JP2668566B2 - ペレットの形状認識方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ペレットボンディングに供されるペレット
の形状認識方法に関する。

［従来の技術］ 一般に、ペレットボンディング装置は、ウエハがスク
ライビングされることにより格子状に配置された複数個
のペレットの中からペレットを１個づつピックアップ
し、リードフレーム等の基板上にボンディングする。こ
の時、ボンディングされるペレットは、各ペレットのう
ちで所望の特性を有する良品のペレットであることが必
要である。

そこで、ペレットボンディングに供される各ペレット
は、ペレットボンディング装置に搬入される前の工程
で、或いはペレットボンディング装置に搬入されてピッ
クアップされる直前の工程で、ウエハ上における位置、
不良マークの有無、コーナの欠けの有無等を認識され
る。ペレットボンディング装置は、それらの認識結果に
基づいて所望ペレットを逐次選択的にピックアップし、
上述の如くボンディングすることになる。尚、不良マー
クは各ペレットの電気的特性測定に基づいて付されるも
のであり、コーナの欠けは主にその測定後の搬送過程等
にて生ずるものである。

然るに、上記ペレットの形状認識に際し、大型のペレ
ットで、カメラの視野よりもペレットの面積が大なる場
合等にあっては、下記の如く、ペレットの１つのコー
ナ形状だけを認識する方法、或いはペレットの４つの
コーナ形状を時間をかけて順次認識する方法が採用され
ている。

即ち、上記の認識方法は、第５図に示す如く、ウエ
ハ上をａ→ｂ→ｃ→ｄ→ｅ→ｆ→ｇという順に走査し、
カメラの視野内にペレットの１つのコーナａを取り込ん
でそのコーナ形状を認識し、この１つのコーナに欠けが
ないと判別した場合に、そのペレットの中心位置ｂを算
出し、この中心位置ｂをカレマの視野中心に引き込み、
このペレット中心部に不良マークがないかを判別し、不
良マークがなければ良品ペレットとする。続いて、次の
ペレットのコーナｃへ移動し、以下同様の判別動作を繰
り返す。

又、上記の認識方法は、第５図に示す如く、ウエハ
上をｐ→ｑ→ｒ→ｓ→ｔ→ｕという順に走査し、カメラ
の視野内にペレットの４つのコーナｐ、ｑ、ｒ、ｓを次
々に取り込んでその取り込みの度にそれらのコーナ形状
を認識し、全コーナに欠けがにと判別した場合に、その
ペレットの中心位置ｔを算出し、この中心位置ｔをカメ
ラの視野中心に引き込み、このペレット中心部に不良マ
ークがないかを判別し、不良マークがなければ良品ペレ
ットとする。続いで、次のペレットのコーナｕへ移動
し、以下同様の判別動作を繰り返す。

［発明が解決しようとする課題］ 然しながら、上記の認識方法にあっては、各ペレッ
トについて１つのコーナ形状を認識するのみで、他の３
つのコーナにおける欠けの有無を認識するものではない
ため、信頼性が低い。

又、上記の認識方法にあっては、各ペレットの４つ
の全コーナ形状を陰式するものであるが、コーナの数分
の画像を取り込み、認識することが必要なため、全ての
コーナ形状を認識するためには多くの時間を要する。

本発明は、ペレットの全コーナ形状の認識に要する時
間を短縮することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、格子状に配置された複数個のペレットそれ
ぞれのコーナの形状を認識するペレットの形状認識方法
において、１つのペレットのあるコーナの形状の認識時
に、このペレットと隣接するペレットにおける前記コー
ナと相互に向かい合うコーナの形状を同時に認識するよ
うにしたものである。

［作用］ 本発明によれば、１つのペレットのあるコーナの形状
の認識時に、このペレットと隣接するペレットにおける
前記コーナと相互に向かい合うコーナの形状を同時に認
識することにより、相互に向かい合う複数のコーナの形
状を同時に認識する。

［実施例］ 第１図は本発明の実施に用いられるペレット形状認識
装置の一例を示す模式図、第２図は認識過程の一例を示
す模式図、第３図はカメラの受像画面情報を示す模式
図、第４図は本発明が適用できるピックアップ装置の一
例を示す模式図である。

第１図のペレット形状認識装置10は、XYテーブル11、
カメラ12、画像信号処理回路13、制御回路14、モニタテ
レビ15を有して構成されている。

XYテーブル11は、モータ16、17によりＸ軸方向とＹ軸
方向に往復移動でき、ウエハ載置台18を支持している。
ウエハ載置台18には、不図示のウエハ治具を介してウエ
ハ19がセットされている。ウエハ19は、スクライビング
されることにより複数個のペレット20が格子状に配列さ
れた状態で、不図示の粘着シートに粘着保持されてい
る。

カメラ12は、ウエハ19の上方に配置され、各ペレット
20を撮像し、その撮像結果を画像信号処理回路13に転送
する。21は照明器具である。

画像信号処理回路13は、カメラ12の撮像結果を信号処
理し、その信号処理結果を制御回路14、モニタテレビ15
に転送する。

制御回路14は、検出動作プログラム、XYテーブル制御
プログラム、画像情報メモリのための記憶回路を備えて
いる。これにより、制御回路14は、画像信号処理回路13
からの信号に基づいて、各ペレット20の位置、不良ペレ
ット20の略中心部に付される不良マークの有無、各ペレ
ット20のコーナの欠けの有無等の画像情報をメモリする
とともに、XYテーブル11を制御する。

モニタテレビ15は、画像信号処理回路13からの信号に
基づいて、カメラ12の受像画面情報を表示する。

以下、本実施例によるペレットの形状認識動作につい
て説明する。尚、以下の説明において、、、…は
第２図、第３図の位置、、…に対応する位置を表
わすものとし、中心位置を、、…とするペレット
をそれぞれペレット、、…の如くに表わすものと
する。

ペレット形状認識装置10の制御回路14は、カメラ12が
ウエハ19の上を、、、…という順に走査するよ
うにXYテーブル11を制御する。

而して、では１個目のペレットの左上コーナの形状
を認識し、ペレットの左上コーナ有という情報を記憶
する（第３図（Ａ）参照）。

では、ペレットの左上コーナの形状を認識すると
同時に、隣接するペレットの右上のコーナの形状も認
識する（第３図（Ｂ）参照）。

では、ペレットの右上コーナの形状を認識する。
この時、次に進むべき走査ルートもウエハ19の形状情報
（ウエハの輪郭円の直径とその中心位置）から算出し、
へ進む（第３図（Ｃ）参照）。

では、ペレットの右上コーナの形状を認識し、
へ進む。

では、ペレットの右上コーナの形状を認識すると
同時に、ペレットの右下コーナの形状とペレットの
左上コーナの形状も認識する（第３図（Ｄ）参照）。

では、ペレットの右上コーナの形状を認識すると
同時に、ペレットの左上コーナ、ペレットの右下コ
ーナ、およびペレットの左下コーナの形状を認識する
（第３図（Ｅ）参照）。

ペレットの左下コーナの形状を認識した時点で、ペ
レットについては４つのコーナの情報が得られること
になり、全てのコーナの情報がペレットの外形条件を満
足していれば、ペレットの中心部にカメラ12の視野を
移し、不良マークの認識を行ない、不良マークが無いと
判別されれば、このペレットを良品ペレットとして記
憶する。

続いで、へ進み、前述と同様の方法により、隣接す
る各ペレットのコーナ形状及び不良マークの認識を行な
う。

では、右下ペレットのコーナが欠けているため、そ
のペレットは不良品として記憶する（第３図（Ｆ）参
照）。

へ進んだ時、第３図（Ｇ）に示す如く、左上ペレッ
トのコーナがカメラに受像されるとしても、そのペレッ
トは既に上述のコーナ条件不良のため残余のコーナ形状
の認識をキャンセルして上述のとおり不良品として扱
い、の後、この不良ペレットの中心部に不良マークが
付いているか否かを判別することも無く次のペレットの
形状認識へ進む。

以下、上記認識動作の繰り返しであり、結果として、
ウエハ19上の全部のペレット20について、それらの位
置、不良マークの有無、コーナの欠けの有無が認識され
記憶される。この記憶情報は、このウエハ19が後工程の
ボンディング装置に供される際に、ペレットピックアッ
プのための選択情報等として利用される。

次に、上記実施例の作用について説明する。

上記実施例にあっては、各ペレット20の全コーナ形状
を認識するに際し、カメラ12による単位画面の受像時
に、隣接する４個のペレット20の相互に向かい合うコー
ナのコーナ形状を同時に認識できる。従って、ペレット
20のコーナの形状を認識するにあたって、一度に４つの
コーナの画像を取り込み、４つのコーナ形状を同時に認
識しているので、全ペレット20のコーナ形状の認識動作
に要する時間をコーナの数分の画像を取り込み、認識し
ていた従来の認識動作に比べて大幅に短縮することがで
きる。

又、上記認識過程で、既に一部のコーナに欠けがある
ことが認識されているペレット20については、残余のコ
ーナ形状の認識や不良マークの認識をキャンセルし、カ
メラの視野を速やかに次の撮像領域に進ませることによ
り、ウエハ19の全ペレット20に対する総認識時間を短縮
できる。

第４図のペレットピックアップ装置30は、ボンディン
グ装置内に組み込まれて、良品ペレットを１個づつピッ
クアップし、これを基板上にボンディングすべく中間位
置決め台等に移載するものである。31はXYレーブル、32
はカメラ、33は画像信号処理回路、34は制御回路、35は
モニタテレビ、36はピックアップコレット、37は突き上
げニードルである。

ペレットピックアップ装置30は、上述のペレット形状
認識装置10と同様に、XYテーブル31が支持するウエハ載
置台38に前述と同様のウエハ19を載置している。又、制
御回路34は、ペレット形状認識装置10の制御回路14と同
様に、カメラ32の撮像結果に基づき画像信号処理回路33
からの信号に基づいて、各ペレット20の位置、不良ペレ
ット20の略中心部に付される不良マークの有無、各ペレ
ット20のコーナの欠けの有無等の画像情報をメモリする
とともに、XYテーブル31を制御する。

この時、ペレットピックアップ装置30では、各ペレッ
ト20の前述したと同様の本発明による形状認識時に、カ
メラ32により撮像される各ペレット20の中心位置を突き
上げニードル37の上方に設定し、今回形状認識により良
品と判定されたペレット20については、直ちに突き上げ
ニードル37により粘着シート上から突き上げ、ピックア
ップコレット36によりピックアップし、これを基板上へ
のボンディングに供することができる。

尚、本発明の実施において、カメラによる単位画面の
受像時に、各ペレットのコーナを構成する２辺の各受像
長さｌが当該ペレットの１辺の全長Ｌの1/2以上であれ
ば、最終コーナのコーナ形状の認識時に、当該ペレット
の全コーナ形状を含む全輪郭形状を認識することができ
る（第２図、第３図（Ｅ）参照）。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、ペレットの全コーナ形
状の認識に要する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に用いられるペレット形状認識装
置の一例を示す模式図、第２図は認識過程の一例を示す
模式図、第３図はカメラの受像画面情報を示す模式図、
第４図は本発明が適用できるピックアップ装置の一例を
示す模式図、第５図は従来の認識方法を示す模式図であ
る。 10……ペレット形状認識装置、 11……XYテーブル、 12……カメラ、 13……画像信号処理回路、 14……制御回路、 19……ウエハ、 20……ペレット、 30……ペレットピックアップ装置、 31……XYテーブル、 32……カメラ、 33……画像信号処理回路、 34……制御回路。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】格子状に配置された複数個のペレットそれ
   ぞれのコーナの形状を認識するペレットの形状認識方法
   において、１つのペレットのあるコーナの形状の認識時
   に、このペレットと隣接するペレットにおける前記コー
   ナと相互に向かい合うコーナの形状を同時に認識するこ
   とを特徴とするペレットの形状認識方法。