JPH10267627A - リードフレームの検査方法及び装置 - Google Patents
リードフレームの検査方法及び装置Info
- Publication number
- JPH10267627A JPH10267627A JP7182597A JP7182597A JPH10267627A JP H10267627 A JPH10267627 A JP H10267627A JP 7182597 A JP7182597 A JP 7182597A JP 7182597 A JP7182597 A JP 7182597A JP H10267627 A JPH10267627 A JP H10267627A
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- Japan
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- lead frame
- lead
- camera
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】形状の複雑なリードフレーム、特にＬＯＣ構造
を採るリードフレームのリード短絡有無の検査を可能に
する検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】画像を取り込み可能なカメラ５と、カメラ
５により取り込まれた画像を画像処理する画像処理部８
と、照明光源６とを備え、照明光源６とカメラ５との間
にリードフレーム７が通過するように搬送ベルト４が設
けられたリードフレーム検査装置において、カメラ５に
より取り込まれたリードフレーム７の画像を２値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Ａと、リードフレ
ームの種類に応じて予め設定されたリード数Ｂとを比較
し、ＡとＢの異同によりリードフレームの短絡の有無を
判定する処理方式を備えている。
を採るリードフレームのリード短絡有無の検査を可能に
する検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】画像を取り込み可能なカメラ５と、カメラ
５により取り込まれた画像を画像処理する画像処理部８
と、照明光源６とを備え、照明光源６とカメラ５との間
にリードフレーム７が通過するように搬送ベルト４が設
けられたリードフレーム検査装置において、カメラ５に
より取り込まれたリードフレーム７の画像を２値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Ａと、リードフレ
ームの種類に応じて予め設定されたリード数Ｂとを比較
し、ＡとＢの異同によりリードフレームの短絡の有無を
判定する処理方式を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体実装用部品
として用いられるリードフレームのリード先端部の短絡
の有無を検査する方法及び装置に関する。
として用いられるリードフレームのリード先端部の短絡
の有無を検査する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体実装用部品としてのリードフレー
ムの検査項目には、リード変形検査、リード間隔検査、
メッキエリア検査、メッキ外観検査などがある。これら
の検査対象となるリードフレームには、通常、パターン
中央部に半導体チップを搭載可能なアイランドが形成さ
れていると共に、半導体チップとワイヤーボンディング
などにより電気的に接続されるべきリードが、外側より
アイランド部に向かって放射状に延びた構造となってい
る。
ムの検査項目には、リード変形検査、リード間隔検査、
メッキエリア検査、メッキ外観検査などがある。これら
の検査対象となるリードフレームには、通常、パターン
中央部に半導体チップを搭載可能なアイランドが形成さ
れていると共に、半導体チップとワイヤーボンディング
などにより電気的に接続されるべきリードが、外側より
アイランド部に向かって放射状に延びた構造となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、最近用いられ
るメモリー用リードフレームは、パターン中央部にアイ
ランドがなく、また、リード形状も複雑化している。そ
して、この様なリードフレームのリード間隔は、上記の
如き構造をした従来のリード間隔を測る装置では測定困
難となっている。
るメモリー用リードフレームは、パターン中央部にアイ
ランドがなく、また、リード形状も複雑化している。そ
して、この様なリードフレームのリード間隔は、上記の
如き構造をした従来のリード間隔を測る装置では測定困
難となっている。
【０００４】また、近年のモールド樹脂やモールド技術
の進展により、リード間隔の最小規格値（少なくとも開
いていなければならない間隔値）が狭小化の傾向にあ
り、リード間隔の測定よりもリード短絡の有無を検査す
ることが重要視されてきている。本発明は、このような
リードフレーム業界の要請に対応すべく開発されたもの
であり、形状の複雑なリードフレーム、特にＬＯＣ構造
を採るリードフレームのリード短絡の有無の検査を可能
にする検査方法及び装置を提供することを目的とする。
の進展により、リード間隔の最小規格値（少なくとも開
いていなければならない間隔値）が狭小化の傾向にあ
り、リード間隔の測定よりもリード短絡の有無を検査す
ることが重要視されてきている。本発明は、このような
リードフレーム業界の要請に対応すべく開発されたもの
であり、形状の複雑なリードフレーム、特にＬＯＣ構造
を採るリードフレームのリード短絡の有無の検査を可能
にする検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るリードフレームの検査方法は、カメラ
より取り込まれたリードフレームの画像を２値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Ａを算出し、該リ
ード数Ａとリードフレームの種類に応じて予め設定され
たリードの数Ｂとを比較し、ＡとＢとが等しい場合には
該リードフレームを短絡なしと判定し、ＡとＢとが異な
る場合には該リードフレームを短絡ありと判定するよう
にしたことを特徴とする。
め、本発明に係るリードフレームの検査方法は、カメラ
より取り込まれたリードフレームの画像を２値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Ａを算出し、該リ
ード数Ａとリードフレームの種類に応じて予め設定され
たリードの数Ｂとを比較し、ＡとＢとが等しい場合には
該リードフレームを短絡なしと判定し、ＡとＢとが異な
る場合には該リードフレームを短絡ありと判定するよう
にしたことを特徴とする。
【０００６】また、本発明に係るリードフレームの検査
方法は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査対象とすることを特徴とする。
方法は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査対象とすることを特徴とする。
【０００７】また、本発明に係るリードフレームの検査
装置は、画像を取り込み可能なカメラと、カメラにより
取り込まれた画像を処理する画像処理装置と、照明光源
とを備え、照明光源とカメラとの間をリードフレームが
通過するようにしたリードフレームの検査装置におい
て、カメラに取り込まれたリードフレームの画像を２値
化処理し、所定の測定範囲におけるリード数Ａと、リー
ドフレームの種類に応じて予め設定されたリード数Ｂと
を比較し、ＡとＢの異同によりリード短絡の有無を判定
するようにしたことを特徴とする。
装置は、画像を取り込み可能なカメラと、カメラにより
取り込まれた画像を処理する画像処理装置と、照明光源
とを備え、照明光源とカメラとの間をリードフレームが
通過するようにしたリードフレームの検査装置におい
て、カメラに取り込まれたリードフレームの画像を２値
化処理し、所定の測定範囲におけるリード数Ａと、リー
ドフレームの種類に応じて予め設定されたリード数Ｂと
を比較し、ＡとＢの異同によりリード短絡の有無を判定
するようにしたことを特徴とする。
【０００８】また、本発明に係るリードフレームの検査
装置は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査可能になされていることを特徴
とする。
装置は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査可能になされていることを特徴
とする。
【０００９】本発明によるリードフレームの検査装置に
は、検査対象となるリードフレームの種類に従って所定
の測定枠内におけるリード数とリード間隔とリード短絡
判定率との関係を示す基準データが予め格納されてい
る。そして、画像処理して得られたパターンより、リー
ド数と、各リード間隔とを求め、これらと予め記憶装置
に格納された基準データと比較することによりリードの
短絡の有無を検出する。本発明は、透過照明によるリー
ドフレームの影を画像処理することにより被検査リード
の数を算出して、リード間の短絡の有無を検出するよう
にしたので、リード形状が極めて複雑な場合でも画像の
濃淡（または明度差）がリード形状に沿って明確にな
り、２値化のためのしきい値を設定し易い。また、本発
明は、リード間の短絡の有無の判定に際し、被検査リー
ドの数を基準データと比較するようにしたので、基準パ
ターンと被検査パターンとの位置合わせを行う必要がな
く、その結果、複雑な形状のリードフレームについて
も、効率よく、かつ正確にリード間の短絡の有無を検出
することができる。
は、検査対象となるリードフレームの種類に従って所定
の測定枠内におけるリード数とリード間隔とリード短絡
判定率との関係を示す基準データが予め格納されてい
る。そして、画像処理して得られたパターンより、リー
ド数と、各リード間隔とを求め、これらと予め記憶装置
に格納された基準データと比較することによりリードの
短絡の有無を検出する。本発明は、透過照明によるリー
ドフレームの影を画像処理することにより被検査リード
の数を算出して、リード間の短絡の有無を検出するよう
にしたので、リード形状が極めて複雑な場合でも画像の
濃淡（または明度差）がリード形状に沿って明確にな
り、２値化のためのしきい値を設定し易い。また、本発
明は、リード間の短絡の有無の判定に際し、被検査リー
ドの数を基準データと比較するようにしたので、基準パ
ターンと被検査パターンとの位置合わせを行う必要がな
く、その結果、複雑な形状のリードフレームについて
も、効率よく、かつ正確にリード間の短絡の有無を検出
することができる。
【００１０】
【発明の実施形態】以下、本発明によるリードフレーム
の検査装置、及びリードフレームの検査方法につき、図
を用いて説明する。図１は、本発明によるリードフレー
ムの検査装置の一実施形態における搬送部，画像入力部
及び照明部を示す部分側面図である。本実施形態による
検査装置には、検査前のリードフレームを積載可能なリ
ードフレーム・ローディングストッカ１と、検査後不良
品と判定されたリードフレームを積載可能なアンロード
・不良品ストッカ２と、良品と判定されたリードフレー
ムを積載可能なアンロード・良品ストッカ３とが設けら
れ、また、リードフレームを所定の方向に搬送する搬送
部として搬送ベルト４が、それらのストッカの間を通る
ようにして設けられている。搬送ベルト４を挟んで上方
には、所定位置に搬送されたリードフレームの画像を取
り込むためのＣＣＤカメラ５、下方には、所定位置に搬
送されたリードフレームを照明するための照明光源６が
設けられており、搬送ベルト４上のリードフレーム７が
ＣＣＤカメラ５と照明光源６との間を通過せしめられる
ようになっている。更に、本実施形態の検査装置には、
リードフレーム・ローディングストッカ１に積載された
リードフレーム７を一定間隔で搬送ベルト４上に移送し
得る移送手段（図示省略）、リードフレーム７がＣＣＤ
カメラ５と照明光源６との間を通過後の搬送ベルト４上
のリードフレーム７をアンロード・不良品ストッカ２，
アンロード良品ストッカ３にそれぞれ移送し得る移送手
段（図示省略）が備えられている。
の検査装置、及びリードフレームの検査方法につき、図
を用いて説明する。図１は、本発明によるリードフレー
ムの検査装置の一実施形態における搬送部，画像入力部
及び照明部を示す部分側面図である。本実施形態による
検査装置には、検査前のリードフレームを積載可能なリ
ードフレーム・ローディングストッカ１と、検査後不良
品と判定されたリードフレームを積載可能なアンロード
・不良品ストッカ２と、良品と判定されたリードフレー
ムを積載可能なアンロード・良品ストッカ３とが設けら
れ、また、リードフレームを所定の方向に搬送する搬送
部として搬送ベルト４が、それらのストッカの間を通る
ようにして設けられている。搬送ベルト４を挟んで上方
には、所定位置に搬送されたリードフレームの画像を取
り込むためのＣＣＤカメラ５、下方には、所定位置に搬
送されたリードフレームを照明するための照明光源６が
設けられており、搬送ベルト４上のリードフレーム７が
ＣＣＤカメラ５と照明光源６との間を通過せしめられる
ようになっている。更に、本実施形態の検査装置には、
リードフレーム・ローディングストッカ１に積載された
リードフレーム７を一定間隔で搬送ベルト４上に移送し
得る移送手段（図示省略）、リードフレーム７がＣＣＤ
カメラ５と照明光源６との間を通過後の搬送ベルト４上
のリードフレーム７をアンロード・不良品ストッカ２，
アンロード良品ストッカ３にそれぞれ移送し得る移送手
段（図示省略）が備えられている。
【００１１】図２は、画像入力部と画像処理部及び照明
部を示す本実施形態の構成概要図である。照明光源６
は、例えば、高周波点灯による蛍光灯を備えると共にそ
の頂部に拡散板６ａを備えてなり、拡散板６ａを透過し
た光がリードフレーム７を照射するように配置されてお
り、リードフレーム７の画像を影としてＣＣＤカメラ５
に取り込ませるようになっている。また、ＣＣＤカメラ
５は、画像処理装置８と接続されている。画像処理装置
８の内部には、例えば、記憶領域に、検査対象となるリ
ードフレームの種類に従って所定の測定枠内におけるリ
ード数とリード間隔とリード短絡判定率との関係を示す
基準データが予め格納されている。また、画像処理装置
８の内部には、ＣＣＤカメラ５より取り込まれた画像を
２値化処理、ラベリング処理する処理装置と共に、更
に、画像処理して得られたパターンより求められたリー
ド数と各リード間隔とを予め記憶装置に格納された基準
データと比較することによりリードの短絡の有無を検出
するようにした処理装置が組み込まれている。また、画
像処理装置８は、リード短絡の有無により、リードフレ
ームがアンロード・不良品ストッカ２，アンロード良品
ストッカ３に区分けして送り込まれるように搬送ベルト
４及び上記移送手段を制御し得る制御回路（図示省略）
を介して上述の移送手段と接続されている。
部を示す本実施形態の構成概要図である。照明光源６
は、例えば、高周波点灯による蛍光灯を備えると共にそ
の頂部に拡散板６ａを備えてなり、拡散板６ａを透過し
た光がリードフレーム７を照射するように配置されてお
り、リードフレーム７の画像を影としてＣＣＤカメラ５
に取り込ませるようになっている。また、ＣＣＤカメラ
５は、画像処理装置８と接続されている。画像処理装置
８の内部には、例えば、記憶領域に、検査対象となるリ
ードフレームの種類に従って所定の測定枠内におけるリ
ード数とリード間隔とリード短絡判定率との関係を示す
基準データが予め格納されている。また、画像処理装置
８の内部には、ＣＣＤカメラ５より取り込まれた画像を
２値化処理、ラベリング処理する処理装置と共に、更
に、画像処理して得られたパターンより求められたリー
ド数と各リード間隔とを予め記憶装置に格納された基準
データと比較することによりリードの短絡の有無を検出
するようにした処理装置が組み込まれている。また、画
像処理装置８は、リード短絡の有無により、リードフレ
ームがアンロード・不良品ストッカ２，アンロード良品
ストッカ３に区分けして送り込まれるように搬送ベルト
４及び上記移送手段を制御し得る制御回路（図示省略）
を介して上述の移送手段と接続されている。
【００１２】図３は、上記装置を用いてＬＯＣ構造のリ
ードフレームの影を画像処理して得られた２値画像を示
す平面図、図４は、本実施形態の画像処理装置８による
リードの短絡有無の検査手順を示すフローチャートであ
る。画像処理装置８の処理手順について説明すると、先
ず、ステップＳ１でＣＣＤカメラ５により入力されたリ
ードフレームの画像を、画素の濃度値に基づき予め定め
ておいた所定のしきい値によって２値化し（ステップＳ
２）、次に、２値化された画像上の所定範囲内の連結領
域に順に番号を付け（ラベリング）、このラベリングに
より最後に付けられた番号をリード数Ａとして算出する
（ステップＳ３）。
ードフレームの影を画像処理して得られた２値画像を示
す平面図、図４は、本実施形態の画像処理装置８による
リードの短絡有無の検査手順を示すフローチャートであ
る。画像処理装置８の処理手順について説明すると、先
ず、ステップＳ１でＣＣＤカメラ５により入力されたリ
ードフレームの画像を、画素の濃度値に基づき予め定め
ておいた所定のしきい値によって２値化し（ステップＳ
２）、次に、２値化された画像上の所定範囲内の連結領
域に順に番号を付け（ラベリング）、このラベリングに
より最後に付けられた番号をリード数Ａとして算出する
（ステップＳ３）。
【００１３】次に、画像処理装置８の内部記憶領域に予
め格納された検査対象のリードフレームと同種のリード
フレームの基準リード数Ｂを検索して求め（ステップＳ
４）、画像処理して得られたリード数Ａと各リード間隔
を、上記リードフレームの基準データと比較し（ステッ
プＳ５）、リード数Ａと基準リード数Ｂとが等しいと
き、リードフレーム７に短絡部なしと判定し、リード数
Ａと基準リード数Ｂとが異なるとき、リードフレーム７
に短絡部ありと判定して所定の電気信号を制御回路（図
示省略）に送り込み、リードフレーム７に短絡部なしと
判定したとき、該リードフレーム７をアンロード・良品
ストッカ３に送り込み（ステップＳ６）、他方、リード
フレーム７に短絡部ありと判定したとき、該リードフレ
ーム７をアンロード・不良品ストッカ２に送り込む（ス
テップＳ７）ように移送手段（図示省略）を駆動する。
これにより、リードフレームがリード短絡の有無毎に区
分けされる。尚、本発明の検査装置及び検査方法は、例
えば、ポリイミドフィルム等の光透過性フィルム上に設
けられた配線パターンの短絡の有無の検出にも用いるこ
とが可能である。
め格納された検査対象のリードフレームと同種のリード
フレームの基準リード数Ｂを検索して求め（ステップＳ
４）、画像処理して得られたリード数Ａと各リード間隔
を、上記リードフレームの基準データと比較し（ステッ
プＳ５）、リード数Ａと基準リード数Ｂとが等しいと
き、リードフレーム７に短絡部なしと判定し、リード数
Ａと基準リード数Ｂとが異なるとき、リードフレーム７
に短絡部ありと判定して所定の電気信号を制御回路（図
示省略）に送り込み、リードフレーム７に短絡部なしと
判定したとき、該リードフレーム７をアンロード・良品
ストッカ３に送り込み（ステップＳ６）、他方、リード
フレーム７に短絡部ありと判定したとき、該リードフレ
ーム７をアンロード・不良品ストッカ２に送り込む（ス
テップＳ７）ように移送手段（図示省略）を駆動する。
これにより、リードフレームがリード短絡の有無毎に区
分けされる。尚、本発明の検査装置及び検査方法は、例
えば、ポリイミドフィルム等の光透過性フィルム上に設
けられた配線パターンの短絡の有無の検出にも用いるこ
とが可能である。
【００１４】従って、本実施形態の検査装置によれば、
透過照明によるリードフレームの影を画像としてＣＣＤ
カメラに取り込むようにしたので、リード形状が極めて
複雑な場合でも画像の濃淡（または明度差）がリード形
状に沿って明確になり、２値化のためのしきい値を設定
し易い。また、本実施形態の検査方法及び装置は、被検
査リードの数を数値として格納された基準データと比較
するようにしてその異同によりリード間の短絡の有無を
検出するようにしたので、基準パターンを格納しておく
必要がなくなり、装置の記憶領域にとられる容量を大幅
に少なくすることができ、また、基準パターンと被検査
パターンとの位置合わせが不要となり、その結果、複雑
な形状のリードフレームについても、効率よく、かつ正
確にリード間の短絡の有無を検出することができる。
透過照明によるリードフレームの影を画像としてＣＣＤ
カメラに取り込むようにしたので、リード形状が極めて
複雑な場合でも画像の濃淡（または明度差）がリード形
状に沿って明確になり、２値化のためのしきい値を設定
し易い。また、本実施形態の検査方法及び装置は、被検
査リードの数を数値として格納された基準データと比較
するようにしてその異同によりリード間の短絡の有無を
検出するようにしたので、基準パターンを格納しておく
必要がなくなり、装置の記憶領域にとられる容量を大幅
に少なくすることができ、また、基準パターンと被検査
パターンとの位置合わせが不要となり、その結果、複雑
な形状のリードフレームについても、効率よく、かつ正
確にリード間の短絡の有無を検出することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の方法及び装置によれば、リード
フレームの影を画像処理して求めたリード数を予め格納
された基準リード数と比較することによりリード短絡の
有無を判定するようにしたので、検査が簡便かつ確実で
あるばかりでなく、複雑なリードパターンのものでも支
障なくリード短絡の有無を検出できる。また、リード先
端にテープが張りつけられた構造のリードフレームであ
っても、テープが照明光を所定量透過させることができ
るものであれば、リード短絡の有無を支障無く検査する
ことができる。
フレームの影を画像処理して求めたリード数を予め格納
された基準リード数と比較することによりリード短絡の
有無を判定するようにしたので、検査が簡便かつ確実で
あるばかりでなく、複雑なリードパターンのものでも支
障なくリード短絡の有無を検出できる。また、リード先
端にテープが張りつけられた構造のリードフレームであ
っても、テープが照明光を所定量透過させることができ
るものであれば、リード短絡の有無を支障無く検査する
ことができる。
【００１６】
【図１】本発明の検査装置の一実施形態を示すリードフ
レーム検査装置の搬送部，画像入力部及び照明部を示す
部分側面図である。
レーム検査装置の搬送部，画像入力部及び照明部を示す
部分側面図である。
【図２】画像入力部と画像処理部及び照明部を示す本実
施形態の構成概要図である。
施形態の構成概要図である。
【図３】図３は、上記装置を用いてＬＯＣ構造のリード
フレームの影を画像処理して得られた２値画像を示す平
面図である。
フレームの影を画像処理して得られた２値画像を示す平
面図である。
【図４】本実施形態の画像処理装置８によるリードの短
絡有無の検査手順を示すフローチャートである。
絡有無の検査手順を示すフローチャートである。
１ リードフレーム・ローディングストッカ ２ アンロード・不良品ストッカ ３ アンロード・良品ストッカ ４ 搬送ベルト ５ ＣＣＤカメラ ６ 照明光源 ６ａ 拡散板 ７ リードフレーム ８ 画像処理装置
Claims (4)
- 【請求項１】カメラより取り込まれたリードフレームの
画像を２値化処理し、所定の測定範囲におけるリード数
Ａを算出し、該リード数Ａとリードフレームの種類に応
じて予め設定されたリードの数Ｂとを比較し、ＡとＢと
が等しい場合には該リードフレームを短絡なしと判定
し、ＡとＢとが異なる場合には該リードフレームを短絡
ありと判定するようにしたことを特徴とするリードフレ
ームの検査方法。 - 【請求項２】先端部にテープが貼着された構造のリード
フレームを検査対象とすることを特徴とする請求項１に
記載のリードフレームの検査方法。 - 【請求項３】画像を取り込み可能なカメラと、前記カメ
ラにより取り込まれた画像を処理する画像処理装置と、
照明光源とを備え、前記照明光源とカメラとの間をリー
ドフレームが通過するようにしたリードフレームの検査
装置において、 前記カメラに取り込まれたリードフレームの画像を２値
化処理し、所定の測定範囲におけるリード数Ａと、リー
ドフレームの種類に応じて予め設定されたリード数Ｂと
を比較し、ＡとＢの異同によりリード短絡の有無を判定
するようにしたことを特徴とするリードフレームの検査
装置。 - 【請求項４】先端部にテープが貼着された構造のリード
フレームを検査可能になされていることを特徴とする請
求項３に記載のリードフレームの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7182597A JPH10267627A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | リードフレームの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7182597A JPH10267627A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | リードフレームの検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267627A true JPH10267627A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13471728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7182597A Pending JPH10267627A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | リードフレームの検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10267627A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100424813C (zh) * | 2004-06-22 | 2008-10-08 | 株式会社迪斯科 | 加工装置 |
| CN103234477A (zh) * | 2013-04-03 | 2013-08-07 | 北京印刷学院 | 一种透明基材上金属导线印迹形貌特征的检测和表征方法 |
| CN104990502A (zh) * | 2015-07-15 | 2015-10-21 | 苏州朗坤自动化设备有限公司 | 一种高效手机膜检测装置 |
| CN111482377A (zh) * | 2019-01-25 | 2020-08-04 | 瀚萱科技有限公司 | 导线架自动检查装置 |
-
1997
- 1997-03-25 JP JP7182597A patent/JPH10267627A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN104990502A (zh) * | 2015-07-15 | 2015-10-21 | 苏州朗坤自动化设备有限公司 | 一种高效手机膜检测装置 |
| CN111482377A (zh) * | 2019-01-25 | 2020-08-04 | 瀚萱科技有限公司 | 导线架自动检查装置 |
| CN111482377B (zh) * | 2019-01-25 | 2022-03-29 | 瀚萱科技有限公司 | 导线架自动检查装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060131 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |