JP5777415B2 - 分割予定ライン検出方法 - Google Patents
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Description
11 パッケージ基板
14 X軸送り機構
15a 第1分割予定ライン
15b 第2分割予定ライン
17 デバイス形成部
P1〜P5 第1アライメントマーク
Q1〜Q5 第2アライメントマーク
R11〜R53 中間アライメントマーク
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
68 対物レンズ
70 キセノンフラッシュ
74 CCDカメラ
76 モニタ
Claims (1)
- 複数の第1分割予定ラインと該第1分割予定ラインに交差する複数の第2分割予定ラインとによって区画された各領域にデバイスが形成されるとともに、該複数の第1分割予定ラインの第1端部に該第1分割予定ラインに関連して形成された複数の第1アライメントマークと、該複数の第1分割予定ラインの該第1端部と反対側の第2端部に該第1分割予定ラインに関連して形成された複数の第2アライメントマークと、該第1アライメントマークと該第2アライメントマークとの間に形成された一本の該第1分割予定ラインにつき少なくとも1個の中間アライメントマークとを有する被加工物において、該第1アライメントマークと該中間アライメントマークと該第2アライメントマークとを撮像して、該第1分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出方法であって、
チャックテーブルで被加工物を保持する保持工程と、
該チャックテーブルに保持された被加工物に撮像手段を位置付けて、該撮像手段を被加工物に対して選択された該第1分割予定ラインに沿って相対的に移動させながら、予め格納されている該第1アライメントマークと、該中間アライメントマークと、該第2アライメントマークとの間隔に対応してストロボ光を照射して、該第1アライメントマーク、該中間アライメントマーク及び該第2アライメントマークを撮像して記憶する往路アライメントマーク撮像工程と、
該撮像手段を被加工物に対して相対的に移動して選択された該第1分割予定ラインに隣接する第1分割予定ラインに位置付けた後に、該撮像手段を被加工物に対して隣接する該第1分割予定ラインに沿って相対的に移動させながら、予め格納されている該第2アライメントマークと、該中間アライメントマークと、該第1アライメントマークとの間隔に対応してストロボ光を照射して、該第2アライメントマーク、該中間アライメントマーク及び該第1アライメントマークを撮像して記憶する復路アライメントマーク撮像工程と、
該往路アライメントマーク撮像工程と該復路アライメントマーク撮像工程とを複数回繰り返して該複数の第1分割予定ラインに関するアライメント情報を取得した後、該第1アライメントマーク、該中間アライメントマーク、及び該第2アライメントマークの位置情報から最小二乗法により、該第1分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出工程と、
を具備し、
該往路アライメントマーク撮像工程及び該復路アライメントマーク撮像工程では、該撮像手段の中心座標位置に対する該第1アライメントマーク、該中間アライメントマーク及び該第2アライメントマークのそれぞれの位置を、該第1アライメントマーク、該中間アライメントマーク及び該第2アライメントマークのそれぞれの座標位置として記憶することを特徴とする分割予定ライン検出方法。
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