JP2005336590A - 成膜装置および成膜装置を用いた成膜システム - Google Patents
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Abstract
成膜装置の電極およびその周辺部をクリーニングすることによる成膜装置の停止時間を短くすることができ、成膜工程の生産能率を高くすることができる成膜装置および成膜システムを提供する。
【解決手段】
プラズマCVD装置1の電極103およびその周辺部をクリーニングすることが必要な場合、プラズマCVD装置1の開口密閉部材101を交換装置によって取り外す。そして交換装置によって、取り外した開口密閉部材101の代わりに新品またはクリーニング済みの開口密閉部材101を取り付ける。
【選択図】図2
Description
請求項2の発明の成膜システムは、請求項1または2の成膜装置と、前記電極が取り付けられた前記開口密閉部材を前記容器から外し、電極が取り付けられた交換用開口密閉部材を前記容器に取り付ける交換装置とを備えることを特徴とする。
開口密閉部材101は、プラズマCVD装置1とは別に設けられた交換装置によって取り外され、移動される。交換装置についての詳細は後述する。201は交換装置に設けられたアームであり、アーム201は上下方向に駆動される。アーム201には、エアシリンダ203が設けられており、エアシリンダ203のロッドの先端には係合部202が取り付けられている。エアシリンダ203を駆動すると、係合部202が図の左右方向に移動する。開口密閉部材101は次のようにして取り外される。
(1)電極およびその周辺部のメンテナンスによる成膜装置の停止時間を短くすることによって、生産能率を高めることができる。
(2)電極およびその周辺部のメンテナンスを時間をかけて丁寧に行うことができるので、成膜工程の歩留りを上げることができる。
請求項1の発明の容器は、真空容器2に相当する。請求項2の交換用開口密閉部材は、新品またはクリーニング済みの開口密閉部材101に相当する。
101 開口密閉部材
102 真空容器
103 電極
106 吊り具
201 アーム
202 係合部
301 交換装置
302 レール
304 電極ストッカ
Claims (2)
- 基板と電極との間の放電作用を利用して前記基板に成膜する成膜装置において、
開口部を有し、前記基板が納められる容器と、
前記開口部に脱着可能に設けられている前記開口部を密閉する開口密閉部材とを備え、
前記電極は、前記容器に納められた前記基板と対向するように取り付けられ、前記開口密閉部材と一体的に交換できることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1または2の成膜装置と、
前記電極が取り付けられた前記開口密閉部材を前記容器から外し、電極が取り付けられた交換用開口密閉部材を前記容器に取り付ける交換装置とを備えることを特徴とする成膜システム。
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