JP5068374B2 - 複数のインクから光起電性の導電性フィーチャを形成するプロセス - Google Patents
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Description
本出願は、2007年12月7日に出願された米国特許出願番号第11/952,580号に対する優先権を主張し、本明細書中、参照により同文献全体を援用する。
本発明は、光起電性の導電性フィーチャを形成するプロセスに関する。前記プロセスにおいて、塩または紫外線硬化材料を含む受理層を基板表面上に初期堆積させた後、組成物(例えばインク)を前記受理層上に堆積させるステップと、前記光起電性の導電性フィーチャの形成において有効な条件下で前記堆積された組成物を処理するステップとを行う。さまざまな好適な実施形態において、前記基板はパッシベーション層を含む。前記パッシベーション層は、前記受理層材料または前記導電性フィーチャの形成に用いられる前記組成物(例えばインク)からの材料のいずれかまたは双方により、エッチングされる。前記受理層はまた、望ましいことに、前記光起電性の導電性フィーチャの形成先として所望される領域に前記組成物を制限し、これにより前記組成物の拡散を抑制する。
上記のように、本発明は、光起電性の導電性フィーチャを形成するプロセスに関する。前記プロセスにおいて、金属または前記金属に対する金属前駆体を含む金属ナノ粒子のうち少なくとも1つを含む組成物(例えばインク組成物)を用いて、シリコン層と電気接触する光起電性の導電性フィーチャの少なくとも一部を形成する。前記組成物が金属または前記金属に対する金属前駆体を含む金属ナノ粒子のうち少なくとも1つを含みかつ前記組成物が加熱時に導電性フィーチャを形成することができる限り、前記組成物中に含まれる特定の成分は、本発明のさまざまな態様において広範囲に変わり得る。
上記のように、いくつかの態様において、本発明のプロセスにおいて用いられる組成物は、光起電性の導電性フィーチャの製造に用いられる金属ナノ粒子を含む。前記組成物中に含まれる場合、前記金属ナノ粒子は好適には、金属または金属合金を含む。前記粒子は、個々の金属ナノ粒子として存在し得、および/または、複数の金属ナノ粒子の凝集体として存在し得る。金属ナノ粒子の凝集体としての、および/または個々の粒子としての性質は、当該組成物中に含まれる金属の相対量および当該金属ナノ粒子の形成において用いられるプロセスに応じて異なる。
いくつかの実施形態において、本発明の光起電性の導電性フィーチャの製造に用いられる組成物は、前記金属粒子(例えば、上述した金属ナノ粒子)の代わりに、または前記金属粒子(例えば、上述した金属ナノ粒子)に加えて、前記金属に対する金属前駆体を含む。前記金属に対するこれらの同一の金属前駆体を用いて、以下により詳細に説明する気相合成プロセスを用いて、金属ナノ粒子を生成することが可能であることが理解される。前記金属に対する前記金属前駆体を挙げると、銀、ニッケル、白金、金、パラジウム、銅、インジウムおよびスズに対する金属前駆体がある。他の可能な金属前駆体を挙げると、アルミニウム、亜鉛、鉄、タングステン、モリブデン、ルテニウム、鉛、ビスマスおよび類似の金属に対する前駆体がある。好適な金属前駆体化合物としては、銀、ニッケル、白金、金、パラジウム、銅およびルテニウムを含む金属前駆体化合物がある。例えば、銀、ニッケル、白金、金、パラジウムおよび銅に対する金属前駆体の例について、米国特許出願公開番号第2007/0125989号中に開示がある。同文献全体を、あたかも本明細書中に全て記載しているかのように、参照により援用する。
本発明の特定の実施形態の光起電性の導電性フィーチャの形成のために用いられる組成物は、基板上への組成物の堆積に用いられる方法に応じて、インクまたはペーストのいずれかでよい。前記組成物は好適には、上述の金属ナノ粒子および/または金属に対する金属前駆体を含む。いくつかの実施形態において、前記組成物は、自由選択的に金属ナノ粒子を実質的に含まず、金属に対する金属前駆体を含む。逆に、いくつかの実施形態において、前記組成物は、金属に対する金属前駆体を実質的に含まず、金属ナノ粒子を含む。好適な実施形態において、本発明の組成物は、前記組成物を流体状態において安定して維持することが可能な賦形剤を含む。自由選択の実施形態において、本発明の組成物は、前記賦形剤に加えて、上述したような金属ナノ粒子および/または金属に対する金属前駆体と、自由選択的に分散剤および以下により詳細に説明する添加剤のうちの1つ以上とを含む。
本発明による組成物は、低温で堆積させ、光起電性の導電性フィーチャに変換することができ、これにより、融解温度または分解温度が比較的低いさまざまな基板の使用が可能となる。本発明において特に有用となる基板の種類を挙げると、ポリフルオロ化化合物、ポリイミド、エポキシ(ガラス充填エポキシを含む)、ポリカーボネートおよび多くの他のポリマーがある。いくつかの実施形態において、基板はまた、セルロースベースの材料(例えば木材または紙)、アセテート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、アクリロニトリル、ブタジエン(ABS)、フレキシブルファイバボード、不織重合体布、布、金属箔および肉薄ガラスを含んでもよい。
本発明のプロセスは、いくつかの実施形態において、上記の組成物を堆積させる前に、基板の少なくとも一部の上に表面改質材料を堆積させるステップを含む。表面改質材料の機能の1つは、組成物を基板上に堆積させた後に前記組成物が拡散するのを抑制することである。前記組成物の拡散の抑制は、例えば、前記表面改質材料と、前記金属ナノ粒子および/または前記金属に対する前記金属前駆体のいずれかまたは両方(上に示すように、いずれかまたは両方が前記組成物内に存在し得る)との間の静電相互作用により、行われる。このような静電相互作用は、以下により詳細に説明するように、好適には前記金属ナノ粒子の凝集を発生させる。前記組成物が前記金属に対する金属前駆体を含む場合、このような静電相互作用により、前記金属に対する前記金属前駆体から金属を沈殿させることができる。この態様において、前記表面改質材料は、前記金属前駆体の前記金属への変換を促進する還元剤として機能し得る。自由選択的に、前記表面改質材料は、適切な処理(例えば加熱)後に保護層をエッチングする化学成分(例えば、塩およびセラミック粒子)を含む。このような化学成分を以下エッチャントと呼ぶ。前記表面改質材料が前記保護層をエッチングすると、エッチングされた領域を形成し、前記組成物は、このエッチングされた領域上に自由選択的に堆積される。そのため、前記光起電部が前記組成物から形成されると、前記光起電部は、下側層、例えばnシリコン層と電気接触する。例えば組成物の堆積の前に受理層による基板のエッチングを行ういくつかの実施形態において、エッチングされた領域の境界または壁により、組成物が拡散するのを抑制することが望ましい。したがって、上に示したように、本発明のいくつかの実施形態によれば、表面改質材料および/または組成物のいずれかまたは双方が、基板の保護層を貫いてエッチングする。
基板上への堆積後、前記金属ナノ粒子および/または前記金属に対する前記金属前駆体を含む前記組成物は、前記組成物が光起電性の導電性フィーチャの少なくとも一部を形成するように、処理される。前記処理は、複数のステップを含んでもよいし、あるいは、前記組成物を高速加熱し、光起電性の導電性フィーチャの形成のために十分な時間にわたって変換温度に保持する場合、単一段階で行ってもよい。加熱は、炉、光源(例えば、加熱ランプおよび/またはレーザ)を用いて達成することができる。前記光起電性の導電性フィーチャは、その形成後、後処理することができる。例えば、レーザ処理等により、存在する相の結晶化度を増加させることができる。前記後処理において、電子フィーチャの洗浄および/または封入あるいは他の改質を含めてもよい。
Claims (47)
- 光電池の導電性形状物を形成するプロセスであって、
シリコン層上に配置された保護層を含む基板を提供するステップと、
塩を含む表面改質材料を前記保護層の少なくとも一部の上に堆積させるステップと、
前記基板の少なくとも一部の上に、金属ナノ粒子を含む組成物を堆積させるステップであって、前記塩は前記金属ナノ粒子を凝集させるステップと、
前記シリコン層と電気接触する光電池の導電性形状物の少なくとも一部を前記組成物が形成するように、前記組成物を加熱するステップであって、前記組成物のうち少なくとも1つまたは前記表面改質材料が前記保護層の一領域をエッチングするステップと、
を含む、プロセス。 - 前記組成物は、前記表面改質材料のうち少なくとも一部の上に堆積される、請求項1に記載のプロセス。
- 前記金属ナノ粒子は10ナノメートルから300ナノメートルの体積平均粒径を有する、請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物は前記金属前駆体をさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記金属ナノ粒子は10ナノメートルから100ナノメートルの体積平均粒径を有する、請求項1に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料は複数の塩を含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記塩はフッ化物を含む有機塩を含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記塩はカチオン性ポリマー含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記塩は前記保護層をエッチングする、請求項1に記載のプロセス。
- 前記塩はリン酸塩、硝酸塩、硫酸塩、またはカルボキシレートを含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料は前記保護層をエッチングする、請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物は前記保護層をエッチングする、請求項1に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料は前記組成物の拡散を防止する、請求項1に記載のプロセス。
- 前記加熱するステップが、前記組成物の少なくとも1つまたは前記表面改質材料が前記保護層の前記領域のエッチングを引き起こす、請求項1に記載のプロセス。
- 前記金属は、銀、銅、金、パラジウム、白金、ニッケル、コバルト、亜鉛、モリブデン、タングステン、ルテニウム、チタン、およびその合金からなる群から選択される、請求項1に記載のプロセス。
- 前記金属ナノ粒子は連続的なまたは非連続的なキャップまたはコーティングを自身の上に含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記キャップまたはコーティングは、有機物のキャップまたはコーティングを含む、請求項16に記載のプロセス。
- 前記キャップまたはコーティングはポリマーを含む、請求項16に記載のプロセス。
- 前記キャップまたはコーティングは、真性導電性のポリマー、スルホン化パーフルオロハイドロカーボンポリマー、ポリスチレン、ポリスチレン/メタクリレート、ナトリウムビス(2−エチルヘキシル)スルホサクシネート、テトラ−n−オクチル−臭化アンモニウムまたはアルカンチオレートを含む、請求項16に記載のプロセス。
- 前記キャップまたはコーティングは、ポリビニルピロリドン(PVP)を含む、請求項16に記載のプロセス。
- 前記キャップまたはコーティングはセラミック材料を含む、請求項16に記載のプロセス。
- 前記セラミック材料は複数の金属酸化物の混合物を含む、請求項21に記載のプロセス。
- 前記セラミック材料は、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、アルミニウム、チタン、ルテニウム、スズ、セリウム、鉛、ストロンチウム、ナトリウム、カルシウム、ビスマス、ホウ素、リチウム、およびリンのうち少なくとも1つの酸化物を含む、請求項21に記載のプロセス。
- 前記金属は銀を含み、前記セラミック材料はガラスを含む、請求項21に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料はセラミック粒子をさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記セラミック粒子は複数の金属酸化物の混合物を含む、請求項25に記載のプロセス。
- 前記セラミック粒子は、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、アルミニウム、チタン、ルテニウム、スズ、セリウム、鉛、ストロンチウム、ナトリウム、カルシウム、ビスマス、ホウ素、リチウムまたはリンのうち少なくとも1つの酸化物を含む、請求項25に記載のプロセス。
- 前記組成物はセラミック粒子をさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記セラミック粒子は複数の金属酸化物の混合物を含む、請求項28に記載のプロセス。
- 前記セラミック粒子は、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、アルミニウム、チタン、ルテニウム、スズ、セリウム、鉛、ストロンチウム、ナトリウム、カルシウム、ビスマス、ホウ素、リチウムまたはリンのうち少なくとも1つの酸化物を含む、請求項28に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料は、前記保護層をエッチングしてエッチングされた領域を形成し、前記組成物が前記エッチングされた領域に堆積する、請求項1に記載のプロセス。
- 前記保護層のエッチングに有効な条件下で前記表面改質材料を加熱するステップをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料を加熱するステップが、前記組成物の堆積より前に行われる、請求項32に記載のプロセス。
- 前記表面改質材料を加熱するステップが、前記組成物の堆積と同時に行われる、請求項32に記載のプロセス。
- 前記加熱するステップが、前記組成物を1000℃以下に加熱するステップを含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記光電池の導電性形状物は、1組のフィンガーライン、および前記フィンガーラインに対して実質的に直角に堆積されたバスバーを含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記平行フィンガーラインの幅は200μm未満である、請求項36に記載のプロセス。
- 前記平行フィンガーラインの幅は100μm未満である、請求項36に記載のプロセス。
- 前記光電池の導電性形状物の厚さは0.5μmよりも大きい請求項1に記載のプロセス。
- 前記光電池の導電性形状物の厚さは1μmよりも大きい請求項1に記載のプロセス。
- 前記光電池の導電性形状物の厚さは5μmよりも大きい請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物は、リソグラフィー印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、光パターニング印刷、ドロップオンデマンド印刷、シリンジ印刷およびエアロゾル噴射からなる群から選択された方法により堆積される、請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物はスクリーン印刷により堆積される、請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物は直接描画印刷により堆積される、請求項1に記載のプロセス。
- 前記組成物はインクジェット印刷により堆積される、請求項1に記載のプロセス。
- 光電池の導電性形状物を形成するプロセスであって、
シリコン層上に配置された保護層を含む基板を提供するステップと、
塩を含む表面改質材料を前記保護層の少なくとも一部の上に堆積させるステップと、
前記基板の少なくとも一部の上に、金属ナノ粒子および金属前駆体を含む組成物を堆積させるステップであって、前記塩は前記金属ナノ粒子を凝集させ、前記金属前駆体の金属を金属へ析出させるステップと、
前記シリコン層と電気接触する光電池の導電性形状物の少なくとも一部を前記組成物が形成するように前記組成物を加熱するステップであって、前記組成物のうち少なくとも1つまたは前記表面改質材料が前記保護層の一領域をエッチングするステップと、
を含む、プロセス。 - 前記金属前駆体はアニオンを含み、前記アニオンは前記保護層をエッチングする、請求項46に記載のプロセス。
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