JP4216515B2 - ダイピックアップ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
このダイピックアップ方法については、特開2001−122213号公報、特開2001−122215号公報、特開2001−122216号公報などに開示されている。この技術によれば、ダイシングされたウエハシート上から良品のダイをピックアップする場合、ピックアップ位置までダイをウエハテーブルで移動させる。その後、ピックアップ位置上方に設置してある認識カメラにより撮像して画像を取り込み、画像認識処理の結果、不良ダイ又はダイ無しと判定された場合は、ウエハテーブルを1ピッチ移動させて、次のダイの画像を取り込んで同様な処理を行い、良品ダイのみピックアップしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような処理をしている場合には、不良ダイが多いウエハシートの場合は、ウエハテーブルを1ピッチ移動させ、画像を取り込み、画像の認識処理を行う動作が多くなり、装置のスループットが低下する。
【0004】
そこで本発明は、ダイピックアップ装置の高速化を図り、スループットの向上を図ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このため第1の発明は、ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハシート上のダイを少なくとも3個以上を同時に撮像する認識カメラと、該認識カメラによる撮像画像に基づき認識処理する認識処理装置と、前記撮像された初めにピックアップすべきチップ部品は位置認識し次以降にピックアップすべき複数のチップ部品は良品か不良品かの検出及び有無検出をするように前記認識処理装置を制御すると共に次にピックアップすべきチップ部品が不良品か無い場合には前記認識カメラにより撮像する際には前記ウエハシートと該認識カメラとの相対的位置の移動を1ピッチ分スキップするように制御する制御装置を設けたことを特徴とする。
【0006】
第2の発明は、ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハシート上のダイを少なくとも3個以上を同時に撮像する認識カメラと、該認識カメラによる撮像画像に基づき認識処理する認識処理装置と、前記撮像された初めにピックアップすべきチップ部品は位置認識し次以降にピックアップすべき複数のチップ部品は良品か不良品かの検出及び有無検出をするように前記認識処理装置を制御すると共に次以降にピックアップすべき複数のチップ部品が連続して不良品か無い場合には前記認識カメラにより撮像する際には前記ウエハシートと該認識カメラとの相対的位置の移動を前記連続したピッチ分スキップするように制御する制御装置を設けたことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が適用されるテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図1のテーピング装置の平面図に基づき、テーピング装置について説明する。1はテーピング装置本体で、この本体1に立設されたピンにテープ供給リール2が回転可能に係止され、当該テープ供給リール2に巻装されたテープ本体(キャリアテープとも称される。)3Aの先端が、当該テープ本体3Aに図示しないプーリにより適度なテンションを与えられ、搬送レール4を介して巻取りリール5に固定されている。
【0008】
そして、駆動モータ5Aによる当該巻取りリール5の回転に合わせて順次テープ本体3Aが所定量搬送されて(巻取りリール5に巻取られて)いく間で、テープ本体3Aの収納溝3B内にチップ部品が挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納溝3B上面の開口部をカバーテープ供給リール(図示せず)から供給されるカバーテープ3Cで被覆した後、前記巻取りリール5に巻取られていく。尚、上述したようにテープ本体3Aと、これに設けられた収納溝3Bと、その上面に圧着されるカバーテープ(トップテープ)3Cとで収納テープ3が形成されるが、前記テープ本体3Aはボトムテープと間隔子とで形成される。
【0009】
そして、部品装填装置10によるテープ本体3Aの収納溝3B内へチップ部品が挿入された後、部品検査機構(図示せず)により部品が検査され、そしてテープ圧着機構(図示せず)によりテープ本体3Aとカバーテープ3Cとが圧着され、巻取りリール5に巻き取られることとなる。
【0010】
次に、前記部品装填装置10について、以下図1及び図2を参照しながら説明する。先ず、駆動モータ11AによりY方向に移動可能なY軸テーブル11の上には駆動モータ12AによりX方向に移動可能なXテーブル12が設けられ、該Xテーブル12の上に枠体13が固定されている。そして、前記枠体13には取付板14が固定されて、該取付板14の中央部にはインデックスユニット15が、また前後部には対向して認識カメラ16及び認識カメラ17が設けられている。
【0011】
また、前記取付板14の下面には駆動モータ15Aにより前記インデックスユニット15を介して間欠回転(90度間隔で)する回転盤20が設けられ、該回転盤20には複数個、例えば90度間隔で4個配設された各装着ヘッド21に吸着装填ノズル22が配設されている。
【0012】
尚、前記吸着装填ノズル22は、上下駆動モータ22Aにより装着ヘッド21と共に上下動可能に構成されると共に、θ回転モータ22Bにより垂直線回りに回転可能である。
【0013】
また、前記Xテーブル12の上には駆動モータ24AによりY方向に移動可能なY軸テーブル24が設けられ、更に該Y軸テーブル24の上には駆動モータ25AによりX方向に移動可能なX軸テーブル25が設けられている。そして、該X軸テーブル25上は取付部材26を介して部品供給テーブル27が設けられ、該供給テーブル27上にはシート28に貼付されたウエハがダイシングされて個々のチップ部品30(ダイ)に分割された状態で固定するもので、この部品は裏面より突き上げピン(図示せず)により突き上げられながら、取出されるものである。
【0014】
図1における認識カメラ17の下方は部品吸着(取出し)ステーションで、この図1の状態、即ち回転盤20の回転中に部品供給テーブル27上の取出すべきチップ部品30A、次に取出すべきチップ部品30B及びその次に取出すべきチップ部品30Cの計3個を含めた少なくとも3個以上のチップ部品30を認識カメラ17で同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで当該チップ部品30Aの位置を認識すると共にチップ部品30B及び30Cについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするように後述するCPU6が制御し、移動してくる吸着装填ノズル22の直下方位置に前記チップ部品30Aが位置するよう前記Yテーブル24及びXテーブル25を移動させ、この部品吸着ステーションで部品供給テーブル27上のチップ部品30Aを下降した前記吸着装填ノズル22が吸着して取出す構成である。
【0015】
尚、前記認識カメラ17の撮像に基づいて認識処理するのはチップ部品30A、30B及び30Cの3個としたが、これに限らず4個や5個でもよい。
【0016】
次にインデックスユニットを介する回転盤20の90度回転に合わせて次のステーションに搬送され、更にその次の部品挿入ステーションに搬送されるが、この搬送中において、認識カメラ16により搬送レール4上のテープ本体3Aの3個の収納溝3Bを撮像する。即ち、最左の収納溝3B内にチップ部品30が挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納溝3B内には挿入されていない(空である)ことの確認及び当該最右の収納溝3Bの位置認識のために3個の収納溝3Bを同時に撮像する。
【0017】
従って、撮像した後に認識処理部16Aにより当該最右の収納溝3Bの位置を認識処理し、その結果に基づいて制御装置であるCPU6が前記Yテーブル11の駆動モータ11A、Xテーブル12の駆動モータ12A及び前記θ回転モータ22Bを補正制御し、真中の収納溝3B内の適正位置に下降する吸着装填ノズル22によりチップ部品30を挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル22に吸着されたチップ部品30を下方で待機している搬送レール4上のテープ本体3Aの収納溝3B内に、回転盤20のXY方向の補正移動及び吸着装填ノズル22のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【0018】
そして、この挿入装填後に、駆動モータ5Aによる当該巻取りリール5の回転に合わせて順次テープ本体3Aが所定量搬送されて(巻取りリール5に巻取られて)いく間に、部品検査機構が前記テープ本体3Aの収納溝3B内に挿入された状態のチップ部品に対して部品検査(例えば、電気特性検査等)を行い、テープ圧着機構でチップ部品30の検査が終了したテープ本体3Aとカバーテープ3Cとを圧着させて、テーピングを完了させるものである。
【0019】
尚、最左の収納溝3B内にチップ部品30が挿入されたか否かの有無確認のため、前記認識カメラ16の撮像に基づく認識処理部16Aの認識処理の結果、挿入されていないと判断された場合には、当該テーピング装置を停止するように前記CPU6が制御する。
【0020】
また、最右の収納溝3B内には既に挿入されていると判断された場合にも、当該テーピング装置を停止するように前記CPU6が制御する。
【0021】
次に、図3に基づきテーピング装置の制御ブロック図について、説明する。6はテーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのCPU、7は記憶装置としてのRAM(ランダム・アクセス・メモリ)、8はROM(リ−ド・オンリー・メモリ)である。そして、CPU6は前記RAM7に記憶されたデータに基づき、前記ROM8に格納されたプログラムに従い、前記テーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作についてインターフェース9を介して各駆動源を統括制御する。
【0022】
以上の構成により、以下チップ部品30の取出し動作について詳述する。先ず、RAM7に格納された認識マークMの位置情報に基づき、CPU6により駆動モータ25A及び24Aを制御してX軸テーブル25及びY軸テーブル24を移動させ、認識カメラ17の下方に部品供給テーブル27に固定されたシート28上の認識マークMをそれぞれ位置させながら撮像し、認識処理部17Aがウエハの位置認識をする。
【0023】
そして、この認識処理の結果をRAM7に格納し、CPU6はこの結果に基づき各チップ部品30のピッチを算出すると共にその算出結果を前記RAM7に格納する。次に、CPU6は前記部品供給テーブル27を1ピッチ分移動させると共に、インデックスユニット15により回転盤20を90度回転させる。
【0024】
そして、前記回転盤20の回転中に部品供給テーブル27上のチップ部品30A、次に取出すべきチップ部品30B及びその次に取出すべきチップ部品30Cの計3個を含めた少なくとも3個以上のチップ部品30を認識カメラ17で同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで当該チップ部品30Aの位置を認識すると共にチップ部品30B及び30Cについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするようにCPU6が制御する。尚、図4に示すように、カメラ視野18内のカメラセンター19に位置する部品が取出すべきチップ部品30Aで、その上方に位置する部品が次に取出すべきチップ部品30Bである。
【0025】
そして、この認識処理部17Aの認識結果が図5に示すケース1〜4に示すように、チップ部品30Aが良品である場合には、移動してくる吸着装填ノズル22の直下方位置にチップ部品30Aが位置するよう前記部品供給テーブル27を補正移動させ、前記吸着装填ノズル22が吸着して取出す。
【0026】
この取出した後に、図5に示すケース1のように、チップ部品30A、30B及び30Cが良品である場合や、ケース2のようにチップ部品30A及び30Bが良品で30Cが不良品か無い場合には次のチップ部品30Bを取出すために前記部品供給テーブル27を1ピッチ分移動動作させると共に、インデックスユニット15により回転盤20を再び90度回転させる。そして、前記回転盤20の回転中に、前記認識カメラ17で取出すべき前記次のチップ部品30B、30C及び30Dを含めて同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで当該チップ部品30Bの位置を認識すると共にチップ部品30C及び30Dについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするようにCPU6が制御する。そして、停止した部品吸着ステーションで前述の如く補正移動した当該次のチップ部品30Bを吸着装填ノズル22で取出す。
【0027】
また、前述の場合、認識処理部17Aによるチップ部品30A、30B及び30Cの認識処理結果が、図5に示すケース3である場合には、即ちチップ部品30Aは良品であるが30Bが不良品か無い場合で且つ30Cが良品である場合には、供給テーブル27を補正移動させて30Aを取出した後に、次の取出しのために30Bをスキップして前記部品供給テーブル27を2ピッチ分移動動作させて、チップ部品30C、30D及び30Eの撮像及び認識処理をするように制御する。これにより、通常の1ピッチ分移動させる場合に比して2ピッチ分移動させるから、その分チップ部品のピックアップの高速化が図られ、スループットの向上を図ることができる。
【0028】
更には、前述の場合、認識処理部17Aによるチップ部品30A、30B及び30Cの認識処理結果が、図5に示すケース4である場合には、即ちチップ部品30Aは良品であるが30B及び30Cが不良品か無い場合には、供給テーブル27を補正移動させて30Aを取出した後に、次の取出しのために30B及び30Cをスキップして前記部品供給テーブル27を3ピッチ分移動動作させて、チップ部品30D、30E及び30Fの撮像及び認識処理をするように制御する。これにより、通常の1ピッチ分移動させる場合に比して3ピッチ分移動させるから、その分チップ部品のピックアップの高速化が図られ、スループットの向上を図ることができる。
【0029】
尚、同様に前述の場合、認識処理部17Aによるチップ部品30A、30B及び30Cの認識処理結果が、図5に示すケース5及び6である場合には、即ちチップ部品30Aは不良品であるが30B及び30Cが良品である場合や、チップ部品30A及び30Cが不良品で30Bが良品である場合には、30Bがカメラセンター19に位置するように1ピッチ分、供給テーブル27を移動させる。そして、チップ部品30B、30C及び30Dの計3個を含めた少なくとも3個以上のチップ部品30を認識カメラ17で同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで当該チップ部品30Bの位置を認識すると共にチップ部品30C及び30Dについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするようにCPU6が制御する。そして、認識処理部17Aによるチップ部品30Bの認識処理結果に基づき供給テーブル27を補正移動させて、30Bを取出した後に、次の取出しのためにケース5の場合であれば前記部品供給テーブル27を1ピッチ分移動動作させ、ケース6の場合であれば30Cをスキップして前記部品供給テーブル27を2ピッチ分移動動作させて、チップ部品30D、30E及び30Fの撮像及び認識処理をするように制御する。
【0030】
同様に前述の場合、認識処理部17Aによるチップ部品30A、30B及び30Cの認識処理結果が、図5に示すケース7である場合には、即ちチップ部品30A及び30Bは不良品であるが30Cが良品である場合には、30Cがカメラセンター19に位置するように2ピッチ分、供給テーブル27を移動させる。そして、チップ部品30C、30D及び30Eの計3個を含めた少なくとも3個以上のチップ部品30を認識カメラ17で同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで当該チップ部品30Cの位置を認識すると共にチップ部品30D及び30Eについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするようにCPU6が制御し、前述したような動作を行う。
【0031】
同様に前述の場合、認識処理部17Aによるチップ部品30A、30B及び30Cの認識処理結果が、図5に示すケース8である場合には、即ちチップ部品30A、30B及び30Cの全てが不良品である場合には、30Dがカメラセンター19に位置するように3ピッチ分、供給テーブル27を移動させる。そして、次の3個を含めた少なくとも3個以上のチップ部品30を認識カメラ17で同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部17Aで認識処理して、前述したような動作を行う。
【0032】
尚、前記部品供給テーブル27を1方向に移動させる際に、シート28に貼付されたチップ部品30が無い場合には前記1方向と直交する隣りのチップ部品30を認識処理するが、それは前記供給テーブル27の位置検出により、又はチップ部品30無しを指定数連続して検出した場合にその列はチップ部品30無しと判断する。
【0033】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【0034】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ダイピックアップ装置の高速化を図り、スループットの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】テーピング装置を示す平面図である。
【図2】テーピング装置を示す左側面図である。
【図3】制御ブロック図である。
【図4】部品供給テーブル上のチップ部品の配置を示す図である。
【図5】3個のチップ部品の認識のケースを示す図である。
【符号の説明】
1 テーピング装置本体
3 収納テープ
3A テープ本体
3B 収納溝
3C カバーテープ
6 CPU
10 部品装填装置
17 認識カメラ
17A 認識処理部
21 装着ヘッド
22 吸着装填ノズル
30 チップ部品
30A 初めに取出すべきチップ部品
30B 次に取出すべきチップ部品
30C 次の次に取出すべきチップ部品
Claims (2)
- ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハシート上のダイを少なくとも3個以上を同時に撮像する認識カメラと、該認識カメラによる撮像画像に基づき認識処理する認識処理装置と、前記撮像された初めにピックアップすべきチップ部品は位置認識し次以降にピックアップすべき複数のチップ部品は良品か不良品かの検出及び有無検出をするように前記認識処理装置を制御すると共に次にピックアップすべきチップ部品が不良品か無い場合には前記認識カメラにより撮像する際には前記ウエハシートと該認識カメラとの相対的位置の移動を1ピッチ分スキップするように制御する制御装置を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
- ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハシート上のダイを少なくとも3個以上を同時に撮像する認識カメラと、該認識カメラによる撮像画像に基づき認識処理する認識処理装置と、前記撮像された初めにピックアップすべきチップ部品は位置認識し次以降にピックアップすべき複数のチップ部品は良品か不良品かの検出及び有無検出をするように前記認識処理装置を制御すると共に次以降にピックアップすべき複数のチップ部品が連続して不良品か無い場合には前記認識カメラにより撮像する際には前記ウエハシートと該認識カメラとの相対的位置の移動を前記連続したピッチ分スキップするように制御する制御装置を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
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