JP5828683B2 - 加工装置 - Google Patents
加工装置Info
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Description
14 X軸送り機構
20 チャックテーブル
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
60 水充填室
68 対物レンズ
70 キセノンフラッシュ
74 CCDカメラ
76 モニタ
82 光量調整器
84 パルスモータ
92 遮光板
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを備えた加工装置であって、
該撮像手段は、被加工物を照明するキセノンフラッシュからなるストロボ光源と、照明された被加工物を該ストロボ光源の発光に同期して撮像するカメラと、該ストロボ光源からの光の一部を反射して被加工物に導くビームスプリッタと、該ストロボ光源と該ビームスプリッタとの間に配置され該ストロボ光源から照射される光の光量を調整する光量調整器とを含み、
該光量調整器は、回転軸を有する回転板と、該光源から照射される光を透過する該回転板に形成された開口部と、該回転軸の回転角度に応じて該開口部を透過する光量を最大値と最小値の間で連続的に又は段階的に変化させる遮光板とを含むことを特徴とする加工装置。 - 該光量調整器は、該回転軸に連結されたパルスモータを更に含む請求項1に記載の加工装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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