JPH07108235A - 金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置Info
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- JPH07108235A JPH07108235A JP5281644A JP28164493A JPH07108235A JP H07108235 A JPH07108235 A JP H07108235A JP 5281644 A JP5281644 A JP 5281644A JP 28164493 A JP28164493 A JP 28164493A JP H07108235 A JPH07108235 A JP H07108235A
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- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
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- B03C1/00—Magnetic separation
- B03C1/02—Magnetic separation acting directly on the substance being separated
- B03C1/30—Combinations with other devices, not otherwise provided for
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F1/00—Electrolytic cleaning, degreasing, pickling or descaling
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/16—Polishing
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 脱脂や整面処理に伴って金属薄板の表面から
分離除去されて脱脂液や整面液中に浮遊している汚染物
質が金属薄板表面に再付着するのを防止し、エッチング
工程でのピンホールやレジストの膜浮きなどが起こらな
いようにする。 【構成】 脱脂液又は整面液14の液中又は液面に磁石2
2、28を設置し、液中に浮遊している汚染物質を磁石に
吸着させて取り除く。
分離除去されて脱脂液や整面液中に浮遊している汚染物
質が金属薄板表面に再付着するのを防止し、エッチング
工程でのピンホールやレジストの膜浮きなどが起こらな
いようにする。 【構成】 脱脂液又は整面液14の液中又は液面に磁石2
2、28を設置し、液中に浮遊している汚染物質を磁石に
吸着させて取り除く。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フォトエッチングに
よりカラー受像管用シャドウマスクやアパチャーグリ
ル、リードフレーム、小型歯車、表示管用メッシュ電極
等を製造する場合において、シャドウマスク材、アパチ
ャーグリル材等の金属薄板の表面にフォトレジスト膜を
被着形成する前に、金属薄板の表面を脱脂或いは整面し
て清浄化処理する金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置に関
する。
よりカラー受像管用シャドウマスクやアパチャーグリ
ル、リードフレーム、小型歯車、表示管用メッシュ電極
等を製造する場合において、シャドウマスク材、アパチ
ャーグリル材等の金属薄板の表面にフォトレジスト膜を
被着形成する前に、金属薄板の表面を脱脂或いは整面し
て清浄化処理する金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】カラー受像管は、３本の電子ビームを放
射する電子銃と、この電子銃から放射された電子ビーム
を受けて三原色に発光する螢光体と、これらの螢光体と
電子銃との間に配置され、各電子ビームのうちの必要な
方向の電子ビームだけを選択的に通過させて不要な方向
の電子ビームを遮断するためのシャドウマスク又はアパ
チャーグリルとを備えて構成されている。これらの構成
要素のうち、シャドウマスク又はアパチャーグリル（以
下、シャドウマスクを例にとって説明する）は、大量に
かつ連続工程で生産されるのが一般的であり、シャドウ
マスク材は、１〜２トンのコイルで鋼板メーカーよりシ
ャドウマスクメーカーへ送られ、シャドウマスクメーカ
ーでは、一連のフォトエッチング工程が終了して１枚ご
とのシャドウマスクに分画切断されるまで、シャドウマ
スク材に対し長尺帯状の形態のままで各種処理が行なわ
れる。
射する電子銃と、この電子銃から放射された電子ビーム
を受けて三原色に発光する螢光体と、これらの螢光体と
電子銃との間に配置され、各電子ビームのうちの必要な
方向の電子ビームだけを選択的に通過させて不要な方向
の電子ビームを遮断するためのシャドウマスク又はアパ
チャーグリルとを備えて構成されている。これらの構成
要素のうち、シャドウマスク又はアパチャーグリル（以
下、シャドウマスクを例にとって説明する）は、大量に
かつ連続工程で生産されるのが一般的であり、シャドウ
マスク材は、１〜２トンのコイルで鋼板メーカーよりシ
ャドウマスクメーカーへ送られ、シャドウマスクメーカ
ーでは、一連のフォトエッチング工程が終了して１枚ご
とのシャドウマスクに分画切断されるまで、シャドウマ
スク材に対し長尺帯状の形態のままで各種処理が行なわ
れる。
【０００３】ここで、シャドウマスクは、フォトエッチ
ング法を利用して以下のような工程を経ることにより製
造されている。すなわち、まず、長尺帯状で板厚が約
０．０５mm〜０．３mm程度の低炭素アルミキルド鋼やニ
ッケルを３６％含有するインバー型合金等のシャドウマ
スク材の表面から防錆油を除去し、水洗し、酸性溶液又
はアルカリ性溶液を用いてシャドウマスク材表面の酸化
皮膜等を除去した後、水洗する（脱脂、整面工程）。次
に、シャドウマスク材の表裏両面に感光液、例えばカゼ
インと重クロム酸塩とからなる感光液を塗布し、それを
乾燥させて、厚みが数μｍのフォトレジスト膜を被着形
成する（コーティング工程）。続いて、シャドウマスク
材の両面に被着形成された各フォトレジスト膜の表面
に、形成しようとする電子ビーム通過孔に対応した所要
の画像を有するマスターパターンを、表・裏で画像位置
を一致させてそれぞれ密着させ、露光を行なう（焼付け
工程）。露光後に、温水等を用いて現像し、硬膜処理と
してシャドウマスク材を無水クロム酸溶液中へ浸漬した
後、２２０〜２８０℃程度の熱風や赤外線ヒーターによ
るバーニング処理を施すことにより、シャドウマスク材
の両主面に所要のパターン状画像の耐食性皮膜（レジス
ト膜）をそれぞれ形成する（現像工程）。そして、塩化
第二鉄水溶液を用いてシャドウマスク材の両主面に対し
スプレイエッチングを行なって、シャドウマスク材に多
数の透孔を形成した後、その両面からレジスト膜を剥離
する（エッチング工程）。最後に、シャドウマスクを１
枚ずつに分画切断して（シャーリング工程）、一連の工
程を終了する。
ング法を利用して以下のような工程を経ることにより製
造されている。すなわち、まず、長尺帯状で板厚が約
０．０５mm〜０．３mm程度の低炭素アルミキルド鋼やニ
ッケルを３６％含有するインバー型合金等のシャドウマ
スク材の表面から防錆油を除去し、水洗し、酸性溶液又
はアルカリ性溶液を用いてシャドウマスク材表面の酸化
皮膜等を除去した後、水洗する（脱脂、整面工程）。次
に、シャドウマスク材の表裏両面に感光液、例えばカゼ
インと重クロム酸塩とからなる感光液を塗布し、それを
乾燥させて、厚みが数μｍのフォトレジスト膜を被着形
成する（コーティング工程）。続いて、シャドウマスク
材の両面に被着形成された各フォトレジスト膜の表面
に、形成しようとする電子ビーム通過孔に対応した所要
の画像を有するマスターパターンを、表・裏で画像位置
を一致させてそれぞれ密着させ、露光を行なう（焼付け
工程）。露光後に、温水等を用いて現像し、硬膜処理と
してシャドウマスク材を無水クロム酸溶液中へ浸漬した
後、２２０〜２８０℃程度の熱風や赤外線ヒーターによ
るバーニング処理を施すことにより、シャドウマスク材
の両主面に所要のパターン状画像の耐食性皮膜（レジス
ト膜）をそれぞれ形成する（現像工程）。そして、塩化
第二鉄水溶液を用いてシャドウマスク材の両主面に対し
スプレイエッチングを行なって、シャドウマスク材に多
数の透孔を形成した後、その両面からレジスト膜を剥離
する（エッチング工程）。最後に、シャドウマスクを１
枚ずつに分画切断して（シャーリング工程）、一連の工
程を終了する。
【０００４】ところで、上記した一連のフォトエッチン
グ工程における最初の脱脂、整面工程では、金属薄板の
表面から油、埃等を完全に除去する必要があり、それら
の汚染物質が金属薄板表面に残存したままで脱脂、整面
工程に続く上記各工程が行なわれると、感光液の塗布む
らやエッチング工程でのピンホール、レジストの膜浮き
等が発生することになる。そこで、金属薄板への感光液
塗布やエッチングが良好に行なわれるようにするため
に、感光液塗布に先立って実施される金属薄板の洗浄
は、従来、図３に概略構成を模式的に示すように脱脂
槽、水洗槽及び整面槽を備えた洗浄装置を使用して行な
われていた。
グ工程における最初の脱脂、整面工程では、金属薄板の
表面から油、埃等を完全に除去する必要があり、それら
の汚染物質が金属薄板表面に残存したままで脱脂、整面
工程に続く上記各工程が行なわれると、感光液の塗布む
らやエッチング工程でのピンホール、レジストの膜浮き
等が発生することになる。そこで、金属薄板への感光液
塗布やエッチングが良好に行なわれるようにするため
に、感光液塗布に先立って実施される金属薄板の洗浄
は、従来、図３に概略構成を模式的に示すように脱脂
槽、水洗槽及び整面槽を備えた洗浄装置を使用して行な
われていた。
【０００５】図３に示した金属薄板の洗浄装置は、感光
液塗布装置の前段側に配設され、脱脂槽60、第１のシャ
ワー水洗槽62、整面槽64及び第２のシャワー水洗槽66か
ら構成され、それらを長尺帯状をなすシャドウマスク
材、アパチャーグリル材等の金属薄板10の搬送方向に連
設している。脱脂槽60には、その内部に例えばケイ酸ソ
ーダ、界面活性剤等を含有した脱脂液68が収容され、そ
の脱脂液68中へ金属薄板10を導いて脱脂液68中に金属薄
板10を浸漬させながら搬送した後脱脂液68外へ金属薄板
10を導出する複数本の搬送ローラ70が配設されており、
脱脂槽60の出口付近には、金属薄板10による脱脂槽60か
らの脱脂液68の持出しを防止するための液切りローラ72
が配設されている。尚、脱脂力を高めるために、脱脂液
68を電解液としてその電解液中に相手電極（対極）74を
配設し、その相手電極74を外部直流電源の陽極端子に電
気接続するとともに外部直流電源の陰極端子と金属薄板
10とを電気的に接続するなどして、脱脂槽60内において
電解脱脂、すなわち、金属薄板10を電極として電圧を印
加することにより脱脂液68中で水電解し、還元反応又は
酸化反応によって油分等を分解除去するとともに、その
ときに発生する水素又は酸素の泡によって金属薄板10の
表面から油分等を撹拌除去するようにすることもある。
また、第１のシャワー水洗槽62には、搬送ローラ76によ
ってシャワー水洗槽62内を搬送される金属薄板10に対向
するように多数個のシャワーノズル78が配設されてお
り、第１のシャワー水洗槽62の出口付近には、金属薄板
10による次の整面槽64内への洗浄水の持込みを抑えて整
面液の濃度低下を防止するための水切りローラ80が配設
されている。整面槽64には、その内部にリン酸溶液、塩
酸溶液、硝酸溶液、水酸化ナトリウム溶液等の整面液82
が収容され、その整面液82中へ金属薄板10を導いて整面
液82中に金属薄板10を浸漬させながら搬送した後整面液
82外へ金属薄板10を導出する搬送ローラ84が配設されて
おり、整面槽64の出口付近には、金属薄板10による整面
槽64からの整面液82の持出しを防止するための液切りロ
ーラ86が配設されている。尚、整面力を高めるために、
整面液82を電解液としてその電解液中に相手電極（対
極）88を配設し、その相手電極88を外部直流電源の陽極
端子に電気接続するとともに外部直流電源の陰極端子と
金属薄板10とを電気的に接続するなどして、整面槽64内
において電解整面を行なうようにすることもある。ま
た、整面槽64の後に配設された第２のシャワー水洗槽66
には、搬送ローラ90によってシャワー水洗槽66内を搬送
される金属薄板10に対向するように多数個のシャワーノ
ズル92が配設されており、この第２のシャワー水洗槽66
において、金属薄板10の表面に残存付着している整面液
や汚染物質などを水によって洗い落とすようにしてい
る。
液塗布装置の前段側に配設され、脱脂槽60、第１のシャ
ワー水洗槽62、整面槽64及び第２のシャワー水洗槽66か
ら構成され、それらを長尺帯状をなすシャドウマスク
材、アパチャーグリル材等の金属薄板10の搬送方向に連
設している。脱脂槽60には、その内部に例えばケイ酸ソ
ーダ、界面活性剤等を含有した脱脂液68が収容され、そ
の脱脂液68中へ金属薄板10を導いて脱脂液68中に金属薄
板10を浸漬させながら搬送した後脱脂液68外へ金属薄板
10を導出する複数本の搬送ローラ70が配設されており、
脱脂槽60の出口付近には、金属薄板10による脱脂槽60か
らの脱脂液68の持出しを防止するための液切りローラ72
が配設されている。尚、脱脂力を高めるために、脱脂液
68を電解液としてその電解液中に相手電極（対極）74を
配設し、その相手電極74を外部直流電源の陽極端子に電
気接続するとともに外部直流電源の陰極端子と金属薄板
10とを電気的に接続するなどして、脱脂槽60内において
電解脱脂、すなわち、金属薄板10を電極として電圧を印
加することにより脱脂液68中で水電解し、還元反応又は
酸化反応によって油分等を分解除去するとともに、その
ときに発生する水素又は酸素の泡によって金属薄板10の
表面から油分等を撹拌除去するようにすることもある。
また、第１のシャワー水洗槽62には、搬送ローラ76によ
ってシャワー水洗槽62内を搬送される金属薄板10に対向
するように多数個のシャワーノズル78が配設されてお
り、第１のシャワー水洗槽62の出口付近には、金属薄板
10による次の整面槽64内への洗浄水の持込みを抑えて整
面液の濃度低下を防止するための水切りローラ80が配設
されている。整面槽64には、その内部にリン酸溶液、塩
酸溶液、硝酸溶液、水酸化ナトリウム溶液等の整面液82
が収容され、その整面液82中へ金属薄板10を導いて整面
液82中に金属薄板10を浸漬させながら搬送した後整面液
82外へ金属薄板10を導出する搬送ローラ84が配設されて
おり、整面槽64の出口付近には、金属薄板10による整面
槽64からの整面液82の持出しを防止するための液切りロ
ーラ86が配設されている。尚、整面力を高めるために、
整面液82を電解液としてその電解液中に相手電極（対
極）88を配設し、その相手電極88を外部直流電源の陽極
端子に電気接続するとともに外部直流電源の陰極端子と
金属薄板10とを電気的に接続するなどして、整面槽64内
において電解整面を行なうようにすることもある。ま
た、整面槽64の後に配設された第２のシャワー水洗槽66
には、搬送ローラ90によってシャワー水洗槽66内を搬送
される金属薄板10に対向するように多数個のシャワーノ
ズル92が配設されており、この第２のシャワー水洗槽66
において、金属薄板10の表面に残存付着している整面液
や汚染物質などを水によって洗い落とすようにしてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
洗浄装置では、脱脂液や整面液の液中や液面に、脱脂又
は整面処理に伴って金属薄板の表面から分離除去された
油、スケール、埃等の汚染物質からなる浮遊物が存在
し、それらの浮遊物が金属薄板の表面に再付着して、そ
の汚染物質が水洗槽においても洗い落とされないで金属
薄板の表面に残存したままとなる場合があった。特に、
金属薄板の表面にダル仕上げ（金属薄板とレジスト膜と
の密着性を上げるために、金属材料の圧延工程後に人為
的に金属薄板表面に鱗状の突起模様を付ける処理）が施
されている場合には、脱脂液による処理だけではダルの
凹部の奥に入り込んでいる汚染物質を十分に除去し切れ
ないため、電解脱脂を行ない或いは脱脂、水洗後に電解
処理を行なって金属薄板表面から水素又は酸素の泡を発
生させることにより、ダルの凹部の奥に入り込んだ汚染
物質を除去することが行なわれるが、この際、ダルから
一旦分離除去された油状汚染物質が電解液中へ拡散して
浮遊し、その油状汚染物質が金属薄板表面に再付着し、
却ってエッチング工程でのピンホールやレジストの膜浮
きの発生が起こり易くなるといったことがあり、この結
果、シャドウマスクやアパチャーグリル等の製品歩留り
が低下することになる。
洗浄装置では、脱脂液や整面液の液中や液面に、脱脂又
は整面処理に伴って金属薄板の表面から分離除去された
油、スケール、埃等の汚染物質からなる浮遊物が存在
し、それらの浮遊物が金属薄板の表面に再付着して、そ
の汚染物質が水洗槽においても洗い落とされないで金属
薄板の表面に残存したままとなる場合があった。特に、
金属薄板の表面にダル仕上げ（金属薄板とレジスト膜と
の密着性を上げるために、金属材料の圧延工程後に人為
的に金属薄板表面に鱗状の突起模様を付ける処理）が施
されている場合には、脱脂液による処理だけではダルの
凹部の奥に入り込んでいる汚染物質を十分に除去し切れ
ないため、電解脱脂を行ない或いは脱脂、水洗後に電解
処理を行なって金属薄板表面から水素又は酸素の泡を発
生させることにより、ダルの凹部の奥に入り込んだ汚染
物質を除去することが行なわれるが、この際、ダルから
一旦分離除去された油状汚染物質が電解液中へ拡散して
浮遊し、その油状汚染物質が金属薄板表面に再付着し、
却ってエッチング工程でのピンホールやレジストの膜浮
きの発生が起こり易くなるといったことがあり、この結
果、シャドウマスクやアパチャーグリル等の製品歩留り
が低下することになる。
【０００７】また、従来、脱脂液や整面液中の浮遊物を
オーバーフロー方式によって脱脂液や整面液の一部と一
緒に槽外へ排出し、槽外へ排出された脱脂液や整面液か
ら油等を分離回収したりすることも行なわれているが、
このようなオーバーフロー方式だけでは、金属薄板表面
への汚染物質の再付着を十分に防ぐことはできなかっ
た。
オーバーフロー方式によって脱脂液や整面液の一部と一
緒に槽外へ排出し、槽外へ排出された脱脂液や整面液か
ら油等を分離回収したりすることも行なわれているが、
このようなオーバーフロー方式だけでは、金属薄板表面
への汚染物質の再付着を十分に防ぐことはできなかっ
た。
【０００８】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、脱脂や整面処理に伴って金属薄板の
表面から一旦分離除去されて脱脂液や整面液の液中や液
面に浮遊している汚染物質が金属薄板の表面に再付着す
ることを防止し、感光液の塗布むらやエッチング工程で
のピンホール、レジストの膜浮き等の発生を少なくし
て、シャドウマスクやアパチャーグリル等の製品歩留り
を向上させることができるような金属薄板の洗浄方法及
び洗浄装置を提供することを目的とする。
されたものであり、脱脂や整面処理に伴って金属薄板の
表面から一旦分離除去されて脱脂液や整面液の液中や液
面に浮遊している汚染物質が金属薄板の表面に再付着す
ることを防止し、感光液の塗布むらやエッチング工程で
のピンホール、レジストの膜浮き等の発生を少なくし
て、シャドウマスクやアパチャーグリル等の製品歩留り
を向上させることができるような金属薄板の洗浄方法及
び洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係る金属薄板
の洗浄方法は、脱脂液又は整面液の液中又は液面に磁石
を設置し、脱脂又は整面処理に伴って金属薄板の表面か
ら分離除去されて脱脂液又は整面液に浮遊している汚染
物質を前記磁石に吸着させて取り除くようにすることを
要旨とする。
の洗浄方法は、脱脂液又は整面液の液中又は液面に磁石
を設置し、脱脂又は整面処理に伴って金属薄板の表面か
ら分離除去されて脱脂液又は整面液に浮遊している汚染
物質を前記磁石に吸着させて取り除くようにすることを
要旨とする。
【００１０】また、上記方法を実施するための洗浄装置
は、処理槽内に収容された脱脂液又は整面液の液中又は
液面に、金属薄板の表面から分離除去されて脱脂液又は
整面液に浮遊している汚染物質を吸着して取り除く磁石
を配設して構成されている。この場合、処理槽を電解脱
脂槽又は電解整面槽とし、金属薄板を電解脱脂又は電解
整面する電解液の液中又は液面に磁石を配設するように
することができる。また、前記磁石を、処理槽内に収容
された脱脂液又は整面液中に通される金属薄板の両主面
にそれぞれ対向するように配設するようにしてもよい。
は、処理槽内に収容された脱脂液又は整面液の液中又は
液面に、金属薄板の表面から分離除去されて脱脂液又は
整面液に浮遊している汚染物質を吸着して取り除く磁石
を配設して構成されている。この場合、処理槽を電解脱
脂槽又は電解整面槽とし、金属薄板を電解脱脂又は電解
整面する電解液の液中又は液面に磁石を配設するように
することができる。また、前記磁石を、処理槽内に収容
された脱脂液又は整面液中に通される金属薄板の両主面
にそれぞれ対向するように配設するようにしてもよい。
【００１１】
【作用】上記構成の金属薄板の洗浄方法によると、ま
た、上記構成の装置により金属薄板の洗浄を行なうよう
にした場合、金属薄板が脱脂又は整面処理されることに
よって金属薄板表面から分離除去され脱脂液又は整面液
中に拡散して浮遊している汚染物質が、磁石に引き寄せ
られ吸着されて取り除かれる。これは、鋼板メーカーの
工場内に存在する鉄粉や圧延時に発生した金属粉が圧延
油や防錆油などに混入し、この金属粉が混入した防錆油
等が脱脂又は整面処理に伴って脱脂液又は整面液中に拡
散してきて、外観上は油と見える汚染物質も、金属粉を
核として集合した浮遊物であると考えられるからであ
り、このため、汚染物質が磁石に引き寄せられるのであ
る。そして、そのように金属粉が油と一体となっている
ため、液中で金属粉は沈殿しないで浮遊しているのであ
る。以上の通り、脱脂液又は整面液中に浮遊している汚
染物質は、磁石に引き寄せられ、金属薄板に再付着する
ことなく、磁石に吸着されて効率良く回収されることに
なる。
た、上記構成の装置により金属薄板の洗浄を行なうよう
にした場合、金属薄板が脱脂又は整面処理されることに
よって金属薄板表面から分離除去され脱脂液又は整面液
中に拡散して浮遊している汚染物質が、磁石に引き寄せ
られ吸着されて取り除かれる。これは、鋼板メーカーの
工場内に存在する鉄粉や圧延時に発生した金属粉が圧延
油や防錆油などに混入し、この金属粉が混入した防錆油
等が脱脂又は整面処理に伴って脱脂液又は整面液中に拡
散してきて、外観上は油と見える汚染物質も、金属粉を
核として集合した浮遊物であると考えられるからであ
り、このため、汚染物質が磁石に引き寄せられるのであ
る。そして、そのように金属粉が油と一体となっている
ため、液中で金属粉は沈殿しないで浮遊しているのであ
る。以上の通り、脱脂液又は整面液中に浮遊している汚
染物質は、磁石に引き寄せられ、金属薄板に再付着する
ことなく、磁石に吸着されて効率良く回収されることに
なる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１３】図１は、この発明に係る金属薄板の洗浄方
法を実施するのに使用される洗浄装置の構成の１例を示
す破断斜視図である。
法を実施するのに使用される洗浄装置の構成の１例を示
す破断斜視図である。
【００１４】この洗浄装置は、脱脂又は整面処理を行な
うための装置であり（以下、脱脂処理を行なう装置を例
にとって説明する）、例えばケイ酸ソーダ、界面活性剤
等を含有した脱脂液14を収容した脱脂槽12、この脱脂槽
12内に収容された脱脂液14中へシャドウマスク材、アパ
チャーグリル材等の長尺帯状の金属薄板10を導入し、金
属薄板10を脱脂液14中で連続的に搬送して、金属薄板10
を脱脂液14中から導出する、搬送ローラ16ａ、16ｂ及び
槽内ローラ18からなる搬送機構、並びに、脱脂槽12の出
口付近に配設されて、金属薄板10による脱脂槽12からの
脱脂液14の持出しを防止するための液切りローラ20を備
えている。そして、この装置には、脱脂液14の、金属薄
板10の搬出側の液面付近に、金属薄板10の両主面にそれ
ぞれ対向するように、複数本、図示例では４本の棒形磁
石22が、互いに平行にかつ金属薄板10の搬送方向と直交
するように磁石保持具24に保持されその磁石保持具24が
ピアノ線26で吊下げ状態に支持されて、金属薄板10を挾
んでその両側に配設されている。尚、棒形磁石22の形状
は、図示例のものは円柱形であるが、四角柱形或いは多
数の小磁石を組み合わせたもの等でもよく、特に限定さ
れるものではない。また、液面にも、平形磁石28が、ピ
アノ線30に吊下げられて配設されている。磁石22、28
は、永久磁石であってもよいし電磁石であってもよい。
うための装置であり（以下、脱脂処理を行なう装置を例
にとって説明する）、例えばケイ酸ソーダ、界面活性剤
等を含有した脱脂液14を収容した脱脂槽12、この脱脂槽
12内に収容された脱脂液14中へシャドウマスク材、アパ
チャーグリル材等の長尺帯状の金属薄板10を導入し、金
属薄板10を脱脂液14中で連続的に搬送して、金属薄板10
を脱脂液14中から導出する、搬送ローラ16ａ、16ｂ及び
槽内ローラ18からなる搬送機構、並びに、脱脂槽12の出
口付近に配設されて、金属薄板10による脱脂槽12からの
脱脂液14の持出しを防止するための液切りローラ20を備
えている。そして、この装置には、脱脂液14の、金属薄
板10の搬出側の液面付近に、金属薄板10の両主面にそれ
ぞれ対向するように、複数本、図示例では４本の棒形磁
石22が、互いに平行にかつ金属薄板10の搬送方向と直交
するように磁石保持具24に保持されその磁石保持具24が
ピアノ線26で吊下げ状態に支持されて、金属薄板10を挾
んでその両側に配設されている。尚、棒形磁石22の形状
は、図示例のものは円柱形であるが、四角柱形或いは多
数の小磁石を組み合わせたもの等でもよく、特に限定さ
れるものではない。また、液面にも、平形磁石28が、ピ
アノ線30に吊下げられて配設されている。磁石22、28
は、永久磁石であってもよいし電磁石であってもよい。
【００１５】図１に示した装置では、脱脂槽12内の脱脂
液14中を金属薄板10が通されることによって脱脂処理が
行なわれるが、その処理に伴って金属薄板10の表面から
汚染物質が分離除去されて脱脂液14中へ拡散しても、脱
脂液14中に浮遊している汚染物質は、棒形磁石22及び平
形磁石28に引き寄せられて吸着されるので、金属薄板10
の表面に再付着することが無い。尚、磁石22、28は、図
示例のように液面ないし液面付近に配設されると、液面
に浮遊している汚染物質が金属薄板10の表面に再付着す
るのを防止するのに好ましいが、磁石を脱脂液中に沈め
て配置しても差し支えない。
液14中を金属薄板10が通されることによって脱脂処理が
行なわれるが、その処理に伴って金属薄板10の表面から
汚染物質が分離除去されて脱脂液14中へ拡散しても、脱
脂液14中に浮遊している汚染物質は、棒形磁石22及び平
形磁石28に引き寄せられて吸着されるので、金属薄板10
の表面に再付着することが無い。尚、磁石22、28は、図
示例のように液面ないし液面付近に配設されると、液面
に浮遊している汚染物質が金属薄板10の表面に再付着す
るのを防止するのに好ましいが、磁石を脱脂液中に沈め
て配置しても差し支えない。
【００１６】次に、図２は、この発明の方法を電解脱脂
又は電解整面に適用した場合の装置構成例を示す概略図
である。電解脱脂槽又は電解整面槽（以下、電解槽とい
う）32には、電解液34（例えば水酸化ナトリウム４０ｇ
／ ｌと炭酸ナトリウム４０ｇ／ ｌとを含有する６５
℃程度の溶液）中の、金属薄板10の搬入側及び搬出側に
それぞれ相手電極（対極）36、38が配設されており、ま
た、金属薄板10の搬入側には比較電極（例えばＡｇ／Ａ
ｇＣｌ電極）40が配設されている。相手電極36、38は、
例えばチタン（Ｔｉ）基板に白金（Ｐｔ）をメッキして
形成されたものであり、各相手電極36、38はそれぞれ、
各外部直流電源（例えば整流器、直流安定化電源、定電
位電解装置等）42、44の陽極端子に電気接続されてい
る。また、比較電極40は、エレクトロメーター等の電位
差計46の陰極端子に電気接続されている。そして、各外
部直流電源42、44の陰極端子に導線48、50の一端側をそ
れぞれ結線し、その各導線48、50の他端側をそれぞれ、
金属薄板10が巻き掛けられその金属薄板10を搬送する金
属製の搬送ローラ52ａ、52ｂに摺接状態で電気的に接触
させている。また、電位差計46の陽極端子に導線54の一
端側を結線し、その導線54の他端側を金属製の搬送ロー
ラ52ａに摺接状態で電気的に接触させている。尚、搬送
ローラ52ａ、52ｂを金属以外の材質で形成し、各導線4
8、50、54の他端側をそれぞれ、移動する金属薄板10の
一部に摺接状態で電気的に接触させるようにしてもよ
い。また、外部直流電源ではなく、外部電源として交流
又はパルス電源を用いるようにしてもよい。図中の56は
槽内ローラ、58は液切りローラである。そして、図１に
示した装置と同様に、電解液34の、金属薄板10の搬出側
の液面付近に、金属薄板10の両主面にそれぞれ対抗する
ように、ピアノ線26で吊り下げられた磁石保持具24に保
持された複数本の棒形磁石22が配設されているととも
に、ピアノ線30に吊り下げられて支持された平形磁石28
が液面に配設されている。
又は電解整面に適用した場合の装置構成例を示す概略図
である。電解脱脂槽又は電解整面槽（以下、電解槽とい
う）32には、電解液34（例えば水酸化ナトリウム４０ｇ
／ ｌと炭酸ナトリウム４０ｇ／ ｌとを含有する６５
℃程度の溶液）中の、金属薄板10の搬入側及び搬出側に
それぞれ相手電極（対極）36、38が配設されており、ま
た、金属薄板10の搬入側には比較電極（例えばＡｇ／Ａ
ｇＣｌ電極）40が配設されている。相手電極36、38は、
例えばチタン（Ｔｉ）基板に白金（Ｐｔ）をメッキして
形成されたものであり、各相手電極36、38はそれぞれ、
各外部直流電源（例えば整流器、直流安定化電源、定電
位電解装置等）42、44の陽極端子に電気接続されてい
る。また、比較電極40は、エレクトロメーター等の電位
差計46の陰極端子に電気接続されている。そして、各外
部直流電源42、44の陰極端子に導線48、50の一端側をそ
れぞれ結線し、その各導線48、50の他端側をそれぞれ、
金属薄板10が巻き掛けられその金属薄板10を搬送する金
属製の搬送ローラ52ａ、52ｂに摺接状態で電気的に接触
させている。また、電位差計46の陽極端子に導線54の一
端側を結線し、その導線54の他端側を金属製の搬送ロー
ラ52ａに摺接状態で電気的に接触させている。尚、搬送
ローラ52ａ、52ｂを金属以外の材質で形成し、各導線4
8、50、54の他端側をそれぞれ、移動する金属薄板10の
一部に摺接状態で電気的に接触させるようにしてもよ
い。また、外部直流電源ではなく、外部電源として交流
又はパルス電源を用いるようにしてもよい。図中の56は
槽内ローラ、58は液切りローラである。そして、図１に
示した装置と同様に、電解液34の、金属薄板10の搬出側
の液面付近に、金属薄板10の両主面にそれぞれ対抗する
ように、ピアノ線26で吊り下げられた磁石保持具24に保
持された複数本の棒形磁石22が配設されているととも
に、ピアノ線30に吊り下げられて支持された平形磁石28
が液面に配設されている。
【００１７】図２に示したような装置により電解脱脂又
は電解整面処理を行なうようにしたときは、電解槽32内
の電解液34の、金属薄板10の搬出側において、相手電極
38が配設されていることにより、液面付近で水素又は酸
素の泡が発生することによって金属薄板10の表面から汚
染物質が除去されるとともに、棒形磁石22が金属薄板10
の両主面に対向して配設されていることにより、金属薄
板10の表面から分離除去された汚染物質は、速やかに棒
形磁石22に引き寄せられ、金属薄板10の表面に再付着す
ることなく棒形磁石22に吸着されて回収されることにな
る。
は電解整面処理を行なうようにしたときは、電解槽32内
の電解液34の、金属薄板10の搬出側において、相手電極
38が配設されていることにより、液面付近で水素又は酸
素の泡が発生することによって金属薄板10の表面から汚
染物質が除去されるとともに、棒形磁石22が金属薄板10
の両主面に対向して配設されていることにより、金属薄
板10の表面から分離除去された汚染物質は、速やかに棒
形磁石22に引き寄せられ、金属薄板10の表面に再付着す
ることなく棒形磁石22に吸着されて回収されることにな
る。
【００１８】
【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
かつ作用するので、請求項１に記載の発明に係る金属薄
板の洗浄方法によれば、また、請求項２に記載された装
置を使用して金属薄板の洗浄を行なうようにすれば、脱
脂や整面処理に伴って金属薄板の表面から一旦分離除去
されて脱脂液や整面液中に浮遊している汚染物質が金属
薄板の表面に再付着することが無くなるため、金属薄板
表面への汚染物質の付着が原因となって起こる感光液の
塗布むらやエッチング工程でのピンホール、レジストの
膜浮き等の発生が防止され、シャドウマスク、アパチャ
ーグリル等の製品歩留りが向上する。
かつ作用するので、請求項１に記載の発明に係る金属薄
板の洗浄方法によれば、また、請求項２に記載された装
置を使用して金属薄板の洗浄を行なうようにすれば、脱
脂や整面処理に伴って金属薄板の表面から一旦分離除去
されて脱脂液や整面液中に浮遊している汚染物質が金属
薄板の表面に再付着することが無くなるため、金属薄板
表面への汚染物質の付着が原因となって起こる感光液の
塗布むらやエッチング工程でのピンホール、レジストの
膜浮き等の発生が防止され、シャドウマスク、アパチャ
ーグリル等の製品歩留りが向上する。
【図１】この発明に係る金属薄板の洗浄方法を実施する
のに使用される洗浄装置の構成の１例を示す破断斜視図
である。
のに使用される洗浄装置の構成の１例を示す破断斜視図
である。
【図２】この発明を電解脱脂又は電解整面に適用した場
合の装置の構成例を示す概略図である。
合の装置の構成例を示す概略図である。
【図３】従来の金属薄板の洗浄装置の構成の１例を示
し、装置全体の概略構成を示す模式図である。
し、装置全体の概略構成を示す模式図である。
10 長尺帯状の金属薄板 12 脱脂槽 14 脱脂液 16ａ、16ｂ、52ａ、52ｂ 搬送ローラ 18、56 槽内ローラ 22 棒形磁石 28 平形磁石 32 電解脱脂槽又は電解整面槽 34 電解液 36、38 相手電極 42、44 外部直流電源
Claims (4)
- 【請求項１】 フォトエッチング法により処理される金
属薄板を脱脂液中又は整面液中に通すことにより、金属
薄板の表面に付着した汚染物質を除去する金属薄板の洗
浄方法において、脱脂液又は整面液の液中又は液面に磁
石を設置して、金属薄板の表面から分離除去されて脱脂
液又は整面液に浮遊している汚染物質を前記磁石に吸着
させて取り除くことを特徴とする金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項２】 脱脂液又は整面液を収容し、その脱脂液
中又は整面液中に通される金属薄板からその表面に付着
した汚染物質を除去する処理槽と、この処理槽内におい
て金属薄板を搬送する搬送手段とを備えた金属薄板の洗
浄装置において、前記処理槽内に収容された脱脂液又は
整面液の液中又は液面に、金属薄板の表面から分離除去
されて脱脂液又は整面液に浮遊している汚染物質を吸着
して取り除く磁石を配設したことを特徴とする金属薄板
の洗浄装置。 - 【請求項３】 処理槽が電解脱脂槽又は電解整面槽であ
り、金属薄板を電解脱脂又は電解整面する電解液の液中
又は液面に磁石が配設された請求項２記載の金属薄板の
洗浄装置。 - 【請求項４】 金属薄板の両主面にそれぞれ対向するよ
うに磁石を配設した請求項２又は請求項３記載の金属薄
板の洗浄装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5281644A JPH07108235A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置 |
| KR1019940024058A KR0124479B1 (ko) | 1993-10-14 | 1994-09-24 | 금속박판의 세정방법 및 세정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5281644A JPH07108235A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108235A true JPH07108235A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17641981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5281644A Pending JPH07108235A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 金属薄板の洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07108235A (ja) |
| KR (1) | KR0124479B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101372462B1 (ko) * | 2013-08-14 | 2014-03-11 | 주식회사 오피오 | 필름지의 이물질 제거장치 |
| US9111667B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-08-18 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Graphene transfer method |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101182267B1 (ko) | 2010-07-12 | 2012-09-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
| KR102439889B1 (ko) * | 2021-09-09 | 2022-09-02 | 일화마그네틱테크 주식회사 | 고효율 차량바디 수세 설비라인 |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP5281644A patent/JPH07108235A/ja active Pending
-
1994
- 1994-09-24 KR KR1019940024058A patent/KR0124479B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9111667B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-08-18 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Graphene transfer method |
| KR101372462B1 (ko) * | 2013-08-14 | 2014-03-11 | 주식회사 오피오 | 필름지의 이물질 제거장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0124479B1 (ko) | 1997-12-26 |
| KR950011648A (ko) | 1995-05-15 |
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