JP5916686B2 - 水素ガス製造方法および水素ガス製造装置 - Google Patents
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Description
Si+2OH−+H2O→SiO3 2−+2H2↑
という反応による。従って、シリコン廃棄物から水素ガスが効率よく得られるようになれば、コスト負荷および環境負荷の面で非常に有利である。
Si+2OH−→Si(OH)2 2++4e−・・・・・・・・・・・・・・・・(1)
4H2O+4e−→4OH−+2H2↑・・・・・・・・・・・・・・・・(2)
Si(OH)2 2++4OH−→SiO2(OH)2 2−+2H2O・・・・・・・・・・(3)
これらの3式はまとめて次式で表される。
Si+2OH−+2H2O→2SiO2(OH)2 2−+2H2↑+423.8kJ・・・・・(4)
このように、シリコン粒子の1モルは、2モルのアルカリおよび2モルの水と反応し、2モルのSiO2(OH)2 2−(メタケイ酸イオンの水和物であり水溶性)と2モルの水素ガスを発生する。
Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑+423.8kJ
という発熱反応が起こる。この反応の発熱量は非常に大きく、水の気化熱の約10倍、水素の燃焼熱の約2倍である。つまり、NaOH水溶液にシリコン粒子を混合すると、混合したシリコン粒子の2倍のモルの水素ガスが発生するとともに、その水素ガスが燃焼したときの2倍の反応熱が発生する。反応熱により反応系の温度が上昇すると、より反応速度が速くなって反応熱が増加する。このポジティブフィードバックのためシリコン粒子とアルカリ水溶液の反応は爆発的に激しくなり制御が極めて困難である。このような反応状態を熱暴走という。
Si+2OH−+H2O→SiO3 2−+2H2↑
という反応式から考えると、反応槽から発生するものは、水素ガスと水蒸気だけのように考えられる。そのため特許文献1、2では、反応槽に凝縮器を結合する構成となっている。凝縮器は、水素ガスと水蒸気の混合気を冷却して混合気の露点を低下させ、水蒸気を水に凝縮させて、混合気から水蒸気を除く装置である。
本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aは、クーラントが油分を含む場合、シリコン粒子の精製をする際、クーラントの油分を完全に取り除くのではなく、適量残したものである。油分は、シリコン粒子とアルカリ水溶液の反応を阻害するため、油分が多すぎると水素ガスが発生しない。逆に油分が少なすぎると水素ガスが爆発的に発生して制御できない。そのためクーラントの油分を適量残す。シリコン粒子と油分だけでは固体であるからポンプによる連続供給が難しい。そのため水を加えてスラッジとする。
(1)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aは、シリコン粒子と、シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の油分と、水を含む。
(2)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aにおいて、油分は、
イソプロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−メチルー2−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール、
エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
の何れか、あるいは、これらの混合物である。これらの物質はクーラントに油分として含まれることがある。
(3)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aにおいて、シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである。シリコン粒子の平均粒径が0.1μm未満であると、油分の反応抑制効果が不十分になることがある。シリコン粒子の平均粒径が30μmを超えると、シリコン粒子の表面積が不足して、反応が不十分になることがある。また、シリコン粒子が沈殿しやすくなり、アルカリ水溶液に均一に分散しないことがある。
(4)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aにおいて、水の重量は、シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である。水の重量がシリコン粒子の重量の1倍未満であると、スラッジの粘度が高すぎて、スラッジポンプでの供給が困難になることがある。水の重量がシリコン粒子の重量の10倍を超えると、シリコン粒子とアルカリ水溶液のバランスが崩れて(アルカリ水溶液の濃度が薄くなりすぎて)、あるいは、反応槽内の混合液の液温が低下して、水素ガスの発生速度が低下することがある。
本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bは、シリコン粒子の精製をする際、クーラント中の、水素ガス発生反応を阻害するような油分をほとんど取り除き、新たに反応抑制物質を加えたものである。反応抑制物質は油分と同じように、シリコン粒子とアルカリ水溶液の反応を抑制する機能をもつ物質である。しかし本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bに用いられる反応抑制物質には、通常、クーラントに含まれない物質もある。反応抑制物質はクーラント中の、水素ガス発生反応を阻害するような油分を除いた後、添加される。クーラント中の油分が残存していると、油分と反応抑制物質の両方が反応抑制作用を生じるため、反応抑制作用の微妙な制御が難しい。そのため、クーラント中の油分をいったん除いてから、反応抑制物質を加える。
(5)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bは、シリコン粒子と、シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の反応抑制物質と、水を含む。
(6)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bにおいて、反応抑制物質は、
ギ酸、乳酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、アクリル酸、オレイン酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、フマル酸、
ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレンオキシド、ポリエチレンイミド、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、
の何れか、あるいは、これらの混合物である。
(7)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bにおいて、シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである。
(8)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bにおいて、水の重量は、シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である。
本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aの製造方法は、シリコン粒子の精製をする際、クーラントの油分を適量(シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%)残すところに特徴がある。
(9)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aの製造方法は、
シリコン粒子とクーラントに由来する油分と水を含むシリコン屑を準備する工程、
シリコン屑を遠心分離または濾過して、シリコン粒子と、シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の油分と、少量の水を含む固形物Aを製造する工程、
固形物Aを乾燥して、シリコン粒子と、シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の油分を含む固形物Bを製造する工程、
固形物Bに水を加えてスラッジAを製造する工程を含む。
(10)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aの製造方法において、油分は、
イソプロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−メチルー2−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール、
エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
の何れか、あるいは、これらの混合物である。
(11)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aの製造方法において、固形物Aの乾燥温度は100℃〜120℃である。この乾燥温度は、水は蒸発するが、油分は蒸発しない温度である。
本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bの製造方法は、シリコン粒子の精製をする際、クーラント中の、水素ガス発生反応を阻害するような油分を高温乾燥工程でほとんど取り除き、その後、新たに反応抑制物質を加えるところに特徴がある。
(12)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bの製造方法は、
シリコン粒子とクーラントに由来する油分と水を含むシリコン屑を準備する工程、
シリコン屑を遠心分離または濾過して、シリコン粒子と油分と少量の水を含む固形物Aを製造する工程、
固形物Aを乾燥して、シリコン粒子と油分を含む固形物Bを製造する工程、
固形物Bを高温乾燥して油分を蒸発させ、シリコン粒子からなる固形物Cを製造する工程、
固形物Cに、シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の反応抑制物質と、水を加えてスラッジBを製造する工程を含む。
(13)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bの製造方法において、反応抑制物質は、
イソプロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−メチルー2−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール、
エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
ギ酸、乳酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、アクリル酸、オレイン酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、フマル酸、
ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレンオキシド、ポリエチレンイミド、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、
の何れか、あるいは、これらの混合物である。
(14)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bの製造方法において、固形物Aの乾燥温度は100℃〜120℃である。この乾燥温度は、水は蒸発するが、油分は蒸発しない温度である。
(15)本発明の水素ガス製造用シリコン原料Bの製造方法において、固形物Bの高温乾燥温度は500℃〜700℃である。この高温乾燥温度は固形物Bに含まれる油分が、ほとんど蒸発する温度である。
本発明の水素ガス製造方法は、本発明の水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bを用いること、水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bの注入速度を反応槽内の混合液の温度に基づいてフィードバック制御すること、アルカリ水溶液の注入速度を反応槽内のアルカリ濃度に基づいてフィードバック制御すること、水素ガス、水蒸気、アルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を含む気体Pをスクラバで処理して、気体Pからアルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を除去することに特徴がある。
(16)本発明の水素ガス製造方法は、
水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bを準備する工程、
アルカリ水溶液を準備する工程、
水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bを、その注入速度を反応槽内の混合液の温度に基づいてフィードバック制御しながら、反応槽に注入する工程、
アルカリ水溶液を、注入速度を反応槽内のアルカリ濃度に基づいてフィードバック制御しながら、反応槽に注入する工程、
反応槽内の、水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料B、およびアルカリ水溶液の混合液を所定温度に維持する工程、
反応槽から取り出された、水素ガス、水蒸気、アルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を含む気体Pをスクラバで処理して、気体Pからアルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を除去する工程、
スクラバで処理した、水素ガスおよび水蒸気を含む気体Qを凝縮器で処理して、気体Qから水蒸気を除去する工程を含む。
(17)本発明の水素ガス製造方法において、アルカリ水溶液はNaOH水溶液またはKOH水溶液である。
(18)本発明の水素ガス製造方法において、NaOH水溶液またはKOH水溶液の濃度は1mol/L〜8mol/Lである。
(19)本発明の水素ガス製造方法において、所定温度は50℃〜90℃である。
(20)本発明の水素ガス製造装置は、
密閉可能な反応槽と、
反応槽に、水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bを供給する手段と、
反応槽にアルカリ水溶液を供給する手段と、
反応槽に設けられた温度計、ヒーターおよび冷却器と、
反応槽の水素ガス取り出し側に、スクラバ、凝縮器、レギュレーターをこの順に備える。
(21)本発明の水素ガス製造装置において、スクラバは反応槽から発生するアルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を除去する。
(22)本発明の水素ガス製造装置において、水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bを供給する手段はモーノポンプまたはギヤーポンプが好ましい。モーノポンプ、ギヤーポンプは、スラッジ状の材料を安定して吐出することができる。
(23)本発明の水素ガス製造装置において、反応槽は、水素ガス製造用シリコン原料Aあるいは水素ガス製造用シリコン原料Bと,アルカリ水溶液を混合する手段を備える。
(1)1価アルコール:イソプロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−メチルー2−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール
(2)多価アルコール:エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
(上記の1価アルコールと多価アルコールをまとめて、X−(OH)nと表示できる。ここでXは、炭素数Cmが3〜7の飽和または不飽和炭化水素基、nは1以上の整数、n<Cmである。)
(3)カルボン酸
・飽和脂肪酸:ギ酸、乳酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸
・不飽和脂肪族カルボン酸:アクリル酸、オレイン酸
・ヒゴロキシ酸:リンゴ酸、クエン酸
・ジカルボン酸:シュウ酸、マレイン酸、フマル酸
(4)水溶性ポリマー、モノマー
ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレンオキシド、ポリエチレンイミド、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール。
Si+2OH−+H2O→SiO3 2−+2H2↑
という反応が起こり、水素ガスが発生する。発生した水素ガスは反応槽201の内部空間に溜まる。
クーラントとして、水90重量%、プロピレングリコール10重量%の混合液を用いた。このクーラントを用いてシリコンインゴットをマルチワイヤーソーで切断してシリコンウエハを製造した。廃クーラントに含まれる切り屑は、平均粒径1μmのシリコン粒子であった。廃クーラントを遠心分離器A(2500rpm)で遠心分離した。
102 シリコンインゴット
103 クーラント
104 シリコンウエハ
105 廃クーラント
106 遠心分離器A
107 再生クーラント
108 シリコン屑
109 遠心分離器B
110 濾過器
111 上澄み
112 固形物A
113 濾液
114 乾燥炉
115 固形物B
116 水
117 スラッジA
118 高温炉
119 油分
120 固形物C
121 反応抑制物質
122 スラッジB
123 水
200 水素ガス製造装置
201 反応槽
202 水素ガス製造用シリコン原料
203 スラッジポンプ
204 アルカリ水溶液
205 アルカリ水溶液ポンプ
206 超音波振動子
207 ヒーター
208 混合液
209 温度計
210 冷却器
211 中和滴定用サンプリング端子
212 圧力計
213 凝縮器
214 スクラバ
215 バックプレッシャーレギュレータ
216 圧縮機
217 ボンベ
218 水素ガス精製装置
Claims (21)
- シリコン粒子と、クーラントから由来する油分であって、前記シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の前記油分と、水と、を含む水素ガス製造用シリコン原料Aを準備する工程、
アルカリ水溶液を準備する工程、
前記水素ガス製造用シリコン原料Aと前記アルカリ水溶液を反応槽内に供給する工程、
前記水素ガス製造用シリコン原料Aを、注入速度を前記反応槽内の前記水素ガス製造用シリコン原料Aと前記アルカリ水溶液との混合液の温度および前記温度の時間変化率に基づいてフィードバック制御しながら、前記反応槽に注入する工程、
前記アルカリ水溶液を、注入速度を前記混合液のアルカリ濃度を測定すると共に、前記アルカリ濃度の時間変化率を計算してフィードバック制御しながら、前記反応槽に注入する工程、
前記反応槽内の、前記混合液を、所定温度に維持する工程、
前記反応槽から取り出された、水素ガス、水蒸気、アルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を含む気体Pを、スクラバで処理して、前記気体Pから前記アルカリ水溶液ミスト、前記メタケイ酸塩水和物ミスト、前記シリコン粒子を除去する工程、
前記スクラバで処理した、前記水素ガスおよび前記水蒸気を含む気体Qを凝縮器で処理して、前記気体Qから前記水蒸気を除去する工程を含む水素ガス製造方法。 - 前記クーラントから由来する油分は、1−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール、 エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
の何れか、あるいは、これらから選択される2以上の混合物である請求項1に記載の水素ガス製造方法。 - 前記シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである請求項1または2に記載の水素ガス製造方法。
- 前記水の重量は、前記シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である請求項1〜3の何れかに記載の水素ガス製造方法。
- シリコン粒子と、前記シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の範囲にあるギ酸、乳酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、アクリル酸、オレイン酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、フマル酸、ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレンオキシド、ポリエチレンイミド、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、の何れか、あるいは、これらから選択される2以上の混合物と、水を含む水素ガス製造用シリコン原料Bを準備する工程、
アルカリ水溶液を準備する工程、
前記水素ガス製造用シリコン原料Bと前記アルカリ水溶液を反応槽内に供給する工程、
前記水素ガス製造用シリコン原料Bを、注入速度を前記反応槽内の前記水素ガス製造用シリコン原料Bと前記アルカリ水溶液との混合液の温度および前記温度の時間変化率に基づいてフィードバック制御しながら、前記反応槽に注入する工程、
前記アルカリ水溶液を、注入速度を前記混合液のアルカリ濃度を測定すると共に、アルカリ濃度の時間変化率を計算してフィードバック制御しながら、前記反応槽に注入する工程、
前記反応槽内の、前記混合液を、所定温度に維持する工程、
前記反応槽から取り出された、水素ガス、水蒸気、アルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を含む気体Pを、スクラバで処理して、前記気体Pから前記アルカリ水溶液ミスト、前記メタケイ酸塩水和物ミスト、前記シリコン粒子を除去する工程、
前記スクラバで処理した、前記水素ガスおよび前記水蒸気を含む気体Qを凝縮器で処理して、前記気体Qから前記水蒸気を除去する工程を含む水素ガス製造方法。 - 前記シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである請求項5に記載の水素ガス製造方法。
- 前記水の重量は、前記シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である請求項5または6に記載の水素ガス製造方法。
- 前記アルカリ水溶液がNaOH水溶液またはKOH水溶液である請求項1〜7の何れかに記載の水素ガス製造方法。
- 前記NaOH水溶液またはKOH水溶液の濃度が1mol/L〜8mol/Lである請求項8に記載の水素ガス製造方法。
- 前記所定温度が50℃〜90℃である請求項1〜9の何れかに記載の水素ガス製造方法。
- 密閉可能な反応槽と、
前記反応槽に、シリコン粒子と、クーラントから由来する油分であって、前記シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の油分と、水と、を含む水素ガス製造用シリコン原料Aを供給する手段と、
前記反応槽にアルカリ水溶液を供給する手段と、
前記反応槽内の前記水素ガス製造用シリコン原料Aと前記アルカリ水溶液との混合液の温度が所定の温度になるように、前記混合液の温度を測定すると共に、温度の時間変化率を計算して、水素ガス製造用シリコン原料Aの注入速度をフィードバック制御する手段と、
前記混合液のアルカリ濃度が所定の値になるように、前記混合液のアルカリ濃度を測定すると共に、前記アルカリ濃度の時間変化率を計算して、前記アルカリ水溶液の注入速度をフィードバック制御する手段と、
前記反応槽内に設けられた、水素ガス製造用シリコン原料Aと前記アルカリ水溶液を均一に混合する手段と、
前記反応槽に設けられた温度計、ヒーターおよび冷却器と、
前記反応槽の水素ガス取り出し側に、スクラバ、凝縮器、レギュレーターをこの順に備えた水素ガス製造装置。 - 前記クーラントから由来する油分は、1−ブタノール、2−メチルー1−プロパノール、2−エチルー1−ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、1、2−プロパンジオール、1、4−ブタンジオール、1、2−ブタンジオール、1、3−ブタンジオール、1、5−ペンタンジオール、
の何れか、あるいは、これらから選択される2以上の混合物である請求項11に記載の水素ガス製造装置。 - 前記シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである請求項11または12に記載の水素ガス製造装置。
- 前記水の重量は、前記シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である請求項11〜13の何れかに記載の水素ガス製造装置。
- 前記スクラバが前記反応槽から発生するアルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を除去する請求項11〜14に記載の水素ガス製造装置。
- 前記水素ガス製造用シリコン原料Aを供給する手段がモーノポンプまたはギヤーポンプである請求項11〜15に記載の水素ガス製造装置。
- 密閉可能な反応槽と、
前記反応槽に、シリコン粒子と、前記シリコン粒子の0.1重量%〜10重量%の範囲にあるギ酸、乳酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、アクリル酸、オレイン酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、フマル酸、ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレンオキシド、ポリエチレンイミド、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、の何れか、あるいは、これらから選択される2以上の混合物と、水を含む水素ガス製造用シリコン原料Bを供給する手段と、
前記反応槽にアルカリ水溶液を供給する手段と
前記反応槽内の前記水素ガス製造用シリコン原料Bと前記アルカリ水溶液との混合液の温度が所定の温度になるように、前記混合液の温度を測定すると共に、前記温度の時間変化率を計算して、水素ガス製造用シリコン原料Bの注入速度をフィードバック制御する手段と、
前記混合液のアルカリ濃度が所定の値になるように、前記混合液のアルカリ濃度を測定すると共に、前記アルカリ濃度の時間変化率を計算して、前記アルカリ水溶液の注入速度をフィードバック制御する手段と、
前記反応槽内に設けられた前記水素ガス製造用シリコン原料Bと前記アルカリ水溶液を均一に混合する手段と、
前記反応槽に設けられた温度計、ヒーターおよび冷却器と、
前記反応槽の水素ガス取り出し側に、スクラバ、凝縮器、レギュレーターをこの順に備えた水素ガス製造装置。 - 前記シリコン粒子の平均粒径は0.1μm〜30μmである請求項17に記載の水素ガス製造装置。
- 前記水の重量は、前記シリコン粒子の重量の1倍〜10倍である請求項17または18に記載の水素ガス製造装置。
- 前記スクラバが前記反応槽から発生するアルカリ水溶液ミスト、メタケイ酸塩水和物ミスト、シリコン粒子を除去する請求項17〜19の何れかに記載の水素ガス製造装置。
- 前記水素ガス製造用シリコン原料Bを供給する手段がモーノポンプまたはギヤーポンプである請求項17〜20の何れかに記載の水素ガス製造装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013234272A JP5916686B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 水素ガス製造方法および水素ガス製造装置 |
CN201480062004.0A CN105722785A (zh) | 2013-11-12 | 2014-09-17 | 氢气制造用硅原料a、氢气制造用硅原料b、氢气制造用硅原料a的制造方法、氢气制造用硅原料b的制造方法、氢气制造方法和氢气制造装置 |
KR1020167010627A KR101726983B1 (ko) | 2013-11-12 | 2014-09-17 | 수소가스 제조방법 및 수소가스 제조장치 |
MYPI2016000885A MY176196A (en) | 2013-11-12 | 2014-09-17 | Silicon material a for hydrogen gas production, silicon material b for hydrogen gas production, method for producing silicon material a for hydrogen gas production, method for producing silicon material b for hydrogen gas production, method for producing hydrogen gas, and device for producing hydrogen gas |
PCT/JP2014/074516 WO2015072224A1 (ja) | 2013-11-12 | 2014-09-17 | 水素ガス製造用シリコン原料a、水素ガス製造用シリコン原料b、水素ガス製造用シリコン原料aの製造方法、水素ガス製造用シリコン原料bの製造方法、水素ガス製造方法および水素ガス製造装置 |
TW103135735A TWI585038B (zh) | 2013-11-12 | 2014-10-15 | Hydrogen production method and hydrogen production apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013234272A JP5916686B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 水素ガス製造方法および水素ガス製造装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015093808A JP2015093808A (ja) | 2015-05-18 |
JP2015093808A5 JP2015093808A5 (ja) | 2016-02-04 |
JP5916686B2 true JP5916686B2 (ja) | 2016-05-11 |
Family
ID=53057169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013234272A Expired - Fee Related JP5916686B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 水素ガス製造方法および水素ガス製造装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5916686B2 (ja) |
KR (1) | KR101726983B1 (ja) |
CN (1) | CN105722785A (ja) |
MY (1) | MY176196A (ja) |
TW (1) | TWI585038B (ja) |
WO (1) | WO2015072224A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI618673B (zh) * | 2016-09-20 | 2018-03-21 | 國立清華大學 | 化學產氫方法及其系統 |
CN114604826A (zh) * | 2020-12-09 | 2022-06-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种基于细硅粉与硅酸钠的制氢方法 |
KR102576442B1 (ko) | 2021-03-26 | 2023-09-07 | 금오공과대학교 산학협력단 | 에틸렌글리콜과 테레프탈산 기반의 수소생성 전기화학분해 반응장치, 이를 이용한 전기화학적 분해를 통한 수소 생산 방법 및 수소 생산 장치 |
KR102576440B1 (ko) | 2021-03-26 | 2023-09-07 | 금오공과대학교 산학협력단 | 메탄올 기반의 수소생성 전기화학분해 반응장치, 이를 이용한 순수 메탄올의 전기화학적 분해를 통한 수소 생산 방법 및 수소 생산 장치 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4072982B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2008-04-09 | 株式会社スギノマシン | 水素製造装置および水素製造方法 |
JP4072985B2 (ja) | 2000-01-28 | 2008-04-09 | 株式会社スギノマシン | 水素製造方法および装置 |
TWI260344B (en) * | 2001-01-12 | 2006-08-21 | Safe Hydrogen Llc | A method of operating a hydrogen-fueled device |
DE10258072A1 (de) * | 2002-12-11 | 2004-07-01 | Wacker-Chemie Gmbh | Verfahren zur Erzeugung von Wasserstoff |
JP2004307328A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-11-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 水素製造方法、水素製造装置およびこれを備えた発動機 |
US7727293B2 (en) * | 2005-02-25 | 2010-06-01 | SOCIéTé BIC | Hydrogen generating fuel cell cartridges |
JP2010037120A (ja) * | 2008-08-04 | 2010-02-18 | Hitachi Maxell Ltd | 水素製造装置、燃料電池発電システム、水素の製造方法および水素製造量の抑制方法 |
JP4966938B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2012-07-04 | シャープ株式会社 | シリコンの再生方法 |
GB0919830D0 (en) * | 2009-11-12 | 2009-12-30 | Isis Innovation | Preparation of silicon for fast generation of hydrogen through reaction with water |
TWI507354B (zh) * | 2009-12-10 | 2015-11-11 | Ind Tech Res Inst | 固態氫燃料及其穩定供氫的方法 |
KR101273254B1 (ko) * | 2010-02-17 | 2013-06-11 | 코웨이 주식회사 | 실리콘 폐수를 활용한 수소 에너지 생산 시스템 및 실리콘 폐수를 활용한 수소 에너지 생산 방법 |
JP2012139652A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | Sumco Corp | ワイヤソースラッジからのグリコール除去方法 |
CN102190289A (zh) * | 2011-03-28 | 2011-09-21 | 蚌埠鑫源石英材料有限公司 | 一种以发生氢气为目的的硅粉体组成物 |
JP5972660B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-08-17 | 株式会社アドマテックス | コロイドシリカの製造方法及びcmp用スラリーの製造方法 |
-
2013
- 2013-11-12 JP JP2013234272A patent/JP5916686B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-09-17 MY MYPI2016000885A patent/MY176196A/en unknown
- 2014-09-17 WO PCT/JP2014/074516 patent/WO2015072224A1/ja active Application Filing
- 2014-09-17 CN CN201480062004.0A patent/CN105722785A/zh active Pending
- 2014-09-17 KR KR1020167010627A patent/KR101726983B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-15 TW TW103135735A patent/TWI585038B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI585038B (zh) | 2017-06-01 |
KR20160081902A (ko) | 2016-07-08 |
WO2015072224A1 (ja) | 2015-05-21 |
CN105722785A (zh) | 2016-06-29 |
JP2015093808A (ja) | 2015-05-18 |
MY176196A (en) | 2020-07-24 |
KR101726983B1 (ko) | 2017-04-13 |
TW201520167A (zh) | 2015-06-01 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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