JP5864109B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、洗浄装置に関し、より詳しくは、洗浄対象物に付着された異物を除去する洗浄装置に関する。

一般に、有機発光表示装置において、有機発光素子のための有機物層を形成するときには、メタルマスクを使用した蒸着工程が利用されている。

良質の有機発光表示装置を製造するためには、メタルマスクの洗浄が重要であり、これはメタルマスクの表面に周囲環境で発生した汚染粒子や蒸着工程中に塗布された有機物が完全に洗浄されることなく残れば、所望する有機物の蒸着工程をうまく行うことができず、生産収率に影響を与える恐れがあるためである。

本発明の目的は、洗浄対象物を効率的に洗浄することができる洗浄装置を提供することにある。

本発明の実施形態に係る洗浄装置は、洗浄液が設定された高さまで満たされた洗浄液タンクと、前記洗浄液タンクの内部に備わるマイナス電極と、有機発光表示装置製造用メタルマスクが一側に取り付けられ、前記メタルマスクが前記マイナス電極に接触することを誘導するメタルジグと、前記メタルマスクと設定された間隔を置いて前記洗浄液タンクの内部に設けられるプラス電極と、前記マイナス電極及び前記プラス電極に電気的に接続される整流装置とを含む。

前記洗浄装置は、前記洗浄液タンクの下部に設けられて、前記整流装置から供給されたマイナス電圧を前記マイナス電極に伝達するマイナスブースバーと、前記マイナスブースバーに設けられて、前記マイナス電極と接触される弾性部材とをさらに含むことができる。

前記メタルジグの上端には前記洗浄液タンクの一側に掛かる掛けバーを連結することができる。

前記洗浄装置は、前記メタルジグを設定された位置から水平及び垂直移動して、前記洗浄液タンクの上部に形成された入口部を通じて前記洗浄液タンクの内部にローディング及びアンローディングするロボットと、前記整流装置と前記ロボットを設定されたプログラムによって遠隔で制御する遠隔制御装置と、前記整流装置と前記遠隔制御装置の状態を表示する表示装置とをさらに含むことができる。

前記プラス電極は、前記メタルジグを中心に置き、前記メタルジグと間隔を置いて前記洗浄液タンクの内面に複数設置され、前記メタルマスクと対向して配置される。

前記洗浄装置は、前記洗浄液タンクの上部入口を覆うカバーをさらに含むことができる。前記カバーには前記洗浄液タンクで発生するガスを外部に排出する排気ラインが連結され、前記排気ラインには前記排気ラインを通るガスの濃度を感知するガス濃度計を設けることができる。

前記ガス濃度計は、水素の濃度を感知する水素濃度計とすることができる。

前記メタルマスクと前記メタルジグとの間には絶縁部材を介することができる。

本発明に係る洗浄装置によれば、マイナス電極に洗浄対象物を接触させた状態でメタルマスクに対する洗浄を良好に実施することができる。

さらに、ロボットを利用して洗浄液タンクの設定された位置、つまり洗浄槽の下部に設けられたマイナスブースバーにメタルマスクを容易にローディングすることができる。

本発明の実施形態に係る洗浄装置の概略的な内部構成図である。 本発明の実施形態に係る洗浄装置の全体的なシステム構成図である。 本発明の実施形態に係る洗浄装置の内部側面図及びその一部詳細図である。 本発明の実施形態に係る洗浄装置の内部正面図である。 本発明の実施形態に係る洗浄装置の側面図である。

以下、添付した図面を参照して、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように本発明の実施形態について詳細に説明する。本発明は種々の相異な形態に実現でき、ここで説明する実施形態に限られない。

本発明の実施形態を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、明細書の全体にわたって同一または類似する構成要素に対しては同一の参照符号を付けた。

また、図面において、説明の便宜のために各構成の大きさ及び厚さを任意で示したので、本発明がこれに限られない。

図面において、種々の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分「の上に」または「上に」あるというとき、これは他の部分の「すぐ上」にある場合だけでなく、その間に他の部分がある場合も含む。一方、ある部分が他の部分の「すぐ上」にあるというときには、中間に他の部分がないことを意味する。

図１は、本発明の実施形態に係る洗浄装置を概略的に示した構成図である。

図１を参照すれば、洗浄装置は、プラス電極１４０、洗浄対象物であるメタルマスク１００、洗浄液１２０、マイナスブースバー１５０、弾性部材１７０、マイナス電極１８０が収容される洗浄液タンク１３０、及びプラス電極１４０とマイナス電極１８０に電気的に接続された整流装置１１０を含む。ここで、洗浄液タンク１３０の底面にはサポート１９７が設けられ、洗浄液タンク１３０の上端にはストッパー１９５によって支持された掛けバー１９０が設けられる。

洗浄液タンク１３０には洗浄液１２０が設定された高さまで充填されて、この洗浄液１２０に浸るようにメタルジグ１０５が設けられる。このメタルジグ１０５には、洗浄対象物としてステンレスやインバー（ｉｎｖａｒ）材質のメタルマスク１００が固定されて設けられる。ここで洗浄対象物は、有機発光表示装置をはじめとする電子機器の製造工程中に用いることができるメタルマスクをはじめとして、異物の除去が必要な適正の洗浄対象物が適用できる。

洗浄液タンク１３０の内部下段部にはサポート１９７によって支持されたマイナスブースバー１５０が固定されて設けられる。

図面に示したように、サポート１９７はその一端を洗浄液タンク１３０の底面に固定させて、洗浄液タンク１３０の内部に設置されているが、これとは異なって一端を洗浄液タンク１３０の側面に固定させることもできる。

マイナスブースバー１５０の上端には弾性部材１７０によって弾性的に支持されるマイナス電極１８０が配置され、弾性部材１７０とマイナス電極１８０とを中心に置き、これらの両側にガイド１６０を配置することができる。このガイド１６０は洗浄装置の設計仕様によって選択的に備えることができる。

メタルマスク１００が装着されたメタルジグ１０５を洗浄液タンク１３０の内部に設置するために、メタルジグ１０５が洗浄液タンク１３０の上部から下部方向に移動すると、メタルマスク１００の下端面がマイナス電極１８０に密着する。メタルマスク１００とメタルジグ１０５との間には、これらを絶縁させるための絶縁部材１０７が配置される。
ここで、弾性部材１７０はマイナス電極１８０をメタルマスク１００に弾性的に密着させる。

メタルジグ１０５の上段部には掛けバー１９０が備えられ、掛けバー１９０は洗浄液タンク１３０の上端に形成されたストッパー１９５によって支持される。したがって、メタルジグ１０５は洗浄液タンク１３０の設定された位置に堅固に支持される。

同時に、ガイド１６０は、メタルジグ１０５が洗浄液タンク１３０の上部から下部に移動するとき、メタルジグ１０５の移動をガイドして、メタルマスク１００とマイナス電極１８０とが容易に接触するようにする。

図１に示したように、プラス電極１４０は、メタルジグ１０５を中心に置いて両側に複数配置され、洗浄液タンク１３０の両内側面に近接または密着するように設けられる。本実施形態は洗浄液タンク１３０の内側面に密着した場合である。このとき、一つのプラス電極１４０はメタルマスク１００と対向するように配置される。

洗浄液タンク１３０の外部にはマイナスブースバー１５０及び前記プラス電極１４０と電気的に接続された整流装置１１０が設けられ、整流装置１１０はマイナスブースバー１５０にマイナス電圧を印加し、プラス電極１４０にプラス電圧を印加する。

マイナスブースバー１５０に印加されたマイナス電圧は、弾性部材１７０及びマイナス電極１８０を通じてメタルマスク１００に伝達される。

図２は、本発明の実施形態による洗浄装置の全体的なシステム構成図である。図２を参照すれば、洗浄液タンク１３０の上部にはロボット２００が配置され、ロボット２００はメタルジグ１０５を３次元空間で垂直または水平に移動して、洗浄液タンク１３０の内部の設定された位置にローディングさせる。

整流装置１１０は遠隔制御装置２１０に連結され、遠隔制御装置２１０は整流装置１１０及び遠隔制御装置２１０の状態を表示する表示装置２２０に連結される。同時に、ロボット２００は設定されたプログラムに従って遠隔制御装置２１０によって制御することができる。

図示したように、洗浄液タンク１３０の上部入口部にはカバー２３０を設けてもよく、カバー２３０は、洗浄液タンク１３０の上部入口部を密閉するように、ロボット２００によって装着及び離脱されることができる。

図３は、本発明の実施形態に係る洗浄装置の内部側面図及びその一部詳細図である。

図３を参照すれば、マイナスブースバー１５０には弾性部材１７０が設けられ、この弾性部材１７０の端部にはマイナス電極１８０が具備される。

弾性部材１７０は、半円状に曲がった板スプリング形態を有しており、これによってマイナス電極１８０をメタルマスク１００に弾性的に密着させる。

本発明の実施形態において、メタルジグ１０５が洗浄液タンク１３０に入水され、その一端をマイナスブースバー１５０に接触させて、これによって支持されるとき、掛けバー１９０がストッパー１９５に接触するので、メタルジグ１０５は洗浄液タンク１３０の内部に堅固な状態で配置できる。

図４Ａ及び図４Ｂは、それぞれ本発明の実施形態に係る洗浄装置の内部正面図及び側面図である。

図４Ａ及び図４Ｂを参照すれば、洗浄液タンク１３０の上部入口部に設けられたカバー２３０は、洗浄液タンク１３０の内部で発生しうるガスが外部に漏れ出ないように、入口部を密封する構造を持つことが好ましい。

同時に、カバー２３０には洗浄液タンク１３０の内部で発生した反応ガスが排出される排気ライン４００が連結され、排気ライン４００には水素濃度計４１０を設置してもよい。

このために、洗浄液１２０がメタルマスク１００を洗浄する間に洗浄液１２０で発生する水素ガスは排気ライン４００を通じて排出され、水素濃度計４１０はその水素の濃度を感知して遠隔制御装置２１０に送信し、表示装置２２０にはこれによる値が表示される。

本発明の実施形態において、洗浄装置は、排気ライン４００を移動する水素の濃度を利用して、メタルマスクの洗浄状態を感知することができる。

上述のように、ロボットを利用して洗浄液タンク１３０の設定された位置、つまり洗浄液タンク１３０の下部に設けられたマイナスブースバー１５０にメタルジグ１０５を容易にローディングすることができる。

同時に、弾性部材１７０は、マイナスブースバー１５０に装着されたマイナス電極１８０にメタルマスク１００を弾性的に密着させて電圧を安定的に印加し、排気ライン４００に設けられた前記水素濃度計４１０を利用して洗浄状態を容易に確認することができる。

以上、本発明に関する好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の実施形態から当該発明が属する技術分野における通常の知識を有する者によって容易に変更されて均等であると認められる範囲の全ての変更を含む。

１００ メタルマスク
１１０ 整流装置
１０５ メタルジグ
１２０ 洗浄液
１３０ 洗浄液タンク
１４０ プラス電極
１５０ マイナスブースバー
１６０ ガイド
１７０ 弾性部材
１８０ マイナス電極
１９０ 掛けバー
１９５ ストッパー
１９７ サポート
２００ ロボット
２１０ 遠隔制御装置
２２０ 表示装置

Claims (8)

1. 洗浄液が設定された高さまで満たされた洗浄液タンク；
   前記洗浄液タンクの内部に備わっており、その近傍にガイドが設けられたマイナス電極；
   有機発光表示装置製造用メタルマスクが絶縁部材を介して一側に取り付けられ、前記ガイドと協働することによって前記メタルマスクが前記マイナス電極に接触することを誘導するメタルジグ；
   前記メタルマスクと設定された間隔を置いて、前記洗浄液タンクの内部に設けられるプラス電極；及び
   前記マイナス電極及び前記プラス電極に電気的に接続される整流装置を含む洗浄装置。
2. 前記洗浄液タンクの下部に設けられて、前記整流装置から供給されたマイナス電圧を前記マイナス電極に伝達するマイナスブースバー；及び
   前記マイナスブースバーに設けられて、前記マイナス電極と接触する弾性部材をさらに含む、請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記メタルジグの上端には前記洗浄液タンクの一側に掛かる掛けバーが連結される、請求項１に記載の洗浄装置。
4. 前記メタルジグを設定された位置から水平及び垂直移動して、前記洗浄液タンクの上部に形成された入口部を通じて前記洗浄液タンクの内部にローディング及びアンローディングするロボット；
   前記整流装置及び前記ロボットを設定されたプログラムによって遠隔で制御する遠隔制御装置；及び
   前記整流装置と前記遠隔制御装置の状態を表示する表示装置をさらに含む、請求項１に記載の洗浄装置。
5. 前記プラス電極は、前記メタルジグを中心に置き、前記メタルジグと間隔を置いて前記洗浄液タンクの内面に複数設置され、前記メタルマスクと対向して配置される、請求項１に記載の洗浄装置。
6. 前記洗浄液タンクの上部入口を覆うカバーをさらに含み、
   前記カバーには前記洗浄液タンクで発生するガスを外部に排出する排気ラインが連結され、前記排気ラインには前記排気ラインを通るガスの濃度を感知するガス濃度計が設けられる、請求項１に記載の洗浄装置。
7. 前記ガス濃度計は水素の濃度を感知する水素濃度計である、請求項６に記載の洗浄装置。
8. 前記メタルマスクと前記メタルジグとの間には絶縁部材が介される、請求項１に記載の洗浄装置。

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