JP3137459B2 - ダイボンディング装置 - Google Patents
ダイボンディング装置Info
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- JP3137459B2 JP3137459B2 JP04278267A JP27826792A JP3137459B2 JP 3137459 B2 JP3137459 B2 JP 3137459B2 JP 04278267 A JP04278267 A JP 04278267A JP 27826792 A JP27826792 A JP 27826792A JP 3137459 B2 JP3137459 B2 JP 3137459B2
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- pellets
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ダイボンディング装
置に係わり、特にマウント外観検査用カメラを有するダ
イボンディング装置に関する。
置に係わり、特にマウント外観検査用カメラを有するダ
イボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ウェ−ハシ−トの上にはウェ−ハが載置
されており、このウェ−ハの上方には位置決め用カメラ
が設けられている。前記ウェ−ハシ−トの下にはペレッ
トを突上げるための突上げ用ニ−ドルが設けられてお
り、前記ウェ−ハシ−トの近傍にはリ−ドフレ−ムを搬
送する搬送レ−ルが設けられている。この搬送レ−ルお
よびウェ−ハシ−トの上方においてペレットを移動させ
る移動手段が設けられており、この移動手段には前記ペ
レットを吸着するコレットが設けられている。
されており、このウェ−ハの上方には位置決め用カメラ
が設けられている。前記ウェ−ハシ−トの下にはペレッ
トを突上げるための突上げ用ニ−ドルが設けられてお
り、前記ウェ−ハシ−トの近傍にはリ−ドフレ−ムを搬
送する搬送レ−ルが設けられている。この搬送レ−ルお
よびウェ−ハシ−トの上方においてペレットを移動させ
る移動手段が設けられており、この移動手段には前記ペ
レットを吸着するコレットが設けられている。
【0003】上述したように構成された従来のダイボン
ディング装置において、前記ウェ−ハにおけるペレット
の位置は前記位置決め用カメラにより認識される。この
認識されたペレットは突上げ用ニ−ドルにより下方から
突上げられ、この突上げられたペレットはコレットによ
り吸着される。このコレットは前記移動手段により搬送
レ−ルの上に移動され、この搬送レ−ルにより搬送され
たリ−ドフレ−ムの上に前記ペレットがマウントされ
る。この後、複数のペレットをマウントしたリ−ドフレ
−ムが抜き取られ、このリ−ドフレ−ム上のペレットが
正常にマウントされているかが検査される。
ディング装置において、前記ウェ−ハにおけるペレット
の位置は前記位置決め用カメラにより認識される。この
認識されたペレットは突上げ用ニ−ドルにより下方から
突上げられ、この突上げられたペレットはコレットによ
り吸着される。このコレットは前記移動手段により搬送
レ−ルの上に移動され、この搬送レ−ルにより搬送され
たリ−ドフレ−ムの上に前記ペレットがマウントされ
る。この後、複数のペレットをマウントしたリ−ドフレ
−ムが抜き取られ、このリ−ドフレ−ム上のペレットが
正常にマウントされているかが検査される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ダイボンディング装置では、複数のペレットがマウント
されたリ−ドフレ−ムを抜き取り、このリ−ドフレ−ム
上のペレットが正常にマウントされているかを検査して
いる。このような方法による検査、すなわち抜き取り検
査では、リ−ドフレ−ムが連続していなければ抜き取る
ことができるが、連続したリ−ドフレ−ム、いわゆるフ
−プフレ−ムであれば抜き取ることはできない。したが
って、フ−プフレ−ムにおいてはペレットが正常にマウ
ントされているかを検査することができない。
ダイボンディング装置では、複数のペレットがマウント
されたリ−ドフレ−ムを抜き取り、このリ−ドフレ−ム
上のペレットが正常にマウントされているかを検査して
いる。このような方法による検査、すなわち抜き取り検
査では、リ−ドフレ−ムが連続していなければ抜き取る
ことができるが、連続したリ−ドフレ−ム、いわゆるフ
−プフレ−ムであれば抜き取ることはできない。したが
って、フ−プフレ−ムにおいてはペレットが正常にマウ
ントされているかを検査することができない。
【0005】また、コレットの詰り等によってコレット
の吸着作用が低下することにより、ペレットをマウント
することができなくなること、すなわちピックアップミ
スが起こることがある。このピックアップミスを検出す
る方法として、前記位置決め用カメラを用いることが考
えられる。すなわち、この位置決め用カメラによりウェ
−ハシ−ト上に取残されたペレットを撮像し、こような
ペレットが連続して発生した場合、ダイボンディング装
置を停止させるという方法である。この方法は、前記突
上げ用ニ−ドルを使用することなく、ウェ−ハシ−ト上
に載置されたペレットをコレットにより直接吸着するダ
イボンディング装置であれば有効である。しかし、上記
従来の突上げ用ニ−ドルを使用してピックアップするダ
イボンディング装置の場合、コレットにより吸着されな
かったペレットがウェ−ハシ−ト上に残されていないこ
とがある。例えば、ピックアップミスを起こしても、突
上げ用ニ−ドルによりペレットが傾いたり、飛ばされた
りすることがある。したがって、前記位置決め用カメラ
ではピックアップミスを検出することができない。
の吸着作用が低下することにより、ペレットをマウント
することができなくなること、すなわちピックアップミ
スが起こることがある。このピックアップミスを検出す
る方法として、前記位置決め用カメラを用いることが考
えられる。すなわち、この位置決め用カメラによりウェ
−ハシ−ト上に取残されたペレットを撮像し、こような
ペレットが連続して発生した場合、ダイボンディング装
置を停止させるという方法である。この方法は、前記突
上げ用ニ−ドルを使用することなく、ウェ−ハシ−ト上
に載置されたペレットをコレットにより直接吸着するダ
イボンディング装置であれば有効である。しかし、上記
従来の突上げ用ニ−ドルを使用してピックアップするダ
イボンディング装置の場合、コレットにより吸着されな
かったペレットがウェ−ハシ−ト上に残されていないこ
とがある。例えば、ピックアップミスを起こしても、突
上げ用ニ−ドルによりペレットが傾いたり、飛ばされた
りすることがある。したがって、前記位置決め用カメラ
ではピックアップミスを検出することができない。
【0006】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、フ−プフレ−ムの上に
マウントされたペレットをマウント検査用カメラによっ
て撮像することにより、ペレットが正常にマウントされ
ているかを検査することができるダイボンディング装置
を提供することにある。
されたものであり、その目的は、フ−プフレ−ムの上に
マウントされたペレットをマウント検査用カメラによっ
て撮像することにより、ペレットが正常にマウントされ
ているかを検査することができるダイボンディング装置
を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するため、載置台の上に載置された複数のペレット
が撮像される第1のカメラと、前記ペレットをマウント
手段によりフレームの上にマウントした状態が撮像され
る第2のカメラと、前記第1のカメラによる第1の画像
データが処理され前記ペレットの位置が検出され、前記
第2のカメラによる第2の画像データが濃淡画像に処理
されこの濃淡画像と基準濃淡画像とを比較することによ
りマウント不良が検出される画像処理部とを具備するこ
とを特徴としている。
解決するため、載置台の上に載置された複数のペレット
が撮像される第1のカメラと、前記ペレットをマウント
手段によりフレームの上にマウントした状態が撮像され
る第2のカメラと、前記第1のカメラによる第1の画像
データが処理され前記ペレットの位置が検出され、前記
第2のカメラによる第2の画像データが濃淡画像に処理
されこの濃淡画像と基準濃淡画像とを比較することによ
りマウント不良が検出される画像処理部とを具備するこ
とを特徴としている。
【0008】
【作用】この発明は、載置台の上に載置された複数のペ
レットを第1のカメラによって撮像することにより、第
1の画像デ−タを得る。この第1の画像デ−タを画像処
理部によって処理することにより、前記ペレットの位置
を検出することができる。この位置のペレットを、マウ
ント手段によりピックアップし、フレ−ムの上にマウン
トする。このマウントされたペレットの状態を第2のカ
メラによって撮像することにより、第2の画像デ−タを
得る。この第2の画像デ−タを前記画像処理部によって
処理することにより、マウント不良を検出することがで
きる。
レットを第1のカメラによって撮像することにより、第
1の画像デ−タを得る。この第1の画像デ−タを画像処
理部によって処理することにより、前記ペレットの位置
を検出することができる。この位置のペレットを、マウ
ント手段によりピックアップし、フレ−ムの上にマウン
トする。このマウントされたペレットの状態を第2のカ
メラによって撮像することにより、第2の画像デ−タを
得る。この第2の画像デ−タを前記画像処理部によって
処理することにより、マウント不良を検出することがで
きる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【0010】図1は、この発明の実施例によるダイボン
ディング装置を示す斜視図である。基台1の上にはテ−
ブル3が設けられており、このテ−ブル3を水平方向に
移動させるための第1および第2の移動手段4、5が前
記基台1に設けられている。前記テ−ブル3は、第1の
移動手段4により第1の矢印4aの方向に移動自在に形
成されており、第2の移動手段5により第2の矢印5a
の方向に移動自在に形成されている。
ディング装置を示す斜視図である。基台1の上にはテ−
ブル3が設けられており、このテ−ブル3を水平方向に
移動させるための第1および第2の移動手段4、5が前
記基台1に設けられている。前記テ−ブル3は、第1の
移動手段4により第1の矢印4aの方向に移動自在に形
成されており、第2の移動手段5により第2の矢印5a
の方向に移動自在に形成されている。
【0011】前記テ−ブル3の上にはウェ−ハ載置台2
が設けられており、このウェ−ハ載置台2の内には図示
せぬ突上げ用ニ−ドルが設けられている。前記ウェ−ハ
載置台2の上には図示せぬペレットシ−トが設けられて
おり、このペレットシ−トの上にはウェ−ハ6が載置さ
れている。
が設けられており、このウェ−ハ載置台2の内には図示
せぬ突上げ用ニ−ドルが設けられている。前記ウェ−ハ
載置台2の上には図示せぬペレットシ−トが設けられて
おり、このペレットシ−トの上にはウェ−ハ6が載置さ
れている。
【0012】前記基台1の近傍には支持体7が設けられ
ている。この支持体7には位置決め用カメラ8が取り付
けられており、この位置決め用カメラ8は画像処理部1
5と接続されている。前記支持体7の近傍には第3の矢
印8の方向に回転可能な軸9が設けられており、この軸
9にはウェ−ハ6におけるペレット10を吸着するため
のマウントヘッド11aを有する移動手段11が設けら
れている。
ている。この支持体7には位置決め用カメラ8が取り付
けられており、この位置決め用カメラ8は画像処理部1
5と接続されている。前記支持体7の近傍には第3の矢
印8の方向に回転可能な軸9が設けられており、この軸
9にはウェ−ハ6におけるペレット10を吸着するため
のマウントヘッド11aを有する移動手段11が設けら
れている。
【0013】前記移動手段11の近傍にはダイボンディ
ング部12が形成されている。このダイボンディング部
12にはフレ−ムを搬送する図示せぬ搬送レ−ルが設け
られており、この搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム1
3が載置されている。前記ダイボンディング部12の上
方には、フ−プフレ−ム13の上におけるペレット10
のマウント状態、即ちマウント不良を検査する検査用カ
メラ14が設けられている。この検査用カメラ14は前
記画像処理部15と接続されている。前記検査用カメラ
14は、ペレット10の外観検査を全数実施、即ち全て
のペレット10についてマウント不良を検査するもので
ある。
ング部12が形成されている。このダイボンディング部
12にはフレ−ムを搬送する図示せぬ搬送レ−ルが設け
られており、この搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム1
3が載置されている。前記ダイボンディング部12の上
方には、フ−プフレ−ム13の上におけるペレット10
のマウント状態、即ちマウント不良を検査する検査用カ
メラ14が設けられている。この検査用カメラ14は前
記画像処理部15と接続されている。前記検査用カメラ
14は、ペレット10の外観検査を全数実施、即ち全て
のペレット10についてマウント不良を検査するもので
ある。
【0014】図2は、図1に示すダイボンディング装置
を模式的に示す図であり、図1と同一部分には同一符号
を付す。ウェ−ハ載置台2の上にはウェ−ハシ−ト17
が載置されており、このウェ−ハシ−ト17の上にはウ
ェ−ハ6が載置されている。このウェ−ハ6の下方には
突上げ用ニ−ドル16が設けられている。前記ウェ−ハ
6の上方には内部にハ−フミラ−20を有する位置決め
用カメラ8が設けられており、この位置決め用カメラ8
は画像処理部15と接続されている。
を模式的に示す図であり、図1と同一部分には同一符号
を付す。ウェ−ハ載置台2の上にはウェ−ハシ−ト17
が載置されており、このウェ−ハシ−ト17の上にはウ
ェ−ハ6が載置されている。このウェ−ハ6の下方には
突上げ用ニ−ドル16が設けられている。前記ウェ−ハ
6の上方には内部にハ−フミラ−20を有する位置決め
用カメラ8が設けられており、この位置決め用カメラ8
は画像処理部15と接続されている。
【0015】ダイボンディング部12において、図示せ
ぬ搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム13が載置されて
おり、このフ−プフレ−ム13の上方には内部にハ−フ
ミラ−20を有する検査用カメラ14が設けられてい
る。この検査用カメラ14は前記画像処理部15と接続
されている。
ぬ搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム13が載置されて
おり、このフ−プフレ−ム13の上方には内部にハ−フ
ミラ−20を有する検査用カメラ14が設けられてい
る。この検査用カメラ14は前記画像処理部15と接続
されている。
【0016】上記構成において、先ず、ウェ−ハシ−ト
17の上に載置された複数の良品であるペレット10の
位置は、特開昭59−54236号公報または特開昭5
7−137978号公報に記載された位置検出方法によ
り検出される。
17の上に載置された複数の良品であるペレット10の
位置は、特開昭59−54236号公報または特開昭5
7−137978号公報に記載された位置検出方法によ
り検出される。
【0017】すなわち、前記複数のペレット10の位置
が位置決め用カメラ8によって撮像されることにより、
前記複数のペレット10についての図示せぬパタ−ン入
力デ−タが得られる。このパタ−ン入力デ−タは画像処
理部15に送られる。次に、前記画像処理部15におい
て、前記パタ−ン入力デ−タと予め用意されたパタ−ン
基準デ−タとから図示せぬ第1の相関係数計算回路によ
りパタ−ンの類似度が計算される。これにより、相関係
数が算出される。この相関係数を別に指定した基準定数
と比較することにより、前記複数のペレット10の形状
の良否が判別されるとともに位置が検出される。
が位置決め用カメラ8によって撮像されることにより、
前記複数のペレット10についての図示せぬパタ−ン入
力デ−タが得られる。このパタ−ン入力デ−タは画像処
理部15に送られる。次に、前記画像処理部15におい
て、前記パタ−ン入力デ−タと予め用意されたパタ−ン
基準デ−タとから図示せぬ第1の相関係数計算回路によ
りパタ−ンの類似度が計算される。これにより、相関係
数が算出される。この相関係数を別に指定した基準定数
と比較することにより、前記複数のペレット10の形状
の良否が判別されるとともに位置が検出される。
【0018】この後、この位置が検出された複数の良品
であるペレット10のうち、第1のペレット10aが前
記突上げ用ニ−ドル16により突上げられ、この第1の
ペレット10aは図1に示すマウントヘッド11aによ
り吸着される。次に、このマウントヘッド11aは軸9
により第3の矢印8の方向に回転される。これにより、
前記マウントヘッド11aは、図示せぬ搬送レ−ルによ
ってダイボンディング部12に搬送されたフ−プフレ−
ム13の上方に移動される。この後、前記マウントヘッ
ド11aにより吸着されている第1のペレット10aは
移動手段11によって下降されることにより、前記フ−
プフレ−ム13の上に第1のペレット10aがマウント
される。この際のペレット10aがマウントヘッド11
aにより移動される軌跡は第4の矢印18により示され
ている。
であるペレット10のうち、第1のペレット10aが前
記突上げ用ニ−ドル16により突上げられ、この第1の
ペレット10aは図1に示すマウントヘッド11aによ
り吸着される。次に、このマウントヘッド11aは軸9
により第3の矢印8の方向に回転される。これにより、
前記マウントヘッド11aは、図示せぬ搬送レ−ルによ
ってダイボンディング部12に搬送されたフ−プフレ−
ム13の上方に移動される。この後、前記マウントヘッ
ド11aにより吸着されている第1のペレット10aは
移動手段11によって下降されることにより、前記フ−
プフレ−ム13の上に第1のペレット10aがマウント
される。この際のペレット10aがマウントヘッド11
aにより移動される軌跡は第4の矢印18により示され
ている。
【0019】次に、前記フ−プフレ−ム13は1ピッチ
の長さだけ前記搬送レ−ルにより送られる。これによ
り、前記マウントされた第1のペレット10aは検査用
カメラ14の視野範囲に位置する。この際の1ピッチの
長さとは、マウントされたペレット10a、10b相互
間の長さである。
の長さだけ前記搬送レ−ルにより送られる。これによ
り、前記マウントされた第1のペレット10aは検査用
カメラ14の視野範囲に位置する。この際の1ピッチの
長さとは、マウントされたペレット10a、10b相互
間の長さである。
【0020】この後、前記位置が検出された複数の良品
であるペレット10のうち、第2のペレット10bは、
マウントヘッド11aにより吸着され、フ−プフレ−ム
13の上にマウントされる。この際、前記第1のペレッ
ト10aのマウントの状態は、特願昭63−11335
5に記載された外観検査方法により検査される。
であるペレット10のうち、第2のペレット10bは、
マウントヘッド11aにより吸着され、フ−プフレ−ム
13の上にマウントされる。この際、前記第1のペレッ
ト10aのマウントの状態は、特願昭63−11335
5に記載された外観検査方法により検査される。
【0021】すなわち、被検査物体である第1のペレッ
ト10aの外観像が検査用カメラ14によって撮像され
ることにより、前記第1のペレット10aについての図
示せぬ画像デ−タが得られる。この画像デ−タは画像処
理部15に送られる。この後、前記画像処理部15にお
いて、前記画像デ−タは電気信号に変換されて、図示せ
ぬ被検体濃淡画像メモリに格納された被検体濃淡画像が
得られる。次に、基準濃淡画像の相対度数ヒストグラム
と前記被検体濃淡画像の相対度数ヒストグラムとの全体
又は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム
部分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出され
る。また、基準濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムと
被検体濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムとの全体又
は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム部
分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出される。
これにより、前記第1のペレット10aのマウント状態
が検査される。具体的には、ペレット10の回転などに
よるマウント位置のずれ、マウントされたペレット10
の水平度、即ちペレット10がフ−プフレ−ム13に対
して平行にマウントされていること、マウント位置にお
けるペレット10の有無等が検査される。
ト10aの外観像が検査用カメラ14によって撮像され
ることにより、前記第1のペレット10aについての図
示せぬ画像デ−タが得られる。この画像デ−タは画像処
理部15に送られる。この後、前記画像処理部15にお
いて、前記画像デ−タは電気信号に変換されて、図示せ
ぬ被検体濃淡画像メモリに格納された被検体濃淡画像が
得られる。次に、基準濃淡画像の相対度数ヒストグラム
と前記被検体濃淡画像の相対度数ヒストグラムとの全体
又は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム
部分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出され
る。また、基準濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムと
被検体濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムとの全体又
は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム部
分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出される。
これにより、前記第1のペレット10aのマウント状態
が検査される。具体的には、ペレット10の回転などに
よるマウント位置のずれ、マウントされたペレット10
の水平度、即ちペレット10がフ−プフレ−ム13に対
して平行にマウントされていること、マウント位置にお
けるペレット10の有無等が検査される。
【0022】上記実施例によれば、ダイボンディング部
12の上方にペレット10のマウント状態が検査される
検査用カメラ14を設け、この検査用カメラ14を画像
処理部15に接続している。このため、マウントされた
第1のペレット10aの外観像を検査用カメラ14によ
って撮像することにより、前記第1のペレット10aに
ついての画像デ−タを得ることができる。この画像デ−
タを前記画像処理部15によって上述したように処理す
ることにより、第1のペレット10aのマウント状態を
検査することができる。すなわち、ペレット10の回転
などによるマウント位置のずれ、マウントされたペレッ
ト10の水平度、マウント位置におけるペレット10の
有無等を検査することができる。したがって、従来のよ
うに作業者にリ−ドフレ−ムの抜取り検査をさせる必要
がなく、フ−プフレ−ム13の自動化された超合理化ラ
インを構築することができ、半導体生産ラインを無人化
することができる。
12の上方にペレット10のマウント状態が検査される
検査用カメラ14を設け、この検査用カメラ14を画像
処理部15に接続している。このため、マウントされた
第1のペレット10aの外観像を検査用カメラ14によ
って撮像することにより、前記第1のペレット10aに
ついての画像デ−タを得ることができる。この画像デ−
タを前記画像処理部15によって上述したように処理す
ることにより、第1のペレット10aのマウント状態を
検査することができる。すなわち、ペレット10の回転
などによるマウント位置のずれ、マウントされたペレッ
ト10の水平度、マウント位置におけるペレット10の
有無等を検査することができる。したがって、従来のよ
うに作業者にリ−ドフレ−ムの抜取り検査をさせる必要
がなく、フ−プフレ−ム13の自動化された超合理化ラ
インを構築することができ、半導体生産ラインを無人化
することができる。
【0023】さらに、フレ−ムが連続していることによ
り、従来のように抜取り検査ができないフ−プフレ−ム
13においても、ペレット10のマウント状態を検査す
ることができる。
り、従来のように抜取り検査ができないフ−プフレ−ム
13においても、ペレット10のマウント状態を検査す
ることができる。
【0024】また、画像処理部15に接続された検査用
カメラ14によりダイボンディング後のペレット10の
外観検査を全数実施している。すなわち、全てのペレッ
ト10についてマウント不良を検査している。このた
め、製品の品質を向上させることができる。
カメラ14によりダイボンディング後のペレット10の
外観検査を全数実施している。すなわち、全てのペレッ
ト10についてマウント不良を検査している。このた
め、製品の品質を向上させることができる。
【0025】また、検査用カメラ14によってマウント
位置におけるペレット10の有無を検査している。この
結果、マウント位置にペレット10がマウントされてい
ないことが続いた場合は、ペレット10がピックアップ
されていないと言える。このことから、マウントヘッド
11aの孔づまり等のピックアップ異常を検出すること
ができる。
位置におけるペレット10の有無を検査している。この
結果、マウント位置にペレット10がマウントされてい
ないことが続いた場合は、ペレット10がピックアップ
されていないと言える。このことから、マウントヘッド
11aの孔づまり等のピックアップ異常を検出すること
ができる。
【0026】また、位置決め用カメラ8により撮像され
たパタ−ン入力デ−タを処理するための画像処理部15
に検査用カメラ14を接続している。このため、検査用
カメラ14により撮像された画像デ−タを処理するた
め、ダイボンディング装置に他の画像処理部を設ける必
要がない。この結果、前記他の画像処理部を設けること
によるダイボンディング装置のコストアップを抑えるこ
とができる。
たパタ−ン入力デ−タを処理するための画像処理部15
に検査用カメラ14を接続している。このため、検査用
カメラ14により撮像された画像デ−タを処理するた
め、ダイボンディング装置に他の画像処理部を設ける必
要がない。この結果、前記他の画像処理部を設けること
によるダイボンディング装置のコストアップを抑えるこ
とができる。
【0027】また、フ−プフレ−ム13の上に第1のペ
レット10aをマウントした後、1ピッチの長さだけ前
記フ−プフレ−ム13を搬送レ−ルにより搬送し、前記
第1のペレット10aを検査用カメラ14により検査し
ている。このように、フ−プフレ−ム13の上にペレッ
ト10aをマウントした後、すぐにこのペレット10a
のマウント状態を検査しているため、マウント不良の原
因となるダイボンディング装置の異常を早く発見するこ
とができる。この結果、マウント不良の発生件数を最少
限に抑えることができる。
レット10aをマウントした後、1ピッチの長さだけ前
記フ−プフレ−ム13を搬送レ−ルにより搬送し、前記
第1のペレット10aを検査用カメラ14により検査し
ている。このように、フ−プフレ−ム13の上にペレッ
ト10aをマウントした後、すぐにこのペレット10a
のマウント状態を検査しているため、マウント不良の原
因となるダイボンディング装置の異常を早く発見するこ
とができる。この結果、マウント不良の発生件数を最少
限に抑えることができる。
【0028】尚、上記実施例では、フ−プフレ−ム13
の上に第1のペレット10aをマウントした後、1ピッ
チの長さだけ前記フ−プフレ−ム13を搬送レ−ルによ
り搬送すると、第1のペレット10aが検査用カメラ1
4の視野範囲に入るようにこのカメラ14を設けている
が、フ−プフレ−ム13の上に第1のペレット10aを
マウントした後、2乃至10ピッチの長さだけ前記フ−
プフレ−ム13を搬送レ−ルにより搬送すると、第1の
ペレット10aが検査用カメラ14の視野範囲に入るよ
うにこのカメラ14を設けることも可能である。
の上に第1のペレット10aをマウントした後、1ピッ
チの長さだけ前記フ−プフレ−ム13を搬送レ−ルによ
り搬送すると、第1のペレット10aが検査用カメラ1
4の視野範囲に入るようにこのカメラ14を設けている
が、フ−プフレ−ム13の上に第1のペレット10aを
マウントした後、2乃至10ピッチの長さだけ前記フ−
プフレ−ム13を搬送レ−ルにより搬送すると、第1の
ペレット10aが検査用カメラ14の視野範囲に入るよ
うにこのカメラ14を設けることも可能である。
【0029】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
ペレットをマウント手段によりフレ−ムの上にマウント
した状態が撮像される第2のカメラを具備している。し
たがって、フレ−ムの上にマウントされたペレットをマ
ウント検査用カメラによって撮像することにより、ペレ
ットが正常にマウントされているかを検査することがで
きる。
ペレットをマウント手段によりフレ−ムの上にマウント
した状態が撮像される第2のカメラを具備している。し
たがって、フレ−ムの上にマウントされたペレットをマ
ウント検査用カメラによって撮像することにより、ペレ
ットが正常にマウントされているかを検査することがで
きる。
【図1】この発明の実施例によるダイボンディング装置
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図2】この発明の図1に示すダイボンディング装置を
模式的に示す図。
模式的に示す図。
1 …基台、2 …ウェ−ハ載置台、3 …テ−ブル、4 …第
1の移動手段、4a…第1の矢印、5 …第2の移動手段、
5a…第2の矢印、6 …ウェ−ハ、7 …支持体、8 …位置
決め用カメラ、9 …軸、10…ペレット、11…移動手段、
11a …マウントヘッド、12…ダイボンディング部、13…
フ−プフレ−ム、14…検査用カメラ、15…画像処理部、
16…突上げ用ニ−ドル、17…ウェ−ハシ−ト、18…第4
の矢印、20…ハ−フミラ−
1の移動手段、4a…第1の矢印、5 …第2の移動手段、
5a…第2の矢印、6 …ウェ−ハ、7 …支持体、8 …位置
決め用カメラ、9 …軸、10…ペレット、11…移動手段、
11a …マウントヘッド、12…ダイボンディング部、13…
フ−プフレ−ム、14…検査用カメラ、15…画像処理部、
16…突上げ用ニ−ドル、17…ウェ−ハシ−ト、18…第4
の矢印、20…ハ−フミラ−
Claims (1)
- 【請求項1】 載置台の上に載置された複数のペレット
が撮像される第1のカメラと、 前記ペレットをマウント手段によりフレームの上にマウ
ントした状態が撮像される第2のカメラと、 前記第1のカメラによる第1の画像データが処理され前
記ペレットの位置が検出され、前記第2のカメラによる
第2の画像データが濃淡画像に処理されこの濃淡画像と
基準濃淡画像とを比較することによりマウント不良が検
出される画像処理部と、 を具備することを特徴とするダイボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04278267A JP3137459B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04278267A JP3137459B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ダイボンディング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06132325A JPH06132325A (ja) | 1994-05-13 |
JP3137459B2 true JP3137459B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=17594965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04278267A Expired - Fee Related JP3137459B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3137459B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100312743B1 (ko) * | 1998-04-02 | 2001-11-03 | 윤종용 | 반도체 다이본다용 위치 인식과 검사장치 및 그 방법 |
JP4045838B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2008-02-13 | 松下電器産業株式会社 | 部品装着管理方法 |
JP3993114B2 (ja) | 2003-02-06 | 2007-10-17 | 株式会社新川 | ダイボンディング方法及び装置 |
CN103137502B (zh) * | 2013-03-07 | 2015-12-09 | 苏州均华精密机械有限公司 | 芯片接合装置 |
JP7029900B2 (ja) * | 2017-08-03 | 2022-03-04 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP04278267A patent/JP3137459B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06132325A (ja) | 1994-05-13 |
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