CN102332538B - 清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种清洁装置，该清洁装置包括：清洁溶液池，填充有至预定高度的清洁溶液；负电极，设置在清洁溶液池内部；金属夹具，安装有金属掩模，用于引导金属掩模使得金属掩模连接到所述负电极，所述金属掩模用于制造有机发光二极管(OLED)显示器；正电极，与金属掩模一起以预定间隔安装在清洁溶液池内部；整流装置，电连接到所述负电极和所述正电极。

Description

清洁装置

技术领域

所描述的技术总体上涉及一种清洁装置。更具体地，所描述的技术涉及一种用于清除附着到清洁目标对象的杂质颗粒的清洁装置。

背景技术

通常，当形成用于有机发光二极管(OLED)显示器中的有机发光元件的有机材料层时，采用使用金属掩模的沉积工艺。

为了制造高质量的有机发光二极管(OLED)显示器，重要的一点是清洁金属掩模。其原因是，如果来自周围环境的或沉积工艺中涂覆的有机材料的污染物颗粒没有被彻底清除而是留在金属掩模的表面上，则不能正常执行有机材料的期望的沉积工艺，使得产率会受到影响。

该背景部分中公开的上述信息仅仅是为了增强对所描述的技术的背景的理解，因此，上述信息可包含不形成对于该国本领域普通技术人员来说已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明包括一种能够使清洁目标对象有效地清洁的清洁装置。

根据本发明示例性实施例的清洁装置包括：电解质清洁溶液池，填充有至预定高度的清洁溶液；负电极，设置在清洁溶液池内；金属夹具，安装有金属掩模，并引导金属掩模使得金属掩模连接到所述负电极，所述金属掩模用于制造有机发光二极管(OLED)显示器；正电极，与金属掩模一起以预定间隔安装在电解质清洁溶液池内部；整流装置，电连接到所述负电极和所述正电极。

所述清洁装置还可包括：负极母线，安装在清洁溶液池的下部，用于将由整流装置提供的负电压输送到负电极；弹性构件，安装在负极母线上，并接触所述负电极。

金属夹具的上部可被连接到悬在电解质清洁溶液池池的一端上方的握持杆。

所述清洁装置还可包括：机器人，用于将金属夹具水平地和竖直地移动到预定位置，从而通过形成在清洁溶液池的上部中的入口将金属夹具装载到清洁溶液池内以及从所述清洁溶液池内卸载所述金属夹具；遥控装置，用于通过预定的程序的方式遥控所述整流装置和机器人；显示装置，用于显示遥控装置和整流装置的状态。

多个所述正电极可安装在清洁溶液池的内表面上，与金属夹具保持一定间隔，所述正电极可被设置为面对金属掩模。

所述清洁装置还可包括盖子，所述盖子用于覆盖清洁溶液池的上部入口，所述盖子可连接到排放线路，所述排放线路用于排放在清洁溶液池中产生的气体，所述排放线路可安装有用于检测通过排放线路的气体的浓度的气体比重计。

所述气体比重计可以是用于检测氢气浓度的氢气比重计。

所述清洁装置还可包括设置在金属掩模和金属夹具之间的绝缘构件。

如上所述，根据本发明，可以在负电极接触清洁目标对象的状态下容易地清洁金属掩模。

此外，可通过使用机器人将所述金属掩模容易地装载到清洁溶液池的预定位置，即，位于安装在清洁溶液池的下部的负极母线处。

附图说明

通过参照下面结合附图进行的详细描述，本发明的更完整的理解及随之而来的多种优点将会随着本发明变得更好理解而显而易见，在附图中，类似的标号指示相同或类似的组件，其中：

图1是根据本发明示例性实施例的清洁装置的内部示意图；

图2是根据本发明示例性实施例的清洁装置的总体系统示意图；

图3是根据本发明示例性实施例的清洁装置的内部侧视图以及局部详细示图；

图4A是根据本发明示例性实施例的清洁装置的内部主视图；

图4B是根据本发明示例性实施例的清洁装置的侧视图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图更全面地描述本发明，附图中示出了本发明的示例性实施例。如本领域技术人员所了解的，可以以各种不同的方式来修改所描述的实施例，所有这些均不脱离本发明的精神或范围。

为了清楚地描述本发明，省略了与描述无关的部分，在整个说明书中，类似的标号指示类似的元件。

此外，由于为了更好地理解以及易于描述，图中示出的各个构成元件的尺寸和厚度被任意地图解，因此，本发明不必受限于该图解。

在附图中，为了清楚起见，夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。应该理解的是，当诸如层、膜、区域或基底的元件被描述为“位于”另一元件“上”时，该元件可以直接位于另一元件上，或者可存在中间元件。相反，当元件被描述为“直接位于”另一元件“上”时，不存在中间元件。

图1是根据本发明示例性实施例的清洁装置的示意图。

参照图1，该清洁装置包括正电极140、作为清洁目标对象的金属掩模100、清洁溶液120(例如，电解质溶液)、负极母线(negativebusbar)150、弹性构件170、容纳负电极180的清洁溶液池130、电连接到正电极140和负电极180的整流装置110。支撑件197安装在清洁溶液池130的底表面上，由止动器195支撑的握持杆190安装在清洁溶液池130的上部。

清洁溶液120填充在清洁溶液池130中至预定的高度，并且安装了浸没在清洁溶液120中的金属夹具105。作为清洁目标对象的不锈钢或不胀钢材料的金属掩模100被固定并安装到金属夹具105上。这里，清洁目标对象可以是需要清除杂质颗粒的合适的清洁目标对象以及能够用在电子装置(例如，有机发光二极管(OLED)显示器)的制造工艺中的金属掩模。

由支撑件197支撑的负极母线150被固定并安装在清洁溶液池130的内下部。

如图中所示，支撑件197的一端固定到清洁溶液池130的底表面，并安装在清洁溶液池130的内部。然而，支撑件197的所述一端可固定到清洁溶液池的侧表面。

由弹性构件170弹性地支撑的负电极180设置在负极母线150的上部，引导件160可相对于弹性构件170和负电极180设置在两侧上。可根据清洁装置的设计规范选择性地设置该引导件160。

为了将安装有金属掩模100的金属夹具105安装在清洁溶液池130的内部，如果金属夹具105沿着从清洁溶液池130的上部到清洁溶液池130的下部的方向移动，则金属掩模100的下部横截面表面附着到负电极180。用于使金属掩模100和金属夹具105绝缘的绝缘构件107设置在金属掩模100和金属夹具105之间。

在这种情况下，弹性构件170将负电极180弹性地附着到金属掩模100。

握持杆190设置在金属夹具105的上部，握持杆190由形成在清洁溶液池130的上部上的止动器195支撑。因此，金属夹具105被强有力地支撑在清洁溶液池130中的预定位置处。

此外，当金属夹具105从清洁溶液池130的上部向着清洁溶液池130的下部移动时，引导件160引导金属夹具105的移动，使得金属掩模100和负电极180平滑接触。

如图1中所示，多个正电极140设置在金属夹具105的两侧上，从而靠近或附着到清洁溶液池130的两内侧表面。本示例性实施例为多个正电极140靠近清洁溶液池130的内侧表面、与金属夹具105保持一定间隔的情形。这里，多个正电极140被设置为面对金属掩模100，正电极140与金属掩模100一起以预定间隔安装在清洁溶液池130内部。

电连接到负极母线150和正电极140的整流装置110安装在清洁溶液池130的外部，整流装置110对负极母线150施加负电压，对正电极140施加正电压。

施加到负极母线150的负电压通过弹性构件170和负电极180被传送到金属掩模100。

图2是根据本发明示例性实施例的清洁装置的总体系统示意图。参照图2，机器人200设置在清洁溶液池130的上部，机器人200在三维空间内沿着纵向和横向移动金属夹具105，从而将金属夹具105装载到清洁溶液池130内部的预定位置以及从清洁溶液池130内卸载金属夹具105。

整流装置110连接到遥控装置210，遥控装置210连接到用于显示遥控装置210和整流装置110的状态的显示装置220。此外，可根据预定程序通过遥控装置210来控制机器人200。

如图所示，盖子230可安装在清洁溶液池130的上部入口处，盖子230可由机器人200安装，使得清洁溶液池130的上部入口被关闭并密封。

图3是根据本发明示例性实施例的清洁装置的内部侧视图和局部详细示图。

参照图3，弹性构件170安装在负极母线150上，负电极180设置在弹性构件170的端部。

弹性构件170具有弯曲成半圆的板簧形状，从而负电极180弹性地附着到金属掩模100上。

在示例性实施例中，当金属夹具105进入清洁溶液池130中并且金属夹具105的一端接触负极母线150从而被支撑时，握持杆190接触止动器195，从而金属夹具105以持久状态设置在清洁溶液池130内。

图4A是根据本发明示例性实施例的清洁装置的内部主视图，图4B是根据本发明的示例性实施例的清洁装置的侧视图。

参照图4A和图4B，优选的是，安装在清洁溶液池130的上部入口处的盖子230具有用于密封上部入口的结构，使得清洁溶液池130内可能产生的气体不会逸出。

此外，盖子230连接到用于排放清洁溶液池130的内部产生的反应气体的排放线路400.，排放线路400可安装有氢气比重计410。

因此，在清洁溶液120清洗金属掩模100的过程中在清洁溶液120中产生的氢气通过排放线路400被排放，氢气比重计410检测氢气的浓度，并将检测到的浓度传输给遥控装置210，显示装置220可显示与该浓度相应的值。

在示例性实施例中，清洁装置可通过利用通过排放线路400移动的氢气的浓度来检测金属掩模的清洁状态。

如上所述，可通过使用机器人将金属夹具105容易地装载在清洁溶液池130的预定位置处，即，位于安装在清洁溶液池130的下部的负极母线150处。

此外，弹性构件170将金属掩模100弹性地附着到安装在负极母线150上的负电极180，从而稳定地施加电压，并且可通过利用安装在排放线路400上的氢气比重计410来容易地确定清洁状态。

虽然已经结合现在被认为是实践性的示例性实施例描述了本公开，但是，应该理解的是本发明不限于该公开的实施例。相反，本发明意在覆盖包含在权利要求的精神和范围内的各种变型和等同设置。

Claims (7)

1.一种清洁装置，包括：

清洁溶液池，填充有至预定高度的清洁溶液；

负电极，设置在清洁溶液池内部；

金属夹具，用于将金属掩模安装到其一侧，并引导金属掩模使得金属掩模连接到所述负电极，所述金属掩模用于制造有机发光二极管显示器；

正电极，与金属掩模一起以预定间隔安装在清洁溶液池内部；

整流装置，电连接到所述负电极和所述正电极；

负极母线，安装在清洁溶液池的下部，用于将由整流装置提供的负电压输送到所述负电极；和

弹性构件，安装在负极母线处，用于接触所述负电极。

2.如权利要求1所述的清洁装置，其中，金属夹具的上部被连接到悬在清洁溶液池的一端上方的握持杆。

3.如权利要求1所述的清洁装置，还包括：

机器人，用于将金属夹具水平地和竖直地移动到预定位置，从而通过形成在清洁溶液池的上部的入口将金属夹具装载到清洁溶液池内以及从所述清洁溶液池内卸载所述金属夹具；

遥控装置，用于根据预定的程序遥控所述整流装置和机器人；

显示装置，用于显示遥控装置和整流装置的状态。

4.如权利要求1所述的清洁装置，其中，所述正电极安装在清洁溶液池的内表面上，与金属夹具保持一定间隔，所述正电极被设置为面对金属掩模。

5.如权利要求1所述的清洁装置，还包括盖子，所述盖子覆盖清洁溶液池的上部入口，其中，所述盖子连接到排放线路，所述排放线路用于排放清洁溶液池内产生的气体，所述排放线路安装有用于检测通过排放线路的气体的浓度的气体比重计。

6.如权利要求5所述的清洁装置，其中，所述气体比重计是用于检测氢气浓度的氢气比重计。

7.如权利要求1所述的清洁装置，还包括设置在金属掩模和金属夹具之间的绝缘构件。