KR102329709B1 - 마스크 전해 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크 전해 세정장치에 관한 것으로, 전해액이 수용되는 전해조, 상기 전해조의 내부에 설치되며 마스크가 접촉하는 음극부, 상기 전해조의 내부에서 상기 마스크의 양면으로부터 각각 이격되게 설치되는 한 쌍의 양극부 및, 상기 음극부 및 양극부에 전기적으로 연결되되 상기 음극부에 공통으로 연결되고 상기 한 쌍의 양극부에 각각 독립적으로 연결되는 한 쌍의 정류기를 포함하 고 있어 상기 한 쌍의 정류기에서 각각 전류 세기를 독립적으로 조정하는 것이 가능하게 되어 있으므로, 마스크 양면의 특성(증착면 또는 배면)에 따라 각각 전류 세기를 다르게 할 필요가 있을 때 독립적으로 전류 세기를 적절히 조절할 수 있으므로 마스크의 손상 없이 세정 효과를 극대화 할 수 있다는 작용효과가 있다.

Description

마스크 전해 세정장치{Electrolysis Cleaning Apparatus of Mask}

본 발명은 마스크 전해 세정장치에 관한 것으로서, 2개의 별도 정류기를 설치하여 마스크를 구성하는 양면에 대한 독립적인 전류세기 조절이 가능한 마스크 전해 세정장치에 관한 것이다.

고도화된 정보화 산업의 급격한 발달과 함께 초고속의 정보전달은 시간과 장소의 제한 없이 문자, 음성, 화상 등의 정보를 주고받을 수 있는 사회에 이르렀다.

이러한 정보전달의 매개체는 CRT를 시발점으로 발전을 거듭하여 왔고 이제는 인간공학적, 고기능화 등에 부합할 수 있는 LCD, PDP, LED, UHD, OLED 등의 대형 평판디스플레이와 초고속 이동통신 단말기, PDA 및 Web Pad 등의 소형디스플레이로 빠르게 바뀌고 있으며 편리함에 따른 수요 폭등에 따라 디스플레이 시장은 끊임없이 발전되고 있다.

평판디스플레이의 고품질, 저전력 소비 등을 기초하여 다양한 어플리케이션 시장이 더욱 활발해지고 있으며, 특히 OLED(Organic Light Emitting Diodes, 유기발광 다이오드)는 LCD, PDP에 이어서 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있다.

OLED는 1987년 Eastman Kodak의 Tang이 적층 구조의 유기물질에서 고휘도로 빛을 내는 데 성공한 것을 시작으로 현재까지 많은 기술적인 진보가 이루어졌다.

OLED는 밝기, 명암비, 응답속도, 색 재현율, 시인성 등에서 뛰어난 화질과 제조공정이 단순해 저렴하다는 장점 등을 가지며 소위 ‘꿈의 디스플레이’로 여겨져 왔다.

그러나 짧은 수명, 낮은 수율 등으로 인하여 상용화에 어려움을 겪었으며 LCD 관련 기술의 빠른 진전으로 OLED의 시장 진입을 위한 입지를 상당히 좁게 만들어 상용화가 지연되었다.

최근 전 세계 디스플레이업계에서 상당 부분의 기술적 문제를 해결함에 따라 한국을 비롯한 일본, 대만의 관련업체들이 양산을 시작하고 있다.

OLED는 유기 박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 정공(Hole)과 전자(Electron)가 재결합하여 여기자(Exciton)를 형성하고, 여기자가 다시 안정된 상태로 돌아오면서 방출되는 에너지가 빛으로 변하여 발광하는 자체 발광형 디스플레이 소자이다.

가장 간단한 구조의 OLED는 전자를 주입하는 음극, 정공을 주입하는 양극, 발광이 일어나는 유기 박막으로 이루어지며, 캐리어의 재결합 및 발광 특성 향상을 위해 전자 또는 정공의 주입 및 전달을 도와주는 기능층을 추가적으로 포함한다.

유기박막형성 기술은 FMM(Fine Metal Mask)와 같은 마스크를 이용한 증착기술, 레이저를 이용한 패터닝 기술, 액체기반의 잉크화 재료를 이용한 프린팅 기술 등이 있다.

이중, 마스크를 이용한 증착기술에서는 기판을 선택적으로 스크리닝(screening)하는 과정에서 마스크의 표면에도 유기 물질이 증착되기 때문에, 일정한 공정 횟수가 지난 이후에는 마스크를 세정하는 것이 필수적으로 요구되어 진다.

종래의 마스크 세정은 DIW(초순수 증류수, Di-Ionize Water)나 탄화수소용액과 같은 세정액에 침지하는 방법이 대표적이다.

예컨대, 도 1에 도시한 바와 같이, 통상의 침지식 마스크 세정장치는 통상 세정조(10) 내에 수용된 세정액(11)에 마스크(20)를 침지하여 세정하는 것으로, 상기 마스크(20)는 대면적이므로 세정시 마스크를 이동시켜 상기 세정조(10)에 침지시키기 위한 마스크 운송용 지그(30)를 사용하고 있다.

또한, OLED 디스플레이의 제조 과정에서 유기 박막을 증착하기 위해 이용되는 마스크의 세정은 상기 마스크를 세정액이 들어 있는 세정조에 침지한 후에 초음파를 적용하기도 한다.

한편, OLED 디스플레이의 제조 과정에서 유기 박막을 증착하기 위해 이용되는 마스크의 다른 세정 방법으로, 전해액 속에 마스크를 넣고 전해 방식으로 마스크 표면의 오염물과 불순물을 제거하는 방법이 개시되어 있다.

도 2와 도 3에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 마스크 전해 세정장치는, 전해액이 설정된 높이 채워진 전해조(130)와, 상기 전해조의 내부에 구비되는 음극부(180)와, OLED 제조용 마스크(100)가 일측에 장착되고, 상기 마스크(100)가 상기 음극부(180)에 접촉되는 것을 유도하는 메탈 지그(105)와, 상기 마스크(100)와 설정된 간격을 두고 상기 전해조(130)의 내부에 설치되는 양극부(140), 및 상기 음극부(180)와 상기 양극부(140)에 전기적으로 연결되는 정류기(110)를 포함한다.

그러나, 이러한 종래기술에 따른 마스크 전해 세정장치는 단일한 정류기(110)를 구비하고 있고 마스크(100)의 일면만 세정하게 되어 있기 때문에 일면을 세정한 후 타면으로 신속하게 전환하는 것이 곤란하여 생산성이 크게 떨어지는 단점이 있었다.

물론, 상기 지그(105) 등을 변형하여 마스크(100)의 양면을 동시에 세정할 수도 있겠으나, 정류기(110)가 단일한 관계로 어느 일 면에는 과도한 전력에 의한 불필요한 세정이 발생할 수 있고, 이 경우 마스크 표면이 손상되는 문제점이 있었다.

또한, 종래기술에 따르면, 음극부(180)의 접촉 상태가 하단면에 집중되어 있어 측면의 접촉 밀도가 양호하지 않으므로 전해 세정 중 마스크(100)의 측면에 손상이 발생하는 경우도 있었다.

또한, 종래기술에 따르면, 정류기(110)가 단일하므로 고장이 발생하는 경우 전해 세정이 불가하여 생산성이 현저히 떨어지는 단점이 있었다.

또한, 종래기술에 따르면, 정류기(110)가 단일하므로 그 정류기(110)의 전류 용량 한도 내에서만 작동하게 되어 있어 그 이상의 전류 세기가 요구되는 마스크의 세정에는 적용할 수 없다는 단점도 있었다.

1. 공개특허공보 제10-2012-0006390호 (2012.01.18)

본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 마스크를 사이에 두고 배치되는 한 쌍의 양극부에 각각 독립된 정류기를 연결함으로써 전류 세기를 독립적으로 조정할 수 있는 마스크 전해 세정장치를 제공하는데 있다.

또한 본 발명의 목적은, 각각 독립적인 정류기를 마련함으로써 마스크의 세정면을 용이하게 선택하여 세정할 수 있는 마스크 전해 세정장치를 제공하는데 있다.

또한 본 발명의 목적은, 1개의 정류기의 전류 용량 한도 이상으로 전류 세기를 조절할 수 있어 큰 전류 세기가 요구되는 마스크의 세정에도 적용할 수 있는 마스크 전해 세정장치를 제공하는데 있다.

또한 본 발명의 목적은, 음극부의 구조를 개선하여 접촉 밀도를 제고함으로써 원활한 세정이 가능하게 하는 마스크 전해 세정장치를 제공하는데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 마스크 전해 세정장치는,

전해액이 수용되는 전해조;

상기 전해조의 내부에 설치되며 마스크가 접촉하는 음극부;

상기 전해조의 내부에서 상기 마스크의 양면으로부터 각각 이격되게 설치되는 한 쌍의 양극부; 및,

상기 음극부 및 양극부에 전기적으로 연결되되 상기 음극부에 공통으로 연결되고 상기 한 쌍의 양극부에 각각 독립적으로 연결되는 한 쌍의 정류기;

를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 한 쌍의 정류기와 한 쌍의 양극부 사이는 각각 제1 도전선과 제2 도전선에 의해 전기적으로 연결되고 상기 제1 도전선과 제2 도전선은 제3 도전선에 의해 서로 전기적으로 연결되되 상기 제1 도전선, 제2 도전선 및 제3 도전선에는 각각 제1 스위치, 제2 스위치가 및 제3 스위치가 설치되어 단속이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부는 상기 마스크의 저면과 상기 저면과 연결된 일측면 일부와 접촉하도록 절곡된 형태로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부는 상기 마스크 저면의 길이방향을 따라 연장 형성되며 상기 마스크 저면 전체와 접촉하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부는 상기 마스크 저면의 길이방향과 나란한 회동축에 대하여 왕복 힌지 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

마스크와 접촉하지 않는 평상시 상기 음극부는 절곡된 내측면이 상부를 향하도록 복원력이 작용하며, 상기 마스크가 하강하여 접촉할 때 마스크의 중량에 의해 회전하여 마스크의 저면과 일측면이 함께 접촉하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부를 횡단면에서 바라볼 때, 상기 음극부는 상기 회동축을 지나는 수직선에 대하여 일측으로 무게중심이 편중되게 위치하는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부의 내측면이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부의 모서리는 상기 전해조의 바닥에 접촉하는 것을 특징으로 한다.

상기 음극부의 내측면이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부의 외측면을 지지하도록 상기 전해조의 바닥에는 지지부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 지지부는 탄성 지지체인 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 마스크 전해 세정장치에 따르면, 전해액이 수용되는 전해조, 상기 전해조의 내부에 설치되며 마스크가 접촉하는 음극부, 상기 전해조의 내부에서 상기 마스크의 양면으로부터 각각 이격되게 설치되는 한 쌍의 양극부 및, 상기 음극부 및 양극부에 전기적으로 연결되되 상기 음극부에 공통으로 연결되고 상기 한 쌍의 양극부에 각각 독립적으로 연결되는 한 쌍의 정류기를 포함하 고 있어 상기 한 쌍의 정류기에서 각각 전류 세기를 독립적으로 조정하는 것이 가능하게 되어 있으므로, 마스크 양면의 특성(증착면 또는 배면)에 따라 각각 전류 세기를 다르게 할 필요가 있을 때 독립적으로 전류 세기를 적절히 조절할 수 있으므로 마스크의 손상 없이 세정 효과를 극대화 할 수 있다는 작용효과가 있다.

또한 본 발명에 따르면, 마스크의 양면 중 어느 한 면만 세정할 필요가 있을 경우 한 쌍의 정류기 중 어느 한 쪽만 작동하도록 함으로써 마스크의 세정면을 용이하게 선택하여 세정할 수 있다는 장점도 있다.

또한 본 발명에 따르면, 상기 한 쌍의 정류기와 한 쌍의 양극부 사이를 각각 연결하는 제1 도전선과 제2 도전선은 제3 도전선에 의해 서로 전기적으로 연결되되 상기 제3 도전선에는 제3 스위치가 설치되어 단속되도록 구성되고, 상기 제1 도전선과 제2 도전선에는 각각 제1 스위치와 제2 스위치가 설치되어 전기적인 단속이 가능하도록 구성되어 있어, 상기 제1 스위치와 제2 스위치를 선택적으로 열거나 닫아서 독립된 정류기 각각으로의 연결을 단속할 수 있으므로 마스크에서 세정이 필요한 면만을 선택적으로 세정할 수 있다는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따르면, 2개의 독립된 정류기를 하나의 양극부에 동시에 전기적으로 연결하여 통전시킴으로써 1개 정류기의 전류 용량 한도 이상으로 전류 세기를 조절할 수 있어 큰 전류 세기가 요구되는 마스크의 세정에도 적용할 수 있게 된다는 효과도 있다.

또한 본 발명에 따르면, 제1 정류기와 제2 정류기 중 어느 하나가 고장 등으로 작동하지 않을 때, 상기 제1 스위치, 제2 스위치 및 제3 스위치를 함께 닫아 다른 정류기에 의한 전해 세정이 가능하게 되므로 소정의 생산성을 유지할 수 있게 된다는 장점도 있다.

도 1은 종래기술에 따른 마스크 세정장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 다른 종래기술에 따른 마스크 세정장치를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 일부 확대도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 전해 세정장치를 나타내는 구성도이다.
도 5는 본 발명에 따른 도 4의 변형예를 나타내는 구성도이다.
도 6은 본 발명에 따른 마스크 전해 세정장치 중 음극부와 마스크가 결합되는 동작을 나타내는 사시도로서, (a)는 결합 전, (b)는 결합 후의 도면을 나타낸다.
도 7은 본 발명에 따른 마스크 전해 세정장치 중 음극부 주변의 일 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 마스크 결합 전, (b)는 결합 후의 도면을 나타낸다.
도 8은 본 발명에 따른 마스크 전해 세정장치 중 음극부 주변의 다른 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 마스크 결합 전, (b)는 결합 후의 도면을 나타낸다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 전해 세정장치(1000)는, 전해액(900)이 수용되는 전해조(200), 상기 전해조(200)의 내부에 설치되며 메탈 마스크(100)가 접촉하는 음극부(300), 상기 전해조(200)의 내부에서 상기 마스크(100)의 양면으로부터 각각 이격되게 설치되는 한 쌍의 양극부(400) 및, 상기 음극부(300) 및 양극부(400)에 전기적으로 연결되되 상기 음극부(300)에는 공통으로 연결되고 상기 한 쌍의 양극부(400)에는 각각 독립적으로 연결되는 한 쌍의 정류기(500)를 포함한다.

상기 한 쌍의 정류기(500)는 한쪽 양극부(410)에 연결되는 제1 정류기(510)와 다른 쪽 양극부(420)에 연결되는 제2 정류기(520)로 구성된다.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 상기 한 쌍의 양극부(410,420)에 각각 독립된 정류기(510,520)가 연결된 구조로 되어 있어 전류 세기를 독립적으로 조정하는 것이 가능하게 되어 있으며, 마스크(100) 양면의 특성(증착면 또는 배면)에 따라 각각 전류 세기를 다르게 할 필요가 있을 때 독립적으로 전류 세기를 조절할 수 있으므로 마스크의 손상 없이 세정 효과를 극대화 할 수 있다는 작용효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 마스크(100)의 양면 중 어느 한 면만 세정할 필요가 있을 경우 한 쌍의 정류기(510,520)) 중 어느 한 쪽만 작동하도록 함으로써 마스크(100)의 세정면을 용이하게 선택하여 세정할 수 있다는 장점도 있다.

더욱이, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 한 쌍의 정류기(510,520)와 한 쌍의 양극부(410,420) 사이를 각각 연결하는 제1 도전선(610)과 제2 도전선(620)을 제3 도전선(630)으로 서로 전기적으로 연결하되 상기 제1 도전선(610)과 제2 도전선(620)에는 각각 제1 스위치(710)와 제2 스위치(720)가 설치되고 상기 제3 도전선(630)에는 제3 스위치(730)가 설치되어 각각 전기적인 단속이 가능하도록 할 수 있다.

또한, 한 쌍의 정류기(500)는 상기 음극부(300)에 음극 연결 도전선(640)을 통해 공통으로 연결된다.

이러한 본 발명의 구성에 따라, 상기 제3 스위치(730)를 개방한 상태에서 상기 제1 스위치(710)와 제2 스위치(720)를 선택적으로 열거나 닫아서 독립된 정류기(500) 각각으로의 연결을 단속할 수 있으므로 마스크(100)에서 세정이 필요한 면만을 선택적으로 세정할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 상기 제3 스위치(730)를 닫은 상태에서 2개의 독립된 정류기(500)를 하나의 양극부(400)에 전기적으로 연결하여 통전시킴으로써 1개 정류기(500)의 전류 용량 한도 이상으로 전류 세기를 더 크게 조절할 수 있으므로 큰 전류 세기가 요구되는 마스크(100)의 세정에도 적용할 수 있게 된다.

구체적으로, 메탈 마스크(100)의 증착면(110)만 세정시에는 제2 스위치(720)와 제3 스위치(730)을 닫고 제1 스위치(710)를 열어 제1 정류기(510)와 제2 정류기(520)에 의한 증착면(110)의 동시 전해 세정이 이루어지도록 할 수 있다.

상기 메탈 마스크(100)의 배면(120)만 세정시에는 제1 스위치(710)와 제3 스위치(730)을 닫고 제2 스위치(720)를 열어 제1 정류기(510)와 제2 정류기(520)에 의한 배면(120)의 동시 전해 세정이 이루어지도록 한다.

이와 같이, 1개의 정류기 이상의 전류 세기로 세정할 때 정류기를 큰 용량으로 교체할 필요없이 각각의 독립된 제1 정류기(510)와 제2 정류기(520)의 2개 전류를 단극에 공통으로 연결하면 되므로 교체에 따른 인적, 시간적 낭비를 피할 수 있다.

또한, 제1 정류기(510)와 제2 정류기(520) 중 어느 하나, 예컨대 제2 정류기(520)가 고장 등으로 작동하지 않을 때, 상기 제1 스위치(710), 제2 스위치(720) 및 제3 스위치(730)를 함께 닫아 제1 정류기(510)에 의한 전해 세정이 가능하게 되어 소정의 생산성을 유지할 수 있게 된다.

또는, 이 경우 제3 스위치(730)를 개방하면 제1 정류기(510)에 의한 배면(120)의 전해 세정이 이루어지도록 할 수도 있다.

이와 같은 기능은, 도시되지 않은 별도의 제어부에 의해 S/W 적으로 스위치를 단속함으로써 수행 가능하게 된다.

한편, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 음극부(300)는 상기 마스크(100)의 저면과 상기 저면과 연결된 일측면 일부와 접촉하도록 절곡된 형태로 이루어지도록 하여, 전류 밀도가 저하되는 부분이 없도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 음극부(300)는 상기 마스크(100) 저면의 길이방향을 따라 연장 형성되며 상기 마스크(100) 저면 전체와 접촉하도록 구성하여 전류 밀도를 한층 높이도록 구성되는 것이 바람직하다.

바람직하게는, 상기 음극부(300)는 상기 마스크(100) 저면의 길이방향과 나란한 회동축(C)에 대하여 힌지 왕복 이동 가능하게 설치되어 마스크(100) 하강시 저면과 일측면의 접촉이 가능하도록 회동할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

구체적으로, 마스크와 접촉하지 않는 평상시 상기 음극부(300)는 절곡된 내측면(310)이 상부를 향하도록 복원력이 작용하며, 상기 마스크(100)가 하강하여 접촉할 때 마스크(100)의 중량에 의해 음극부(300)가 회전하여 마스크의 저면과 측면이 함께 접촉하도록 구성되는 것이 바람직하다.

일 예로서, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 음극부(300)를 횡단면에서 바라볼 때, 상기 음극부(300)는 상기 회동축(C)을 지나는 수직선에 대하여 일측으로 무게중심(G)이 편중되게 위치하도록 할 수 있다.

이에 따라, 마스크(100)가 결합되지 않는 평상시에는 상기 음극부(300)가 일측으로 회전 복원하려는 경향을 가지게 되어 스스로 상기 내측면(310)이 상부를 향할 수 있게 된다.

이때, 상기 음극부(300)가 일측으로 계속 회전하는 것을 방지하기 위해, 상기 음극부(300)의 내측면(310)이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부(300)의 모서리는 상기 전해조(200)의 바닥에 접촉하여 더 이상 회전하는 것을 방지하도록 할 수 있다.

이 경우, 상기 전해조(200)의 바닥은 일종의 스토퍼로서 기능하게 된다.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 음극부(300)의 내측면(310)이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부(300)의 외측면을 지지하도록 상기 전해조(200)의 바닥에는 지지부(800)가 형성될 수 있다.

상기 지지부(800)가 스프링이나 스펀지와 같은 탄성 지지체로 구성되는 경우 상기 음극부(300)의 회전시 손상되는 것을 방지할 수 있다.

이 경우, 탄성 지지체는 탄성계수가 클 필요가 없으며 음극부(300)를 손상없이 안착시킬 수 있는 정도면 무방하다.

도시된 바와 같이, 상기 음극부(300)의 모서리부 내측면은 직각을 이루고 있어 직각의 모서리를 가지는 마스크(100)와 밀접하게 접촉하도록 하는 것이 바람직하나, 상기 마스크(100)의 하단 형상에 따라 음극부(300)의 모서리 각도(둔각)를 설정할 수 있다.

상기 회동축(C)은 상기 전해조(200)의 마주보는 양측벽을 연결하여 구성할 수도 있고, 서로 이격되는 한 쌍의 지지 구조물(미도시) 사이에 연결 설치될 수도 있다.

상기 정류기(510,520)에 연결된 도전선의 직경(단면적)은 전류 용량에 따라 적절히 선정될 수 있으며, 정류기(510,520)로부터의 전압은 동일하게 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 각각의 정류기(510,520)로부터 음극부(300) 까지의 도전선의 길이와 단면적을 서로 동일하게 하고, 각각의 정류기(510,520)로부터 양극부(400) 까지의 도전선의 길이와 단면적을 서로 동일하게 하여 양 정류기(510,520)로부터의 도전선에서 전기적 저항이 서로 달라지는 것을 회피하는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

100... 마스크
200... 전해조
300... 음극부
400... 양극부
410... 제1 양극부
420... 제2 양극부
500... 정류기
510... 제1 정류기
520... 제2 정류기
610... 제1 도전선
620... 제2 도전선
630... 제3 도전선
710... 제1 스위치
720... 제2 스위치
730... 제3 스위치
800... 지지부
900... 전해액
C... 회동축

Claims (10)

1. 전해액이 수용되는 전해조;
   상기 전해조의 내부에 설치되며 마스크가 접촉하는 음극부;
   상기 전해조의 내부에서 상기 마스크의 양면으로부터 각각 이격되게 설치되는 한 쌍의 양극부; 및,
   상기 음극부 및 양극부에 전기적으로 연결되되 상기 음극부에 공통으로 연결되고 상기 한 쌍의 양극부에 각각 독립적으로 연결되는 한 쌍의 정류기;
   를 포함하되,
   상기 한 쌍의 정류기와 한 쌍의 양극부 사이는 각각 제1 도전선과 제2 도전선에 의해 전기적으로 연결되고 상기 제1 도전선과 제2 도전선은 제3 도전선에 의해 서로 전기적으로 연결되되 상기 제1 도전선, 제2 도전선 및 제3 도전선에는 각각 제1 스위치, 제2 스위치가 및 제3 스위치가 설치되어 단속이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 음극부는 상기 마스크의 저면과 상기 저면과 연결된 일측면 일부와 접촉하도록 절곡된 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 음극부는 상기 마스크 저면의 길이방향을 따라 연장 형성되며 상기 마스크 저면 전체와 접촉하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
   상기 음극부는 상기 마스크 저면의 길이방향과 나란한 회동축에 대하여 왕복 힌지 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
6. 제5항에 있어서,
   마스크와 접촉하지 않는 평상시 상기 음극부는 절곡된 내측면이 상부를 향하도록 복원력이 작용하며, 상기 마스크가 하강하여 접촉할 때 마스크의 중량에 의해 회전하여 마스크의 저면과 일측면이 함께 접촉하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 음극부를 횡단면에서 바라볼 때, 상기 음극부는 상기 회동축을 지나는 수직선에 대하여 일측으로 무게중심이 편중되게 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 음극부의 내측면이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부의 모서리는 상기 전해조의 바닥에 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
9. 제7항에 있어서,
   상기 음극부의 내측면이 상부를 향한 상태에서 상기 음극부의 외측면을 지지하도록 상기 전해조의 바닥에는 지지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 지지부는 탄성 지지체인 것을 특징으로 하는 마스크 전해 세정장치.

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