JP2001203221A - ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法 - Google Patents
ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法Info
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- JP2001203221A JP2001203221A JP2000010992A JP2000010992A JP2001203221A JP 2001203221 A JP2001203221 A JP 2001203221A JP 2000010992 A JP2000010992 A JP 2000010992A JP 2000010992 A JP2000010992 A JP 2000010992A JP 2001203221 A JP2001203221 A JP 2001203221A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハのペレットをピックアップするに際
し、ウエハの端を短時間で認識し、ペレットボンディン
グ装置の生産待ちを低減して生産性を向上すること。 【解決手段】 ペレットボンディング装置１０のペレッ
トピックアップ方法において、光学認識装置１７がウエ
ハ１のある区画Ａでペレット無しを検出したときに、光
学認識装置１７により当該区画Ａに隣接する区画を含
み、且つペレット２のピックアップ進み方向にある複数
の区画Ｂ、Ｃ、Ｄの画像をまとめて取込み可能な検出領
域Ｓ内でペレット２の有無を検出し、この検出結果がペ
レット無しであれば、その行のピックアップ進み方向に
おけるウエハの端に達したことを認識するもの。
し、ウエハの端を短時間で認識し、ペレットボンディン
グ装置の生産待ちを低減して生産性を向上すること。 【解決手段】 ペレットボンディング装置１０のペレッ
トピックアップ方法において、光学認識装置１７がウエ
ハ１のある区画Ａでペレット無しを検出したときに、光
学認識装置１７により当該区画Ａに隣接する区画を含
み、且つペレット２のピックアップ進み方向にある複数
の区画Ｂ、Ｃ、Ｄの画像をまとめて取込み可能な検出領
域Ｓ内でペレット２の有無を検出し、この検出結果がペ
レット無しであれば、その行のピックアップ進み方向に
おけるウエハの端に達したことを認識するもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はペレットボンディン
グ装置のペレットピックアップ方法に関する。
グ装置のペレットピックアップ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ペレットボンディング装置では、
多数の区画のそれぞれにペレットを有するウエハをテー
ブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレット
をピックアップ進み方向に１つずつ順に検出し、検出し
たペレットをピックアップ装置によりピックアップす
る。そして、ピックアップしたペレットをゲージング台
を介し、或いは介さずに、リードフレーム等の基板上に
ボンディングしている。
多数の区画のそれぞれにペレットを有するウエハをテー
ブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレット
をピックアップ進み方向に１つずつ順に検出し、検出し
たペレットをピックアップ装置によりピックアップす
る。そして、ピックアップしたペレットをゲージング台
を介し、或いは介さずに、リードフレーム等の基板上に
ボンディングしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然るに、従来技術で
は、光学認識装置を用いてウエハのある行に沿ってペレ
ットをピックアップ進み方向の一方向に１つずつ順に検
出する過程で、光学認識装置がウエハのある区画でペレ
ット無しを検出したとき、当該区画と同一の行上に例え
ば５区画以上の多区画連続する各区画のそれぞれで光学
認識装置がペレット無しを検出することを繰り返したこ
とを条件に、その行のピックアップ進み方向におけるウ
エハの端に達したものと認識しており、ウエハの端の認
識に長時間を要している。
は、光学認識装置を用いてウエハのある行に沿ってペレ
ットをピックアップ進み方向の一方向に１つずつ順に検
出する過程で、光学認識装置がウエハのある区画でペレ
ット無しを検出したとき、当該区画と同一の行上に例え
ば５区画以上の多区画連続する各区画のそれぞれで光学
認識装置がペレット無しを検出することを繰り返したこ
とを条件に、その行のピックアップ進み方向におけるウ
エハの端に達したものと認識しており、ウエハの端の認
識に長時間を要している。
【０００４】また、ウエハの端を検出した行と、相並ぶ
他の行において、ウエハの端を検出するに至った最後の
区画に並ぶ区画からピックアップ進み方向の他方向（反
対方向）に順にペレットの有無の検出し、該他の行のピ
ックアップ開始区画を認識しており、ウエハのピックア
ップ開始区画の認識にも長時間を要している。
他の行において、ウエハの端を検出するに至った最後の
区画に並ぶ区画からピックアップ進み方向の他方向（反
対方向）に順にペレットの有無の検出し、該他の行のピ
ックアップ開始区画を認識しており、ウエハのピックア
ップ開始区画の認識にも長時間を要している。
【０００５】本発明の課題は、ウエハのペレットをピッ
クアップするに際し、ウエハの端を短時間で認識し、ペ
レットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を
向上することにある。
クアップするに際し、ウエハの端を短時間で認識し、ペ
レットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を
向上することにある。
【０００６】また、本発明の課題は、ウエハのピックア
ップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング
装置の生産待ちを低減して生産性を向上することにあ
る。
ップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング
装置の生産待ちを低減して生産性を向上することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、多数の区画のそれぞれにペレットを有するウエハを
テーブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレ
ットをピックアップ進み方向に順に検出し、検出したペ
レットをピックアップ装置によりピックアップする、ペ
レットボンディング装置のペレットピックアップ方法に
おいて、ペレットをウエハのある行に沿ってピックアッ
プ進み方向の一方向に検出していく過程で、光学認識装
置がウエハのある区画でペレット無しを検出したとき
に、光学認識装置により当該区画と同一の行上で、当該
区画に隣接する区画を含み、且つペレットの上記ピック
アップ進み方向にある複数の区画の画像をまとめて取込
み可能な検出領域内でペレットの有無を検出し、この検
出結果がペレット無しであれば、その行のピックアップ
進み方向におけるウエハの端に達したことを認識するよ
うにしたものである。
は、多数の区画のそれぞれにペレットを有するウエハを
テーブルに搭載し、光学認識装置により該ウエハのペレ
ットをピックアップ進み方向に順に検出し、検出したペ
レットをピックアップ装置によりピックアップする、ペ
レットボンディング装置のペレットピックアップ方法に
おいて、ペレットをウエハのある行に沿ってピックアッ
プ進み方向の一方向に検出していく過程で、光学認識装
置がウエハのある区画でペレット無しを検出したとき
に、光学認識装置により当該区画と同一の行上で、当該
区画に隣接する区画を含み、且つペレットの上記ピック
アップ進み方向にある複数の区画の画像をまとめて取込
み可能な検出領域内でペレットの有無を検出し、この検
出結果がペレット無しであれば、その行のピックアップ
進み方向におけるウエハの端に達したことを認識するよ
うにしたものである。
【０００８】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明のおいて更に、前記検出領域が前記ウエハの
端を検出した行における複数の区画に加え、相並ぶ他の
行における複数の区画もまとめて取込み可能とされ、前
記検出領域内で前記ウエハの端に達したことを認識した
とき、当該検出領域内で相並ぶ他の行におけるペレット
の有無を検出し、該他の行のピックアップ開始区画を認
識するようにしたものである。
載の本発明のおいて更に、前記検出領域が前記ウエハの
端を検出した行における複数の区画に加え、相並ぶ他の
行における複数の区画もまとめて取込み可能とされ、前
記検出領域内で前記ウエハの端に達したことを認識した
とき、当該検出領域内で相並ぶ他の行におけるペレット
の有無を検出し、該他の行のピックアップ開始区画を認
識するようにしたものである。
【０００９】請求項３に記載の本発明は、請求項１又は
２に記載の本発明において更に、前記ウエハの外周に応
じた仮想円を設定し、光学認識装置における検出点がこ
の仮想円を越えたことを条件に、前記検出領域を用いた
検出を行なうようにしたものである。
２に記載の本発明において更に、前記ウエハの外周に応
じた仮想円を設定し、光学認識装置における検出点がこ
の仮想円を越えたことを条件に、前記検出領域を用いた
検出を行なうようにしたものである。
【００１０】請求項４に記載の本発明は、請求項３に記
載の本発明において更に、前記仮想円の直径をウエハの
直径より小さく設定し、仮想円の外側に少なくとも１個
のペレットを存在せしめるようにしたものである。
載の本発明において更に、前記仮想円の直径をウエハの
直径より小さく設定し、仮想円の外側に少なくとも１個
のペレットを存在せしめるようにしたものである。
【００１１】
【作用】請求項１の発明によれば下記の作用がある。 光学認識装置がある行でペレット無しの区画を最初に
検出した以後、同一の行で当該区画を含む複数の区画を
１つの検出領域としてその画像をまとめて取込んでペレ
ットの有無を検出することにより、画像の取込み回数を
低減しながらウエハの端を検出できる。即ち、ウエハの
端を短時間で認識し、ウエハの端を検出する際のペレッ
トボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を向上
できる。
検出した以後、同一の行で当該区画を含む複数の区画を
１つの検出領域としてその画像をまとめて取込んでペレ
ットの有無を検出することにより、画像の取込み回数を
低減しながらウエハの端を検出できる。即ち、ウエハの
端を短時間で認識し、ウエハの端を検出する際のペレッ
トボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を向上
できる。
【００１２】請求項２の発明によれば下記の作用があ
る。 光学認識装置が上述のウエハの端を検出した行にお
ける複数の区画に加え、相並ぶ他の行における複数の区
画もまとめた１つの検出領域としてその画像をまとめて
取込み、上述のウエハの端を検出した後に、直ちに相
並ぶ他の行におけるペレットの有無を検出し、該他の行
のピックアップ開始区画の検出動作に入ることができ
る。即ち、ウエハのピックアップ開始区画も短時間で認
識し、ウエハのピックアップ開始区画を検出する際のペ
レットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を
向上できる。
る。 光学認識装置が上述のウエハの端を検出した行にお
ける複数の区画に加え、相並ぶ他の行における複数の区
画もまとめた１つの検出領域としてその画像をまとめて
取込み、上述のウエハの端を検出した後に、直ちに相
並ぶ他の行におけるペレットの有無を検出し、該他の行
のピックアップ開始区画の検出動作に入ることができ
る。即ち、ウエハのピックアップ開始区画も短時間で認
識し、ウエハのピックアップ開始区画を検出する際のペ
レットボンディング装置の生産待ちを低減して生産性を
向上できる。
【００１３】請求項３の発明によれば下記の作用があ
る。 光学認識装置の検出点が、ウエハの外周に応じて定め
た仮想円を越えたことを条件に、前述、の検出領域
を用いた検出を行なう。従って、ウエハの中央側におけ
るペレット無し区画をウエハの端とみなすことによりそ
の行におけるペレットのピックアップを終えてしまう誤
動作を防止しながら、前述、によりウエハの端とピ
ックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができる。
る。 光学認識装置の検出点が、ウエハの外周に応じて定め
た仮想円を越えたことを条件に、前述、の検出領域
を用いた検出を行なう。従って、ウエハの中央側におけ
るペレット無し区画をウエハの端とみなすことによりそ
の行におけるペレットのピックアップを終えてしまう誤
動作を防止しながら、前述、によりウエハの端とピ
ックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができる。
【００１４】請求項４の発明によれば下記の作用があ
る。 上述の仮想円の直径をウエハの直径より小さく設定
し、仮想円の外側に少なくとも１個のペレットを存在せ
しめるようにした。従って、光学認識装置の検出点がウ
エハの直径より小径の仮想円を越えたら直ちに前述、
の検出を行なうこととなる。これにより、仮想円の直
径がウエハの直径と同等に定められたら、ウエハの外周
側で生じ易い不良区画の検出を光学認識装置の検出点が
該仮想円を越えるまで何回も繰り返すことを回避でき
る。
る。 上述の仮想円の直径をウエハの直径より小さく設定
し、仮想円の外側に少なくとも１個のペレットを存在せ
しめるようにした。従って、光学認識装置の検出点がウ
エハの直径より小径の仮想円を越えたら直ちに前述、
の検出を行なうこととなる。これにより、仮想円の直
径がウエハの直径と同等に定められたら、ウエハの外周
側で生じ易い不良区画の検出を光学認識装置の検出点が
該仮想円を越えるまで何回も繰り返すことを回避でき
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１はペレットボンディング装置
を示す模式図、図２はカメラの視野にとらえた画像を示
す模式図、図３はウエハを示す模式図、図４は本発明の
ペレットピックアップ方法を示す模式図である。
を示す模式図、図２はカメラの視野にとらえた画像を示
す模式図、図３はウエハを示す模式図、図４は本発明の
ペレットピックアップ方法を示す模式図である。
【００１６】ペレットボンディング装置１０は、図１に
示す如く、ＸＹテーブル１１の上に回転可能に設けられ
た回転テーブル１２を有し、回転テーブル１２にウエハ
１（図３）を着脱できる。ウエハ１は、多数の区画のそ
れぞれにペレット２を有するように、それらのペレット
２を粘着シート上で互いにダイシングしたものである。
示す如く、ＸＹテーブル１１の上に回転可能に設けられ
た回転テーブル１２を有し、回転テーブル１２にウエハ
１（図３）を着脱できる。ウエハ１は、多数の区画のそ
れぞれにペレット２を有するように、それらのペレット
２を粘着シート上で互いにダイシングしたものである。
【００１７】ペレットボンディング装置１０は、光学認
識装置１７としてのカメラ１３及び画像処理装置１４を
有する。カメラ１３は図２に示す如く、縦横複数の区画
（本実施形態では縦横３個の区画）をその視野にとらえ
ることができる。画像処置装置１４は、カメラ１３によ
る取込み画像内における所定の領域を画像処理すること
により、回転テーブル１２の上のペレット２の有無及び
良否を検出するとともに、ペレット２の基準位置に対す
る位置ずれ及び傾きを認識する。
識装置１７としてのカメラ１３及び画像処理装置１４を
有する。カメラ１３は図２に示す如く、縦横複数の区画
（本実施形態では縦横３個の区画）をその視野にとらえ
ることができる。画像処置装置１４は、カメラ１３によ
る取込み画像内における所定の領域を画像処理すること
により、回転テーブル１２の上のペレット２の有無及び
良否を検出するとともに、ペレット２の基準位置に対す
る位置ずれ及び傾きを認識する。
【００１８】ペレットボンディング装置１０は、マイク
ロコンピュータからなるコントローラ１５を有してい
る。コントローラ１５は、カメラ１３によりウエハ１の
ペレット２をピックアップ進み方向に順に取込んだ画像
に基づく画像処理装置１４の処理結果であるペレット２
の位置ずれを補正するようにＸＹテーブルを移動させ、
ペレット２の傾きを補正するように回転テーブル１２を
回転させる。また、コントローラ１５は、ピックアップ
装置１６を制御し、上記ペレット２をピックアップし、
その後、ペレット２をゲージング台に移載し、或いはゲ
ージング台を介さずに基板上に移載してボンディングす
る。
ロコンピュータからなるコントローラ１５を有してい
る。コントローラ１５は、カメラ１３によりウエハ１の
ペレット２をピックアップ進み方向に順に取込んだ画像
に基づく画像処理装置１４の処理結果であるペレット２
の位置ずれを補正するようにＸＹテーブルを移動させ、
ペレット２の傾きを補正するように回転テーブル１２を
回転させる。また、コントローラ１５は、ピックアップ
装置１６を制御し、上記ペレット２をピックアップし、
その後、ペレット２をゲージング台に移載し、或いはゲ
ージング台を介さずに基板上に移載してボンディングす
る。
【００１９】然るに、ペレットボンディング装置１０に
あっては、ウエハ１のペレット２をピックアップ装置１
６により以下の手順でピックアップする。ここで、図４
中、鍵形のマークが付された区画はペレット２有りの区
画、マーク無しの区画はペレット無しの区画、斜線が付
された区画はペレット２のピックアップ済みの区画をそ
れぞれ示す。
あっては、ウエハ１のペレット２をピックアップ装置１
６により以下の手順でピックアップする。ここで、図４
中、鍵形のマークが付された区画はペレット２有りの区
画、マーク無しの区画はペレット無しの区画、斜線が付
された区画はペレット２のピックアップ済みの区画をそ
れぞれ示す。
【００２０】(1) ウエハ１を回転テーブル１２の上に載
せ、ウエハ１の外周の例えば４点を検出してウエハ１の
中心を求め、ウエハ１の外周１Ａを定める。ウエハ１の
上に該ウエハ１の外周１Ａに応じた仮想円１Ｂを設定す
る（図３）。本実施形態では、仮想円１Ｂの直径をウエ
ハ１の直径（外周１Ａの直径）より小さく設定し、仮想
円１Ｂの外側に少なくも１個のペレット２を存在せしめ
る。
せ、ウエハ１の外周の例えば４点を検出してウエハ１の
中心を求め、ウエハ１の外周１Ａを定める。ウエハ１の
上に該ウエハ１の外周１Ａに応じた仮想円１Ｂを設定す
る（図３）。本実施形態では、仮想円１Ｂの直径をウエ
ハ１の直径（外周１Ａの直径）より小さく設定し、仮想
円１Ｂの外側に少なくも１個のペレット２を存在せしめ
る。
【００２１】(2) カメラ１３により、ウエハ１のある行
（Ｎ）に沿って、ペレット２の画像をピックアップ進み
方向の一方向（図４のＫ方向）に順次取込み、この取込
み画像をもとに画像処理装置１４が検出したペレット２
の位置ずれ及び傾きに基づいて、ペレット２をピックア
ップ装置１６により前述の如くにピックアップしてい
く。このとき、カメラ１３の視野は、前述の如く縦横３
区画、全９区画をまとめて取込み可能な大きさに設定さ
れているが、通常の検出動作においては、カメラ１３の
視野中心に位置する今回ピックアップ対象となるペレッ
ト２の次のペレット２（区画）に対応する領域を検出領
域とし、この検出領域内でペレット２の有無等の検出を
行なうだけで、視野内の検出領域以外については検出を
行なわない。
（Ｎ）に沿って、ペレット２の画像をピックアップ進み
方向の一方向（図４のＫ方向）に順次取込み、この取込
み画像をもとに画像処理装置１４が検出したペレット２
の位置ずれ及び傾きに基づいて、ペレット２をピックア
ップ装置１６により前述の如くにピックアップしてい
く。このとき、カメラ１３の視野は、前述の如く縦横３
区画、全９区画をまとめて取込み可能な大きさに設定さ
れているが、通常の検出動作においては、カメラ１３の
視野中心に位置する今回ピックアップ対象となるペレッ
ト２の次のペレット２（区画）に対応する領域を検出領
域とし、この検出領域内でペレット２の有無等の検出を
行なうだけで、視野内の検出領域以外については検出を
行なわない。
【００２２】(3) 上述(2) のカメラ１３を用いたペレッ
ト２の検出の過程で、カメラ１３の視野中心（光学認識
装置１７の検出点）が前述(1) の仮想円１Ｂの内側にあ
るときには、その区画がペレット無しの区画であって
も、ウエハ１の端を確認することなくＫ方向での次のペ
レット２（区画）の検出とピックアップを続ける。カメ
ラ１３の視野中心が仮想円１Ｂを越えたことを条件に、
下記(4) 、(5) の検出領域を用いた検出を行なう。
ト２の検出の過程で、カメラ１３の視野中心（光学認識
装置１７の検出点）が前述(1) の仮想円１Ｂの内側にあ
るときには、その区画がペレット無しの区画であって
も、ウエハ１の端を確認することなくＫ方向での次のペ
レット２（区画）の検出とピックアップを続ける。カメ
ラ１３の視野中心が仮想円１Ｂを越えたことを条件に、
下記(4) 、(5) の検出領域を用いた検出を行なう。
【００２３】(4) カメラ１３の視野中心が行（Ｎ）のＣ
１に達し、ウエハ１の区画Ａでペレット無しを検出した
とき、カメラ１３の視野中心をＫ方向に３区画分、且つ
相並ぶ行（Ｎ＋１）のＣ２に移動し、このＣ２を中心と
する縦横全９区画を新たな検出領域Ｓとする。画像処理
装置１４は、このＣ２を中心とする検出領域Ｓにおい
て、上述のペレット無し区画Ａと同一の行上で、当該区
画Ａに隣接する区画Ｂを含み、且つペレット２の上述
(2) のピックアップ進み方向Ｋにある複数（本実施形態
では３個）の区画Ｂ、Ｃ、Ｄの画像をまとめて取込み、
この検出領域Ｓでペレット２の有無を検出する。この検
出結果が３区画Ｂ、Ｃ、Ｄでペレット無しであれば、そ
の行（Ｎ）のピックアップ進み方向におけるウエハ１の
端に達したことを認識する。本実施形態では、３区画連
続してペレット２が存在しないことを条件にウエハ１の
端を認識する。
１に達し、ウエハ１の区画Ａでペレット無しを検出した
とき、カメラ１３の視野中心をＫ方向に３区画分、且つ
相並ぶ行（Ｎ＋１）のＣ２に移動し、このＣ２を中心と
する縦横全９区画を新たな検出領域Ｓとする。画像処理
装置１４は、このＣ２を中心とする検出領域Ｓにおい
て、上述のペレット無し区画Ａと同一の行上で、当該区
画Ａに隣接する区画Ｂを含み、且つペレット２の上述
(2) のピックアップ進み方向Ｋにある複数（本実施形態
では３個）の区画Ｂ、Ｃ、Ｄの画像をまとめて取込み、
この検出領域Ｓでペレット２の有無を検出する。この検
出結果が３区画Ｂ、Ｃ、Ｄでペレット無しであれば、そ
の行（Ｎ）のピックアップ進み方向におけるウエハ１の
端に達したことを認識する。本実施形態では、３区画連
続してペレット２が存在しないことを条件にウエハ１の
端を認識する。
【００２４】(5) 前記Ｃ２を中心とする検出領域Ｓ内
で、前記行（Ｎ）におけるウエハ１の端に達したことを
上述(4) により認識したとき、当該Ｃ２を中心とする検
出領域Ｓ内で行（Ｎ）と相並ぶ他の行（Ｎ＋１）におけ
るペレット２の有無を検出し、該他の行（Ｎ＋１）のピ
ックアップ開始区画を検出する。例えば、Ｃ２を中心と
する検出領域Ｓ内で行（Ｎ＋１）の全区画Ｅ、Ｆ、Ｇに
ペレット２があれば、カメラ１３の視野中心を同一の行
（Ｎ＋１）でＫ方向に３区画分離れるＣ３に移動し、こ
のＣ３を中心とする縦横全９区画を新たな検出領域Ｓと
し、この検出領域Ｓでペレット２の有無を検出する。こ
の検出結果が３区画Ｈ、Ｉ、Ｊでペレット無しであれ
ば、その行（Ｎ＋１）のピックアップ進み方向における
ウエハ１の端に達したことを認識し、このウエハ１の端
でペレット２があった区画Ｇをピックアップ開始区画と
認識する。
で、前記行（Ｎ）におけるウエハ１の端に達したことを
上述(4) により認識したとき、当該Ｃ２を中心とする検
出領域Ｓ内で行（Ｎ）と相並ぶ他の行（Ｎ＋１）におけ
るペレット２の有無を検出し、該他の行（Ｎ＋１）のピ
ックアップ開始区画を検出する。例えば、Ｃ２を中心と
する検出領域Ｓ内で行（Ｎ＋１）の全区画Ｅ、Ｆ、Ｇに
ペレット２があれば、カメラ１３の視野中心を同一の行
（Ｎ＋１）でＫ方向に３区画分離れるＣ３に移動し、こ
のＣ３を中心とする縦横全９区画を新たな検出領域Ｓと
し、この検出領域Ｓでペレット２の有無を検出する。こ
の検出結果が３区画Ｈ、Ｉ、Ｊでペレット無しであれ
ば、その行（Ｎ＋１）のピックアップ進み方向における
ウエハ１の端に達したことを認識し、このウエハ１の端
でペレット２があった区画Ｇをピックアップ開始区画と
認識する。
【００２５】(6) 行（Ｎ＋１）において、上述(5) でピ
ックアップ開始区画として認識された区画Ｇから、新た
なピックアップ進み方向（図４のＬ方向）に順にペレッ
ト２の検出とピックアップを行なう。
ックアップ開始区画として認識された区画Ｇから、新た
なピックアップ進み方向（図４のＬ方向）に順にペレッ
ト２の検出とピックアップを行なう。
【００２６】従って、本実施形態によれば、以下の作用
がある。 画像処理装置１４がある行（Ｎ）でペレット無しの区
画Ａを最初に検出した以後、同一の行（Ｎ）で当該区画
Ａに隣接する複数の区画Ｂ、Ｃ、Ｄを１つの検出領域Ｓ
としてカメラ１３によりその画像をまとめて取込んでペ
レット２の有無を検出することにより、カメラ１３によ
る画像の取込み回数を低減しながらウエハ１の端を検出
できる。即ち、ウエハ１の端を短時間で認識し、ウエハ
１の端を検出する際のペレットボンディング装置１０の
生産待ちを低減して生産性を向上できる。
がある。 画像処理装置１４がある行（Ｎ）でペレット無しの区
画Ａを最初に検出した以後、同一の行（Ｎ）で当該区画
Ａに隣接する複数の区画Ｂ、Ｃ、Ｄを１つの検出領域Ｓ
としてカメラ１３によりその画像をまとめて取込んでペ
レット２の有無を検出することにより、カメラ１３によ
る画像の取込み回数を低減しながらウエハ１の端を検出
できる。即ち、ウエハ１の端を短時間で認識し、ウエハ
１の端を検出する際のペレットボンディング装置１０の
生産待ちを低減して生産性を向上できる。
【００２７】画像処理装置１４が上述のウエハ１の
端を検出した行（Ｎ）における複数の区画Ｂ、Ｃ、Ｄに
加え、相並ぶ他の行（Ｎ＋１）における複数の区画Ｅ、
Ｆ、Ｇもまとめた１つの検出領域Ｓとしてその画像をま
とめて取込み、上述のウエハ１の端を検出した後に、
直ちに相並ぶ他の行（Ｎ＋１）におけるペレット２の有
無を検出し、該他の行（Ｎ＋１）のピックアップ開始区
画の検出動作に入ることができる。即ち、ウエハ１のピ
ックアップ開始区画も短時間で認識し、ウエハ１のピッ
クアップ開始区画を検出する際のペレットボンディング
装置１０の生産待ちを低減して生産性を向上できる。
端を検出した行（Ｎ）における複数の区画Ｂ、Ｃ、Ｄに
加え、相並ぶ他の行（Ｎ＋１）における複数の区画Ｅ、
Ｆ、Ｇもまとめた１つの検出領域Ｓとしてその画像をま
とめて取込み、上述のウエハ１の端を検出した後に、
直ちに相並ぶ他の行（Ｎ＋１）におけるペレット２の有
無を検出し、該他の行（Ｎ＋１）のピックアップ開始区
画の検出動作に入ることができる。即ち、ウエハ１のピ
ックアップ開始区画も短時間で認識し、ウエハ１のピッ
クアップ開始区画を検出する際のペレットボンディング
装置１０の生産待ちを低減して生産性を向上できる。
【００２８】カメラ１３の視野中心（光学認識装置１
７の検出点）が、ウエハ１の外周に応じて定めた仮想円
１Ｂを越えたことを条件に、前述、の検出領域Ｓを
用いた検出を行なう。従って、ウエハ１の中央側におけ
るペレット無し区画をウエハ１の端とみなすことにより
その行におけるペレットのピックアップを終えてしまう
誤動作を防止しながら、前述、によりウエハ１の端
とピックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができ
る。
７の検出点）が、ウエハ１の外周に応じて定めた仮想円
１Ｂを越えたことを条件に、前述、の検出領域Ｓを
用いた検出を行なう。従って、ウエハ１の中央側におけ
るペレット無し区画をウエハ１の端とみなすことにより
その行におけるペレットのピックアップを終えてしまう
誤動作を防止しながら、前述、によりウエハ１の端
とピックアップ開始区画の認識の迅速を図ることができ
る。
【００２９】上述の仮想円１Ｂの直径をウエハ１の
直径より小さく設定し、仮想円１Ｂの外側に少なくとも
１個のペレットを存在せしめるようにした。従って、カ
メラ１３の視野中心がウエハ１の直径より小径の仮想円
１Ｂを越えたら直ちに前述、の検出を行なうことと
なる。これにより、仮想円１Ｂの直径がウエハ１の直径
と同等に定められたら、ウエハ１の外周側で生じ易い不
良区画の検出をカメラ１３の視野中心が該仮想円１Ｂを
越えるまで何回も繰り返すことを回避できる。
直径より小さく設定し、仮想円１Ｂの外側に少なくとも
１個のペレットを存在せしめるようにした。従って、カ
メラ１３の視野中心がウエハ１の直径より小径の仮想円
１Ｂを越えたら直ちに前述、の検出を行なうことと
なる。これにより、仮想円１Ｂの直径がウエハ１の直径
と同等に定められたら、ウエハ１の外周側で生じ易い不
良区画の検出をカメラ１３の視野中心が該仮想円１Ｂを
越えるまで何回も繰り返すことを回避できる。
【００３０】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限
られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があっても本発明に含まれる。
述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限
られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ウエハの
ペレットをピックアップするに際し、ウエハの端を短時
間で認識し、ペレットボンディング装置の生産待ちを低
減して生産性を向上することができる。
ペレットをピックアップするに際し、ウエハの端を短時
間で認識し、ペレットボンディング装置の生産待ちを低
減して生産性を向上することができる。
【００３２】また、本発明によれば、ウエハのピックア
ップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング
装置の生産待ちを低減して生産性を向上することができ
る。
ップ開始区画も短時間で認識し、ペレットボンディング
装置の生産待ちを低減して生産性を向上することができ
る。
【図１】図１はペレットボンディング装置を示す模式図
である。
である。
【図２】図２はカメラの視野にとらえた画像を示す模式
図である。
図である。
【図３】図３はウエハを示す模式図である。
【図４】図４は本発明のペレットピックアップ方法を示
す模式図である。
す模式図である。
１ ウエハ １Ａ 外周 １Ｂ 仮想円 ２ ペレット １０ ペレットボンディング装置 １１ ＸＹテーブル １２ 回転テーブル １３ カメラ １６ ピックアップ装置
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA13 FA05 FA07 FA12 HA53 JA04 JA14 JA15 JA28 JA29 JA37 KA06 KA08 KA11 KA12 MA35 5F047 FA08 FA75
Claims (4)
- 【請求項１】 多数の区画のそれぞれにペレットを有す
るウエハをテーブルに搭載し、光学認識装置により該ウ
エハのペレットをピックアップ進み方向に順に検出し、
検出したペレットをピックアップ装置によりピックアッ
プする、ペレットボンディング装置のペレットピックア
ップ方法において、 ペレットをウエハのある行に沿ってピックアップ進み方
向の一方向に検出していく過程で、光学認識装置がウエ
ハのある区画でペレット無しを検出したときに、光学認
識装置により当該区画と同一の行上で、当該区画に隣接
する区画を含み、且つペレットの上記ピックアップ進み
方向にある複数の区画の画像をまとめて取込み可能な検
出領域内でペレットの有無を検出し、この検出結果がペ
レット無しであれば、その行のピックアップ進み方向に
おけるウエハの端に達したことを認識することを特徴と
するペレットボンディング装置のペレットピックアップ
方法。 - 【請求項２】 前記検出領域が前記ウエハの端を検出し
た行における複数の区画に加え、相並ぶ他の行における
複数の区画もまとめて取込み可能とされ、 前記検出領域内で前記ウエハの端に達したことを認識し
たとき、当該検出領域内で相並ぶ他の行におけるペレッ
トの有無を検出し、該他の行のピックアップ開始区画を
認識する請求項１記載のペレットボンディング装置のペ
レットピックアップ方法。 - 【請求項３】 前記ウエハの外周に応じた仮想円を設定
し、光学認識装置における検出点がこの仮想円を越えた
ことを条件に、前記検出領域を用いた検出を行なう請求
項１又は２記載のペレットボンディング装置のペレット
ピックアップ方法。 - 【請求項４】 前記仮想円の直径をウエハの直径より小
さく設定し、仮想円の外側に少なくとも１個のペレット
を存在せしめる請求項３記載のペレットボンディング装
置のペレットピックアップ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010992A JP3878380B2 (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010992A JP3878380B2 (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001203221A true JP2001203221A (ja) | 2001-07-27 |
| JP3878380B2 JP3878380B2 (ja) | 2007-02-07 |
Family
ID=18538924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000010992A Expired - Fee Related JP3878380B2 (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | ペレットボンディング装置のペレットピックアップ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3878380B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028812A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
-
2000
- 2000-01-19 JP JP2000010992A patent/JP3878380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028812A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| JP4715986B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線透視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3878380B2 (ja) | 2007-02-07 |
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