JPH06275665A - ダイボンダ及びその駆動制御方法 - Google Patents
ダイボンダ及びその駆動制御方法Info
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- JPH06275665A JPH06275665A JP6497593A JP6497593A JPH06275665A JP H06275665 A JPH06275665 A JP H06275665A JP 6497593 A JP6497593 A JP 6497593A JP 6497593 A JP6497593 A JP 6497593A JP H06275665 A JPH06275665 A JP H06275665A
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- collet
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- semiconductor pellet
- semiconductor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のペレットを連続して良否選別を行って
マウントするダイボンダのロスタイムを削減して高速化
を実現させる。 【構成】 伸縮性シート（2）上の複数の半導体ペレッ
ト（1）を順次に認識ポジションＰaに送り、画像認識装
置（5）で良否判定の検査を開始させると共に、認識ポ
ジションＰaの半導体ペレット（1）を連続動作するコレ
ット（6）で取出す。コレットがマウントポジションＰb
まで移動する間に、画像認識装置（5）で複数の検査項
目の検査を終了させ、その検査結果が良品であれば、コ
レット（6）で半導体ペレット（1）をマウントポジショ
ンＰbのリードフレーム（7）にマウントし、検査結果が
不良品であれば、コレット（6）がマウントポジション
Ｐbに移動するまでに、コレット（6）から半導体ペレッ
ト（1）を離脱させて不良品回収装置（8）に供給する。
マウントするダイボンダのロスタイムを削減して高速化
を実現させる。 【構成】 伸縮性シート（2）上の複数の半導体ペレッ
ト（1）を順次に認識ポジションＰaに送り、画像認識装
置（5）で良否判定の検査を開始させると共に、認識ポ
ジションＰaの半導体ペレット（1）を連続動作するコレ
ット（6）で取出す。コレットがマウントポジションＰb
まで移動する間に、画像認識装置（5）で複数の検査項
目の検査を終了させ、その検査結果が良品であれば、コ
レット（6）で半導体ペレット（1）をマウントポジショ
ンＰbのリードフレーム（7）にマウントし、検査結果が
不良品であれば、コレット（6）がマウントポジション
Ｐbに移動するまでに、コレット（6）から半導体ペレッ
ト（1）を離脱させて不良品回収装置（8）に供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハから分
割された半導体ペレットの良否選別を行って、良品だけ
を１個ずつリードフレーム等にマウントするダイボンダ
に関する。
割された半導体ペレットの良否選別を行って、良品だけ
を１個ずつリードフレーム等にマウントするダイボンダ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に示される従来のダイボンダの概略
を説明すると、定位置の認識ポジションＰaの半導体ペ
レット（1）は、その形状等の良否が画像認識装置（5）
で判定され、良品と判定されるとコレット（6）で認識
ポジションＰaから取出されて、一定距離離れたマウン
トポジションＰbまで移送され、マウントポジションＰb
の例えばリードフレーム（7）にマウントされる。
を説明すると、定位置の認識ポジションＰaの半導体ペ
レット（1）は、その形状等の良否が画像認識装置（5）
で判定され、良品と判定されるとコレット（6）で認識
ポジションＰaから取出されて、一定距離離れたマウン
トポジションＰbまで移送され、マウントポジションＰb
の例えばリードフレーム（7）にマウントされる。
【０００３】半導体ペレット（1）は、伸縮性シート
（2）上に貼着された１枚の半導体ウェーハ〔図示せ
ず〕をブレーキングして個々に分割されたもので、半導
体ウェーハのときに特性検査され、特性不良品だけが上
面に不良マークがマーキングされる。半導体ウェーハを
個々の半導体ペレット（1）に分割した後、シート（2）
が放射状に伸ばされて、個々の半導体ペレット（1）の
間隔が拡げられ、この状態が保持される。シート（2）
の間欠移動で半導体ペレット（1）が１個ずつ認識ポジ
ションＰaに順に送られる。
（2）上に貼着された１枚の半導体ウェーハ〔図示せ
ず〕をブレーキングして個々に分割されたもので、半導
体ウェーハのときに特性検査され、特性不良品だけが上
面に不良マークがマーキングされる。半導体ウェーハを
個々の半導体ペレット（1）に分割した後、シート（2）
が放射状に伸ばされて、個々の半導体ペレット（1）の
間隔が拡げられ、この状態が保持される。シート（2）
の間欠移動で半導体ペレット（1）が１個ずつ認識ポジ
ションＰaに順に送られる。
【０００４】認識ポジションＰaの上方に画像認識装置
（5）のカメラ（4）が配置される。認識ポジションＰa
に１個の半導体ペレット（1）が送られてくると、この
半導体ペレット（1）をカメラ（4）が撮像し、その画像
を画像認識装置（5）が処理して半導体ペレット（1）の
良否判定を行う。この良否判定は、半導体ペレット
（1）の特性不良品、傷や欠けの発生による不良品、シ
ート（2）上で異常に位置ずれしたマウント不適当品な
どの検知を基準に行われる。したがって、画像認識装置
（5）は、半導体ペレット（1）の画像から不良マークの
有無検査、表面傷の有無検査、欠けの有無検査、位置ず
れ量検査などの複数項目の検査を順に行い、全項目の検
査終了時点で良否判定信号を出力する。
（5）のカメラ（4）が配置される。認識ポジションＰa
に１個の半導体ペレット（1）が送られてくると、この
半導体ペレット（1）をカメラ（4）が撮像し、その画像
を画像認識装置（5）が処理して半導体ペレット（1）の
良否判定を行う。この良否判定は、半導体ペレット
（1）の特性不良品、傷や欠けの発生による不良品、シ
ート（2）上で異常に位置ずれしたマウント不適当品な
どの検知を基準に行われる。したがって、画像認識装置
（5）は、半導体ペレット（1）の画像から不良マークの
有無検査、表面傷の有無検査、欠けの有無検査、位置ず
れ量検査などの複数項目の検査を順に行い、全項目の検
査終了時点で良否判定信号を出力する。
【０００５】画像認識装置（5）が良品判定信号を出力
すると、認識ポジションＰaの下方に配置された突上ピ
ン（3）が認識ポジションＰaの半導体ペレット（1）を
シート（2）から突き上げ、この半導体ペレット（1）を
認識ポジションＰaに移動したコレット（6）が真空吸着
してシート（2）から取出す。コレット（6）はシート
（2）から取出した半導体ペレット（1）を吸着したまま
認識ポジションＰaからマウントポジションＰbまで移動
して、半導体ペレット（1）をリードフレーム（7）にマ
ウントする。この後、コレット（6）はマウントポジシ
ョンＰbから認識ポジションＰaに戻る。
すると、認識ポジションＰaの下方に配置された突上ピ
ン（3）が認識ポジションＰaの半導体ペレット（1）を
シート（2）から突き上げ、この半導体ペレット（1）を
認識ポジションＰaに移動したコレット（6）が真空吸着
してシート（2）から取出す。コレット（6）はシート
（2）から取出した半導体ペレット（1）を吸着したまま
認識ポジションＰaからマウントポジションＰbまで移動
して、半導体ペレット（1）をリードフレーム（7）にマ
ウントする。この後、コレット（6）はマウントポジシ
ョンＰbから認識ポジションＰaに戻る。
【０００６】コレット（6）が認識ポジションＰaとマウ
ントポジションＰbの間を往復する間に、認識ポジショ
ンＰaに次の半導体ペレット（1）が送られ、画像認識装
置（5）で良否判定が行われる。認識ポジションＰaの半
導体ペレット（1）が良品と判定されると、これを認識
ポジションＰaに戻ったコレット（6）が取出す。この間
にリードフレーム（7）が１ピッチ送りされて、次の被
半導体ペレットマウント箇所がマウントポジションＰb
に移動する。
ントポジションＰbの間を往復する間に、認識ポジショ
ンＰaに次の半導体ペレット（1）が送られ、画像認識装
置（5）で良否判定が行われる。認識ポジションＰaの半
導体ペレット（1）が良品と判定されると、これを認識
ポジションＰaに戻ったコレット（6）が取出す。この間
にリードフレーム（7）が１ピッチ送りされて、次の被
半導体ペレットマウント箇所がマウントポジションＰb
に移動する。
【０００７】また、画像認識装置（5）が認識ポジショ
ンＰaの半導体ペレット（1）が不良品である判定信号を
出力すると、認識ポジションＰaでコレット（6）と突上
ピン（3）が動作せずに待機する。そして、認識ポジシ
ョンＰaに次の半導体ペレット（1）が送られ、画像認識
装置（5）で良否判定の動作が行われて、良品と判定さ
れると待機していたコレット（6）と突上ピン（3）が取
出し動作を開始する。画像認識装置（5）が不良品判定
信号を続けて出力すると、その間、認識ポジションＰa
にコレット（6）が待機したままとなる。
ンＰaの半導体ペレット（1）が不良品である判定信号を
出力すると、認識ポジションＰaでコレット（6）と突上
ピン（3）が動作せずに待機する。そして、認識ポジシ
ョンＰaに次の半導体ペレット（1）が送られ、画像認識
装置（5）で良否判定の動作が行われて、良品と判定さ
れると待機していたコレット（6）と突上ピン（3）が取
出し動作を開始する。画像認識装置（5）が不良品判定
信号を続けて出力すると、その間、認識ポジションＰa
にコレット（6）が待機したままとなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】認識ポジションＰaに
順次送られる半導体ペレット（1）が良品ばかりである
と、コレット（6）が認識ポジションＰaで待機すること
が無く、コレット（6）は認識ポジションＰaとマウント
ポジションＰbの間を連続して往復移動して、良品半導
体ペレット（1）をリードフレーム（7）に高速でマウン
トする。しかし、認識ポジションＰaに送られる半導体
ペレット（1）が不良品であると、認識ポジションＰaで
コレット（6）を少なくとも１個の半導体ペレット（1）
が画像認識されて良否判定されるまで待機させておく必
要があり、この待機時間が一連のマウント動作のロスタ
イムとなって、ダイボンダの高速化を難しくしていた。
順次送られる半導体ペレット（1）が良品ばかりである
と、コレット（6）が認識ポジションＰaで待機すること
が無く、コレット（6）は認識ポジションＰaとマウント
ポジションＰbの間を連続して往復移動して、良品半導
体ペレット（1）をリードフレーム（7）に高速でマウン
トする。しかし、認識ポジションＰaに送られる半導体
ペレット（1）が不良品であると、認識ポジションＰaで
コレット（6）を少なくとも１個の半導体ペレット（1）
が画像認識されて良否判定されるまで待機させておく必
要があり、この待機時間が一連のマウント動作のロスタ
イムとなって、ダイボンダの高速化を難しくしていた。
【０００９】それ故に、本発明の目的とするところは、
認識ポジションとマウントポジションの間を往復移動す
るコレットで、認識ポジションからペレットを取出して
マウントポジションに供給するダイボンダの高速化を実
現することにある。
認識ポジションとマウントポジションの間を往復移動す
るコレットで、認識ポジションからペレットを取出して
マウントポジションに供給するダイボンダの高速化を実
現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、所定の認
識ポジションの半導体ペレットを撮像し、その画像処理
から半導体ペレット良否判定のための複数の検査項目を
順に検査して良否判定信号を出力する画像認識装置と、
認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、認識ポジションから半導体ペ
レットを取出し、この取出した半導体ペレットを画像認
識装置の良品判定信号でマウントポジジョンに供給する
コレットを備えたダイボンダの駆動制御において、画像
認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数の検
査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジション
の半導体ペレットをコレットで取出し、このコレットが
マウントポジションに移動する間に画像認識装置で複数
全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置の良
否判定信号が良品判定信号のときに、コレットで半導体
ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判定
信号のときにはコレットが認識ポジションとマウントポ
ジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペレ
ットを離脱させることを特徴とする。
識ポジションの半導体ペレットを撮像し、その画像処理
から半導体ペレット良否判定のための複数の検査項目を
順に検査して良否判定信号を出力する画像認識装置と、
認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、認識ポジションから半導体ペ
レットを取出し、この取出した半導体ペレットを画像認
識装置の良品判定信号でマウントポジジョンに供給する
コレットを備えたダイボンダの駆動制御において、画像
認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数の検
査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジション
の半導体ペレットをコレットで取出し、このコレットが
マウントポジションに移動する間に画像認識装置で複数
全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置の良
否判定信号が良品判定信号のときに、コレットで半導体
ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判定
信号のときにはコレットが認識ポジションとマウントポ
ジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペレ
ットを離脱させることを特徴とする。
【００１１】また、本発明装置は、所定の認識ポジショ
ンの半導体ペレットを撮像し、その画像処理から半導体
ペレット良否判定のための複数の検査項目を順に検査し
て良否判定信号を出力する画像認識装置と、認識ポジシ
ョンと所定距離離れたマウントポジションの間で連続し
て往復移動し、画像認識装置が良否判定信号を出力する
前に認識ポジションから半導体ペレットを取出し、この
取出した半導体ペレットが画像認識装置で良品と判定さ
れたときだけマウントポジジョンに供給するコレット
と、認識ポジションとマウントポジションの間に配置さ
れ、コレットで認識ポジションから取出されて画像認識
装置で不良品と判定された半導体ペレットをコレットか
ら離脱させて回収する不良品回収装置とを具備したこと
を特徴とする。
ンの半導体ペレットを撮像し、その画像処理から半導体
ペレット良否判定のための複数の検査項目を順に検査し
て良否判定信号を出力する画像認識装置と、認識ポジシ
ョンと所定距離離れたマウントポジションの間で連続し
て往復移動し、画像認識装置が良否判定信号を出力する
前に認識ポジションから半導体ペレットを取出し、この
取出した半導体ペレットが画像認識装置で良品と判定さ
れたときだけマウントポジジョンに供給するコレット
と、認識ポジションとマウントポジションの間に配置さ
れ、コレットで認識ポジションから取出されて画像認識
装置で不良品と判定された半導体ペレットをコレットか
ら離脱させて回収する不良品回収装置とを具備したこと
を特徴とする。
【００１２】
【作用】画像認識装置が認識ポジションのペレットの画
像処理を開始して良否判定信号を出するまでに、認識ポ
ジションのペレットをコレットで取出し、取出したペレ
ットが良品の場合にコレットでマウントポジションに供
給し、不良品の場合にはコレットでマウントポジション
に供給せずに、認識ポジションとマウントポジションの
間でコレットから離脱させ排除するようにすると、コレ
ットは認識ポジションのペレットの良否に関係無く認識
ポジションとマウントポジションの間を連続移動して、
認識ポジションで待機させるといったロスタイムが無く
なる。
像処理を開始して良否判定信号を出するまでに、認識ポ
ジションのペレットをコレットで取出し、取出したペレ
ットが良品の場合にコレットでマウントポジションに供
給し、不良品の場合にはコレットでマウントポジション
に供給せずに、認識ポジションとマウントポジションの
間でコレットから離脱させ排除するようにすると、コレ
ットは認識ポジションのペレットの良否に関係無く認識
ポジションとマウントポジションの間を連続移動して、
認識ポジションで待機させるといったロスタイムが無く
なる。
【００１３】
【実施例】以下、実施例について図１及び図２を参照し
て説明する。尚、図１のダイボンダにおける図３のダイ
ボンダと同一又は相当部分には同一符号を付す。
て説明する。尚、図１のダイボンダにおける図３のダイ
ボンダと同一又は相当部分には同一符号を付す。
【００１４】図１のダイボンダは、認識ポジションＰa
とマウントポジションＰbの間に不良品回収装置（8）を
追加設置している。不良品回収装置（8）は、コレット
（6）の移動経路の真下に配置され、コレット（6）で吸
着された半導体ペレット（1）が不良品の場合に、この
不良半導体ペレット（1）を回収する。
とマウントポジションＰbの間に不良品回収装置（8）を
追加設置している。不良品回収装置（8）は、コレット
（6）の移動経路の真下に配置され、コレット（6）で吸
着された半導体ペレット（1）が不良品の場合に、この
不良半導体ペレット（1）を回収する。
【００１５】図２は、図１のダイボンダの画像認識装置
（5）の検査順序とコレット（6）の動作のタイムチャー
トを示す。本発明においては、コレット（6）を認識ポ
ジションＰaとマウントポジションＰbの間で連続して往
復移動させ、認識ポジションＰaに戻ると認識ポジショ
ンＰaの半導体ペレット（1）をその良否に関係無く取出
すこと、コレット（6）が認識ポジションＰaからマウン
トポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）で良
否判定結果を出して、コレット（6）のマウント動作、
不良品回収動作を制御することを特徴とする。
（5）の検査順序とコレット（6）の動作のタイムチャー
トを示す。本発明においては、コレット（6）を認識ポ
ジションＰaとマウントポジションＰbの間で連続して往
復移動させ、認識ポジションＰaに戻ると認識ポジショ
ンＰaの半導体ペレット（1）をその良否に関係無く取出
すこと、コレット（6）が認識ポジションＰaからマウン
トポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）で良
否判定結果を出して、コレット（6）のマウント動作、
不良品回収動作を制御することを特徴とする。
【００１６】図２に基づきコレット（6）の動作を説明
する。認識ポジションＰaに１個の半導体ペレット（1）
が送られると、この半導体ペレット（1）をカメラ（4）
が撮像し、その画像を画像認識装置（5）が処理して、
複数の検査項目の検査を開始する。画像認識装置（5）
の複数の検査項目は、例えば不良マークの有無検査、表
面傷の有無検査、コーナ欠けの有無検査などで、これら
複数の検査項目の検査は、不良品と判定される確率の高
い項目順に開始される。画像認識装置（5）が複数の検
査項目の検査を開始する前後のタイミングで、認識ポジ
ションＰaにコレット（6）が戻る。
する。認識ポジションＰaに１個の半導体ペレット（1）
が送られると、この半導体ペレット（1）をカメラ（4）
が撮像し、その画像を画像認識装置（5）が処理して、
複数の検査項目の検査を開始する。画像認識装置（5）
の複数の検査項目は、例えば不良マークの有無検査、表
面傷の有無検査、コーナ欠けの有無検査などで、これら
複数の検査項目の検査は、不良品と判定される確率の高
い項目順に開始される。画像認識装置（5）が複数の検
査項目の検査を開始する前後のタイミングで、認識ポジ
ションＰaにコレット（6）が戻る。
【００１７】例えば、画像認識装置（5）が初めの検査
項目の不良マークの有無検査を行った時点で、認識ポジ
ションＰaにコレット（6）が戻るとすると、認識ポジシ
ョンＰaに戻ったコレット（6）を待機させること無くコ
レット（6）で認識ポジションＰaの良否検査途中の半導
体ペレット（1）を取出す〔図２のピックアップＡ〕。
コレット（6）は連続動作して認識ポジションＰaからマ
ウントポジションＰbへと移動し、この移動の間に画像
認識装置（5）は、全ての検査項目の検査を終了して、
良品判定信号ＯＫ又は不良品判定信号ＮＧを出力する。
項目の不良マークの有無検査を行った時点で、認識ポジ
ションＰaにコレット（6）が戻るとすると、認識ポジシ
ョンＰaに戻ったコレット（6）を待機させること無くコ
レット（6）で認識ポジションＰaの良否検査途中の半導
体ペレット（1）を取出す〔図２のピックアップＡ〕。
コレット（6）は連続動作して認識ポジションＰaからマ
ウントポジションＰbへと移動し、この移動の間に画像
認識装置（5）は、全ての検査項目の検査を終了して、
良品判定信号ＯＫ又は不良品判定信号ＮＧを出力する。
【００１８】コレット（6）が認識ポジションＰaからマ
ウントポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）
が良品判定信号ＯＫを出力すると、この良品判定信号Ｏ
Ｋに基づいてコレット（6）はマウントポジションＰbま
で移動し、吸着した半導体ペレット（1）をリードフレ
ーム（7）にマウントする〔図２のマウントＡ〕。コレ
ット（6）は連続動作をして、マウントポジションＰbか
ら認識ポジションＰaに戻る。この間にリードフレーム
（7）が１ピッチ送りされる。
ウントポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）
が良品判定信号ＯＫを出力すると、この良品判定信号Ｏ
Ｋに基づいてコレット（6）はマウントポジションＰbま
で移動し、吸着した半導体ペレット（1）をリードフレ
ーム（7）にマウントする〔図２のマウントＡ〕。コレ
ット（6）は連続動作をして、マウントポジションＰbか
ら認識ポジションＰaに戻る。この間にリードフレーム
（7）が１ピッチ送りされる。
【００１９】認識ポジションＰaにコレット（6）が戻る
前に、認識ポジションＰaに次の半導体ペレット（1）が
送られ、その画像認識が開始される。そして、画像認識
装置（5）が最初の検査項目の検査をした時点で、認識
ポジションＰaに戻ったコレット（6）が半導体ペレット
（1）を取出す〔図２のピックアップＢ〕。コレット
（6）が認識ポジションＰaからマウントポジションＰb
に移動する間に画像認識装置（5）の検査が進行し、画
像認識装置（5）が良品判定信号ＯＫを出力すると、コ
レット（6）は上記同様のマウント動作をする。
前に、認識ポジションＰaに次の半導体ペレット（1）が
送られ、その画像認識が開始される。そして、画像認識
装置（5）が最初の検査項目の検査をした時点で、認識
ポジションＰaに戻ったコレット（6）が半導体ペレット
（1）を取出す〔図２のピックアップＢ〕。コレット
（6）が認識ポジションＰaからマウントポジションＰb
に移動する間に画像認識装置（5）の検査が進行し、画
像認識装置（5）が良品判定信号ＯＫを出力すると、コ
レット（6）は上記同様のマウント動作をする。
【００２０】コレット（6）が認識ポジションＰaからマ
ウントポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）
が不良品判定信号ＮＧを出力すると、この不良品判定信
号ＮＧに基づいてコレット（6）は、マウントポジショ
ンＰbの手前の不良品回収装置（8）の在る不良品回収ポ
ジションＰcを移動するときに半導体ペレット（1）の吸
着を中断して、半導体ペレット（1）を不良品回収装置
（8）に落下させる〔図２の排除Ａ〕。コレット（6）は
半導体ペレット（1）を排除しながら不良品回収ポジシ
ョンＰcを通過してマウントポジションＰbまで移動し、
マウントポジションＰbから認識ポジションＰaに戻る。
このときはリードフレーム（7）の１ピッチ送りは実行
されない。
ウントポジションＰbに移動する間に画像認識装置（5）
が不良品判定信号ＮＧを出力すると、この不良品判定信
号ＮＧに基づいてコレット（6）は、マウントポジショ
ンＰbの手前の不良品回収装置（8）の在る不良品回収ポ
ジションＰcを移動するときに半導体ペレット（1）の吸
着を中断して、半導体ペレット（1）を不良品回収装置
（8）に落下させる〔図２の排除Ａ〕。コレット（6）は
半導体ペレット（1）を排除しながら不良品回収ポジシ
ョンＰcを通過してマウントポジションＰbまで移動し、
マウントポジションＰbから認識ポジションＰaに戻る。
このときはリードフレーム（7）の１ピッチ送りは実行
されない。
【００２１】コレット（6）は以上の動作を繰り返し
て、認識ポジションＰaの半導体ペレット（1）が良品の
場合にこれをマウントポジションＰbに供給し、不良品
の場合に不良品回収装置（8）に供給する。半導体ペレ
ット（1）が良品の場合と不良品の場合のコレット（6）
の認識ポジションＰaとマウントポジションＰbの間の往
復移動は、同一速度パターンで行われる。つまり、コレ
ット（6）は、認識ポジションＰaの半導体ペレット
（1）が不良品であっても、認識ポジションＰaで待機す
ることなく半導体ペレット（1）を取出す連続動作をす
る。
て、認識ポジションＰaの半導体ペレット（1）が良品の
場合にこれをマウントポジションＰbに供給し、不良品
の場合に不良品回収装置（8）に供給する。半導体ペレ
ット（1）が良品の場合と不良品の場合のコレット（6）
の認識ポジションＰaとマウントポジションＰbの間の往
復移動は、同一速度パターンで行われる。つまり、コレ
ット（6）は、認識ポジションＰaの半導体ペレット
（1）が不良品であっても、認識ポジションＰaで待機す
ることなく半導体ペレット（1）を取出す連続動作をす
る。
【００２２】認識ポジションＰaでコレット（6）が半導
体ペレット（1）を取出すタイミングは、画像認識装置
（5）が最初の検査項目の検査を終了した時点に限ら
ず、図２の二点鎖線に示されるように最初の検査項目の
検査前の時点にしてもよく、このことは検査項目の内容
及び数に応じる。また、画像認識装置（5）の検査項目
数が多くて、コレット（6）が不良品回収ポジションＰc
からマウントポジションＰbに達する間に検査結果が出
るような場合は、コレット（6）がマウントポジション
Ｐbから認識ポジションＰaに戻る途中の不良品回収ポジ
ションＰcで不良品半導体ペレット（1）をコレット
（6）から離脱させ、不良品回収装置（8）に回収させる
ようにすればよい。
体ペレット（1）を取出すタイミングは、画像認識装置
（5）が最初の検査項目の検査を終了した時点に限ら
ず、図２の二点鎖線に示されるように最初の検査項目の
検査前の時点にしてもよく、このことは検査項目の内容
及び数に応じる。また、画像認識装置（5）の検査項目
数が多くて、コレット（6）が不良品回収ポジションＰc
からマウントポジションＰbに達する間に検査結果が出
るような場合は、コレット（6）がマウントポジション
Ｐbから認識ポジションＰaに戻る途中の不良品回収ポジ
ションＰcで不良品半導体ペレット（1）をコレット
（6）から離脱させ、不良品回収装置（8）に回収させる
ようにすればよい。
【００２３】不良品回収装置（8）は、コレット（6）か
ら半導体ペレット（1）を積極的に回収する真空吸引ノ
ズル構造のものが、ペレット回収動作が確実となって望
ましい。この場合、コレット（6）が不良品回収ポジシ
ョンＰcを移動する間、真空吸引を止め、代わりにエア
ブローさせて半導体ペレット（1）を積極的に離脱さ
せ、この離脱して落下する半導体ペレット（1）を不良
品回収装置（8）で真空吸引すればよい。
ら半導体ペレット（1）を積極的に回収する真空吸引ノ
ズル構造のものが、ペレット回収動作が確実となって望
ましい。この場合、コレット（6）が不良品回収ポジシ
ョンＰcを移動する間、真空吸引を止め、代わりにエア
ブローさせて半導体ペレット（1）を積極的に離脱さ
せ、この離脱して落下する半導体ペレット（1）を不良
品回収装置（8）で真空吸引すればよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、認識ポジションの半導
体ペレットは、画像認識装置で良否検査される途中で、
その良否に関係無く連続動作するコレットで認識ポジシ
ョンから取出され、コレットがマウントポジションに移
動する間に画像認識装置が良否を判定して、判定結果が
良品の場合にコレットは半導体ペレットをマウントポジ
ションに供給し、判定結果が不良品の場合にコレットは
半導体ペレットをマウントポジションに供給せずに認識
ポジションとマウントポジションの間でコレットから離
脱させ、不良品回収装置に排除するので、コレットは認
識ポジションの半導体ペレットが不良品であっても認識
ポジションで待機するロスタイムが無くなり、半導体ペ
レットのマウント動作の高速化が図れる。
体ペレットは、画像認識装置で良否検査される途中で、
その良否に関係無く連続動作するコレットで認識ポジシ
ョンから取出され、コレットがマウントポジションに移
動する間に画像認識装置が良否を判定して、判定結果が
良品の場合にコレットは半導体ペレットをマウントポジ
ションに供給し、判定結果が不良品の場合にコレットは
半導体ペレットをマウントポジションに供給せずに認識
ポジションとマウントポジションの間でコレットから離
脱させ、不良品回収装置に排除するので、コレットは認
識ポジションの半導体ペレットが不良品であっても認識
ポジションで待機するロスタイムが無くなり、半導体ペ
レットのマウント動作の高速化が図れる。
【図１】本発明の一実施例であるダイボンダの要部の部
分断面を含む側面図
分断面を含む側面図
【図２】図１のダイボンダのコレット動作のタイムチャ
ート
ート
【図３】従来のダイボンダの要部の部分断面を含む側面
図
図
1 半導体ペレット 5 画像認識装置 6 コレット 8 不良品回収装置 Ｐa 認識ポジション Ｐb マウントポジション
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の認識ポジションの半導体ペレット
を撮像し、その画像処理から半導体ペレット良否判定の
ための複数の検査項目を順に検査して良否判定信号を出
力する画像認識装置と、認識ポジションと所定距離離れ
たマウントポジションの間で連続して往復移動し、認識
ポジションから半導体ペレットを取出し、この取出した
半導体ペレットを画像認識装置の良品判定信号でマウン
トポジジョンに供給するコレットを備えたダイボンダの
制御方法であって、 画像認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数
の検査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジシ
ョンの半導体ペレットをコレットで取出し、このコレッ
トがマウントポジションに移動する間に画像認識装置で
複数全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置
の良否判定信号が良品判定信号のときにコレットで半導
体ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判
定信号のときにはコレットが認識ポジションとマウント
ポジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペ
レットを離脱させるようにしたことを特徴とするダイボ
ンダの駆動制御方法。 - 【請求項２】 所定の認識ポジションの半導体ペレット
を撮像し、その画像処理から半導体ペレット良否判定の
ための複数の検査項目を順に検査して良否判定信号を出
力する画像認識装置と、 認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、画像認識装置が良否判定信号
を出力する前に認識ポジションから半導体ペレットを取
出し、この取出した半導体ペレットが画像認識装置で良
品と判定されたときだけマウントポジジョンに供給する
コレットと、 認識ポジションとマウントポジションの間に配置され、
コレットで認識ポジションから取出されて画像認識装置
で不良品と判定された半導体ペレットをコレットから離
脱させて回収する不良品回収装置とを具備したことを特
徴とするダイボンダ。 - 【請求項３】 不良品回収装置が、コレットから半導体
ペレットを真空吸引して回収することを特徴とする請求
項２記載のダイボンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6497593A JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6497593A JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275665A true JPH06275665A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13273564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6497593A Pending JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06275665A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015489A2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
| KR100499699B1 (ko) * | 2002-10-16 | 2005-07-07 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 테스트 장치 및 방법 |
| JP2007220754A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 不良電子部品の回収装置 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP6497593A patent/JPH06275665A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015489A2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
| WO2003015489A3 (en) * | 2001-08-08 | 2003-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for mounting electronic parts |
| US6792676B2 (en) | 2001-08-08 | 2004-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
| US7137195B2 (en) | 2001-08-08 | 2006-11-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for mounting electronic parts onto a board |
| KR100499699B1 (ko) * | 2002-10-16 | 2005-07-07 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 테스트 장치 및 방법 |
| JP2007220754A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 不良電子部品の回収装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010911 |