JP4051442B2 - 連続位置決め方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、XYテーブル上に置かれた複数個の対象物体の画像をカメラで取り込んで、画像処理により各対象物体の位置座標を算出し、その位置座標データに基づいてXYテーブルを駆動することにより、対象物体を位置決め位置に順次連続して位置決めする連続位置決め方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程の中に、粘着シート上に配列されたチップを次の工程に送るために、決められた間隔でチップを整列し直す工程がある。この工程では、XYテーブルを動かすことにより、XYテーブル上の粘着シート上のチップを1つずつ位置決め位置に位置決めし、その状態で真空ローダによりチップをピックアップして、別の粘着シート上に配列し直している。
【0003】
図12は前記工程で使用するピックアップ装置の一般構成を示している。
この図において、1はXYテーブルで、1AはX方向にのみ移動するXテーブル、1BはXテーブル1A上においてY方向にのみ移動するYテーブル、3はXYテーブル1上に搭載されたトレイ、4はトレイ3に載せられたシート上の複数のチップ(対象物体)、5はXYテーブル1の上方に固定的に配された画像取込用カメラ、6は画像処理装置、7は制御・処理部である。チップ4をピックアップする真空ローダは、図示しないが、トレイ3とカメラ5との間のスペースに横方向から移動して来て、ピックアップ位置に位置決めされたチップ4をピックアップして、他所へ移動することを繰り返す。
【0004】
この装置では、順次チップ4を真空ローダでピックアップするために、トレイ3上のチップ4の画像をカメラ5で取得し、その画像に基づいて画像処理装置6がチップ4の位置座標を計算処理し、算出した位置座標データに基づいて制御・処理部7がXYテーブル1を駆動制御して、チップ4をピックアップ位置に位置決めしている。
【0005】
ここで位置座標の算出とは、取り込んだ画像内に、前もって画像処理装置内に登録しておいた画像と同等の画像がないかをドット単位(カメラの分解能)で比較し、登録画像と合致する画像があれば、その画像の中心座標を画面内のドット座標で表現するというものである。
【0006】
この連続位置決めによるピックアップの基本は、
(1)カメラ5でトレイ3上のチップ4の画像を取得する工程;
(2)その画像に基づいて各チップ4の位置座標を計算処理する工程;
(3)算出した位置座標データに基づいてXYテーブル1を駆動してチップ4をピックアップ位置に位置決めしピックアップする工程;
よりなる。
【0007】
例えば、N個のチップの画像を一度に取得することができる場合は、
(1)N個のチップの画像を取得する工程;
(2)その画像に基づいて各チップ4の位置座標を計算処理する工程;
を実行した後、
(3)算出した位置座標データに基づいてXYテーブル1を駆動してチップ4を順番にピックアップ位置に位置決めしピックアップする工程;
をN回繰り返し、N回の処理が終了したら(1)に戻る、という流れを繰り返すことで、N個以上のチップの処理を行っている。
【0008】
このように複数のチップ画像を使用する場合は、図13に示すように、第1チップをピックアップ位置(位置決め位置)に位置決めしてピックアップしたら、すぐに位置座標算出済の第2チップを1回の動作でピックアップ位置に位置決めすることができるので、処理時間の短縮が図れる。
【0009】
従って、図14にタイムチャートを示すように、N個のチップ画像を一度に取り込める場合は、画像取り込みにA秒、座標算出にB秒を使用した後は、位置決め駆動(移動+ピックアップ)のC秒をN回繰り返すだけで、N個についての処理を終えることができる。従って、1個当たりのタクトタイムは、
(A+B)/N+C 秒
ということになる。
【0010】
最も基本的な例を図15を用いて説明する。(a)は工程毎のカメラ視野とチップの関係を示す平面図、(b)はタイムチャートである。図(a)において、1〜6の数字を付した小さな四角はチップ、十字マークは位置決め位置(ピックアップ位置)を示し、大きな四角い枠はカメラ視野を示している。ここでは、カメラは、1つの画像にかろうじて6個のチップを捉える視野の広さを持っているものとする。その時点で座標算出が完了しているチップについては網掛けして示してある。
【0011】
工程は次の順番に進める。
(1)画像取り込み(チップ1、2は完全に捉える)
(2)座標算出によりチップ1、2の座標認識
(3)チップ1を位置決めピックアップ
(4)チップ2を位置決めピックアップ
(5)画像取り込み(チップ3、4は完全に捉える)
(6)座標算出によりチップ3、4の座標認識
(7)チップ3を位置決めピックアップ
(8)チップ4を位置決めピックアップ
(9)画像取り込み(チップ5、6は完全に捉える)
(10)座標算出によりチップ5、6の座標認識
以降、これを繰り返す。
【0012】
このように工程を進める場合、(b)のタイムチャートに示すように、画像取り込みに0.05秒、座標算出に0.4秒、位置決め(移動+ピックアップ)に0.4秒かかるとすると、ワーク2個分のタクトタイムは1.25秒になり、1個分のタクトタイムは0.625秒となる。
【0013】
また、このタクトタイムを短縮するために、XYテーブル上に置かれた対象物体の複数個を絶えずカメラで把握し、所定位置に位置決めされた第1の対象物体をピックアップすると同時に、次に該所定位置に位置決めしようとする第2の対象物体の位置を計算処理し、該計算処理に基づいてXYテーブルを1動作で移動し、第2の対象物体を前記所定位置に位置決めするようにした方法も知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0014】
【特許文献1】
特開昭61−11821号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の連続位置決め方法は、図14に示すように、一度にN個のチップを画像処理(画像取込+座標算出)し連続位置決めを行った場合、例えば、画像取込工程をA秒、座標算出工程をB秒、位置決め動作をC秒とし、1度に取り込むチップ数をN個とした場合、画像処理時に必ずA+B秒の待ち時間が発生するため、処理時間が長くなるという問題がある。
【0016】
この待ち時間A+Bは、一度に取り込むチップ数を増やせば、一見その影響を少なくできるようにも思えるが、実際のところ、画像処理装置およびカメラを同一とした条件下では、取込時間A秒は不変であるが、座標算出時間B秒は、取込個数の増加にともなって増加するため、処理時間の短縮には効果が薄い。また、取り込み個数を増やすと、1チップ当たりの画像が小さくなり、位置座標の算出精度が低下するなどの問題も出てくる。そのため、カメラ画像におけるチップの取り込み個数を増やすのは、現実的な対策ではない。
【0017】
この点、特許文献1に示されている方法は、所定位置に位置決めされた第1の対象物体をピックアップすると同時に、次に位置決めしようとする第2の対象物体の位置を計算処理するので、計算処理をピックアップの所要時間内に終えることができれば、計算処理時間を動作時間に含まれないようにすることができ、トータルの処理時間の短縮が可能となる。
【0018】
しかし、ピックアップと位置決めのためのXYテーブルの移動は、必ずしも別時間で処理しなくてはならないものではない。即ち、チップがXYテーブルから持ち上げられた瞬間から僅かの時間経過後すぐに、つまり、チップと真空ローダなどの干渉のおそれがないだけの短い時間が経過した後すぐに、XYテーブルを駆動することは可能であるから、ピックアップ工程の後半動作とXYテーブルの移動は一部並行して同時進行で行うことができるものである。従って、そうすることでトータル処理時間の短縮を図ろうとした場合、ピックアップの所要時間に合わせて次に位置決めしようとするチップの座標計算を行わなくてはならないから、画像取り込みできるチップの個数や画像データの量などによっては、必ずしも合理的な計算ができず、計算時間が足りない場合も出てくる。
【0019】
本発明は、上記事情を考慮し、後段で位置決めしようとする対象物体の位置座標算出の計算時間を十分に合理的な範囲で確保することができ、しかも、その計算時間が動作時間に含まれないようにすることができて、トータルの処理時間の短縮が図れるようにした連続位置決め方法を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、一定の大きさの視野を持ち且つ位置決め位置に対して一定の位置関係を持つカメラにより、XYテーブル上に置かれた複数個の対象物体の画像を取得する画像取得工程と、該画像取得工程で取得した画像を計算処理することにより、各対象物体の位置座標を算出する位置座標算出工程と、該位置座標算出工程で算出した位置座標データに基づいて前記XYテーブルを駆動することにより、対象物体を順次前記位置決め位置に位置決めする位置決め移動工程と、を有し、少なくとも初回より数えて2回目以降の前記画像取得工程を、前回までの画像取得工程で得た画像から算出した位置座標データに基づいて対象物体を前記位置決め位置に位置決め移動した状態で、位置座標算出済の対象物体に隣接する領域にある位置座標算出前の対象物体が前記カメラの視野内に入る所定のタイミングで処理し、その取得画像に基づいて行う前記位置座標算出工程を、該工程で座標算出する対象物体よりも位置決め順位が少なくとも1つ前の対象物体の前記位置決め移動工程と並列に処理することを特徴とする。
【0021】
画像処理によって画像を認識し座標を算出するために必要な処理として、「画像取込」と「座標算出」の2処理があるが、そのうち座標算出については、画像処理装置の内部での計算処理であるため、座標算出を行っている間は、カメラに何が写っていようが計算処理に影響しない。即ち、画像取り込みさえ完了していれば、いつ座標計算を行っても構わず、XYステージを次の目標位置へ駆動してしまっても全く問題はない。そこで、本発明は、画像取込後にすぐに、XYステージを駆動させるための条件を整えることにしている。
【0022】
即ち、今回XYテーブルを駆動して位置決めする対象物体の座標計算を、少なくとも前回の対象物体の位置決め移動の段階かそれ以前に行うことにしている。つまり、対象物体をピックアップしているときに、次に位置決めする対象物体の座標を計算すると、時間的に間に合わない場合もあり得るので、もっと前の時点の適当な段階で画像を取り込んで座標算出を行うようにしている。但し、座標算出は、XYテーブルの移動に関係なく行うことができるので、位置決め移動工程と同時処理することにしている。こうすることで、位置座標算出のために十分の時間を確保することができると共に、位置座標算出の時間を、実動作時間に含まれないようにすることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
本発明の実施形態の連続位置決め方法は、図12に示すような装置において実施され、次の工程を有する。以下の説明文中の符号は、図12に示した装置のものである。
【0024】
(A)一定の大きさの視野を持ち且つ位置決め位置に対して一定の位置関係を持つカメラ5により、XYテーブル1上に置かれた複数個の対象物体(チップ4)の画像を取得する画像取得工程;
(B)画像取得工程で取得した画像を計算処理することにより、各対象物体の位置座標を算出する位置座標算出工程;
(C)位置座標算出工程で算出した位置座標データに基づいてXYテーブル1を駆動することにより、対象物体を順次前記位置決め位置に位置決めする位置決め移動工程:
【0025】
そして、少なくとも初回より数えて2回目以降の画像取得工程を、前回までの画像取得工程で得た画像から算出した位置座標データに基づいて対象物体を位置決め位置に位置決め移動した状態で位置座標算出済の対象物体に隣接する領域にある位置座標算出前の対象物体がカメラ5の視野内に入る所定のタイミングで処理する。また、その取得画像に基づいて行う位置座標算出工程を、該工程で座標算出する対象物体よりも位置決め順位が少なくとも1つ前の対象物体の位置決め移動工程と並列に処理する。
【0026】
図1を用いて例を説明する。
図において、○の中に数字1〜12を付したものは対象物体(チップ)、四角い枠はカメラ視野である。ここでは、カメラ視野は、チップ4個分が入る大きさになっている。十字で示すのは位置決め位置(ピックアップ位置)であり、カメラ画面の左下に設定されている。位置決めの進行方向は右であり、対象物体の数字は位置決めの順位を示している。
【0027】
今、図1は、チップ1〜4に対して画像取込・座標算出を行い、チップ1を位置決めしている状態を示している。このときのカメラ視野は実線で示すものであり、カメラ視野内にチップ1〜4が捕らえられている。
【0028】
この時点で、チップ2の座標は既に算出済みなので、チップ1のピックアップが終了したら、次にチップ2を位置決めする。そうすると、位置決め位置の十字は、相対的に点線位置に移動する。また、カメラ視野は、点線枠で示す位置に移動する。このように、前回までの画像取得工程で得た画像から算出した位置座標データに基づいてチップ2を位置決め位置に位置決め移動した状態で、位置座標算出済の対象物体2、3に隣接する領域にある位置座標算出前の対象物体5、6がカメラ視野内に入る。従って、そのタイミングで画像取込を行う。
【0029】
続いて、画像取込後のチップ5、6の座標算出を行うわけであるが、座標算出は、カメラ視野に現時点で映っている画像とは関係なく進められる処理であり、チップ4については前回の画像処理によって座標算出が完了しているため、チップ5、6の座標算出開始とともに、チップ4への位置決め移動を行う。チップ4へ位置決めしている間に、チップ5、6の座標算出が終了すれば、チップ4への位置決め完了後、待ち時間なしで次のチップ5へ位置決めできる。
【0030】
同様に、次にチップ5を位置決めした時点で、再び画像取得を行い、チップ6へ位置決め移動している間に、次の画像による座標算出を行う。
【0031】
図2は2回目の画像取込以降の流れを示すタイムチャートである。この図に示すように、座標算出時間を位置決め移動時間内にとることができるので、座標算出時間が動作時間に含まれないようにすることができる。
【0032】
図3を用いて基本的な動作例を説明する。(a)は工程毎のカメラ視野とチップの関係を示す平面図、(b)はタイムチャートである。図(a)において、1〜6の数字を付した小さな四角はチップ、十字マークは位置決め位置(ピックアップ位置)を示し、大きな四角い枠はカメラ視野を示している。ここでは、カメラは、1つの画像にかろうじて6個のチップを捉える視野の広さを持っているものとする。その時点で座標算出が完了しているチップについては網掛けして示してある。
【0033】
工程は次の順番に進める。
(1)画像取り込み(チップ1、2は完全に捉える)
(2)座標算出によりチップ1、2の座標認識
(3)チップ2を位置決めピックアップ
(4)画像取り込み(チップ3、4は完全に捉える)
(5)チップ1を位置決めピックアップ同時に座標算出によりチップ3、4の座標認識
(6)チップ4を位置決めピックアップ
(7)画像取り込み(チップ5、6は完全に捉える)
(8)チップ3を位置決めピックアップ同時に座標算出によりチップ5、6の座標認識
(9)チップ6を位置決めピックアップ
以降、これを繰り返す。
【0034】
このように工程を進める場合、(b)のタイムチャートに示すように、画像取り込みに0.05秒、位置決め(移動+ピックアップ)に0.4秒かかるとすると、座標算出は位置決め移動工程で並列処理するので、ワーク2個分のタクトタイムは、画像取り込みの時間0.05秒を含む0.85秒になり、1個分のタクトタイムは、図15に示した従来例より短い0.425秒となる。
【0035】
今までの説明では、位置決め移動(駆動)工程を、大まかに「移動+ピックアップ」の工程としてまとめて扱ってきたが、次に「移動」と「ピックアップ」を分けて捉えてみる。
【0036】
図4はその際のサンプルの説明図である。丸数字は位置決めするチップとその順番を示し、四角枠はカメラ視野を示している。図5は処理の流れを示すタイムチャートである。
【0037】
図5にタイムチャートを示す連続位置決め方法では、最初に、図4に示す位置関係でチップ1、2の画像取り込みを行い、次にそれらの座標算出を行い、次にチップ2の位置決め駆動を行う。その段階で、隣りのチップ3、4の画像取り込みを行った後、チップ2のピックアップを始める。また、それと同時に、チップ3、4の座標算出を並行して行い、チップ2のピックアップ動作の後半から、チップ1の位置決め駆動を並列に行う。次いで、チップ1のピックアップを行い、その動作後半からチップ4の位置決め駆動を並列に行う。
【0038】
次いで、隣りのチップ5、6の画像取り込みを行った後、チップ4のピックアップを始める。また、それと同時に、チップ5、6の座標算出を並行して行い、チップ4のピックアップ動作の後半から、チップ3の位置決め駆動を並列に実施する。次いで、チップ3のピックアップを行い、その動作後半からチップ6の位置決め駆動を並列に行う。
【0039】
次いで、隣りのチップ7、8の画像取り込みを行った後、チップ6のピックアップを始める。また、それと同時に、チップ7、8の座標算出を並行して行い、チップ6のピックアップ動作の後半から、チップ5の位置決め駆動を並列に実施する。次いで、チップ5のピックアップを行い、その動作後半からチップ8の位置決め駆動を並列に行う。
【0040】
以降、この動作を順次進行方向のチップに対して繰り返すことで、全部の処理を終える。
【0041】
このように、実際にピックアップ動作の途中で次の位置決め移動を行う場合にも、それより前の段階で、次に位置決めするチップの位置座標を算出しておくので、計算時間が不足するような心配が全くない。例えば、ピックアップと同時に後のチップの座標算出を行うが、座標算出時間がピックアップにかかる所要時間を超えても、その後に続く位置決め移動時間を座標算出時間に利用することができるので、計算時間を十分にとることができる。
【0042】
図6は実施形態の連続位置決め方法の動作フローチャートを示している。
連続位置決め動作開始後の1回目の処理では、複数個のチップの画像取込及び座標算出を行い(ステップ101〜103)、制御・処理部から駆動部へ1つ目のワーク(対象物体=ここではチップ)の位置データ送り、XYテーブルを駆動してワークを位置決めする(ステップS104、105)。そして、次のワークの位置決めデータを準備する(ステップ106)。
【0043】
次に、2つ目のワークの処理では、ステップ101からステップ108に進んで、既に座標算出がなされている場合は、同様に駆動部へデータを送り、位置決めする。位置決め後の位置が、画像取込位置であれば画像を取り込む(ステップ109、110)。次いで、画像取り込み後、ステップ111で座標算出処理を行うと同時に、ステップ106に進んで、次ワークの位置決めデータを制御・処理部で準備する。なお、ここで次ワークの座標が未算出であれば、算出待ちとなる。
【0044】
次にもっとチップの数が多い場合の処理について説明する。
図7の四角枠はカメラ視野である。今、カメラ視野abcdに20個のチップが映っているとする。丸数字1〜20はチップを示し、中央下の十字マークは位置決め位置を示す。カメラ視野を、線分ef、ghで縦に、ijで横に区切り、efとij、また、ghとijとの交点をそれぞれk、lとする。
【0045】
まず、チップ1へ位置決めし、チップ1の位置で画像取込・座標算出を行い、カメラ視野内に捉えた20個のチップ座標を算出する。左右どちらから進めてもよいが、例えば右方向のチップから連続位置決めするためには、視野kjcfに注目し、すぐとなりのチップ2を位置決めし、続いてチップ3を位置決めする。図8はその状態を示す。
【0046】
この位置で、カメラ視野内に隣接領域のチップが所定個数入るため、ここで画像を取り込みを行い、ghラインより右の視野内のチップについて座標算出を行っている間に、チップ4、5、6と順次位置決めする。チップ6の位置決めを行った時点で、チップ3の右隣りのチップ(図8には記載がない)の座標算出を完了するには十分な時間が経っているので、そのままチップ3の右隣りのチップを位置決めする。同様に右方向にチップがなくなるまで続ける。
【0047】
右方向のチップの位置決めが終了したら、次は図9に示すようにチップ7を位置決めする。これを次の段へ移ったとする。実際はチップ1〜6及びその右側のチップ列の位置決めを行いながら、画像取込時の画面ebjk内のチップ座標をすべて記憶しておき、次の段の位置決めは、この記憶しておいた座標を用いて進める。即ち、次の段の座標情報を記憶しながら位置決めしていくのである。視野内のチップ7〜12の位置決めが終了すれば、同様に右方向のチップ列を位置決めしていく。これを繰り返し、上方向のチップ列がなくなるまで位置決めを続ける。右方向と上方向のチップ列の位置決め終了後、図10に示すようにチップ13を位置決めする。後は、右方向を位置決めした方法と同様に、左方向も処理する。以上で、シート内の全チップを連続位置決めすることができる。
【0048】
以上のように、縦横に多数のチップが配列されている場合は、チップ座標を次々に認識しながら位置決めを進めていくため、チップの配列傾向を常時確認しながら連続位置決めを行うことができる。例えば、図11(a)に示すように直線的に配列されている場合ばかりでなく、(b)に示すように、列ずれを起こしながらチップが配列されている場合もある。そのような場合、従来では、列ずれによるチップの取り残しが起こることがあったが、本実施形態の方法では、次々に隣接するチップの画像を前のチップの画像と共に取り込むので、配列傾向を認識することができ、列ずれによる取り残しを防止することができる。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、座標算出を位置決め移動時間内に行うようにしているので、対象物体何個かについて1回だけ僅かな画像取込時間がかかるものの、座標算出時間は全く動作時間に含まれなくなり、処理時間の短縮が可能となる。また、後段で位置決めする対象物体の座標算出を、余裕をもったこれより前の対象物体の位置決め移動の段階で行うので、位置座標算出のために十分の時間を確保することができ、カメラの1画像内に多数の対象物体を捉える場合にも、確実な連続位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の説明に使用するチップとカメラ視野の関係を示す平面図である。
【図2】同実施形態の処理の流れを示すタイムチャートである。
【図3】同実施形態による位置決め工程の説明図で、(a)はチップとカメラ視野の関係を工程ごとに示す平面図、(b)はそのタイムチャートである。
【図4】別のサンプルに対して前記実施形態の方法を実施する場合のサンプルとカメラ視野の関係を示す図である。
【図5】同サンプルに対して前記実施形態の方法を実施した場合の処理の流れを示すタイムチャートである。
【図6】前記実施形態の処理の流れを示すフローチャートである。
【図7】前記実施形態を他のサンプルに適用した場合の工程図である。
【図8】図7の次の段階の工程図である。
【図9】図8の次の段階の工程図である。
【図10】図9の次の段階の工程図である。
【図11】多数のチップの配列形態の各例(a)、(b)を示す図である。
【図12】連続位置決めを行う装置の一般的構成を示す斜視図である。
【図13】従来の基本的な位置決め方法の説明に使用する、チップとカメラ視野の関係を示す平面図である。
【図14】従来の位置決め方法の処理の流れを示すタイムチャートである。
【図15】従来の位置決め方法の工程説明図で、(a)はチップとカメラ視野の関係を工程ごとに示す平面図、(b)はそのタイムチャートである。
【符号の説明】
1 XYテーブル
4 チップ
5 カメラ
6 画像処理装置
Claims (1)
- 一定の大きさの視野を持ち且つ位置決め位置に対して一定の位置関係を持つカメラにより、XYテーブル上に置かれた複数個の対象物体の画像を取得する画像取得工程と、該画像取得工程で取得した画像を計算処理することにより、各対象物体の位置座標を算出する位置座標算出工程と、該位置座標算出工程で算出した位置座標データに基づいて前記XYテーブルを駆動することにより、対象物体を順次前記位置決め位置に位置決めする位置決め移動工程と、を有し、
少なくとも初回より数えて2回目以降の前記画像取得工程を、前回までの画像取得工程で得た画像から算出した位置座標データに基づいて対象物体を前記位置決め位置に位置決め移動した状態で、位置座標算出済の対象物体に隣接する領域にある位置座標算出前の対象物体が前記カメラの視野内に入る所定のタイミングで処理し、その取得画像に基づいて行う前記位置座標算出工程を、該工程で座標算出する対象物体よりも位置決め順位が少なくとも1つ前の対象物体の前記位置決め移動工程と並列に処理することを特徴とする連続位置決め方法。
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