JPH0576185B2 - - Google Patents

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JPH0576185B2
JPH0576185B2 JP58044791A JP4479183A JPH0576185B2 JP H0576185 B2 JPH0576185 B2 JP H0576185B2 JP 58044791 A JP58044791 A JP 58044791A JP 4479183 A JP4479183 A JP 4479183A JP H0576185 B2 JPH0576185 B2 JP H0576185B2
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JP
Japan
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inspection
wire
output
end point
bonding
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Masahito Nakajima
Hiroyuki Tsukahara
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 発明の技術分野 本発明は、ワイヤボンデイングされたワイヤ間
の検査始点アドレス及び検査終点アドレスを配線
状態の自動検査に用いる自動配線検査装置に関す
る。
(ロ) 技術の背景 半導体集積回路チツプ（ICチツプ）はパツケ
ージに収納され、チツプのパツドとパツケージに
設けられたリードとがワイヤボンダにより接続さ
れてICパツケージが製造されるが、そのパツド
とリードとを接続するワイヤが常に正常な状態で
配線されているとは限らない。
そのため、ワイヤボンダによりパツドとリード
との間にワイヤリングされたワイヤの配線状態を
検査する必要性がある。
今までにおけるこの検査は検査員の目視検査に
依存していた。これがため、ワイヤリング不良が
生じてもワイヤボンダへフイードバツクするまで
に時間がかかり、多数の不良品を製造してしまつ
ていた。
このような不具合を解決するため、ワイヤボン
デイング直後に、そのワイヤリング状態を自動的
に検査して不良品の発生を最小限に止めるのに役
立つ自動ワイヤリング検査装置の開発が焦眉の急
となつている。
(ハ) 発明の目的 本発明は上述したような事情に鑑みて創案され
たもので、その目的はワイヤボンダによりワイヤ
ボンデイングされたワイヤの配線状態を自動的に
表示しうる自動配線検査装置を提供することにあ
る。
(ニ) 発明の構成 そして、その目的は、複数のワイヤがボンデイ
ングされるパツド及びリードのボンデイングアド
レスを出力するボンダ認識系と、複数のワイヤが
ボンデイングされたワイヤ領域の画像を取得して
出力する画像取得系と、上記ボンダ認識系の出力
に接続され、ボンデイングアドレスに応答して各
ワイヤ間に位置する検査始点アドレス及び検査終
点アドレスを発生する検査始点終点指示回路と、
上記画像取得系及び検査始点終点指示回路の出力
へ接続され、各検査始点アドレスと対応する検査
終点アドレスとを結ぶ検査線に沿つての検査対象
となる画像データ中にワイヤ像信号が現れるか否
かによりワイヤ配線の良否を判定する検査出力回
路系とを設けて構成される。
(ホ) 発明の実施例 以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施
例を説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。この図にお
いて、１は試料例えば第２図に示すようなワイヤ
ボンデイング加工後のICパツケージ２を搬送す
る試料搬送機構である。第２図において、３は
ICチツプで、４はチツプ３のパツドである。５
はパツケージに設けられたリードで、このリード
５とパツド４とがワイヤ６で接続されている。
試料２のワイヤボンデイングされたワイヤ領域
の画像がTVカメラ７で撮像されるが、その際に
ワイヤ領域を照明するのが照明装置８で、この照
明装置８は制御系９の制御の下にある。制御系９
はボンダ制御系へ接続されている。又、TVカメ
ラ７はXYステージ制御回路１０によつて制御さ
れるが、XYステージ制御回路１０は制御系９の
制御の下にある。
TVカメラ７の出力はTVカメラコントローラ
１１、そしてアナログ−デイジタル変換回路１２
を経て画像メモリ１３へ接続されている。
画像メモリ１３の出力が間隔検出回路１４へ接
続されると共に、この間隔検出回路１４には又、
検査始点終点指示回路１５が接続されている。検
査始点終点指示回路１５には、図示しない公知の
ボンダ認識系の、ボンデイングアドレス出力が接
続されている。
間隔検出回路１４は検査出力系１６へ接続され
ている。検査出力系１６は制御系９の制御の下に
ある。
次に、上述構成装置の動作を説明する。
試料搬送機構１上に載置された試料は順次に送
られ、そのパツドが認識された後ワイヤボンダで
パツドとパツケージのリードとの間にワイヤボン
デイング加工が施行される。
然る後に、その試料がTVカメラ７の下に搬入
されて来てTVカメラ７によりワイヤボンデイン
グがなされている領域のビデオ信号が発生され
る。このビデオ信号はTVカメラコントローラ１
１を経てアナログ−デイジタル変換回路１２へ供
給され、そこでデイジタル化される。そのデイジ
タル画像信号が画像メモリ１３へ記憶される。そ
の画像データの一例が第３図に示されている。こ
の例示の画像データに対応するパツド及びリード
のボンデイングアドレスがボンダ認識系から検査
始点終点指示回路１５へ供給される。この回路１
５において、第３図に示すような検査始点アドレ
スＳ１，Ｓ２，Ｓ３及び検査終点アドレスＥ１，
Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４が算出される。これらのアドレ
スは隣接するリードボンデイングアドレス、例え
ば第３図に示すような（x1，y1）、（x2，y2）、
（x3，y3）相互間の中点及びパツドボンデイング
アドレス、例えば第３図に示すような（Ｘ１，Ｙ
１）、（Ｘ２，Ｙ２）、（Ｘ３，Ｙ３）相互間の中点
を求めることにより得られる。
これらの検査始点アドレス及び検査終点アドレ
スと画像データとを用いて次のようなデータ処
理、即ち画像データ内のワイヤ像に対して始点ア
ドレスから始点アドレスまでにワイヤ像信号が検
出されるか否かを検査し、もしワイヤ像信号を示
すレベル“１”の検出があるならば、第４図に示
すようなワイヤ接近、ワイヤ接触、ワイヤ断線の
如きワイヤリング不良状態が間隔検出回路１４で
出力表示され、又上述のような検出がなければ、
画像データを取り込んだワイヤ領域のワイヤの配
線状態は正常な状態にある（第５図参照）旨の表
示が間隔検出回路１４から出力される。
これらの回路１４出力信号は検査出力系１６へ
与えられ、ワイヤリング状態が不良であればその
表示を出力すると共に、そのパツケージを不良品
とする一方、ワイヤリングが正常で、そのパツケ
ージにつき画像データを取り込む領域が残つてい
るならば、その画像データの取り込み処理を制御
系９により生ぜしめ、その画像データについて上
述したような処理を行う。このような処理が全画
像データについて行われ、そのいづれの画像デー
タについてもワイヤリングが正常にある旨の表示
が得られるならば、そのパツケージを良品とし、
次のパツケージについての同様の処理に進む。
なお、上記実施例における始点、終点を第６図
に示すように、リードボンデイング点及びパツド
ボンデイング点から一定距離ａだけ両側に離れた
位置として、上述の処理をするように構成しても
よい。
(ヘ) 発明の効果 以上述べたように、本発明によれば、 ボンデイングワイヤの良否を自動的に検査し
得て 不良品の発生を最小限に止め得る手段を提供
する等の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は
ICパツケージのリードとチツプパツドとの間に
ボンデイングされたワイヤのための斜視図、第３
図は第１図実施例を説明するための図、第４図は
ワイヤリングの不良状態を示す図、第５図はワイ
ヤリングの正常な状態を示す図、第６図は検査始
点及び終点の他の設定方法を示す図である。 図中、１は試料搬送機構、２はICパツケージ、
３はICチツプ、４はパツド、５はリード、６は
ワイヤ、７はTVカメラ、８は照明装置、９は制
御系、１０はXYステージ制御回路、１１はTV
カメラコントローラ、１２はアナログ−デイジタ
ル変換回路、１３は画像メモリ、１４は間隔検出
回路、１５は検査始点終点指示回路、１６は検査
出力系である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のワイヤがボンデイングされるパツド及
    びリードのボンデイングアドレスを出力するボン
    ダ認識系と、 複数のワイヤがボンデイングされたワイヤ領域
    の画像を取得して出力する画像取得系と、 上記ボンダ認識系の出力に接続され、ボンデイ
    ングアドレスに応答して各ワイヤ間に位置する検
    査始点アドレス及び検査終点アドレスを発生する
    検査始点終点指示回路と、 上記画像取得系及び検査始点終点指示回路の出
    力へ接続され、各検査始点アドレスと対応する検
    査終点アドレスとを結ぶ検査線に沿つての検査対
    象となる画像データ中にワイヤ像信号が現れるか
    否かによりワイヤ配線の良否を判定する検査出力
    回路系とを設けたことを特徴とする自動配線検査
    装置。
JP58044791A 1983-03-17 1983-03-17 自動配線検査装置 Granted JPS59171129A (ja)

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JP58044791A JPS59171129A (ja) 1983-03-17 1983-03-17 自動配線検査装置

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JP58044791A JPS59171129A (ja) 1983-03-17 1983-03-17 自動配線検査装置

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JPS59171129A JPS59171129A (ja) 1984-09-27
JPH0576185B2 true JPH0576185B2 (ja) 1993-10-22

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