JPS63298142A - 混成集積回路用半田付検査装置 - Google Patents

混成集積回路用半田付検査装置

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JPS63298142A
JPS63298142A JP62133824A JP13382487A JPS63298142A JP S63298142 A JPS63298142 A JP S63298142A JP 62133824 A JP62133824 A JP 62133824A JP 13382487 A JP13382487 A JP 13382487A JP S63298142 A JPS63298142 A JP S63298142A
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JP
Japan
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pattern
product
judging
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Pending
Application number
JP62133824A
Other languages
English (en)
Inventor
Shingo Kawashima
進吾 川島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野] 本発明は混成集積回路の半田付検査装置に関する。
[従来の技術] 従来、混成集積回路の半田付の検査は組立工程中での目
視外観による検査により行なわれていた。
[発明が解決しようとする問題点] 上述した従来の半田付検査方法には、人的ミスによる不
良品流出の可能性が高いという欠点がある。
本発明の目的は前記問題点を解消した半田付検査装置を
提供することにある。
[発明の従来技術に対する相違点] 上述した従来の検査装置に対し、本発明は、半田に含ま
れる鉛がX線を透しにくいために混成集積回路上の他の
部品に比較し半田付部分がX線透視画像中において鮮明
に区別される特性を利用してパターン認識技術と統合し
、従来の人の判定より自動判定化を可能にした点に独創
的内容を有する。
[問題点を解決するための手段] 本発明は被検査製品をX線により透視するX線透視部と
、該X線透視部よりの信号を認識するパターン認識部と
、比較パターンを記憶させる比較パターン記憶部と、パ
ターン認識部と比較パターン記憶部との出力信号を比較
して被検査製品の合否判定を行う判定部と、判定部より
の信号に基いて被検査製品の良品・不良品の分類を行な
う製品搬送部とを有することを特徴とする混成集積回路
用半田付検査装置である。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図において、本発明は被検査製品をX線により透視
するX線透視部1と、該X線透視部1よりの信号を認識
するパターン認識部2と、比較パターンを記憶させる比
較パターン記憶部3と、パターン認識部2と比較パター
ン記憶部3との出力信号を比較して被検査製品の合否判
定を行う判定部4と、判定部4よりの信号に基いて被検
査製品の良品・不良品の分類を行なう製品搬送部5とを
備えたものである。
実施例において、X線透視部1は被検査製品をX線によ
り透視を行なう。パターン認識部2はX線透視部1より
の信号をパターン認識する。比較パターン記憶部3は本
来あるべき姿のパターンを記憶しておく。判定部4はパ
ターン認識部2よりの信号と比較パターン記憶部3より
の信号とを比較し、被検査製品に対し合否の判定を行な
う。製品搬送部5は判定部4よりの信号により良品・不
良品の分類を行なう。
[発明の効果1 以上説明したように本発明は、半田のX線像が他の導体
等に比較し鮮明であることを利用し、半田付部のX線像
をパターン認識することにより、不良部の検出力の向上
及び自動判定化による人的ミスの防止が可能となり、従
来の人による目視チェックに比較し不良品流出を飛躍的
に減少させることができる効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の装置ブロック図である。 1・・・X線透視部    2・・・パターン認識部3
・・・比較パターン記憶部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 被検査製品をX線により透視するX線透視部と
    、該X線透視部よりの信号を認識するパターン認識部と
    、比較パターンを記憶させる比較パターン記憶部と、パ
    ターン認識部と比較パターン記憶部との出力信号を比較
    して被検査製品の合否判定を行う判定部と、判定部より
    の信号に基いて被検査製品の良品・不良品の分類を行な
    う製品搬送部とを有することを特徴とする混成集積回路
    用半田付検査装置。
JP62133824A 1987-05-29 1987-05-29 混成集積回路用半田付検査装置 Pending JPS63298142A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04212075A (ja) * 1990-08-01 1992-08-03 Sagami Kagaku Kinzoku:Kk Ctスキャン式プリント配線基板の検査方法

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