキサノール 135
3−メチル−2−ペンタノール 134
1−ペンタノール 137
シクロペンタノール 140
4−メチル−2−ペンタノール 132
2−メチル−3−ペンタノール 128
3−メチル−1−ブタノール 130
エチレングリコールエチルエーテル 135
3,3−ジメチル−1−ブタノール 143
2−メチル−1−ブタノール 130
2−ペンタノール 119
エチレングリコールメチルエーテル 125
3−ペンタノール 115
プロピレングリコールメチルエーテル 118
1−ブタノール 118
2−メチル−1−プロパノール 108
このリストにあるアルコールは、本発明に係る改良インク組成物の調製に使用され得る例であり、ここに挙げられていない他のアルコールであっても、それらが上で説明した要件に適合する場合は、この目的にとって有用であり得る。
例1
インクジェット印刷可能なドープバリアの作製プロセス
45gのテトラエチルオルトシリケートを、10gのDI水と、95gのエタノールと、80gの酢酸エチルと、20gの酢酸とからなる混合物に入れて攪拌する。この混合物を還流下で24時間にわたって蒸煮する。
インクジェット印刷可能なドープバリアの作製プロセス
90gのテトラエチルオルトシリケートを、19gのDI水と、200gのエタノールと、161gのエチレングリコールモノブチレンエーテルと、40gの酢酸とからなる混合物に入れて攪拌する。この混合物を還流下で12時間にわたって蒸煮する。冷却された溶液を、全ての粒子を除去するために、2ミクロンの膜で濾過する。この溶液はインクジェットに適している。
インクジェット印刷可能なドープバリアの作製プロセス
90gのテトラエチルオルトシリケートを、26gのDI水と、190gのエタノールと、161gの酢酸エチルと、35gの酢酸とからなる混合物に入れて攪拌する。この混合物を還流下で12時間にわたって蒸煮する。この混合物を170gのDMSOに加えて攪拌し、丸底フラスコに入れる。酢酸エチルを回転式エバポレータにより蒸発させる。冷却された溶液を、全ての粒子を除去するために、2ミクロンの膜で濾過する。この溶液はインクジェットに適している。
テトラメチルオルトシリケート(TMOS)ゾルを、前駆体であるTMOS(1.5ml)と、水(0.4ml)と、0.04MのHCl(0.022ml)とからなる混合物を約20分間にわたって超音波処理することによって調製する。TMOSゾル−ゲルの2つのサンプルは、一方はTMOSゾルの一部を1:1の体積比で第1ストック溶液と混合させることによって、他方はTMOSゾルの一部を1:1の体積比で第2ストック溶液と混合させることによって調製する。この混合物をDMSOに加えて攪拌し約5%のSiO2濃度を達成する。この溶液を、全ての粒子を除去するために、2ミクロンの膜で濾過する。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]半導体デバイスの製造方法であって、インクジェット印刷可能なSiO 2 前駆体組成物を使用して、基板表面上にSiO 2 層またはSiO 2 ラインを生成することを特徴とする方法。
[2]インクジェット印刷されたSiO 2 前駆体組成物を使用して、パターン化もしくは構造化されたSiO 2 層またはSiO 2 ラインを高解像度で生成することを特徴とする[1]に記載の方法。
[3]溶媒として少なくとも1種の高沸点アルコールを含むSiO 2 前駆体組成物を高解像度で基板表面上にインクジェット印刷し、乾燥し高温で処理して前記前駆体を固体SiO 2 に変換することによって、パターン化もしくは構造化されたSiO 2 層またはSiO 2 ラインを生成することを特徴とする[1]または[2]に記載の方法。
[4]室温から300℃までの範囲の温度、好ましくは室温から150℃までの範囲の温度、最も好ましくは室温から70℃までの範囲の温度で前記SiO 2 前駆体組成物をインクジェット印刷し、80−400℃の範囲の温度、好ましくは100−200℃の範囲の温度で乾燥させることを特徴とする[1]ないし[3]の1項以上に記載の方法。
[5]印刷後、500℃より高く1000℃未満の温度で、インクジェット印刷され乾燥された前記SiO 2 前駆体組成物をSiO 2 からなるバリアフィルムに変換することを特徴とする[1]ないし[4]の1項以上に記載の方法。
[6]650℃より高く900℃未満の温度で、乾燥されたSiO 2 前駆体組成物をSiO 2 からなるバリアフィルムに変換することを特徴とする[1]ないし[5]の1項以上に記載の方法。
[7]乾燥するためおよび次に変換するための前記温度を徐々に上げて、処理されるウェハを守るだけでなく溶媒を円滑に蒸発させることを特徴とする[1]ないし[5]の1項以上に記載の方法。
[8]SiO 2 前駆体組成物であって、
(A)一般式(I)のSiO 2 前駆体または前駆体混合物と
RはA、AOA、Ar、AAr、AArA、AOAr、AOArA、AArOAであり、
ここで、Aは直鎖もしくは分枝鎖のC1−C18アルキル基、または置換されたもしくは未置換の環状のC3−C8アルキルであり;Arは6−18個の炭素原子を有する置換されたまたは未置換の芳香族基であり、
n=1−100であり、
RはSiへのまたは隣接基Rへの更なる直接結合を形成し得る)
(B)少なくとも1種のアルコール、または複数種のアルコールの均質混合物、または少なくとも1種のアルコールと少なくとも1種の有機共溶媒の均質混合物、または複数種の共溶媒と少なくとも1種のアルコールの均質混合物である、>100℃で<400℃の沸点を持つ高沸点の溶媒または均質溶媒混合物と
を含むSiO 2 前駆体組成物。
[9]Rがメチル、エチル、i−またはn−プロピル、最も好ましくはエチルである前記一般式(I)のSiO 2 前駆体または前駆体混合物を含む[8]に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[10]テトラエチレングリコール、グリセロール、ジプロピレングリコール、4−メトキシベンジルアルコール、
トリプロピレングリコール、ジプロピレングリコールブチルエーテル、2−フェノキシエタノール、ジエタノールアミン、トリエチレングリコール、エチレングリコール、2−ウンデカノール、エチレングリコール2−エチルヘキシルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコールヘキシルエーテル、ジエチレングリコール、1−デカノール、a−テルピネオール、乳酸、へキシレングリコール、プロピレングリコール、1−ノナノール、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエーテル、1,3−ブタンジオール、ベンジルアルコール、1−オクタノール、
2−メチル−2−ヘプタノール、2−オクタノール、2,2−ジメチル−1−ペンタノール、1−ヘプタノール、エチレングリコールブチルエーテル、4−へプタノール、3−ヘプタノール、ジエチレングリコールエチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールブチルエーテル、フルフリルアルコール、ジアセトンアルコール、2−ヘプタノール、エタノールアミン、5−メチル−2−ヘキサノール
ジエチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールブチルエーテル、1−ヘキサノール、シクロヘキサノール、3−メチルシクロヘキサノール、2,2−ジメチル−1−ブタノール、4−メチル−1−ペンタノール、エチレングリコールプロピルエーテル、乳酸エチル、2−ヘキサノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチル−1−ブタノール、3−ヘキサノール、3−メチル−2−ペンタノール、1−ペンタノール、シクロペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、2−メチル−3−ペンタノール、3−メチル−1−ブタノール、エチレングリコールエチルエーテル、3,3−ジメチル−1−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、2−ペンタノール、エチレングリコールメチルエーテル、3−ペンタノール、プロピレングリコールメチルエーテル、1−ブタノール、2−メチル−1−プロパノール
からなる群より選択されるアルコールを少なくとも含む[8]または[9]に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[11]メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、リソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、2−エチル−1ブタノール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、iso−アミルアルコール、n−アミルアルコール、t−アミルアルコール、n−ヘキシルアルコール、ヘプタノール、オクタノール、アリルアルコール、クロチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、グリセロール、メチルイソブチルカルビノール、2−エチル−1−ヘキサノール、ジアセトンアルコール、ノニルアルコール、デシルアルコール、セチルアルコール、シクロヘキサノール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ベンジルアルコールおよびフェニルエチルアルコールからなる群より選択されるアルコールを少なくとも含む[8]ないし[10]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[12]芳香族もしくは複素芳香族炭化水素、たとえばトルエン、キシレン(全ての異性体)、テトラリン、インダン、もしくはモノ、ジ、トリ、テトラ、ペンタおよびヘキサアルキルベンゼン、ナフタレン、アルキルナフタレン、アルキルチアゾール、アルキルチオフェンから選択されるか、または直鎖もしくは分枝鎖アルカンの形態にある脂肪族炭化水素またはそれらの混合物たとえばn−オクタンから、もしくはシクロアルカンたとえばメチルシクロヘキサンもしくはその混合物であるデカリンから選択される、少なくとも1種の有機共溶媒を含む[8]ないし[11]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[13]トルエン、キシレン(全ての異性体)、テトラリン、インダン、ベンゼン、ナフタレンn−オクタンメチルシクロヘキサンおよびデカリンからなる群より選択される少なくとも1種の有機共溶媒を含む[8]ないし[12]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[14]少なくとも1種の芳香族および脂肪族のフッ素系溶媒たとえばFC43、FC70、メチルノナフルオロブチルエーテル、3−エトキシ−1,1,1,2,3,4,4,5,5,6,6,6−ドデカフルオロ−2−トリフルオロメチル−ヘキサン、パーフルオロデカン、または少なくとも1種のエーテルたとえばエチレングリコールジエチルエーテル、エステルたとえば酢酸アミル、またはラクトンたとえばガンマブチロラクトン、またはケトン、またはアミドたとえばNMPもしくはDMF、スルホキシド(DMSO)、スルホンなどを含む[8]ないし[13]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[15]前記前駆体を、前記組成物全体に基づいて、>0.1重量%ないし<90重量%、より好ましくは>0.5重量%ないし<50重量%、および最も好ましくは>1重量%ないし<20重量%の範囲の濃度で含む[8]ないし[14]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[16]前記高沸点の溶媒または均質溶媒混合物を、前記組成物全体に基づいて、>10重量%から<99.9重量%までの量で、好ましくは>50重量%から<99.5重量%の量で、最も好ましくは>80重量%から<99重量%の量で含んでおり、ただし含んでいるキャリア溶媒の約90重量%が100℃より高く400℃未満の沸点を有しており、前記溶媒混合物の少なくとも5重量%は高沸点アルコールである[8]ないし[15]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[17]印刷温度において、>2cpsないし<20cpsの範囲の粘性を有する[8]ないし[16]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[18]>20dyne/cmないし<60dyne/cmの範囲の表面張力を有する[8]ないし[16]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[19]インクジェット印刷可能であることを特徴とする[8]ないし[18]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物。
[20]半導体デバイスの製造プロセス中に、パターン化もしくは構造化されたSiO 2 層またはSiO 2 ラインを生成するための[8]ないし[18]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物の使用。
[21]マイクロスタンプ/ソフトリソグラフィ、フレキソまたはグラビアプロセス工程のための[8]ないし[18]の1項以上に記載のSiO 2 前駆体組成物の使用。
[22]シリコンへのホウ素またはリンの拡散に対するSiO 2 拡散バリアの使用。
[23][1]ないし[20]によるインクおよびプロセスを使用して作製された半導体デバイス。
Claims (30)
- SiO2前駆体組成物を塗布することによって、基板表面上にSiO2層またはSiO2ラインを生成することを含む半導体デバイスの製造方法であって、
前記SiO2前駆体組成物は、
(A)一般式(I)のSiO2前駆体または前駆体混合物と
RはA、AOA、Ar、AAr、AArA、AOAr、AOArA、AArOAであり、
ここで、Aは直鎖もしくは分枝鎖のC1−C18アルキル基、または置換されたもしくは未置換の環状のC3−C8アルキルであり;Arは6−18個の炭素原子を有する置換されたまたは未置換の芳香族基であり、
n=1−100であり、
RはSiへのまたは隣接基Rへの更なる直接結合を形成し得る)
(B)少なくとも1種のアルコール、または複数種のアルコールの均質混合物、または少なくとも1種のアルコールと少なくとも1種の有機共溶媒の均質混合物、または複数種の共溶媒と少なくとも1種のアルコールの均質混合物である、>100℃で<400℃の沸点を持つ高沸点の溶媒または均質溶媒混合物と
を含む方法。 - インクジェット印刷された前記SiO2前駆体組成物を使用して、パターン化もしくは構造化されたSiO2層またはSiO2ラインを1μm以上80μm未満の大きさで生成することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 溶媒として少なくとも1種の高沸点アルコールを含む前記SiO2前駆体組成物を基板表面上にインクジェット印刷し、乾燥し高温で処理して前記前駆体を固体SiO2に変換することによって、1μm以上80μm未満の大きさにパターン化もしくは構造化されたSiO2層またはSiO2ラインを生成することを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 室温から300℃までの範囲の温度で前記SiO2前駆体組成物をインクジェット印刷し、80−400℃の範囲の温度で乾燥させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の方法。
- 室温から150℃までの範囲の温度で前記SiO2前駆体組成物をインクジェット印刷することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 室温から70℃までの範囲の温度で前記SiO2前駆体組成物をインクジェット印刷することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 100−200℃の範囲の温度で乾燥させることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 印刷後、500℃より高く1000℃未満の温度で、インクジェット印刷され乾燥された前記SiO2前駆体組成物をSiO2からなるバリアフィルムに変換することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の方法。
- 650℃より高く900℃未満の温度で、乾燥された前記SiO2前駆体組成物をSiO2からなるバリアフィルムに変換することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の方法。
- SiO2前駆体組成物であって、
(A)一般式(I)のSiO2前駆体または前駆体混合物と
RはA、AOA、Ar、AAr、AArA、AOAr、AOArA、AArOAであり、
ここで、Aは直鎖もしくは分枝鎖のC1−C18アルキル基、または置換されたもしくは未置換の環状のC3−C8アルキルであり;Arは6−18個の炭素原子を有する置換されたまたは未置換の芳香族基であり、
n=1−100であり、
RはSiへのまたは隣接基Rへの更なる直接結合を形成し得る)
(B)少なくとも1種のアルコール、または複数種のアルコールの均質混合物、または少なくとも1種のアルコールと少なくとも1種の有機共溶媒の均質混合物、または複数種の共溶媒と少なくとも1種のアルコールの均質混合物である、>100℃で<400℃の沸点を持つ高沸点の溶媒または均質溶媒混合物と
を含むSiO2前駆体組成物。 - Rがメチル、エチル、i−またはn−プロピルである前記一般式(I)のSiO2前駆体または前駆体混合物を含む請求項10に記載のSiO2前駆体組成物。
- Rがエチルである前記一般式(I)のSiO2前駆体または前駆体混合物を含む請求項11に記載のSiO2前駆体組成物。
- テトラエチレングリコール、グリセロール、ジプロピレングリコール、4−メトキシベンジルアルコール、
トリプロピレングリコール、ジプロピレングリコールブチルエーテル、2−フェノキシエタノール、ジエタノールアミン、トリエチレングリコール、エチレングリコール、2−ウンデカノール、エチレングリコール2−エチルヘキシルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコールヘキシルエーテル、ジエチレングリコール、1−デカノール、a−テルピネオール、乳酸、へキシレングリコール、プロピレングリコール、1−ノナノール、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエーテル、1,3−ブタンジオール、ベンジルアルコール、1−オクタノール、
2−メチル−2−ヘプタノール、2−オクタノール、2,2−ジメチル−1−ペンタノール、1−ヘプタノール、エチレングリコールブチルエーテル、4−へプタノール、3−ヘプタノール、ジエチレングリコールエチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールブチルエーテル、フルフリルアルコール、ジアセトンアルコール、2−ヘプタノール、エタノールアミン、5−メチル−2−ヘキサノール
ジエチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールブチルエーテル、1−ヘキサノール、シクロヘキサノール、3−メチルシクロヘキサノール、2,2−ジメチル−1−ブタノール、4−メチル−1−ペンタノール、エチレングリコールプロピルエーテル、乳酸エチル、2−ヘキサノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチル−1−ブタノール、3−ヘキサノール、3−メチル−2−ペンタノール、1−ペンタノール、シクロペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、2−メチル−3−ペンタノール、3−メチル−1−ブタノール、エチレングリコールエチルエーテル、3,3−ジメチル−1−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、2−ペンタノール、エチレングリコールメチルエーテル、3−ペンタノール、プロピレングリコールメチルエーテル、1−ブタノール、2−メチル−1−プロパノール
からなる群より選択されるアルコールを少なくとも含む請求項10ないし12のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。 - メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、2−エチル−1ブタノール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、iso−アミルアルコール、n−アミルアルコール、t−アミルアルコール、n−ヘキシルアルコール、ヘプタノール、オクタノール、アリルアルコール、クロチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、グリセロール、メチルイソブチルカルビノール、2−エチル−1−ヘキサノール、ジアセトンアルコール、ノニルアルコール、デシルアルコール、セチルアルコール、シクロヘキサノール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ベンジルアルコールおよびフェニルエチルアルコールからなる群より選択されるアルコールを少なくとも含む請求項10ないし13のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 芳香族もしくは複素芳香族炭化水素から選択されるか、または直鎖もしくは分枝鎖アルカンもしくはシクロアルカンの形態にある脂肪族炭化水素から選択される、少なくとも1種の有機共溶媒を含む請求項10ないし14のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記芳香族もしくは複素芳香族炭化水素が、トルエン、キシレンの全ての異性体、テトラリン、インダン、およびモノ、ジ、トリ、テトラ、ペンタおよびヘキサアルキルベンゼン、ナフタレン、アルキルナフタレン、アルキルチアゾール、ならびにアルキルチオフェンからなる群より選択される請求項15に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記直鎖もしくは分枝鎖アルカンもしくはシクロアルカンの形態にある脂肪族炭化水素が、n−オクタン、メチルシクロヘキサン、およびデカリンからなる群より選択される、請求項15に記載のSiO2前駆体組成物。
- トルエン、キシレンの全ての異性体、テトラリン、インダン、ベンゼン、ナフタレン、n−オクタン、メチルシクロヘキサンおよびデカリンからなる群より選択される少なくとも1種の有機共溶媒を含む請求項10ないし17のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 少なくとも1種の芳香族もしくは脂肪族のフッ素系溶媒、または少なくとも1種のエーテル、またはエステル、またはラクトン、またはケトン、またはアミド、またはスルホキシド、またはスルホンを含む、請求項10ないし18のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記少なくとも1種の芳香族もしくは脂肪族のフッ素系溶媒はFC43、FC70、メチルノナフルオロブチルエーテル、3−エトキシ−1,1,1,2,3,4,4,5,5,6,6,6−ドデカフルオロ−2−トリフルオロメチル−ヘキサン、およびパーフルオロデカンからなる群より選択され、前記少なくとも1種のエーテルはエチレングリコールジエチルエーテルであり、前記エステルは酢酸アミルであり、前記ラクトンはガンマブチロラクトンであり、前記アミドはNMPおよびDMFからなる群より選択され、前記スルホキシドはDMSOである、請求項19に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記前駆体を、前記組成物全体に基づいて、>0.1重量%ないし<90重量%の範囲の濃度で含む請求項10ないし20のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記前駆体を、前記組成物全体に基づいて、>0.5重量%ないし<50重量%の範囲の濃度で含む請求項21に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記前駆体を、前記組成物全体に基づいて、>1重量%ないし<20重量%の範囲の濃度で含む請求項21に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記高沸点の溶媒または均質溶媒混合物を、前記組成物全体に基づいて、>10重量%から<99.9重量%までの量で含んでおり、ただし含んでいるキャリア溶媒の約90重量%が100℃より高く400℃未満の沸点を有しており、前記溶媒混合物の少なくとも5重量%は高沸点アルコールである請求項10ないし23のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記高沸点の溶媒または均質溶媒混合物を、前記組成物全体に基づいて、>50重量%から<99.5重量%の量で含んでいる、請求項24に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記高沸点の溶媒または均質溶媒混合物を、前記組成物全体に基づいて、>80重量%から<99重量%の量で含んでいる、請求項24に記載のSiO2前駆体組成物。
- 前記SiO2前駆体組成物をインクジェット印刷する、室温から300℃までの範囲の温度において、>2cpsないし<20cpsの範囲の粘性を有する請求項10ないし26のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- >20dyne/cmないし<60dyne/cmの範囲の表面張力を有する請求項10ないし26のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物。
- 半導体デバイスの製造プロセス中に、パターン化もしくは構造化されたSiO2層またはSiO2ラインを生成するための請求項10ないし28のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物の使用であって、
前記SiO2前駆体組成物は、
(A)一般式(I)のSiO2前駆体または前駆体混合物と
RはA、AOA、Ar、AAr、AArA、AOAr、AOArA、AArOAであり、
ここで、Aは直鎖もしくは分枝鎖のC1−C18アルキル基、または置換されたもしくは未置換の環状のC3−C8アルキルであり;Arは6−18個の炭素原子を有する置換されたまたは未置換の芳香族基であり、
n=1−100であり、
RはSiへのまたは隣接基Rへの更なる直接結合を形成し得る)
(B)少なくとも1種のアルコール、または複数種のアルコールの均質混合物、または少なくとも1種のアルコールと少なくとも1種の有機共溶媒の均質混合物、または複数種の共溶媒と少なくとも1種のアルコールの均質混合物である、>100℃で<400℃の沸点を持つ高沸点の溶媒または均質溶媒混合物と
を含む使用。 - マイクロスタンプ/ソフトリソグラフィ、フレキソまたはグラビアプロセス工程のための請求項10ないし29のいずれか1項に記載のSiO2前駆体組成物の使用。
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