JP3878380B2 - ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ペレットボンディング装置では、多数の区画のそれぞれにペレットを有するウエハをテーブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレットをピックアップ進み方向に1つずつ順に検出し、検出したペレットをピックアップ装置によりピックアップする。そして、ピックアップしたペレットをゲージング台を介し、或いは介さずに、リードフレーム等の基板上にボンディングしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、従来技術では、光学認識装置を用いてウエハのある行に沿ってペレットをピックアップ進み方向の一方向に1つずつ順に検出する過程で、光学認識装置がウエハのある区画でペレット無しを検出したとき、当該区画と同一の行上に例えば5区画以上の多区画連続する各区画のそれぞれで光学認識装置がペレット無しを検出することを繰り返したことを条件に、その行のピックアップ進み方向におけるウエハの端に達したものと認識しており、ウエハの端の認識に長時間を要している。
【0004】
また、ウエハの端を検出した行と、相並ぶ他の行において、ウエハの端を検出するに至った最後の区画に並ぶ区画からピックアップ進み方向の他方向(反対方向)に順にペレットの有無の検出し、該他の行のピックアップ開始区画を認識しており、ウエハのピックアップ開始区画の認識にも長時間を要している。
【0005】
本発明の課題は、ウエハのペレットをピックアップするに際し、ウエハの端を短時間で認識するとともに、ウエハのピックアップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を向上することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の本発明は、多数の区画のそれぞれにペレットを1つずつ有するウエハをテーブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレットをピックアップ進み方向に順に検出し、検出したペレットをピックアップ装置によりピックアップする、ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法において、ペレットをウエハのある行に沿ってピックアップ進み方向の一方向に検出していく過程で、光学認識装置がウエハのある区画でペレット無しを検出したときに、光学認識装置により当該区画と同一の行上で、当該区画に隣接する区画を含み、且つペレットの上記ピックアップ進み方向にある複数の区画の画像をまとめて取込む検出領域内でペレットの有無を検出し、この検出結果がペレット無しであれば、その行のピックアップ進み方向におけるウエハの端に達したことを認識するとともに、該検出領域が上記ウエハの端を検出した行における複数の区画の画像に加え、相並ぶ他の行における複数の区画の画像もまとめて取込み、該検出領域内で上記ウエハの端に達したことを認識した後に直ちに、当該検出領域内で相並ぶ他の行におけるペレットの有無を検出し、該他の行のピックアップ開始区画の検出動作に入るようにしたものである。
【0008】
請求項2に記載の本発明は、請求項1に記載の本発明において更に、前記ウエハの外周に応じた仮想円を設定し、光学認識装置における検出点がこの仮想円を越えたことを条件に、前記検出領域を用いた検出を行なうようにしたものである。
【0009】
請求項3に記載の本発明は、請求項2に記載の本発明において更に、前記仮想円の直径をウエハの直径より小さく設定し、仮想円の外側に少なくとも1個のペレットを存在せしめるようにしたものである。
【0011】
【作用】
請求項1の発明によれば下記(a)、(b)の作用がある。
(a)光学認識装置がウエハのある区画Aでペレット無しを検出したときに、光学認識装置により当該区画Aと同一の行(N)上で、当該区画Aに隣接する区画Bを含み、かつペレットのピックアップ進み方向にある複数の区画B、C、Dの画像をまとめて取込み可能な検出領域S内でペレットの有無を検出し、この検出結果がペレット無しであれば、その行(N)のピックアップ進み方向におけるウエハの端に達したことを認識できる。
【0012】
(b)ウエハの端を検出した上述 (a) の行(N)における複数の区画B、C、Dの画像に加え、相並ぶ他の行(N+1)における複数の区画E、F、Gの画像もまとめた1つの検出領域Sとしてその画像をまとめて取込み、上述 (a) のウエハの端に達したことを認識した後に直ちに、当該検出領域S内で相並ぶ他の行(N+1)におけるペレットの有無を検出し、該他の行(N+1)のピックアップ開始区画の検出動作に入る。これにより、ウエハの端に達したことと、他の行のピックアップ開始区画を、同じ検出領域内で同時に行なうこととなり、ウエハの端と、ウエハのピックアップ開始区画を短時間で認識し、ウエハの端を認識してからピックアップ開始区画を認識するまでのペレットボンディング装置の生産待ち時間を低減し、生産性を向上できる。
【0013】
請求項2の発明によれば下記(c)の作用がある。
(c)光学認識装置の検出点が、ウエハの外周に応じて定めた仮想円を越えたことを条件に、前述(a) 、 (b)の検出領域を用いた検出を行なう。従って、ウエハの中央側におけるペレット無し区画をウエハの端とみなすことによりその行におけるペレットのピックアップを終えてしまう誤動作を防止しながら、前述(a) 、 (b)によりウエハの端とピックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができる。
【0014】
請求項3の発明によれば下記(d)の作用がある。
(d)上述(c)の仮想円の直径をウエハの直径より小さく設定し、仮想円の外側に少なくとも1個のペレットを存在せしめるようにした。従って、光学認識装置の検出点がウエハの直径より小径の仮想円を越えたら直ちに前述(a) 、 (b)の検出を行なうこととなる。これにより、仮想円の直径がウエハの直径と同等に定められたら、ウエハの外周側で生じ易い不良区画の検出を光学認識装置の検出点が該仮想円を越えるまで何回も繰り返すことを回避できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1はペレットボンディング装置を示す模式図、図2はカメラの視野にとらえた画像を示す模式図、図3はウエハを示す模式図、図4は本発明のペレットピックアップ方法を示す模式図である。
【0016】
ペレットボンディング装置10は、図1に示す如く、XYテーブル11の上に回転可能に設けられた回転テーブル12を有し、回転テーブル12にウエハ1(図3)を着脱できる。ウエハ1は、多数の区画のそれぞれにペレット2を有するように、それらのペレット2を粘着シート上で互いにダイシングしたものである。
【0017】
ペレットボンディング装置10は、光学認識装置17としてのカメラ13及び画像処理装置14を有する。カメラ13は図2に示す如く、縦横複数の区画(本実施形態では縦横3個の区画)をその視野にとらえることができる。画像処置装置14は、カメラ13による取込み画像内における所定の領域を画像処理することにより、回転テーブル12の上のペレット2の有無及び良否を検出するとともに、ペレット2の基準位置に対する位置ずれ及び傾きを認識する。
【0018】
ペレットボンディング装置10は、マイクロコンピュータからなるコントローラ15を有している。コントローラ15は、カメラ13によりウエハ1のペレット2をピックアップ進み方向に順に取込んだ画像に基づく画像処理装置14の処理結果であるペレット2の位置ずれを補正するようにXYテーブルを移動させ、ペレット2の傾きを補正するように回転テーブル12を回転させる。また、コントローラ15は、ピックアップ装置16を制御し、上記ペレット2をピックアップし、その後、ペレット2をゲージング台に移載し、或いはゲージング台を介さずに基板上に移載してボンディングする。
【0019】
然るに、ペレットボンディング装置10にあっては、ウエハ1のペレット2をピックアップ装置16により以下の手順でピックアップする。ここで、図4中、鍵形のマークが付された区画はペレット2有りの区画、マーク無しの区画はペレット無しの区画、斜線が付された区画はペレット2のピックアップ済みの区画をそれぞれ示す。
【0020】
(1) ウエハ1を回転テーブル12の上に載せ、ウエハ1の外周の例えば4点を検出してウエハ1の中心を求め、ウエハ1の外周1Aを定める。ウエハ1の上に該ウエハ1の外周1Aに応じた仮想円1Bを設定する(図3)。本実施形態では、仮想円1Bの直径をウエハ1の直径(外周1Aの直径)より小さく設定し、仮想円1Bの外側に少なくも1個のペレット2を存在せしめる。
【0021】
(2) カメラ13により、ウエハ1のある行(N)に沿って、ペレット2の画像をピックアップ進み方向の一方向(図4のK方向)に順次取込み、この取込み画像をもとに画像処理装置14が検出したペレット2の位置ずれ及び傾きに基づいて、ペレット2をピックアップ装置16により前述の如くにピックアップしていく。このとき、カメラ13の視野は、前述の如く縦横3区画、全9区画をまとめて取込み可能な大きさに設定されているが、通常の検出動作においては、カメラ13の視野中心に位置する今回ピックアップ対象となるペレット2の次のペレット2(区画)に対応する領域を検出領域とし、この検出領域内でペレット2の有無等の検出を行なうだけで、視野内の検出領域以外については検出を行なわない。
【0022】
(3) 上述(2) のカメラ13を用いたペレット2の検出の過程で、カメラ13の視野中心(光学認識装置17の検出点)が前述(1) の仮想円1Bの内側にあるときには、その区画がペレット無しの区画であっても、ウエハ1の端を確認することなくK方向での次のペレット2(区画)の検出とピックアップを続ける。カメラ13の視野中心が仮想円1Bを越えたことを条件に、下記(4) 、(5) の検出領域を用いた検出を行なう。
【0023】
(4) カメラ13の視野中心が行(N)のC1に達し、ウエハ1の区画Aでペレット無しを検出したとき、カメラ13の視野中心をK方向に3区画分、且つ相並ぶ行(N+1)のC2に移動し、このC2を中心とする縦横全9区画を新たな検出領域Sとする。画像処理装置14は、このC2を中心とする検出領域Sにおいて、上述のペレット無し区画Aと同一の行上で、当該区画Aに隣接する区画Bを含み、且つペレット2の上述(2) のピックアップ進み方向Kにある複数(本実施形態では3個)の区画B、C、Dの画像をまとめて取込み、この検出領域Sでペレット2の有無を検出する。この検出結果が3区画B、C、Dでペレット無しであれば、その行(N)のピックアップ進み方向におけるウエハ1の端に達したことを認識する。本実施形態では、3区画連続してペレット2が存在しないことを条件にウエハ1の端を認識する。
【0024】
(5) 前記C2を中心とする検出領域S内で、前記行(N)におけるウエハ1の端に達したことを上述(4) により認識したとき、当該C2を中心とする検出領域S内で行(N)と相並ぶ他の行(N+1)におけるペレット2の有無を検出し、該他の行(N+1)のピックアップ開始区画を検出する。例えば、C2を中心とする検出領域S内で行(N+1)の全区画E、F、Gにペレット2があれば、カメラ13の視野中心を同一の行(N+1)でK方向に3区画分離れるC3に移動し、このC3を中心とする縦横全9区画を新たな検出領域Sとし、この検出領域Sでペレット2の有無を検出する。この検出結果が3区画H、I、Jでペレット無しであれば、その行(N+1)のピックアップ進み方向におけるウエハ1の端に達したことを認識し、このウエハ1の端でペレット2があった区画Gをピックアップ開始区画と認識する。
【0025】
(6) 行(N+1)において、上述(5) でピックアップ開始区画として認識された区画Gから、新たなピックアップ進み方向(図4のL方向)に順にペレット2の検出とピックアップを行なう。
【0026】
従って、本実施形態によれば、以下の作用がある。
▲1▼画像処理装置14がある行(N)でペレット無しの区画Aを最初に検出した以後、同一の行(N)で当該区画Aに隣接する複数の区画B、C、Dを1つの検出領域Sとしてカメラ13によりその画像をまとめて取込んでペレット2の有無を検出することにより、カメラ13による画像の取込み回数を低減しながらウエハ1の端を検出できる。即ち、ウエハ1の端を短時間で認識し、ウエハ1の端を検出する際のペレットボンディング装置10の生産待ちを低減して生産性を向上できる。
【0027】
▲2▼画像処理装置14が上述▲1▼のウエハ1の端を検出した行(N)における複数の区画B、C、Dに加え、相並ぶ他の行(N+1)における複数の区画E、F、Gもまとめた1つの検出領域Sとしてその画像をまとめて取込み、上述▲1▼のウエハ1の端を検出した後に、直ちに相並ぶ他の行(N+1)におけるペレット2の有無を検出し、該他の行(N+1)のピックアップ開始区画の検出動作に入ることができる。即ち、ウエハ1のピックアップ開始区画も短時間で認識し、ウエハ1のピックアップ開始区画を検出する際のペレットボンディング装置10の生産待ちを低減して生産性を向上できる。
【0028】
▲3▼カメラ13の視野中心(光学認識装置17の検出点)が、ウエハ1の外周に応じて定めた仮想円1Bを越えたことを条件に、前述▲1▼、▲2▼の検出領域Sを用いた検出を行なう。従って、ウエハ1の中央側におけるペレット無し区画をウエハ1の端とみなすことによりその行におけるペレットのピックアップを終えてしまう誤動作を防止しながら、前述▲1▼、▲2▼によりウエハ1の端とピックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができる。
【0029】
▲4▼上述▲3▼の仮想円1Bの直径をウエハ1の直径より小さく設定し、仮想円1Bの外側に少なくとも1個のペレットを存在せしめるようにした。従って、カメラ13の視野中心がウエハ1の直径より小径の仮想円1Bを越えたら直ちに前述▲1▼、▲2▼の検出を行なうこととなる。これにより、仮想円1Bの直径がウエハ1の直径と同等に定められたら、ウエハ1の外周側で生じ易い不良区画の検出をカメラ13の視野中心が該仮想円1Bを越えるまで何回も繰り返すことを回避できる。
【0030】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ウエハのペレットをピックアップするに際し、ウエハの端を短時間で認識し、ペレットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を向上することができる。
【0032】
また、本発明によれば、ウエハのピックアップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はペレットボンディング装置を示す模式図である。
【図2】図2はカメラの視野にとらえた画像を示す模式図である。
【図3】図3はウエハを示す模式図である。
【図4】図4は本発明のペレットピックアップ方法を示す模式図である。
【符号の説明】
1 ウエハ
1A 外周
1B 仮想円
2 ペレット
10 ペレットボンディング装置
11 XYテーブル
12 回転テーブル
13 カメラ
16 ピックアップ装置
Claims (3)
- 多数の区画のそれぞれにペレットを1つずつ有するウエハをテーブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレットをピックアップ進み方向に順に検出し、検出したペレットをピックアップ装置によりピックアップする、ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法において、
ペレットをウエハのある行に沿ってピックアップ進み方向の一方向に検出していく過程で、光学認識装置がウエハのある区画でペレット無しを検出したときに、光学認識装置により当該区画と同一の行上で、当該区画に隣接する区画を含み、且つペレットの上記ピックアップ進み方向にある複数の区画の画像をまとめて取込む検出領域内でペレットの有無を検出し、この検出結果がペレット無しであれば、その行のピックアップ進み方向におけるウエハの端に達したことを認識するとともに、
該検出領域が上記ウエハの端を検出した行における複数の区画の画像に加え、相並ぶ他の行における複数の区画の画像もまとめて取込み、
該検出領域内で上記ウエハの端に達したことを認識した後に直ちに、当該検出領域内で相並ぶ他の行におけるペレットの有無を検出し、該他の行のピックアップ開始区画の検出動作に入ることを特徴とするペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法。 - 前記ウエハの外周に応じた仮想円を設定し、光学認識装置における検出点がこの仮想円を越えたことを条件に、前記検出領域を用いた検出を行なう請求項1記載のペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法。
- 前記仮想円の直径をウエハの直径より小さく設定し、仮想円の外側に少なくとも1個のペレットを存在せしめる請求項2記載のペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法。
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