JPH05320989A - 電気分解装置 - Google Patents
電気分解装置Info
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- JPH05320989A JPH05320989A JP14859392A JP14859392A JPH05320989A JP H05320989 A JPH05320989 A JP H05320989A JP 14859392 A JP14859392 A JP 14859392A JP 14859392 A JP14859392 A JP 14859392A JP H05320989 A JPH05320989 A JP H05320989A
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- electrode plates
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工物の大きさや厚さが変わっても均一な
処理が施せる電気分解装置を提供すること。 【構成】 槽２内の電解液３中に被加工物４を浸漬して
電気分解反応による処理を施す電気分解装置１で、槽２
内に非導電材料の支持部材５と一対の電極板１１ａ、１
１ｂとから構成される電極ユニット１１を配置する。こ
の電極ユニット１１を移動可能な搬送用のアーム６に取
り付け、少なくともどちらか一方の電極板１１ａ、１１
ｂをその対向面と略垂直な方向に移動可能な状態で垂設
し、しかも着脱自在な電極板ブロックを複数連設して構
成する。
処理が施せる電気分解装置を提供すること。 【構成】 槽２内の電解液３中に被加工物４を浸漬して
電気分解反応による処理を施す電気分解装置１で、槽２
内に非導電材料の支持部材５と一対の電極板１１ａ、１
１ｂとから構成される電極ユニット１１を配置する。こ
の電極ユニット１１を移動可能な搬送用のアーム６に取
り付け、少なくともどちらか一方の電極板１１ａ、１１
ｂをその対向面と略垂直な方向に移動可能な状態で垂設
し、しかも着脱自在な電極板ブロックを複数連設して構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被加工物にめっき処理
を施す場合や、反対に被加工物にエッチング処理を施す
る場合等に用いられる電気分解装置に関するものであ
る。
を施す場合や、反対に被加工物にエッチング処理を施す
る場合等に用いられる電気分解装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】電気分解反応を利用した加工として、金
属の電解めっきや電解エッチング、および電解研磨、電
解脱脂等がある。とくに電解めっきは様々な分野で利用
されている。例えば電子部品を実装するためのプリント
配線板や、半導体装置に用いられるリードフレーム等に
おいては、その表面に金属のめっき処理を施すことで、
錆の防止やハンダ等のぬれ性の向上を図っている。
属の電解めっきや電解エッチング、および電解研磨、電
解脱脂等がある。とくに電解めっきは様々な分野で利用
されている。例えば電子部品を実装するためのプリント
配線板や、半導体装置に用いられるリードフレーム等に
おいては、その表面に金属のめっき処理を施すことで、
錆の防止やハンダ等のぬれ性の向上を図っている。
【０００３】このようなめっき処理を施すための電気分
解装置を図８の模式断面図に基づいて説明する。この電
気分解装置１は、樹脂等から成る箱型の槽２内に電解め
っき、または電解エッチングに必要な電解液３が充填さ
れたもので、この電解液３内で所望の電気分解反応を行
うものである。
解装置を図８の模式断面図に基づいて説明する。この電
気分解装置１は、樹脂等から成る箱型の槽２内に電解め
っき、または電解エッチングに必要な電解液３が充填さ
れたもので、この電解液３内で所望の電気分解反応を行
うものである。
【０００４】槽２の内側面には、例えば陽極である第１
電極１０と導通した電極板１１ａ、１１ｂが対向した状
態で配置されている。各電極板１１ａ、１１ｂの上端に
はフック１４が取り付けられており、このフック１４を
槽２の縁に引っ掛けることで固定されている。この対向
する電極板１１ａ、１１ｂの間のほぼ中央に、めっき処
理を施すための被加工物４が配置されており、この被加
工物４に例えば陰極である第２電極２０が接続されてい
る。
電極１０と導通した電極板１１ａ、１１ｂが対向した状
態で配置されている。各電極板１１ａ、１１ｂの上端に
はフック１４が取り付けられており、このフック１４を
槽２の縁に引っ掛けることで固定されている。この対向
する電極板１１ａ、１１ｂの間のほぼ中央に、めっき処
理を施すための被加工物４が配置されており、この被加
工物４に例えば陰極である第２電極２０が接続されてい
る。
【０００５】このような電解液３内において、陽極と導
通する電極板１１ａ、１１ｂの表面に金属イオンが発生
し、電解液３内を移動して陰極と導通する被加工物４に
引き寄せられる。金属イオンは、被加工物４の表面で電
子を受け取り、金属に還元される。この金属が被加工物
４の表面に析出することでめっき処理が成される。
通する電極板１１ａ、１１ｂの表面に金属イオンが発生
し、電解液３内を移動して陰極と導通する被加工物４に
引き寄せられる。金属イオンは、被加工物４の表面で電
子を受け取り、金属に還元される。この金属が被加工物
４の表面に析出することでめっき処理が成される。
【０００６】一方、この電気分解装置１を用いて被加工
物４にエッチング処理を施すには、めっき処理とは反対
に第１電極１０を陰極とし、第２電極２０を陽極とす
る。これにより、陽極と導通した被加工物４と陰極と導
通した電極板１１ａ、１１ｂの間で電気分解反応が発生
する。この際、陰極と導通した被加工物４から金属イオ
ンが溶解してエッチング処理が成される。
物４にエッチング処理を施すには、めっき処理とは反対
に第１電極１０を陰極とし、第２電極２０を陽極とす
る。これにより、陽極と導通した被加工物４と陰極と導
通した電極板１１ａ、１１ｂの間で電気分解反応が発生
する。この際、陰極と導通した被加工物４から金属イオ
ンが溶解してエッチング処理が成される。
【０００７】いずれにおいても、均一な処理を行うた
め、電解液３の温度や濃度、攪拌条件および電流密度等
の正確な管理が必要である。したがって、槽２の大き
さ、容積、また電極板１１ａ、１１ｂの面積や被加工物
４と電極板１１ａ、１１ｂとの間隔を調整する必要があ
る。
め、電解液３の温度や濃度、攪拌条件および電流密度等
の正確な管理が必要である。したがって、槽２の大き
さ、容積、また電極板１１ａ、１１ｂの面積や被加工物
４と電極板１１ａ、１１ｂとの間隔を調整する必要があ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな電気分解装置には次のような問題がある。すなわ
ち、１対の電極板が槽の内側面に固定されているため、
被加工物とこの電極板との間隔は、槽の大きさに左右さ
れることになる。したがって、被加工物の厚さを変更し
た場合には、電極板と被加工物との間隔が変わってしま
い、均一な処理を行うのが困難となる。また、大きさの
違う被加工物を処理する場合には、被加工物の面積と電
極板の面積との対応がつかず、電流密度や電解液の濃度
等の条件が変わってしまう。このため、極端に被加工物
の大きさが違う場合には、槽の大きさを変更する必要が
ある。
うな電気分解装置には次のような問題がある。すなわ
ち、１対の電極板が槽の内側面に固定されているため、
被加工物とこの電極板との間隔は、槽の大きさに左右さ
れることになる。したがって、被加工物の厚さを変更し
た場合には、電極板と被加工物との間隔が変わってしま
い、均一な処理を行うのが困難となる。また、大きさの
違う被加工物を処理する場合には、被加工物の面積と電
極板の面積との対応がつかず、電流密度や電解液の濃度
等の条件が変わってしまう。このため、極端に被加工物
の大きさが違う場合には、槽の大きさを変更する必要が
ある。
【０００９】また、生産ライン等により被加工物を移動
しながら処理する場合、この電気分解装置の槽内を被加
工物が移動する。この際、電極板と被加工物との間隔を
維持するために、被加工物を槽の内側面に合わせて移動
する必要がある。このため、被加工物を移動するための
搬送装置を精度よく制御しなければ、処理の均一性を保
つのが困難となる。よって、本発明は被加工物の大きさ
や厚さが変わっても均一な処理が施せる電気分解装置を
提供することを目的とする。
しながら処理する場合、この電気分解装置の槽内を被加
工物が移動する。この際、電極板と被加工物との間隔を
維持するために、被加工物を槽の内側面に合わせて移動
する必要がある。このため、被加工物を移動するための
搬送装置を精度よく制御しなければ、処理の均一性を保
つのが困難となる。よって、本発明は被加工物の大きさ
や厚さが変わっても均一な処理が施せる電気分解装置を
提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された電気分解装置である。すな
わち、この電気分解装置は、箱型の槽内に電解液を充填
し、この電解液中で所定の電気分解を行うことで被加工
物を処理するもので、この槽内に、非導電材料の支持部
材と一対の電極板とから構成される電極ユニットを配置
する。電極ユニットは、支持部材の両端に一対の電極板
を垂設したもので、支持部材の略中央部に被加工物を搭
載するものである。また、この電極ユニットを移動可能
な搬送用のアームに取り付ける。さらに、一対の電極板
のうち、少なくともどとらか一方の電極板を、各電極板
の対向面と略垂直な方向に移動可能な状態で垂設し、し
かも、電極板として、着脱自在な電極板ブロックを複数
連設したものを用いる。
題を解決するために成された電気分解装置である。すな
わち、この電気分解装置は、箱型の槽内に電解液を充填
し、この電解液中で所定の電気分解を行うことで被加工
物を処理するもので、この槽内に、非導電材料の支持部
材と一対の電極板とから構成される電極ユニットを配置
する。電極ユニットは、支持部材の両端に一対の電極板
を垂設したもので、支持部材の略中央部に被加工物を搭
載するものである。また、この電極ユニットを移動可能
な搬送用のアームに取り付ける。さらに、一対の電極板
のうち、少なくともどとらか一方の電極板を、各電極板
の対向面と略垂直な方向に移動可能な状態で垂設し、し
かも、電極板として、着脱自在な電極板ブロックを複数
連設したものを用いる。
【００１１】
【作用】槽内に、非導電材料である支持部材の両端に一
対の電極板を垂設して成る電極ユニットを配置し、被加
工物を支持部材の略中央部に搭載することで、槽の大き
さにかかわらず、被加工物と電極板との距離を一定に保
つことができる。また、一対の電極板のうち、少なくと
もどちらか一方の電極板が、その対向面と略垂直な方向
に移動可能な状態で垂設されているため、一対の電極板
の間隔を容易に変更することができる。さらに、電極板
は、着脱自在な電極板ブロックを複数連設したものから
成るため、被加工物の面積に応じて電極板の面積を変え
ることができる。
対の電極板を垂設して成る電極ユニットを配置し、被加
工物を支持部材の略中央部に搭載することで、槽の大き
さにかかわらず、被加工物と電極板との距離を一定に保
つことができる。また、一対の電極板のうち、少なくと
もどちらか一方の電極板が、その対向面と略垂直な方向
に移動可能な状態で垂設されているため、一対の電極板
の間隔を容易に変更することができる。さらに、電極板
は、着脱自在な電極板ブロックを複数連設したものから
成るため、被加工物の面積に応じて電極板の面積を変え
ることができる。
【００１２】
【実施例】以下に、本発明の電気分解装置の実施例を図
に基づいて説明する。図１は、本発明の電気分解装置の
模式断面図である。また、図２は、電気分解装置の概略
斜視図である。なお、本実施例では説明を簡単にするた
めに、めっき処理を施すための電気分解装置１について
説明する。
に基づいて説明する。図１は、本発明の電気分解装置の
模式断面図である。また、図２は、電気分解装置の概略
斜視図である。なお、本実施例では説明を簡単にするた
めに、めっき処理を施すための電気分解装置１について
説明する。
【００１３】図１に示すように、この電気分解装置１
は、所望の電解液３が充填された箱型の槽２と、槽２内
の所定位置に配置された電極ユニット１１とから構成さ
れ、槽２として、例えば塩化ビニルやポリプロピレン、
および複合材料等から成る耐薬品性に優れたものが用い
られている。
は、所望の電解液３が充填された箱型の槽２と、槽２内
の所定位置に配置された電極ユニット１１とから構成さ
れ、槽２として、例えば塩化ビニルやポリプロピレン、
および複合材料等から成る耐薬品性に優れたものが用い
られている。
【００１４】また、電極ユニット１１は、例えば塩化ビ
ニル、ポリプロピレン、フッ素樹脂等の非導電材料から
成る板状の支持部材５と、この支持部材５の両端にボル
ト４２等で垂設された一対の電極板１１ａ、１１ｂとか
ら構成されている。支持部材５上の略中央部には、被加
工物４を電極板１１ａ、１１ｂと略平行に支持するため
の保持具４１が設けられている。電極板１１ａ、１１ｂ
には、陽極である第１電極１０がそれぞれ接続され、被
加工物４には、陰極である第２電極２０が接続されてい
る。これらの電極間で所定の電気分解反応が発生し、陰
極と導通する被加工物４の表面で金属イオンが還元さ
れ、この金属によるめっき処理が施される。
ニル、ポリプロピレン、フッ素樹脂等の非導電材料から
成る板状の支持部材５と、この支持部材５の両端にボル
ト４２等で垂設された一対の電極板１１ａ、１１ｂとか
ら構成されている。支持部材５上の略中央部には、被加
工物４を電極板１１ａ、１１ｂと略平行に支持するため
の保持具４１が設けられている。電極板１１ａ、１１ｂ
には、陽極である第１電極１０がそれぞれ接続され、被
加工物４には、陰極である第２電極２０が接続されてい
る。これらの電極間で所定の電気分解反応が発生し、陰
極と導通する被加工物４の表面で金属イオンが還元さ
れ、この金属によるめっき処理が施される。
【００１５】図２に示すように、支持部材４と一対の電
極板１１ａ、１１ｂとから成る電極ユニット１１は、移
動可能な搬送装置のアーム６に取り付けられており、図
中矢印に示すように、被加工物４を槽２内の所定位置に
移動することができる。例えば、アーム６は片持ち式に
電極ユニット１１の電極板１１ａ、１１ｂを支持してお
り、略Ｌ字型で槽２の外側に延出したものである。この
アーム６が図示しないモータおよびベルト等から成る搬
送装置に連結しており、移動可能な状態となっている。
なお、アーム６の形状はこれに限定されず、電極ユニッ
ト１１を確実に保持するものであればよい。
極板１１ａ、１１ｂとから成る電極ユニット１１は、移
動可能な搬送装置のアーム６に取り付けられており、図
中矢印に示すように、被加工物４を槽２内の所定位置に
移動することができる。例えば、アーム６は片持ち式に
電極ユニット１１の電極板１１ａ、１１ｂを支持してお
り、略Ｌ字型で槽２の外側に延出したものである。この
アーム６が図示しないモータおよびベルト等から成る搬
送装置に連結しており、移動可能な状態となっている。
なお、アーム６の形状はこれに限定されず、電極ユニッ
ト１１を確実に保持するものであればよい。
【００１６】このアーム６による電極ユニット１１の移
動について、図３の模式断面図を用いて説明する。この
電気分解装置１は、例えば生産ラインで用いられるもの
で、連続して複数の被加工物４をめっき処理することが
できるものである。そのため、被加工物４は槽２内を移
動しながらめっき処理が施され、所定の位置まで移動す
ると次の被加工物４が槽２内に浸漬される。
動について、図３の模式断面図を用いて説明する。この
電気分解装置１は、例えば生産ラインで用いられるもの
で、連続して複数の被加工物４をめっき処理することが
できるものである。そのため、被加工物４は槽２内を移
動しながらめっき処理が施され、所定の位置まで移動す
ると次の被加工物４が槽２内に浸漬される。
【００１７】被加工物４は電極ユニット１１の支持部材
５上に搭載されており、この電極ユニット１１ごと移動
するため、被加工物４と各電極板１１ａ、１１ｂとの間
隔が変化することがない。また、槽２内で複数の被加工
物４を同時に処理する場合においても、電極ユニット１
１ごとに浸漬されていればどのような配置、向きであっ
ても被加工物４と各電極板１１ａ、１１ｂとの間隔を保
持することができるため、被加工物４に均一なめっき処
理を施すことができる。
５上に搭載されており、この電極ユニット１１ごと移動
するため、被加工物４と各電極板１１ａ、１１ｂとの間
隔が変化することがない。また、槽２内で複数の被加工
物４を同時に処理する場合においても、電極ユニット１
１ごとに浸漬されていればどのような配置、向きであっ
ても被加工物４と各電極板１１ａ、１１ｂとの間隔を保
持することができるため、被加工物４に均一なめっき処
理を施すことができる。
【００１８】電極ユニット１１は、図４の斜視図に示す
ように、板状の支持部材５に一対の電極板１１ａ、１１
ｂが例えばボルト４２を用いて垂設されたもので、支持
部材５にはボルト４２の雄ネジ部分が貫通できる長穴５
１が設けられている。長穴５１は、その長手方向が電極
板１１ａ、１１ｂの対向面１２と略垂直な方向に設けら
れており、ボルト４２の位置を変えられるようになって
いる。これにより、一対の電極板１１ａ、１１ｂの間隔
を調節することができる。
ように、板状の支持部材５に一対の電極板１１ａ、１１
ｂが例えばボルト４２を用いて垂設されたもので、支持
部材５にはボルト４２の雄ネジ部分が貫通できる長穴５
１が設けられている。長穴５１は、その長手方向が電極
板１１ａ、１１ｂの対向面１２と略垂直な方向に設けら
れており、ボルト４２の位置を変えられるようになって
いる。これにより、一対の電極板１１ａ、１１ｂの間隔
を調節することができる。
【００１９】図５は、電極板１１ａ、１１ｂの移動を説
明する断面図（その１）である。このように、ボルト４
２の位置を長穴５１の一番外側にすれば電極板１１ａ、
１１ｂの間隔は最も広くなり、反対にボルト４２の位置
を長穴５１の一番内側にすれば電極板１１ａ、１１ｂの
間隔は最も狭くなる（図中２点鎖線参照）。この間であ
れば、電極板１１ａ、１１ｂの間隔を自由に設定するこ
とができる（図中矢印参照）。なお、支持部材５の上面
に予め目盛りを設けておけば、電極板１１ａ、１１ｂの
間隔を調節する際に、その間隔や対向面１２の平行度を
容易に設定することができる。
明する断面図（その１）である。このように、ボルト４
２の位置を長穴５１の一番外側にすれば電極板１１ａ、
１１ｂの間隔は最も広くなり、反対にボルト４２の位置
を長穴５１の一番内側にすれば電極板１１ａ、１１ｂの
間隔は最も狭くなる（図中２点鎖線参照）。この間であ
れば、電極板１１ａ、１１ｂの間隔を自由に設定するこ
とができる（図中矢印参照）。なお、支持部材５の上面
に予め目盛りを設けておけば、電極板１１ａ、１１ｂの
間隔を調節する際に、その間隔や対向面１２の平行度を
容易に設定することができる。
【００２０】また、電極板１１ａ、１１ｂの位置を移動
する他の例を図６の断面図に基づいて説明する。すなわ
ち、この電極ユニット１１は、、支持部材５の上面に弾
性を有するツメ４３が設けられており、このツメ４３を
用いて電極板１１ａ、１１ｂを垂設したものである。２
つのツメ４３の間隔が各電極板１１ａ、１１ｂの厚さよ
りも僅かに狭く設けられており、この２つのツメ４３の
間に各電極板１１ａ、１１ｂが嵌合されている。このよ
うな２つのツメ４３が複数箇所に設けられており、所望
の間隔が得られる位置のツメ４３に電極板１１ａ、１１
ｂを嵌合するだけで、その間隔を容易に変更ができる。
する他の例を図６の断面図に基づいて説明する。すなわ
ち、この電極ユニット１１は、、支持部材５の上面に弾
性を有するツメ４３が設けられており、このツメ４３を
用いて電極板１１ａ、１１ｂを垂設したものである。２
つのツメ４３の間隔が各電極板１１ａ、１１ｂの厚さよ
りも僅かに狭く設けられており、この２つのツメ４３の
間に各電極板１１ａ、１１ｂが嵌合されている。このよ
うな２つのツメ４３が複数箇所に設けられており、所望
の間隔が得られる位置のツメ４３に電極板１１ａ、１１
ｂを嵌合するだけで、その間隔を容易に変更ができる。
【００２１】次に、他の電極板の例を図７の斜視図に基
づいて説明する。すなわち、支持部材５に垂設された電
極板１１ａ、１１ｂは、複数の電極板ブロック１３を連
設したものから成る。電極板ブロック１３の一端には凸
部１３ａが設けられており、他端には凸部１３ａと嵌合
可能な形状の凹部１３ｂが設けられており、電極板ブロ
ック１３の凸部１３ａと他の電極板ブロック１３の凹部
１３ｂとを連続して嵌合することで、各電極板１１ａ、
１１ｂが構成される。
づいて説明する。すなわち、支持部材５に垂設された電
極板１１ａ、１１ｂは、複数の電極板ブロック１３を連
設したものから成る。電極板ブロック１３の一端には凸
部１３ａが設けられており、他端には凸部１３ａと嵌合
可能な形状の凹部１３ｂが設けられており、電極板ブロ
ック１３の凸部１３ａと他の電極板ブロック１３の凹部
１３ｂとを連続して嵌合することで、各電極板１１ａ、
１１ｂが構成される。
【００２２】この電極板ブロック１３を必要な数だけ連
設することで、所望の面積の電極板１１ａ、１１ｂを形
成することができる。したがって、図１に示す被加工物
４の面積が変わっても、それに対応した面積の電極板１
１ａ、１１ｂを用意することができる。このような電極
板１１ａ、１１ｂと先に述べた支持部材５とを用いるこ
とで、一つの電極ユニット１１において、一対の電極板
１１ａ、１１ｂの間隔と、その面積とを自由に設定する
ことができる。このため、様々な被加工物４の厚さや面
積に対するめっき処理の条件を均一にすることができ
る。
設することで、所望の面積の電極板１１ａ、１１ｂを形
成することができる。したがって、図１に示す被加工物
４の面積が変わっても、それに対応した面積の電極板１
１ａ、１１ｂを用意することができる。このような電極
板１１ａ、１１ｂと先に述べた支持部材５とを用いるこ
とで、一つの電極ユニット１１において、一対の電極板
１１ａ、１１ｂの間隔と、その面積とを自由に設定する
ことができる。このため、様々な被加工物４の厚さや面
積に対するめっき処理の条件を均一にすることができ
る。
【００２３】なお、本実施例において、めっき処理を施
すための電気分解装置１について説明したが、本発明は
これに限定されず、エッチング処理や脱脂処理を施すた
めの電気分解装置１でもよい。エッチング処理や脱脂処
理を施す電気分解装置１の場合には、第１電極１０を陰
極とし、第２電極２０を陽極とする。これにより、被加
工物４は陽極と導通状態となり、電極板１１ａ、１１ｂ
は陰極と導通状態となる。したがって、めっき処理とは
反対の電気分解反応となり、被加工物４のエッチング処
理や脱脂処理を行う電気分解装置１となる。
すための電気分解装置１について説明したが、本発明は
これに限定されず、エッチング処理や脱脂処理を施すた
めの電気分解装置１でもよい。エッチング処理や脱脂処
理を施す電気分解装置１の場合には、第１電極１０を陰
極とし、第２電極２０を陽極とする。これにより、被加
工物４は陽極と導通状態となり、電極板１１ａ、１１ｂ
は陰極と導通状態となる。したがって、めっき処理とは
反対の電気分解反応となり、被加工物４のエッチング処
理や脱脂処理を行う電気分解装置１となる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電気分解
装置によれば次のような効果がある。すなわち、電解液
内の浸漬される被加工物が電極ユニットに搭載されてい
るため、槽の大きさが変わっても、一対の電極板と被加
工物との間隔を常に一定に保つことができる。さらに、
被加工物を槽内で移動して処理する場合であっても、電
極板と被加工物とを一緒に移動できるため、均一な処理
を施すことが可能となる。また、一対の電極板の間隔
や、電極板の面積を自由に設定できるため、様々な被加
工物の厚さや面積に対応した電極板を用意するとができ
る。したがって、電流密度や電解液の濃度等の条件を一
定にすることができるため、被加工物の大きさが変更に
なっても、常に均一な処理を施すことができる。
装置によれば次のような効果がある。すなわち、電解液
内の浸漬される被加工物が電極ユニットに搭載されてい
るため、槽の大きさが変わっても、一対の電極板と被加
工物との間隔を常に一定に保つことができる。さらに、
被加工物を槽内で移動して処理する場合であっても、電
極板と被加工物とを一緒に移動できるため、均一な処理
を施すことが可能となる。また、一対の電極板の間隔
や、電極板の面積を自由に設定できるため、様々な被加
工物の厚さや面積に対応した電極板を用意するとができ
る。したがって、電流密度や電解液の濃度等の条件を一
定にすることができるため、被加工物の大きさが変更に
なっても、常に均一な処理を施すことができる。
【図１】本発明の電気分解装置を説明する模式断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の電気分解装置の概略斜視図である。
【図３】電極ユニットの移動を説明する模式断面図であ
る。
る。
【図４】電極ユニットについて説明する斜視図である。
【図５】電極板の移動について説明する断面図（その
１）である。
１）である。
【図６】電極板の移動について説明する断面図（その
２）である。
２）である。
【図７】他の電極板を説明する斜視図である。
【図８】従来の電気分解装置を説明する模式断面図であ
る。
る。
１ 電気分解装置 ２ 槽 ３ 電解液 ４ 被加工物 ５ 支持部材 ６ アーム １０ 第１電極 １１ 電極ユニット １１ａ、１１ｂ 電極板 １３ 電極板ブロック ２０ 第２電極 ４１ 保持具 ４２ ボルト
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２５Ｄ 17/08 Ｍ 17/12 Ｃ Ｃ２５Ｆ 7/00 Ｌ 8414−4Ｋ
Claims (4)
- 【請求項１】 箱型の槽内に充填された電解液中で所定
の電気分解を行い、被加工物を処理する電気分解装置に
おいて、 前記槽内には、前記被加工物をその略中央部に搭載する
非導電材料の支持部材と、前記支持部材の両端に垂設さ
れた一対の電極板とから成る電極ユニットが配置されて
いることを特徴とする電気分解装置。 - 【請求項２】 前記槽内に配置された前記電極ユニット
は、移動可能な搬送用のアームに支持されていることを
特徴とする請求項１記載の電気分解装置。 - 【請求項３】 前記一対の電極板のうち、少なくともど
ちらか一方の電極板は、前記各電極板の対向面と略垂直
な方向に移動可能な状態で垂設されていることを特徴と
する請求項１記載の電気分解装置。 - 【請求項４】 前記電極板は、着脱自在の電極板ブロッ
クを複数連設したものから構成されていることを特徴と
する請求項１記載の電気分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14859392A JPH05320989A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 電気分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14859392A JPH05320989A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 電気分解装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05320989A true JPH05320989A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15456227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14859392A Pending JPH05320989A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 電気分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05320989A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105862112A (zh) * | 2014-12-29 | 2016-08-17 | 神华集团有限责任公司 | 用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 |
| KR102329709B1 (ko) * | 2020-07-20 | 2021-11-22 | (주)디바이스이엔지 | 마스크 전해 세정장치 |
-
1992
- 1992-05-15 JP JP14859392A patent/JPH05320989A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105862112A (zh) * | 2014-12-29 | 2016-08-17 | 神华集团有限责任公司 | 用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 |
| CN105862112B (zh) * | 2014-12-29 | 2018-06-15 | 神华（北京）光伏科技研发有限公司 | 用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 |
| KR102329709B1 (ko) * | 2020-07-20 | 2021-11-22 | (주)디바이스이엔지 | 마스크 전해 세정장치 |
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