JP5868326B2 - 新規なジビニルエーテル化合物及びその製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献2には1,3−アダマンタンジメタノールジビニルエーテルが記載されているが、この化合物は本発明に係るジビニルエーテル化合物とは環化重合のしやすさの点で相違するものである。
ステンレス鋼(SUS)製の耐圧反応容器等の反応容器中に、溶媒として、非プロトン性極性溶媒、例えばジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、N,N’−ジメチルエチレン尿素、N,N’−ジメチルプロピレン尿素、N,N’−ジエチルエチレン尿素、N,N’−ジイソプロピルエチレン尿素、N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサメチルリン酸トリアミド、1,3,4−トリメチル−2−イミダゾリジノン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ポリエチレングリコールジメチルエーテル等から選択される少なくとも1種の非プロトン性溶媒を入れ、次に原料化合物である2,2−ノルボルナンジメタノール又は5−ノルボルネン−2,2−ジメタノールを供給し、反応触媒として、例えば水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸化物等のアルカリ性化合物を添加する。この際、非プロトン性極性溶媒の使用量には特に制限はないが、非プロトン性極性溶媒の使用量は、2,2−ノルボルナンジメタノール又は5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール100質量部に対して、好ましくは100〜1,000質量部、更に好ましくは200〜700質量部である。非プロトン性極性溶媒の使用量が、2,2−ノルボルナンジメタノール又は5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール100質量部に対して、100質量部未満の場合、反応の選択性が低下するおそれがあるので好ましくない。一方、非プロトン性極性溶媒の使用量が、2,2−ノルボルナンジメタノール又は5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール100質量部に対して、1000質量部を超えた場合、反応終了後の溶媒除去が煩雑になるおそれがあるので好ましくない。また、反応触媒であるアルカリ性化合物の使用量にも、特に制限はないが、アルカリ性化合物の使用量は、2,2−ノルボルナンジメタノール又は5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール100質量部に対して、好ましくは少なくとも2質量部であり、更に好ましくは4〜50質量部である。
2,2−ノルボルナンジメタノールの調製
5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール(東京化成工業(株)より市販)138.18gをエタノール481.63gに溶解し、5%Pd−C 6.92gを加え、水素風船を付け6時間撹拌した。Pd−Cを濾別後、反応溶液を濃縮し、乾燥することにより2,2−ノルボルナンジメタノール129.83gを得た(ガスグロマトグラフィーによる純度99.1%、収率92.9%)。
攪拌器、圧力ゲージ、温度計、ガス導入管及びガスパージラインを備えた容量300mlのSUS製耐圧反応容器に、ジメチルスルホキシド70.07g、調製例1で調製した2,2−ノルボルナンジメタノール8.00g(0.044mol)及び純度95.0%の水酸化カリウム1.52g(0.031mol)を仕込み、攪拌下に約60分間窒素ガスを流し、容器内を窒素にて置換した。次いで、反応容器を密封し、容器内にアセチレンガスを0.18MPaの圧力で圧入した。次いで、ゲージ圧力を0.18MPaに保ちながら徐々に昇温し、反応容器内温が90℃を越えないように制御し、約2時間反応させた。この間、逐次アセチレンガスを補充して反応容器内の圧力を常に0.18MPaに保った。反応終了後、残留するアセチレンガスをパージして、反応液95.90gを得た。この反応液のガスクロ分析の結果、2,2−ノルボルナンジメタノールの転化は定量的に進行し、所望の2,2−ビス[(エテニロキシ)メチル]ビシクロ[2.2.1]ヘプタンの選択率は99.2%であった。
重合開始剤及びルイス酸としては、HCl/ZnCl2を用いた。シュレンク管に、実施例1で得た2,2−ビス[(エテニロキシ)メチル]ビシクロ[2.2.1]ヘプタンの9質量%トルエン溶液4.0mL、0.18%HCl溶液0.5mL、ZnCl2溶液0.5mLを、この順に注射器で注入して、重合を開始した。トルエン中、−30℃、モノマー濃度0.30mol/L(ガスクロマトグラフィーの内部標準としてテトラリンを含有)、HCl濃度5.0mmol/L、ZnCl2濃度2.0mmol/Lで行った。重合は、180分で重合率100%に達し、重合系にアンモニア水を少量加えたメタノールを加えて、重合を停止させた。
また、これをフォトレジスト用原料に用いたところ、低臭気、低揮発性、低皮膚刺激性及び低毒性であり、さらにガラス転移温度が高いため、良好な強度を有するレジストが得られた。
攪拌器、圧力ゲージ、温度計、ガス導入管及びガスパージラインを備えた容量300mlのSUS製耐圧反応容器に、ジメチルスルホキシド70.07g、5−ノルボルネン−2,2−ジメタノール(東京化成工業(株)より市販)7.00g(0.038mol)及び純度95.0%の水酸化カリウム1.30g(0.027mol)を仕込み、攪拌下に約60分間窒素ガスを流し、容器内を窒素にて置換した。次いで、反応容器を密封し、容器内にアセチレンガスを0.18MPaの圧力で圧入した。次いで、ゲージ圧力を0.18MPaに保ちながら徐々に昇温し、反応容器内温が90℃を越えないように制御し、約2時間30分反応させた。この間、逐次アセチレンガスを補充して反応容器内の圧力を常に0.18MPaに保った。反応終了後、残留するアセチレンガスをパージして、反応液81.99gを得た。この反応液のガスクロ分析の結果、5−ノルボルネン−2,2−ジメタノールの転化は定量的に進行し、所望の5,5−ビス[(エテニロキシ)メチル]ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンの選択率は99.9%であった。
重合開始剤及びルイス酸は、HCl/ZnCl2を用いた。シュレンク管に、実施例2で得た5,5−ビス[(エテニロキシ)メチル]ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンの9質量%トルエン溶液4.0mL、0.18%HCl溶液0.5mL、ZnCl2溶液0.5mLを、この順に注射器で注入して、重合を開始した。トルエン中、−30℃、モノマー濃度0.30mol/L(ガスクロマトグラフィーの内部標準としてテトラリンを含有)、HCl濃度5.0mmol/L、ZnCl2濃度2.0mmol/Lで行った。重合は、60分で重合率91%に達し、重合系に、アンモニア水を少量加えたメタノールを加えて、重合を停止した。
また、これをフォトレジスト用原料)に用いたところ、低臭気、低揮発性、低皮膚刺激性及び低毒性であり、さらにガラス転移温度が高いため、良好な強度を有するレジストが得られた。
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