JPS61148828A - ワイヤボンデイングの検査方法 - Google Patents

ワイヤボンデイングの検査方法

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JPS61148828A JP59270686A JP27068684A JPS61148828A JP S61148828 A JPS61148828 A JP S61148828A JP 59270686 A JP59270686 A JP 59270686A JP 27068684 A JP27068684 A JP 27068684A JP S61148828 A JPS61148828 A JP S61148828A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は自動焦点ＩＴＶカメツを用いたワイヤボンディ
ングの検査方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
半導体装置の製造工程において、例えばベレットとリー
ドとをワイヤで接続するワイヤボンディング工程がある
。この作業は非常に精度を要するとともに高速性が要求
されるので、とかく接続位置のずれやワイヤが他の部所
に接触するなどによる不良は避けられないのが現状であ
る。これらの検査方法として１例えば特開昭５９−１４
４１４０号に記載された方法が知られている。しかしこ
の方法はワイヤの一端に形成される圧着ポールの形状お
よび圧着ポールの位置ずれを検査するだけであって。
従来１歩留ＤＫ大きな影響を与えていたワイヤの形成す
るループのダイのエツジに接触する。いわゆるエツジタ
ッチの検査およびループの高さの検査は含まれていない
不都合があった。従って現状ではダイのエツジタッチの
要因となるループの高さの検査とかペレットのダメージ
の要因である圧着ポールの肉厚の検査などはすべて人手
に頼っておシ１時間的損失が多く、また誤検査による歩
留シ低下の要因となっていた。
〔発明の目的〕
本発明は人手に頼ることなく、高能率なワイヤボンディ
ングの検査方法を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は自動焦点ＩＴＶカメラの焦点合わせによシワイ
ヤボンディングの上方から被検査部位の位置情報を得る
ワイヤボンディングの検査方法である。
〔発明の実施例〕
以下本発明の詳細を図示の一実施例を参照して説明する
。まず本発明方法を実施するワイヤボンディング装置の
概略を説明する。本実施例によりワイヤボンディングさ
れる回路基板（１）は孔（２）を設けたキャリア（３）
の孔（２）の四隅に設けた支持片により四隅を支持され
てキャリア（３）とともに搬送される。（５）は供給位
置で、マガジン（６）にはキャリア（３）を複数個一定
ピツチ間隔で積層して収容してあシ。
各キャリア（３）、・・・には回路基板（１）、・・・
が載置されている。供給位置（５）から送り出されたキ
ャリア（３）。
・・・は案内体（８）　、　（８）に沿ってボンベア（
９）　、　（９１によシ運搬される。Ｉは予熱位置で、
回路基板（１）は図示し□ないヒータブロックによシ持
上げられて予備加熱される。次にボンディング位置αの
に搬送されて図示しないストッパにより停止すると、下
方から上昇して来る図示しないヒータブロックによシ所
定の高さに持上げられ、上方に設けられた押え板ａ３の
弾性体１例えばばねによ多回路基板（すは固定される。
ことＫはりニアモータα４）、（ＬＳＫ！夛ＸＹ方向に
駆動されるＸＹテーブル（Ｌｅと、これの上に取付けら
れた自動焦点機能を有するＩＴＶカメラαηと、ＸＹテ
ーブル（Ｌｆｉ上に取付けられたボンディングヘッド（
１枠とが設けられている。そして回路基板（１）はＩＴ
Ｖカメラによ多位置検出され、ボンディングヘッド（ｌ
ｌＦｃよりワイヤボンディングがなされる。
ワイヤボンディングが終了した回路基板（１）はキャリ
ア（３）上に載置され搬送されて次の検査位置匂υに至
シ停止する。ここにはボンディング位置ａのと同ＩＩＫ
ＸＹテーブル（２）と、これに取付けられた自動焦点機
能を有する検査用ＩＴＶカメラ（ハ）と１図示しナイパ
ルスモータにより上下駆動されＩＴＶ　力ｆｉ　ニア（
至）に対し位置制御されると・ともに上面に位置ぎめビ
ン（図示しない）をもちかつ真空吸着孔（２４ｇ）をも
った昇降体（財）とが設けられていて１回路基板（１）
：は昇降体（財）によ多位置ぎめされるとともに吸着固
定され、所定の位置まで上昇して後述する検査方法によ
り検査され、検査が終了すると再び下降してキャリア（
３）上に載置されて、次の収容位置（至）に搬送され供
給位置（５）と同様に積層されて収容される。
また１本装置は位置認識装置ｒ３１）とマイクロコンビ
、−夕を内蔵し九判定装置（至）とを具えている。
位置認識装置（３υは上述した自動焦点ＩＴＶカメラで
ある検査用ＩＴＶカメラ（ハ）および昇降体（財）など
からなるＩＴＶカメラ装置（ト）と、これからの画像信
号を処理する画像処理回路（至）とから構成されている
。
判定装置（至）は画像処理回路（至）からの検査情報を
演算処理する演算回路（ロ）と、基準検査値を記憶して
いる記憶回路（至）と、演算回路０？）からの検査情報
と基準検査値とを比較する比較回路（至）と、比較回路
（至）の出力によシ良、否の判定をする判定回路−と、
これからの出力によシボンディング装置の停止指令を発
したシ、ポンディング装置全体の作動を順次制御する制
御装置αＤなどから構成されている。
これらの詳細は本発明方法の実施態様とともに述べる。
次に本発明方法の実施態様の説明をする。ワイヤボンデ
ィングされた回路基板（１）が搬送されて検査位置Ｑυ
で停止すると、昇降体（財）が上昇し、キャリア（３）
上の回路基板（１）に尚接して持上げ始めると。
昇降体■の上面の位置ぎめピン（図示しない）によ）回
路基板（１）は位置ぎめされ、同時に真空によシ吸着さ
れて固定され所定位置まで持上げられて停止する。次に
検査用ＩＴＶカメラ（ハ）はボンディングと同じ順序（
プログラムが一部共用されてい゛る）で各部の検査情報
を検出して行く。すなわち予めプログラムされているよ
うに、ＩＴＶカメラ（ハ）は焦点を合わせるべき指定さ
れた位置に中心を移動し、焦点正金のための出力信号に
よシ昇降体（財）のパルスモータが駆動され、昇降体（
２）は上下動して、焦点が合った所で停止し、その高さ
方向の位置によシ検査情報が得られる。第３図、第４図
はワイヤボンディングされた被検査部位の説明図で、ア
イランド（ハ）上にペレットに）が接着されていて、そ
の上にワイヤ（４７１の一端をポール状に形成して圧着
するための平坦なパッド囮が形成されている。このパッ
ド（ハ）の上にワイヤ０７）の一端部に形成され九圧着
ポール（４１が圧着されていて、ワイヤ０ηの他端部間
がインナリード５１）に圧着されている。このような被
検査部位に対し、圧着ポール（４１の厚さ、すなわちパ
ッド部（ハ）の上面（４８１）を基準面５りとしたとき
の厚さａ＝Ｐ、−Ｐ、と、ワイヤ（４７）が形成するル
ープの最高部（４７ａ　）の基準面ｌ！５３に対する高
さｂ＝ｐｓ−Ｐ、を検査情報として検出するとすると、
先ずパッド部禰に焦点を合わせ、その位［Ｐｔを検出し
。
次に上面（４９ａ）に焦点を合わせてその位置Ｐ、を検
出し、さらにループの最高位置（４７ａ）に焦点を合わ
せてその位置Ｐ−を検出し、これらＰｌ、　Ｐ、　、　
Ｐ、の位置（高さ方向）を検査情報として演算回路の７
）に送シ、その結果としての上記ａおよびｂの値を比較
回路（至）に出力する。ここにおいて、予めこれらの被
検査部位に対応して設定された基準値が記憶回路（至）
から比較回路（至）に送出され１両者が比較されて、そ
の結果が判定回路−に送られる。判定回路−において、
比較された値１例えば差の値が所定の範囲内ならば良品
と判定し、最初の状態に戻ることになる。上述の外にさ
らに圧着ポール（４！Ｉｌとパッド−とのずれを検査す
る場合は、まず上述の位置Ｐ８てパッド（ハ）の平面に
焦点を合わせてＩＴＶカメラ（ハ）で撮影する（第４図
参照）。この画像が第４図である。次に位置Ｐ、でポー
ル上面（４９ａ）に焦点を合わせ、ＩＴＶカメラ（ハ）
で撮影する（第５図参照）。これら２個の画像からパッ
ド（機と圧着ボーずれ量ｄとの比較を比較回路（至）で
行ない、その結果を判定回路（４０で判定する。
上述の判定の結果は図示しないプリント装置によシブリ
ントされ、また不良数が多い場合は制御回路（財）によ
シ装置は停止される。これらの検査方法をまとめる々、
第７図の流れ図のようになる。
なお本実施例においてはワイヤボンディング装置上で行
なったが別個の装置で行なってもよく。
また検査位置は１個所だけではなく、ボンディングの速
さに応じて複数個所設けてもよい。また検査に際して回
路基板の方を昇降させて焦点合わせを行なったが、　Ｉ
ＴＶカメラのレンズの方を昇降させてもよく１回路基板
の固定は吸着に限定されず他の方法でもよく、さらに必
要なければ固定しなくてもよい。
〔発明の効果〕
以上詳述したように１本発明のワイヤボンディングの検
査方法は、自動焦点ＩＴＶカメラの自動焦点作用によシ
位置情報を得るように構成したので。
誤検査が防止され、また目視のように疲労もないので信
頼性、生産性、稼動率の向上に益するところ大である。
またコンパクトに構成できるのでボンディング装置上に
おいて実施することも容易である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明方法を実施したワイヤボンディング装置
の構成を示す平面図、第２図は同じく要部のみ示す正面
図、第３図は被検査部位の説明図。 第４図および第５図は同じく説明図、第６図は検査装置
のブロック図、第７図は検査の実施態様を説明する流れ
図である。 Ｇ１３：自動焦点ＩＴＶカメラ、　　（４Ｑ：パ　ツト
。 （４Ｓａ）　：パッドの上面、四二圧着ポール。 １５ａ　：基準部位。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 （ほか１名） 第１図 第３２　　　　第２．Ａ 第６図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ワイヤボンディング部の被検査部位の上方に設け
    られた自動焦点ＩＴＶカメラの焦点合わせにより上記部
    位の位置情報を得ることを特徴とするワイヤボンディン
    グの検査方法。
  2. （２）位置情報はパッドの上面を基準部位とするもので
    あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のワイ
    ヤボンディングの検査方法。
  3. （３）位置情報は高さであることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項または第２項記載のワイヤボンディングの
    検査方法。
  4. （４）位置情報はパッドに対する圧着ポールの中心位置
    座標であることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
    のワイヤボンディングの検査方法。
  5. （５）自動焦点カメラをワイヤボンディング装置に取付
    けて検査することを特徴とする特許請求の範囲第１項な
    いし第４項のいずれかに記載のワイヤボンディングの検
    査方法。
JP59270686A 1984-12-24 1984-12-24 ワイヤボンデイングの検査方法 Granted JPS61148828A (ja)

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