JP2006196691A - 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006196691A JP2006196691A JP2005006697A JP2005006697A JP2006196691A JP 2006196691 A JP2006196691 A JP 2006196691A JP 2005006697 A JP2005006697 A JP 2005006697A JP 2005006697 A JP2005006697 A JP 2005006697A JP 2006196691 A JP2006196691 A JP 2006196691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus ring
- wafer
- focus
- chamber
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】所望のフォーカスリングを使用して、基板に処理を施すことにより、基板における処理の均一性を向上させることができる半導体製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体製造装置1は、ウェハWが載置される下部電極9を内部に備えたエッチング処理室4と、下部電極9に載置されたウェハWの周囲を取り囲むように配置されるフォーカスリング11を複数収容するフォーカスリング待機室5と、エッチング処理室4内を大気開放させずに、エッチング処理室4とフォーカスリング待機室5との間でフォーカスリング11を搬送する搬送機構6とを備えている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体製造装置1は、ウェハWが載置される下部電極9を内部に備えたエッチング処理室4と、下部電極9に載置されたウェハWの周囲を取り囲むように配置されるフォーカスリング11を複数収容するフォーカスリング待機室5と、エッチング処理室4内を大気開放させずに、エッチング処理室4とフォーカスリング待機室5との間でフォーカスリング11を搬送する搬送機構6とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造装置及び半導体装置の製造方法に関する。
従来から、ドライエッチング装置やプラズマCVD装置等のプラズマ処理装置においては、プラズマを均一にウェハに接触させるためにウェハの周囲を取り囲むようにフォーカスリングが配置されている。
このフォーカスリングは、エッチングレート、エッチング形状、或いはデポジションレート等の面内均一性が最適になるように、プロセス条件に合わせて材質、大きさ、形状、及び高さ等が工夫されている。
しかしながら、この最適化されたフォーカスリングは、ある特定のプロセス条件には最適となるが、他のプロセス条件では最適とはならないことがある。このため、プロセス条件に合わせてフォーカスリングを交換して、常にプロセス条件に対して最適なフォーカスリングを使用することが望まれている。
ところが、これまでのように、一度設置するとチャンバ内を大気開放しない限りフォーカスリングを変えられない場合には、手間等の問題からフォーカスリングの交換を諦めて、プロセス条件の方をそのフォーカスリングに合わせて最適化することが多いというのが現状である。
なお、チャンバ内に移動可能な複数のフォーカスリングを配置して、その中からプロセス条件に対して最適なフォーカスリングを使用する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
この技術によれば、大気開放することなく、フォーカスリングを交換することができるが、使用していないフォーカスリングがチャンバ内に存在するので、プラズマの均一性が乱れる可能性があるとともに、プラズマにより使用していないフォーカスリングが損傷してしまい、フォーカスリングの寿命が短くなり易い。
特開平8−186096号公報
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。即ち、所望のフォーカスリングを使用して、基板に処理を施すことにより、基板における処理の均一性を向上させることができる半導体製造装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一の態様によれば、基板が載置される電極を内部に備えた基板処理室と、前記電極に載置された基板の周囲を取り囲むように配置されるフォーカスリングを複数収容するフォーカスリング待機室と、前記基板処理室内を大気開放させずに、前記基板処理室と前記フォーカスリング待機室との間で前記フォーカスリングを搬送する搬送機構と、を具備することを特徴とする半導体製造装置が提供される。
本発明の他の態様によれば、フォーカスリング待機室内に収容された複数のフォーカスリングの中から所望のフォーカスリングを選択し、基板処理室内を大気開放させずに前記基板処理室内の電極上に前記選択されたフォーカスリングを配置する工程と、前記電極上かつ前記フォーカスリングの内側に基板を配置する工程と、前記基板に処理を施す工程と、を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の一の態様の半導体製造装置によれば、複数のフォーカスリングをフォーカスリング待機室に収容させた場合には、所望のフォーカスリングを使用して、基板に処理を施すことができるので、基板における処理の均一性を向上させることができる。また、本発明の他の態様の半導体装置の製造方法によれば、所望のフォーカスリングを使用して、基板に処理を施すことができるので、基板間やロット間でも基板における処理の均一性を向上させることができる。
以下、実施の形態について説明する。図1は本実施の形態に係る半導体製造装置の概略構成図であり、図2は本実施の形態に係る下部電極上にウェハ及びフォーカスリングが載置された状態のエッチング処理室内の模式図であり、図3は本実施の形態に係る内部に複数のフォーカスリングが収容された状態のキャリアの模式図である。図4は本実施の形態に係るフォーカスリング洗浄機構の模式図であり、図5は本実施の形態に係る半導体製造装置の制御系統の電気的な接続を示すブロック図である。
図1に示されるように、半導体製造装置1は、ウェハ予備室2、オリエンタ3、エッチング処理室4(基板処理室)、及びフォーカスリング待機室5を備えている。ウェハ予備室2は、ウェハW(基板)を例えば1ロット収容したキャリア(図示せず)を配置するためのものであり、オリエンタ3は、後述するロボットアーム8に対するウェハWの2次元方向のズレを補正するためものである。エッチング処理室4は、ウェハWにエッチングを施すためのものであり、フォーカスリング待機室5は、後述する複数のフォーカスリング11を収容するためのものである。
ウェハ予備室2、オリエンタ3、エッチング処理室4、及びフォーカスリング待機室5には、各室を大気開放させずにウェハWやフォーカスリング11を搬送する搬送機構6が接続されている。本実施の形態では、搬送機構6は、トランスファー室7、及びトランスファー室7内に配置されたロボットアーム8等から構成されている。
ロボットアーム8は、ウェハW及び後述するフォーカスリング11を支持してウェハW及びフォーカスリング11を搬送するものであり、ウェハ予備室2、オリエンタ3、エッチング処理室4、フォーカスリング待機室5を自在に行き来できるように構成されている。
エッチング処理室4内には、図2に示されるようにウェハWを載置するための円板状の下部電極9(電極)が配置されている。下部電極9上には、下部電極9と対向する位置に上部電極(図示せず)が配置されている。ウェハWを下部電極9に載置した状態で、エッチング処理室4内にエッチングガスを供給するとともに下部電極9と上部電極との間に電圧を印加することにより、プラズマが発生し、ウェハWにエッチングが施される。
下部電極9のウェハ載置面には、下部電極9にウェハWを載置させるため及び下部電極9からウェハWを離間させるための出没可能なプッシュピン10が配置されている。下部電極9にウェハWを載置する際には、プッシュピン10が下部電極9から突出している状態でロボットアーム8によりプッシュピン10上にウェハWを載置し、その後プッシュピン10を下降させて、下部電極9にウェハWを載置する。また、下部電極9からウェハWを離間させる際には、プッシュピン10が下部電極9に収容されている状態でプッシュピン10を上昇させることによりウェハWを持ち上げて、下部電極9からウェハWを離間させる。
下部電極7の外周縁部上には、下部電極7に載置されたウェハWの周囲を取り囲むように環状のフォーカスリング11が配置されている。このフォーカスリング11もウェハWと同様、プッシュピン10´により下部電極9への載置及び下部電極9からの離間が可能な構造となっている。
フォーカスリング待機室5内には、図3に示されるように複数のフォーカスリング11を収容したキャリア12が配置されている。本実施の形態では、材質、大きさ、形状、及び高さ等の少なくともいずれかがそれぞれ異なる複数種類のフォーカスリング11がキャリア12内に収容されている。なお、複数種類のフォーカスリング11に代えて或いは複数種類のフォーカスリング11とともに、いずれかのフォーカスリング11と同一種類のフォーカスリング11をキャリア12内に収容させてもよい。
フォーカスリング11の材質が異なるものとしては、例えば、WSix等のWを含む材料、Cuを含む材料、Si、及びSiO2で形成されたもの等をそれぞれ用意しておく。フォーカスリング11の大きさが異なるものとしては、例えば、内径や外径が異なるもの等をそれぞれ用意しておく。フォーカスリング11の形状が異なるものとしては、例えば、フォーカスリング11の表面が平坦なものやフォーカスリング11の表面は平坦であるが表面に溝が形成されたもの等をそれぞれ用意しておく。フォーカスリング11の高さが異なるものとしては、例えば、ウェハWの高さとほぼ同じ高さのもの(ウェハWの高さに対して0〜±0.5mm程度のもの)、及びウェハWの高さより高いもの(ウェハWの高さに対して1mm以上高いもの)等をそれぞれ用意しておく。
フォーカスリング待機室5内には、図4に示されるようにフォーカスリング11を洗浄するフォーカスリング洗浄機構13が配置されている。フォーカスリング洗浄機構13は、例えば、フォーカスリングの形状に沿って移動可能なスポンジ14等から構成されている。フォーカスリング11がキャリア12に収容されている状態で、洗浄液を染み込ませたスポンジ14がフォーカスリング11に接触しながらフォーカスリング11の形状に沿って移動することにより、フォーカスリング11が洗浄される。なお、本実施の形態では、フォーカスリング11を洗浄する際に、フォーカスリング11を固定しているが、スポンジ14を移動させる代わりにフォーカスリング11を回転させてもよい。また、スポンジ14の代わりにノズル(図示せず)を配置して、ノズルから洗浄液をフォーカスリング11に向けて供給することにより、フォーカスリング11を洗浄してもよい。
半導体製造装置1は、図5に示されるように入力部15と制御部16とを備えている。入力部15は、例えばガス種等のプロセス条件やウェハWのロット情報等のウェハ情報を入力可能に構成されている。制御部16は、入力部15に入力されたプロセス条件やウェハ情報等に基づいて、所望のフォーカスリング11を選択するとともに、選択されたフォーカスリング11をエッチング処理室4とフォーカスリング待機室5との間で搬送するようにロボットアーム8を制御するように構成されている。なお、制御部16は、ロボットアーム8を制御する他、半導体製造装置1全体の動作を制御するように構成されている。
制御部16には、プロセス条件やウェハ情報等と、フォーカスリング11とを関連付けた情報が記憶されている。即ち、予め実験等により例えばプロセス条件Aに対してはフォーカスリング11aが最適であり、プロセス条件B及びプロセス条件Cに対してはフォーカスリング11bが最適であり、プロセス条件D〜プロセス条件Fに対してはフォーカスリング11cが最適であることを把握しておき、それらの情報を制御部16に記憶させておく。これにより、例えばプロセス条件Aが入力部15に入力されると、制御部16によりフォーカスリング11aが自動的に選択されるようになっている。
なお、入力部15にウェハW端のシースの歪みによりエッチング形状が曲がるような厳しいデザインルールが入力された場合には、ウェハWの高さとほぼ同じ高さのフォーカスリング11が選択され、またその影響が少ないデザインルールが入力された場合にはウェハWの高さより高いフォーカスリング11が選択されることが好ましい。それは、ウェハW端のシースの歪みによりエッチング形状が曲がるような場合には、ウェハWの高さとほぼ同じ高さのフォーカスリング11を選択することにより、シースの歪みを低減させることができ、精度の高いエッチングを行うことができるからであり、またその影響が少ない場合には、フォーカスリング11は一般的に徐々にエッチングされるため、ウェハWの高さより高いフォーカスリング11を選択することにより、フォーカスリング11の寿命が長くなるからである。
入力部15にエッチング対象としてSiが入力された場合には、例えばSiO2で形成されたフォーカスリング11が選択されることが好ましく、またエッチング対象としてSiO2が入力された場合には、例えばSiで形成されたフォーカスリング11が選択されることが好ましい。また、エッチング対象としてWやCuを含む材料が入力された場合やウェハW上のプラズマにさらされる領域にWやCuを含む材料が存在することがウェハ情報として入力された場合にはWやCuを含む材料から構成されたフォーカスリング11が選択されることが好ましい。さらに、エッチング対象に応じて生成される体積物の材料種とフォーカスリング11との密着性の観点から、表面が平坦なフォーカスリング11及び表面に溝が形成されたフォーカスリング11を適宜選択することも可能である。
以下、半導体製造装置1の動作について説明する。図6(a)〜図7(c)は本実施の形態に係る半導体製造装置1の動作状態の模式図である。
まず、入力部15にプロセス条件やウェハ情報等を入力する。入力部15にプロセス条件やウェハ情報等が入力されると、制御部16が複数種類のフォーカスリング11の中から入力されたプロセス条件やウェハ情報等に対して所望のフォーカスリング11を選択する。制御部16により所望のフォーカスリング11が選択されると、図6(a)に示されるようにフォーカスリング待機室5内にロボットアーム8が進入し、キャリア12から選択されたフォーカスリング11が取り出される。そして、フォーカスリング11を支持したロボットアーム8がトランスファー室7を介してエッチング処理室4内に進入し、下部電極9から突出しているプッシュピン10´上にフォーカスリング11が載置される。フォーカスリング11がプッシュピン10´上に載置されると、プッシュピン10´が下降し、図6(b)に示されるように下部電極9上にフォーカスリング11が載置される。
次に、図6(c)に示されるようにウェハ予備室2内にロボットアーム8が進入し、キャリアからウェハWが取り出される。そして、図6(d)に示されるようにウェハWを支持したロボットアーム8がトランスファー室7を介してオリエンタ3に進入し、オリエンタ3上にウェハWが載置される。オリエンタ3上にウェハWが載置されると、ウェハWの2次元方向のズレが補正され、再びロボットアーム8にウェハWが支持される。
その後、ウェハWを支持したロボットアーム8がトランスファー室7を介してエッチング処理室4内に進入し、下部電極9から突出しているプッシュピン10上にウェハWが載置される。ウェハWがプッシュピン10上に載置されると、プッシュピン10が下降し、図7(a)に示されるように下部電極9にウェハWが載置される。そして、エッチングガス供給機構(図示せず)によりエッチングガスがエッチング処理室4内に供給され、かつ下部電極9と上部電極との間に電圧が印加されることによりプラズマが発生し、ウェハWにエッチングが施される。
ウェハWにエッチングが施された後、プッシュピン10が上昇し、ウェハWが下部電極9から離間する。その後、ロボットアーム8にウェハWが支持され、その状態でロボットアーム8がトランスファー室7を介してウェハ予備室2内に進入し、図7(b)に示されるようにエッチングが施されたウェハWがキャリアに戻される。
次いで、エッチングが施されていないウェハWがキャリアから取り出され、上記と同様な手順でウェハWにエッチングが施される。この動作が1ロット繰り返される。
ウェハWが1ロット処理された後、ロボットアーム8がエッチング処理室4内に進入し、ロボットアーム8にフォーカスリング11が支持される。その後、フォーカスリング11を支持したロボットアーム8がトランスファー室7を介してフォーカスリング待機室5内に進入し、図7(c)に示されるようにキャリア12にフォーカスリング11が戻される。フォーカスリング11がキャリア12に戻されると、洗浄液を染み込ませたスポンジ14がフォーカスリング11に接触するとともに、スポンジ14がフォーカスリング11の形状に沿って移動して、フォーカスリング11が洗浄される。
本実施の形態では、複数のフォーカスリング11を収容するフォーカスリング待機室5と、エッチング処理室4内を大気開放させずにエッチング処理室4とフォーカスリング待機室5との間でフォーカスリング11を搬送する搬送機構6とを備えているので、フォーカスリング待機室5に複数のフォーカスリング11を収容した場合には、所望のフォーカスリング11を使用して、ウェハWにエッチングを施すことができる。これにより、ウェハWのエッチングの均一性、ウェハW間/ロット間の均一性を向上させることができる。
例えば、フォーカスリング待機室5に複数種類のフォーカスリング11を収容した場合には、複数種類のフォーカスリング11の中からプロセス条件及びウェハ情報等に対して所望のフォーカスリング11を選択することができるので、常に所望のフォーカスリング11を使用してウェハWのエッチングを行うことができる。これにより、ウェハWにおけるエッチングの均一性を向上させることができる。また、フォーカスリング待機室5に同一種類のフォーカスリング11を収容した場合には、エッチング処理室4を大気開放することなく寿命に到達したフォーカスリング11を新たなフォーカスリング11に交換することができるので、長期間に亘ってウェハWにおけるエッチングの均一性を向上させることができる。
本実施の形態では、エッチング処理室4を大気開放せずにフォーカスリング11を交換することができるので、エッチング処理室4内を洗浄する頻度を低減させることができる。即ち、通常、フォーカスリングを交換する際には、エッチング処理室を大気開放させる必要があるが、エッチング処理室を大気開放させると、エッチング処理室内を洗浄しなければならない。これに対し、本実施の形態では、エッチング処理室4を大気開放させずにフォーカスリング11を交換することができるので、エッチング処理室4内を洗浄する頻度を低減させることができる。
本実施の形態では、エッチング処理室4内には、使用するフォーカスリング11のみ配置されるので、プラズマの均一性が乱れ難く、またプラズマにより使用していないフォーカスリング11の損傷を抑制することができ、フォーカスリング11の寿命が長くなる。
本実施の形態では、プロセス条件やウェハ情報を入力可能な入力部15と、入力部15に入力されたプロセス条件やウェハ情報に基づいて、所望のフォーカスリング11を選択する制御部16とを備えているので、プロセス条件やウェハ情報に対して所望のフォーカスリング11を正確かつ容易に選択することができる。
本実施の形態では、使用後フォーカスリング11を洗浄するので、フォーカスリング11に付着している付着物によるロット間の経時変化を抑制することができる。また、本実施の形態では、フォーカスリング待機室5内にフォーカスリング洗浄機構13を配置しているので、フォーカスリング11の洗浄及び管理が容易に行い得る。
本発明は上記実施の形態の記載内容に限定されるものではなく、構造や材質、各部材の配置等は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記実施の形態では、フォーカスリング11をエッチング処理室4に搬送する例について説明しているが、例えばアッシング装置及びプラズマCVD装置等のプラズマを使用する装置であれば適用可能であり、またCCPタイプのプラズマ処理装置に限らず、ICPタイプ等他の方式のプラズマ処理装置であってもよい。
上記実施の形態では、フォーカスリング待機室5内にフォーカスリング洗浄機構13を配置しているが、トランスファー室7にフォーカスリング洗浄室を接続し、そのフォーカスリング洗浄室内にフォーカスリング洗浄機構13を配置してもよい。また、エッチング処理室4を大気開放することなく、フォーカスリング待機室5を大気開放可能に構成した場合には、フォーカスリング待機室5を大気開放して、フォーカスリング待機室5外において人手や洗浄装置でフォーカスリング11を洗浄してもよい。
1…半導体製造装置、4…エッチング処理室、5…フォーカスリング待機室、8…ロボットアーム、9…下部電極、11…フォーカスリング、13…フォーカスリング洗浄機構、15…入力部、16…制御部。
Claims (5)
- 基板が載置される電極を内部に備えた基板処理室と、
前記電極に載置された基板の周囲を取り囲むように配置されるフォーカスリングを複数収容するフォーカスリング待機室と、
前記基板処理室内を大気開放させずに、前記基板処理室と前記フォーカスリング待機室との間で前記フォーカスリングを搬送する搬送機構と、
を具備することを特徴とする半導体製造装置。 - 前記複数のフォーカスリングは、材質、大きさ、形状、及び高さの少なくともいずれかがそれぞれ異なることを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置。
- プロセス条件及び基板情報の少なくともいずれかを入力する入力部と、前記入力部に入力されたプロセス条件及び基板情報の少なくともいずれかに基づいて、前記複数のフォーカスリングの中から所望のフォーカスリングを選択する制御部とをさらに備え、前記搬送機構は前記選択されたフォーカスリングを搬送することを特徴とする請求項1又は2記載の半導体製造装置。
- 前記フォーカスリングを洗浄するフォーカスリング洗浄機構をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- フォーカスリング待機室内に収容された複数のフォーカスリングの中から所望のフォーカスリングを選択し、基板処理室内を大気開放させずに前記基板処理室内の電極上に前記選択されたフォーカスリングを配置する工程と、
前記電極上かつ前記フォーカスリングの内側に基板を配置する工程と、
前記基板に処理を施す工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005006697A JP2006196691A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005006697A JP2006196691A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006196691A true JP2006196691A (ja) | 2006-07-27 |
Family
ID=36802524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005006697A Withdrawn JP2006196691A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006196691A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8409995B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-04-02 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, positioning method and focus ring installation method |
US20140213055A1 (en) * | 2011-08-17 | 2014-07-31 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing device and processing method |
JP2015109479A (ja) * | 2015-03-02 | 2015-06-11 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、エッチング装置及びリング部材 |
US9441292B2 (en) | 2010-01-22 | 2016-09-13 | Tokyo Electron Limited | Etching method, etching apparatus, and ring member |
JP2018133464A (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置、及びメンテナンス装置 |
US20190122870A1 (en) * | 2016-07-14 | 2019-04-25 | Tokyo Electron Limited | Focus ring replacement method and plasma processing system |
JP2020096122A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び搬送システム |
JP2020161827A (ja) * | 2020-06-05 | 2020-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
KR20210019951A (ko) | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템에서의 반송 방법 |
KR20210021939A (ko) | 2018-06-25 | 2021-03-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 메인터넌스 장치 |
CN112786428A (zh) * | 2016-07-14 | 2021-05-11 | 东京毅力科创株式会社 | 拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统 |
JP2021092502A (ja) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送するシステム及び方法 |
-
2005
- 2005-01-13 JP JP2005006697A patent/JP2006196691A/ja not_active Withdrawn
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8409995B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-04-02 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, positioning method and focus ring installation method |
US9441292B2 (en) | 2010-01-22 | 2016-09-13 | Tokyo Electron Limited | Etching method, etching apparatus, and ring member |
KR20190100457A (ko) | 2011-08-17 | 2019-08-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반도체 제조 장치 및 처리 방법 |
US9859146B2 (en) * | 2011-08-17 | 2018-01-02 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing device and processing method |
US10699935B2 (en) | 2011-08-17 | 2020-06-30 | Toko Electron Limited | Semiconductor manufacturing device and processing method |
US20140213055A1 (en) * | 2011-08-17 | 2014-07-31 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing device and processing method |
JP2015109479A (ja) * | 2015-03-02 | 2015-06-11 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、エッチング装置及びリング部材 |
US20190122870A1 (en) * | 2016-07-14 | 2019-04-25 | Tokyo Electron Limited | Focus ring replacement method and plasma processing system |
CN112786428A (zh) * | 2016-07-14 | 2021-05-11 | 东京毅力科创株式会社 | 拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统 |
JP2018133464A (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置、及びメンテナンス装置 |
CN108447760A (zh) * | 2017-02-16 | 2018-08-24 | 东京毅力科创株式会社 | 真空处理装置和维护装置 |
KR20180094809A (ko) | 2017-02-16 | 2018-08-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 진공 처리 장치, 및 유지보수 장치 |
US11309168B2 (en) | 2017-02-16 | 2022-04-19 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and maintenance apparatus |
KR20230047069A (ko) | 2017-02-16 | 2023-04-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 진공 처리 장치, 및 유지보수 장치 |
KR20210021939A (ko) | 2018-06-25 | 2021-03-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 메인터넌스 장치 |
US11532467B2 (en) | 2018-06-25 | 2022-12-20 | Tokyo Electron Limited | Maintenance device |
JP7129325B2 (ja) | 2018-12-14 | 2022-09-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び搬送システム |
US10861729B2 (en) | 2018-12-14 | 2020-12-08 | Tokyo Electron Limited | Transfer method and transfer system |
JP2020096122A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び搬送システム |
US11380568B2 (en) | 2018-12-14 | 2022-07-05 | Tokyo Electron Limited | Transfer method and transfer system |
KR20210019951A (ko) | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템에서의 반송 방법 |
KR20210075008A (ko) | 2019-12-12 | 2021-06-22 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반송하는 시스템 및 방법 |
JP2021092502A (ja) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送するシステム及び方法 |
JP7263225B2 (ja) | 2019-12-12 | 2023-04-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送するシステム及び方法 |
US11869752B2 (en) | 2019-12-12 | 2024-01-09 | Tokyo Electron Limited | System and method for transferring a focus ring into processing apparatus |
JP2020161827A (ja) * | 2020-06-05 | 2020-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006196691A (ja) | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR100951148B1 (ko) | 기판의 탑재 기구 및 기판 처리 장치 | |
JP5638405B2 (ja) | 基板のプラズマ処理方法 | |
JP2001077088A (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN107305857B (zh) | 晶片支撑组件、反应腔室及半导体加工设备 | |
CN112259457B (zh) | 等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置和基板载置台 | |
KR20160047994A (ko) | 버퍼 스테이션을 통해 이송된 반도체 기판들의 열 제어를 위한 버퍼 스테이션 및 반도체 기판들을 이송하는 방법 | |
JP2008135517A (ja) | 基板処理装置の制御装置、制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 | |
US9721910B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device, semiconductor manufacturing apparatus, and wafer lift pin-hole cleaning jig | |
JP2019176031A (ja) | プラズマ処理装置、及び被処理体の搬送方法 | |
JP2010245127A (ja) | 基板交換方法及び基板処理装置 | |
KR100856816B1 (ko) | 기판 처리 장치의 클리닝 방법, 기판 처리 장치,프로그램을 기록한 기록 매체 | |
JP2022117671A (ja) | 収納容器及び処理システム | |
JP5528391B2 (ja) | 基板のプラズマ処理方法 | |
JP4783094B2 (ja) | プラズマ処理用環状部品、プラズマ処理装置、及び外側環状部材 | |
US20170186631A1 (en) | Apparatus and method for reducing substrate sliding in process chambers | |
JP2017010993A (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP4518712B2 (ja) | トレイ式マルチチャンバー基板処理装置 | |
JP5571122B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 | |
JP2020205382A (ja) | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 | |
WO2008108604A1 (en) | Apparatus and method of processing substrates | |
JP7214021B2 (ja) | プラズマ処理装置、及び被処理体の搬送方法 | |
TWI827962B (zh) | 靜電裝置、其所在的基片處理系統及其置換清潔方法 | |
US11865591B2 (en) | Method of cleaning stage in plasma processing apparatus, and the plasma processing apparatus | |
JPWO2007132757A1 (ja) | クリーニング方法及び真空処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080401 |