JPS58200141A - 基板検査方式 - Google Patents
基板検査方式Info
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- JPS58200141A JPS58200141A JP8519682A JP8519682A JPS58200141A JP S58200141 A JPS58200141 A JP S58200141A JP 8519682 A JP8519682 A JP 8519682A JP 8519682 A JP8519682 A JP 8519682A JP S58200141 A JPS58200141 A JP S58200141A
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- defective
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は基板検査方式に係り、釉にプリント基板配線パ
ターン、フォトマスク基板等の基板表面の欠陥検査を自
動化してなる基板検査方式に関するものである。
ターン、フォトマスク基板等の基板表面の欠陥検査を自
動化してなる基板検査方式に関するものである。
まず、従来にお−いて、例えばプリント基板表面の配線
パターンの欠陥を検査する基板検査方式について説明す
る。第１図及び第２図は従来のプリント基板表面の良品
例及び不良品例を示すそれぞれの平面図である。上記各
図に示すように、１゜４はプリント基板、２は各プリン
ト基板１．４の表面上に形成さ１れた銅配線パターン部
分、３は、同じく各プリント基板１，４の表面上におけ
る、例えば紙フェノール、ガラスエポキシ等の絶縁体部
分である。５は銅配線パターン部分２の外部に生じた不
良凸部、６は同様に銅配線パターン部分２の内部に生じ
た不良欠損部である。第３図は従来の基板検査方式を示
す概略構成図である。第３図に示される基板検査方式に
おいては、プリント基板をなする良品基板７とプリント
基板の被検査体８の各パターンを、２台のテレビカメラ
９゜１０を用いてそれぞれ撮像し、両者のモニタテレビ
１１．１２の各画像を比較し、その差異を作業者が目視
判断することによって検査を行なう方式がとられている
。このため、この方式では作業者がいちいち目視をもっ
て検査するので疲労しやすく、また、見落しもあるなど
の欠点があり、今までに、その検査方式に対する自動化
が強く要望されていた。
パターンの欠陥を検査する基板検査方式について説明す
る。第１図及び第２図は従来のプリント基板表面の良品
例及び不良品例を示すそれぞれの平面図である。上記各
図に示すように、１゜４はプリント基板、２は各プリン
ト基板１．４の表面上に形成さ１れた銅配線パターン部
分、３は、同じく各プリント基板１，４の表面上におけ
る、例えば紙フェノール、ガラスエポキシ等の絶縁体部
分である。５は銅配線パターン部分２の外部に生じた不
良凸部、６は同様に銅配線パターン部分２の内部に生じ
た不良欠損部である。第３図は従来の基板検査方式を示
す概略構成図である。第３図に示される基板検査方式に
おいては、プリント基板をなする良品基板７とプリント
基板の被検査体８の各パターンを、２台のテレビカメラ
９゜１０を用いてそれぞれ撮像し、両者のモニタテレビ
１１．１２の各画像を比較し、その差異を作業者が目視
判断することによって検査を行なう方式がとられている
。このため、この方式では作業者がいちいち目視をもっ
て検査するので疲労しやすく、また、見落しもあるなど
の欠点があり、今までに、その検査方式に対する自動化
が強く要望されていた。
本発明は上記のような従来のものの欠点を除去すると共
に、上記要望に答えるべくなされたもので、被検査基板
の良品と同一の平面形状を有し１該抜検査基板上のパタ
ーンに相当する領域の光透過率を、このパターン以外！
戸相当する領域の光透過率よりも高くした参照物体を撮
像する第１のテレビカメラと、被検査体を撮像する第２
のテレビカメラと、前記第１のテレビカメラの映像信号
と第２のテレビカメラの映像信号とを加え合わせる加算
手段と、該加算手段で得られた映像信号の明るさ分布の
均一度から前記被検査体の良・不良を検知する検査手段
と、を備えてなる構成を有し、自動的に、かつ、確実に
被検査基板表面のパターンにおける欠陥を検査できるよ
うにした基板検査方式を提供することを目的としている
。
に、上記要望に答えるべくなされたもので、被検査基板
の良品と同一の平面形状を有し１該抜検査基板上のパタ
ーンに相当する領域の光透過率を、このパターン以外！
戸相当する領域の光透過率よりも高くした参照物体を撮
像する第１のテレビカメラと、被検査体を撮像する第２
のテレビカメラと、前記第１のテレビカメラの映像信号
と第２のテレビカメラの映像信号とを加え合わせる加算
手段と、該加算手段で得られた映像信号の明るさ分布の
均一度から前記被検査体の良・不良を検知する検査手段
と、を備えてなる構成を有し、自動的に、かつ、確実に
被検査基板表面のパターンにおける欠陥を検査できるよ
うにした基板検査方式を提供することを目的としている
。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第４図は本発明の一実施例である基板検査方式を示す概
略構成図である。第４図において、１３゜１４は照明装
置である。通常、プリント基板を構成する材質の紙フェ
ノール、ガラスエポキシ等の絶縁体部分は、光を透過す
る特性があり、一方、銅配線パターン部は光を透過しな
い性質を有している。照明装置１３から照射された光線
は、被検査体１５を通してテレビカメラ１７により受光
されるようになっており、同様に、照明装置１４から照
射された光線は、後述する特殊の参照物体１６ １を通
してテレビカメラ１８により受光されるようになってい
る。各テレビカメラ１７．１８からの映像信号は、加算
器１９を通して２つの映像信号の和がとられる。この加
算された映像信号は３つの明るさレベルにディジタル化
するための信号処理回路、例えば３値化回路２０と画像
取り込み回路２１を通して画像メモリ２２に取り込まれ
る。
略構成図である。第４図において、１３゜１４は照明装
置である。通常、プリント基板を構成する材質の紙フェ
ノール、ガラスエポキシ等の絶縁体部分は、光を透過す
る特性があり、一方、銅配線パターン部は光を透過しな
い性質を有している。照明装置１３から照射された光線
は、被検査体１５を通してテレビカメラ１７により受光
されるようになっており、同様に、照明装置１４から照
射された光線は、後述する特殊の参照物体１６ １を通
してテレビカメラ１８により受光されるようになってい
る。各テレビカメラ１７．１８からの映像信号は、加算
器１９を通して２つの映像信号の和がとられる。この加
算された映像信号は３つの明るさレベルにディジタル化
するための信号処理回路、例えば３値化回路２０と画像
取り込み回路２１を通して画像メモリ２２に取り込まれ
る。
３つの明るさレベルで表わされた被検査体１５の画像情
報から、判定装置２３によって被検査体１５の良・不良
の判定が行なわれる。ここで、第４図に示す２４はモニ
タテレビである。
報から、判定装置２３によって被検査体１５の良・不良
の判定が行なわれる。ここで、第４図に示す２４はモニ
タテレビである。
第５図は上記特殊の参照物体１６の構成を示す平面図で
あり、その表面の形状寸法は、上記第１図に示すプリン
ト基板１の良品例のものと同・様である。第５図に示す
参照物体１６は２種の光透過率を有する部分１６ａ 、
１６ｂで構成された、例えばフィルム状の物体に形成
される。第６図は第５図の参照物体１６の光透過率特性
を示す図であり、第６図中の光透過率２５ａは、第５図
に示すＡ１−Ａ。
あり、その表面の形状寸法は、上記第１図に示すプリン
ト基板１の良品例のものと同・様である。第５図に示す
参照物体１６は２種の光透過率を有する部分１６ａ 、
１６ｂで構成された、例えばフィルム状の物体に形成
される。第６図は第５図の参照物体１６の光透過率特性
を示す図であり、第６図中の光透過率２５ａは、第５図
に示すＡ１−Ａ。
間の部分１６ａに対応しており、また、第６図中の光透
過率２５ｂは、第５図に示すＡ、−Ａ、間の部分１６ｂ
に対応している。このような構成の参照物体１６に対し
て、照明装置１４を用いて光透過照射を施し、テレビカ
メラ１８で撮像した場合、参照物体１６の上記第５図の
Ａ１−Ａ、間を含む映像信号の波形は、第７図に示すよ
うな波形２６となる。
過率２５ｂは、第５図に示すＡ、−Ａ、間の部分１６ｂ
に対応している。このような構成の参照物体１６に対し
て、照明装置１４を用いて光透過照射を施し、テレビカ
メラ１８で撮像した場合、参照物体１６の上記第５図の
Ａ１−Ａ、間を含む映像信号の波形は、第７図に示すよ
うな波形２６となる。
第、７図は第５図の参照物体１６の映像信号波形を示す
図であり、この波形２６で、部分１６ａの明るさレベル
は暗い明るさし゛ベルの波形２６ａが得られ、部分１６
ｂの明るさレベルは明るいレベルの波形２６ｂが得られ
る。
図であり、この波形２６で、部分１６ａの明るさレベル
は暗い明るさし゛ベルの波形２６ａが得られ、部分１６
ｂの明るさレベルは明るいレベルの波形２６ｂが得られ
る。
次に一参照物体１６を撮像した状態で、被検査体１５と
して第１図に示した良品のプリント基板１を設置し、例
えばこのプリント基板ｌの外部を基準として位置決めを
なし、これに照明装置１３により光透過照明を施し、上
記参照物体１６の映像とプリント基板１の映像とを重ね
合わせ、テレビモニタ２４上に２重像を形成させる。こ
こで、プリント基板１を透過する光のテレビカメラ１７
に対する入射光強度は、このプリント基板ｌ上の絶縁体
部分３は光が透過するから、第１図に示すＢ、−Ｂ、間
の映像信号を例にとると、第８図に示すような波形２７
となる。第８図は第１図の良品のプリント基板１の映像
信号波形を示す図であり、この波形２７で、絶縁体部分
３は光の透過により波形２７ａのように映１象信号レベ
ルは高く、銅配線パターン部分２は光が透過しないから
波形２７ｂのように映像信号レベルは低くなる。
して第１図に示した良品のプリント基板１を設置し、例
えばこのプリント基板ｌの外部を基準として位置決めを
なし、これに照明装置１３により光透過照明を施し、上
記参照物体１６の映像とプリント基板１の映像とを重ね
合わせ、テレビモニタ２４上に２重像を形成させる。こ
こで、プリント基板１を透過する光のテレビカメラ１７
に対する入射光強度は、このプリント基板ｌ上の絶縁体
部分３は光が透過するから、第１図に示すＢ、−Ｂ、間
の映像信号を例にとると、第８図に示すような波形２７
となる。第８図は第１図の良品のプリント基板１の映像
信号波形を示す図であり、この波形２７で、絶縁体部分
３は光の透過により波形２７ａのように映１象信号レベ
ルは高く、銅配線パターン部分２は光が透過しないから
波形２７ｂのように映像信号レベルは低くなる。
したがって、第８図に示した良品のプリント基板１のみ
の映像信号波形２７を取り出して、第７図に示す参照物
体１６の映像信号波形２６中の信号電圧ｖ１と、上記プ
リント基板１の映像信号波形２７中の信号電圧ｖ２とが
ほぼ等しくなるように、照明装置１３の光強度を調整す
れば、参照物体１６と良品のプリント基板１との加算さ
れた映像信号の波形は、各波形２６と２７との和として
得られるため、第９図に示すように、被検査体１５が良
品の場合の加算された均一な映像信号波形２８を得るこ
とができる。 、。
の映像信号波形２７を取り出して、第７図に示す参照物
体１６の映像信号波形２６中の信号電圧ｖ１と、上記プ
リント基板１の映像信号波形２７中の信号電圧ｖ２とが
ほぼ等しくなるように、照明装置１３の光強度を調整す
れば、参照物体１６と良品のプリント基板１との加算さ
れた映像信号の波形は、各波形２６と２７との和として
得られるため、第９図に示すように、被検査体１５が良
品の場合の加算された均一な映像信号波形２８を得るこ
とができる。 、。
上記のようにして、第４図シト１示す基板検査方式の光
学系を調整し、次いで被検査体１５の良・不良の自勉判
定を行なうものであるが、その仕方について群細に述べ
る。今、被検査体１５が良品であれば、前記したように
加算された映像信号は均一な波形２８として得られる。
学系を調整し、次いで被検査体１５の良・不良の自勉判
定を行なうものであるが、その仕方について群細に述べ
る。今、被検査体１５が良品であれば、前記したように
加算された映像信号は均一な波形２８として得られる。
ところで、被検査体１５が第２図に示す不良品のプリン
ト基板４であれば、銅配線パターン部２の不良欠損部６
を含む第２図のＣ□−０２間の映像信号波形は、第１０
図に示すように、被検査体１５が不良品の場合の映像信
号波形２９が得られる。第１０図の波形２９中での一部
分の波形２９ａは、不良欠損部６に対応する。このため
、参照物体１６の映像信号波形２６と不良品の被検査体
１５の映像信号波形２９とを・加算すれば、第１１図に
示すように、被検査体１５が不良品の場合の加算された
映像信号波形３０が得られ、この波形３０には、一様の
波形のなかで不良欠損部６に相当する部分のみが、極端
に明るい白レベルの波形３０ａとして存在している。一
方、銅配線パターン部２の不良凸部５を呈する不良品の
場合には、第１２図に示すように、被検査体１５
。
ト基板４であれば、銅配線パターン部２の不良欠損部６
を含む第２図のＣ□−０２間の映像信号波形は、第１０
図に示すように、被検査体１５が不良品の場合の映像信
号波形２９が得られる。第１０図の波形２９中での一部
分の波形２９ａは、不良欠損部６に対応する。このため
、参照物体１６の映像信号波形２６と不良品の被検査体
１５の映像信号波形２９とを・加算すれば、第１１図に
示すように、被検査体１５が不良品の場合の加算された
映像信号波形３０が得られ、この波形３０には、一様の
波形のなかで不良欠損部６に相当する部分のみが、極端
に明るい白レベルの波形３０ａとして存在している。一
方、銅配線パターン部２の不良凸部５を呈する不良品の
場合には、第１２図に示すように、被検査体１５
。
が不良品の場合の加算された映像信号波形３１が得られ
、この波形３１には、一様の波形のなかで不良凸部５に
相当する部分のみが、黒レベルの波形３１ａとして存在
することになる。
、この波形３１には、一様の波形のなかで不良凸部５に
相当する部分のみが、黒レベルの波形３１ａとして存在
することになる。
このように、被検査体１５が良品であれば、各テレビカ
メラ１７．１８の両者の映像信号を加算した信号波形は
、第９図中の波形２８に示すように、白と黒の各レベル
間の一様な中間レベルとなり、一方、被検査体１５が不
良品であれば、第１１図中の波形３０ａ、第１２図中の
波形３１ａにそれぞれ示すように、白と黒の各レベルの
いずれか１つ、あるいは両者のパターンが出現すること
になる。
メラ１７．１８の両者の映像信号を加算した信号波形は
、第９図中の波形２８に示すように、白と黒の各レベル
間の一様な中間レベルとなり、一方、被検査体１５が不
良品であれば、第１１図中の波形３０ａ、第１２図中の
波形３１ａにそれぞれ示すように、白と黒の各レベルの
いずれか１つ、あるいは両者のパターンが出現すること
になる。
次に、加算された映像信号は、第４図に示す３値化回路
２０の比較基準値２８ａ 、 ２８ｂ （第９図参照〕
に基づいて、３値のディジタル信号（以下、白に相当す
る信号を「２」 、中間色に相当する信号を「１」、黒
に相当する信号を「０」とする〕に変換され、このディ
ジタル信号は画像取り込み回路２１を経て、３値の画像
情報が画像メモリ２２に取り込まれる。それゆえ、被検
査体１５が第１図に示す良品のプリント基板１であれば
、映像信号波形２８を比較基準値２８ａ 、 ２８ｂで
ディジタル化した場合、画像メモリ２２の内容はすべて
「１」となる。さらに、被検査体１５が第２図に示す不
良品のプリント基板４であれば、映像信号波形３０゜３
１を比較基準値２８ａ 、 ２８ｂでディジタル化した
場合、画像メモリ２２の内容は一様な「１」の中に、銅
配線パターン部２の不良凸部５を呈した部分は「０」と
して現われ、銅配線パターン部２の不良欠損部６を呈し
た部分は「２」として現われる。このように、２つの比
較基準値２８ａ 、 ２８ｂでディジタル化した画像メ
モリ２２の内容が均一に「１」となれば、判定装置２３
は良品と判定し、局部的に画像メモリ２２の内容が「０
」あるいは「２」と現われた場合は７判定装置２３は不
良品と判定する。
２０の比較基準値２８ａ 、 ２８ｂ （第９図参照〕
に基づいて、３値のディジタル信号（以下、白に相当す
る信号を「２」 、中間色に相当する信号を「１」、黒
に相当する信号を「０」とする〕に変換され、このディ
ジタル信号は画像取り込み回路２１を経て、３値の画像
情報が画像メモリ２２に取り込まれる。それゆえ、被検
査体１５が第１図に示す良品のプリント基板１であれば
、映像信号波形２８を比較基準値２８ａ 、 ２８ｂで
ディジタル化した場合、画像メモリ２２の内容はすべて
「１」となる。さらに、被検査体１５が第２図に示す不
良品のプリント基板４であれば、映像信号波形３０゜３
１を比較基準値２８ａ 、 ２８ｂでディジタル化した
場合、画像メモリ２２の内容は一様な「１」の中に、銅
配線パターン部２の不良凸部５を呈した部分は「０」と
して現われ、銅配線パターン部２の不良欠損部６を呈し
た部分は「２」として現われる。このように、２つの比
較基準値２８ａ 、 ２８ｂでディジタル化した画像メ
モリ２２の内容が均一に「１」となれば、判定装置２３
は良品と判定し、局部的に画像メモリ２２の内容が「０
」あるいは「２」と現われた場合は７判定装置２３は不
良品と判定する。
なお、上記実施例では光透過照明による方法について説
明したが、良品の被検査体１５と参照物体１６との加算
された映像信号が一様な明るさのレベルとなる条件を満
たせば、照明方式に何んら制限はなく、例えば反射照明
方式を採用しても良い０ また、上記実施例では３値化回路２０を用いた場合を示
したが、これを２値化回路によっても上記実施例と同様
に実施可能で同じ効果を奏する。
明したが、良品の被検査体１５と参照物体１６との加算
された映像信号が一様な明るさのレベルとなる条件を満
たせば、照明方式に何んら制限はなく、例えば反射照明
方式を採用しても良い０ また、上記実施例では３値化回路２０を用いた場合を示
したが、これを２値化回路によっても上記実施例と同様
に実施可能で同じ効果を奏する。
この場合には、上記比較基準値２８ａあるいは２８ｂで
加算された映像信号を２値化することになる。
加算された映像信号を２値化することになる。
以下、白に相当するディジタル信号を「１」、黒に相当
するディジタル信号を「０」とする。今、被検査体１５
が良品の場合、比較基準値２８ａで２値化した時は、画
像メモリ２２の内容はすべて「０」となり、比較基準値
２８ｂで２値化した時は、画像メモリ２２の内容はすべ
て「１」となり、比較基準値２８ａ 、 ２８ｂにかか
わらず一様な画像情報、すなわち画像メモリ２２の内容
はすべて「０」か、あるいは「１」の均一なものと、な
る。ここで、被検査体１５に銅配線パターン部２の不良
凸部５を呈した個所があれば、比較基準値２８ａで２値
化した時に、画像メモリ２２の内容は一様な「０」の中
に、不良凸部５が「１」と゛して現われ、一方、銅配線
パターン部２の不良欠損部６を呈した個所があれば、比
較基準値２８ｂで２値化した時に、画像メモリ２２の内
容は一様な「１」の中に、不良欠損部６が「０」として
現われる。すなわち、被検査体１５の良品の場合の画像
メモリ２２の内容は「０」あるいは「１」の一様なもの
となり、不良品の場合の画像メモリ２２の内容は、「０
」のなかに局部的にｒｌＪが現われるか、あるいは「１
」のなかに局部的にｒＯＪが現われることになる。これ
により、判定装置２３は比較基準値２８ａ。
するディジタル信号を「０」とする。今、被検査体１５
が良品の場合、比較基準値２８ａで２値化した時は、画
像メモリ２２の内容はすべて「０」となり、比較基準値
２８ｂで２値化した時は、画像メモリ２２の内容はすべ
て「１」となり、比較基準値２８ａ 、 ２８ｂにかか
わらず一様な画像情報、すなわち画像メモリ２２の内容
はすべて「０」か、あるいは「１」の均一なものと、な
る。ここで、被検査体１５に銅配線パターン部２の不良
凸部５を呈した個所があれば、比較基準値２８ａで２値
化した時に、画像メモリ２２の内容は一様な「０」の中
に、不良凸部５が「１」と゛して現われ、一方、銅配線
パターン部２の不良欠損部６を呈した個所があれば、比
較基準値２８ｂで２値化した時に、画像メモリ２２の内
容は一様な「１」の中に、不良欠損部６が「０」として
現われる。すなわち、被検査体１５の良品の場合の画像
メモリ２２の内容は「０」あるいは「１」の一様なもの
となり、不良品の場合の画像メモリ２２の内容は、「０
」のなかに局部的にｒｌＪが現われるか、あるいは「１
」のなかに局部的にｒＯＪが現われることになる。これ
により、判定装置２３は比較基準値２８ａ。
２８ｂで２値化されたそれぞれの画像メモリ２２の内容
の一様性から、良・不良の判定を行なうことができる。
の一様性から、良・不良の判定を行なうことができる。
さらに、上記実施例では基板検査方式としてプリント基
板の配線パターンの検査について説明したが、これに限
定されることなく、例えばフォトマスク基板等の検査に
おいても適用が可能である。
板の配線パターンの検査について説明したが、これに限
定されることなく、例えばフォトマスク基板等の検査に
おいても適用が可能である。
以上のように、本発明に係る基板検査方式によれば、被
検査基板の良品と同一の平面形状を有し、この配線パタ
ーン：に一当する領域の光透過率を、 １その配
線パターン以外に相当する領域の光透過率よりも高くし
た参照物体の映像信号と、被検査体の映像信号とを加算
した映場信号の明るさレベルの均一度から、前記被検査
体の良・不良を検査するようにした構成となしたので、
峙に、複雑なパターン認識技術を用いることなく、極め
て単純に、かつ、確実で、容易に被検査体の良−不良の
自動検査ができるという優れた効果を奏するものである
。
検査基板の良品と同一の平面形状を有し、この配線パタ
ーン：に一当する領域の光透過率を、 １その配
線パターン以外に相当する領域の光透過率よりも高くし
た参照物体の映像信号と、被検査体の映像信号とを加算
した映場信号の明るさレベルの均一度から、前記被検査
体の良・不良を検査するようにした構成となしたので、
峙に、複雑なパターン認識技術を用いることなく、極め
て単純に、かつ、確実で、容易に被検査体の良−不良の
自動検査ができるという優れた効果を奏するものである
。
第１図及び第２図は従来のプリント基板表面の良品例及
び不良品例を示すそれぞれの平面図、第３図は従来の基
板検査方式を示す概略構成図、第４図は本発明の一実施
例である基板検査方式を示す概略構成図、第５図は第４
図にある参照物体の構成を示す平面図、第６図は第５図
の参照物体の光透過率峙性を示す図、第７図は第５図の
参照物体の映像信号波形を示す図、第８図は１４１図の
良品のプリント基板の映像信号波形を示す図、第９図は
被桝査体が良品の場合の加算された映像信号波形を示す
図、第１０図は第２図の不良品のプリント基板の映像信
号波形を示す図、第１１図及び第１２図はそれぞれ被検
査体が不良品の場合の加算された映像信号波形を示す図
である。 １−−・・・−良品のプリント基板、２−一鋼配線パタ
ーン部、３−絶縁体部分、４−ｍ−不良品のプリント基
板、５・−不良凸部、６・−一不良欠損部、１３．１４
−−一照明装置、１５−被検査体、１６−参照物体、１
７．１８・・−・−テレビカメラ、１９・−・−加算器
、２０ ＝ ３値化回路、２１−＝画像数り込み回路、
２２−−一画像メモリ、２３−・−判定装置、２８ａ
、 ２８ｂ −一比較基準値。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 第１図 第３ ＝＝ｆ７ 第２図 ＝＝＝５−８
び不良品例を示すそれぞれの平面図、第３図は従来の基
板検査方式を示す概略構成図、第４図は本発明の一実施
例である基板検査方式を示す概略構成図、第５図は第４
図にある参照物体の構成を示す平面図、第６図は第５図
の参照物体の光透過率峙性を示す図、第７図は第５図の
参照物体の映像信号波形を示す図、第８図は１４１図の
良品のプリント基板の映像信号波形を示す図、第９図は
被桝査体が良品の場合の加算された映像信号波形を示す
図、第１０図は第２図の不良品のプリント基板の映像信
号波形を示す図、第１１図及び第１２図はそれぞれ被検
査体が不良品の場合の加算された映像信号波形を示す図
である。 １−−・・・−良品のプリント基板、２−一鋼配線パタ
ーン部、３−絶縁体部分、４−ｍ−不良品のプリント基
板、５・−不良凸部、６・−一不良欠損部、１３．１４
−−一照明装置、１５−被検査体、１６−参照物体、１
７．１８・・−・−テレビカメラ、１９・−・−加算器
、２０ ＝ ３値化回路、２１−＝画像数り込み回路、
２２−−一画像メモリ、２３−・−判定装置、２８ａ
、 ２８ｂ −一比較基準値。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 第１図 第３ ＝＝ｆ７ 第２図 ＝＝＝５−８
Claims (2)
- （１）被検査基板の良品と同一の平面形状を有し、該被
検査基板上のパターンに相当する領域の光透過率を、こ
のパターン以外に相当する領域の光透過率よりも高くし
た参照物体を撮像する第１のテレビカメラと、被検査体
を撮像する第２のテレビカメラと、前記第１のテレビカ
メラの映像信号と第２のテレビカメラの映像信号とを加
え合わせる加算手段と、該加算手段で得られた映像信号
の明るさ分布の均一度から前記被検査体の良−不良を検
知する検査手段と、を備えてなることを特徴とする基板
検査方式。 - （２） 前記検査手段は、前記加算手段で得られる加
算された映像信号を比較基準値に基づいてディジタル信
号に変換する信号処理回路と、前記ディジタル信号を画
１象として記憶する画像メモリと、該画像メモリに記憶
されたディジタル画像情報から前記被検査体の良・不良
を判定する判定装置と、を備えてなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の基板検査方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8519682A JPS58200141A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 基板検査方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8519682A JPS58200141A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 基板検査方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58200141A true JPS58200141A (ja) | 1983-11-21 |
Family
ID=13851888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8519682A Pending JPS58200141A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 基板検査方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58200141A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358138A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Corp | パタ−ン検査装置 |
| JPS63124939A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
| JP2007309760A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
-
1982
- 1982-05-18 JP JP8519682A patent/JPS58200141A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358138A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Corp | パタ−ン検査装置 |
| JPS63124939A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
| JP2007309760A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
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