JP5274960B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
14 X軸送り機構
20 チャックテーブル
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
60 水充填室
68 対物レンズ
70 ストロボ光源
74 CCDカメラ
76 画像処理部
82 モニタ
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、被加工物に対して該チャックテーブルをX軸方向に相対的に移動して該切削手段と該撮像手段とに該チャックテーブルを位置付けるとともに加工送りするX軸送り機構とを備えた切削装置であって、
前記撮像手段は、撮像領域に対面する対物レンズと、該対物レンズの光軸上に配設された撮像カメラと、該撮像領域にストロボ光を照射するストロボ光源と、該撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理部と、該対物レンズを収容する枠体と、該枠体の先端部近傍に配置された光透過窓を有する隔壁とを含んでおり、
該枠体と、該隔壁と、該チャックテーブルに保持された被加工物とで仕切られた空間内に水を供給する水供給手段を更に具備したことを特徴とする切削装置。 - 前記X軸送り機構はX座標値を検出するX座標検出手段を含んでおり、
該X座標検出手段は、前記ストロボ光源のストロボ信号に同期してストロボ光が照射された撮像領域のX座標値を記憶する請求項1記載の切削装置。
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