JPH06132325A - ダイボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は、フ−プフレ−ムの上にマウントさ
れたペレットをマウント検査用カメラによって撮像する
ことにより、ペレットが正常にマウントされているかを
検査する。 【構成】支持体7 に画像処理部15と接続された位置決め
用カメラ8 を取り付けている。前記支持体7 の近傍にウ
ェ−ハ6 におけるペレット10を吸着するためのマウント
ヘッド11a を設けている。前記マウントヘッド11a の近
傍にダイボンディング部12を形成し、このダイボンディ
ング部12にフレ−ムを搬送する図示せぬ搬送レ−ルを設
け、この搬送レ−ルの上にフ−プフレ−ム13を載置して
いる。前記ダイボンディング部12の上方にペレット10の
マウント状態、即ちマウント不良を検査する検査用カメ
ラ14を設けている。この検査用カメラ14に前記画像処理
部15を接続している。従って、ペレットが正常にマウン
トされているかを検査できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ダイボンディング装
置に係わり、特にマウント外観検査用カメラを有するダ
イボンディング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェ−ハシ−トの上にはウェ−ハが載置
されており、このウェ−ハの上方には位置決め用カメラ
が設けられている。前記ウェ−ハシ−トの下にはペレッ
トを突上げるための突上げ用ニ−ドルが設けられてお
り、前記ウェ−ハシ−トの近傍にはリ−ドフレ−ムを搬
送する搬送レ−ルが設けられている。この搬送レ−ルお
よびウェ−ハシ−トの上方においてペレットを移動させ
る移動手段が設けられており、この移動手段には前記ペ
レットを吸着するコレットが設けられている。

【０００３】上述したように構成された従来のダイボン
ディング装置において、前記ウェ−ハにおけるペレット
の位置は前記位置決め用カメラにより認識される。この
認識されたペレットは突上げ用ニ−ドルにより下方から
突上げられ、この突上げられたペレットはコレットによ
り吸着される。このコレットは前記移動手段により搬送
レ−ルの上に移動され、この搬送レ−ルにより搬送され
たリ−ドフレ−ムの上に前記ペレットがマウントされ
る。この後、複数のペレットをマウントしたリ−ドフレ
−ムが抜き取られ、このリ−ドフレ−ム上のペレットが
正常にマウントされているかが検査される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ダイボンディング装置では、複数のペレットがマウント
されたリ−ドフレ−ムを抜き取り、このリ−ドフレ−ム
上のペレットが正常にマウントされているかを検査して
いる。このような方法による検査、すなわち抜き取り検
査では、リ−ドフレ−ムが連続していなければ抜き取る
ことができるが、連続したリ−ドフレ−ム、いわゆるフ
−プフレ−ムであれば抜き取ることはできない。したが
って、フ−プフレ−ムにおいてはペレットが正常にマウ
ントされているかを検査することができない。

【０００５】また、コレットの詰り等によってコレット
の吸着作用が低下することにより、ペレットをマウント
することができなくなること、すなわちピックアップミ
スが起こることがある。このピックアップミスを検出す
る方法として、前記位置決め用カメラを用いることが考
えられる。すなわち、この位置決め用カメラによりウェ
−ハシ−ト上に取残されたペレットを撮像し、こような
ペレットが連続して発生した場合、ダイボンディング装
置を停止させるという方法である。この方法は、前記突
上げ用ニ−ドルを使用することなく、ウェ−ハシ−ト上
に載置されたペレットをコレットにより直接吸着するダ
イボンディング装置であれば有効である。しかし、上記
従来の突上げ用ニ−ドルを使用してピックアップするダ
イボンディング装置の場合、コレットにより吸着されな
かったペレットがウェ−ハシ−ト上に残されていないこ
とがある。例えば、ピックアップミスを起こしても、突
上げ用ニ−ドルによりペレットが傾いたり、飛ばされた
りすることがある。したがって、前記位置決め用カメラ
ではピックアップミスを検出することができない。

【０００６】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、フ−プフレ−ムの上に
マウントされたペレットをマウント検査用カメラによっ
て撮像することにより、ペレットが正常にマウントされ
ているかを検査することができるダイボンディング装置
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するため、載置台の上に載置された複数のペレット
が撮像される第１のカメラと、前記ペレットをマウント
手段によりフレ−ムの上にマウントした状態が撮像され
る第２のカメラと、前記第１のカメラによる第１の画像
デ−タが処理され前記ペレットの位置が検出され、前記
第２のカメラによる第２の画像デ−タが処理されマウン
ト不良が検出される画像処理部とを具備することを特徴
としている。

【０００８】

【作用】この発明は、載置台の上に載置された複数のペ
レットを第１のカメラによって撮像することにより、第
１の画像デ−タを得る。この第１の画像デ−タを画像処
理部によって処理することにより、前記ペレットの位置
を検出することができる。この位置のペレットを、マウ
ント手段によりピックアップし、フレ−ムの上にマウン
トする。このマウントされたペレットの状態を第２のカ
メラによって撮像することにより、第２の画像デ−タを
得る。この第２の画像デ−タを前記画像処理部によって
処理することにより、マウント不良を検出することがで
きる。

【０００９】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例に
ついて説明する。

【００１０】図１は、この発明の実施例によるダイボン
ディング装置を示す斜視図である。基台１の上にはテ−
ブル３が設けられており、このテ−ブル３を水平方向に
移動させるための第１および第２の移動手段４、５が前
記基台１に設けられている。前記テ−ブル３は、第１の
移動手段４により第１の矢印４ａの方向に移動自在に形
成されており、第２の移動手段５により第２の矢印５ａ
の方向に移動自在に形成されている。

【００１１】前記テ−ブル３の上にはウェ−ハ載置台２
が設けられており、このウェ−ハ載置台２の内には図示
せぬ突上げ用ニ−ドルが設けられている。前記ウェ−ハ
載置台２の上には図示せぬペレットシ−トが設けられて
おり、このペレットシ−トの上にはウェ−ハ６が載置さ
れている。

【００１２】前記基台１の近傍には支持体７が設けられ
ている。この支持体７には位置決め用カメラ８が取り付
けられており、この位置決め用カメラ８は画像処理部１
５と接続されている。前記支持体７の近傍には第３の矢
印８の方向に回転可能な軸９が設けられており、この軸
９にはウェ−ハ６におけるペレット１０を吸着するため
のマウントヘッド１１ａを有する移動手段１１が設けら
れている。

【００１３】前記移動手段１１の近傍にはダイボンディ
ング部１２が形成されている。このダイボンディング部
１２にはフレ−ムを搬送する図示せぬ搬送レ−ルが設け
られており、この搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム１
３が載置されている。前記ダイボンディング部１２の上
方には、フ−プフレ−ム１３の上におけるペレット１０
のマウント状態、即ちマウント不良を検査する検査用カ
メラ１４が設けられている。この検査用カメラ１４は前
記画像処理部１５と接続されている。前記検査用カメラ
１４は、ペレット１０の外観検査を全数実施、即ち全て
のペレット１０についてマウント不良を検査するもので
ある。

【００１４】図２は、図１に示すダイボンディング装置
を模式的に示す図であり、図１と同一部分には同一符号
を付す。ウェ−ハ載置台２の上にはウェ−ハシ−ト１７
が載置されており、このウェ−ハシ−ト１７の上にはウ
ェ−ハ６が載置されている。このウェ−ハ６の下方には
突上げ用ニ−ドル１６が設けられている。前記ウェ−ハ
６の上方には内部にハ−フミラ−２０を有する位置決め
用カメラ８が設けられており、この位置決め用カメラ８
は画像処理部１５と接続されている。

【００１５】ダイボンディング部１２において、図示せ
ぬ搬送レ−ルの上にはフ−プフレ−ム１３が載置されて
おり、このフ−プフレ−ム１３の上方には内部にハ−フ
ミラ−２０を有する検査用カメラ１４が設けられてい
る。この検査用カメラ１４は前記画像処理部１５と接続
されている。

【００１６】上記構成において、先ず、ウェ−ハシ−ト
１７の上に載置された複数の良品であるペレット１０の
位置は、特開昭５９−５４２３６号公報または特開昭５
７−１３７９７８号公報に記載された位置検出方法によ
り検出される。

【００１７】すなわち、前記複数のペレット１０の位置
が位置決め用カメラ８によって撮像されることにより、
前記複数のペレット１０についての図示せぬパタ−ン入
力デ−タが得られる。このパタ−ン入力デ−タは画像処
理部１５に送られる。次に、前記画像処理部１５におい
て、前記パタ−ン入力デ−タと予め用意されたパタ−ン
基準デ−タとから図示せぬ第１の相関係数計算回路によ
りパタ−ンの類似度が計算される。これにより、相関係
数が算出される。この相関係数を別に指定した基準定数
と比較することにより、前記複数のペレット１０の形状
の良否が判別されるとともに位置が検出される。

【００１８】この後、この位置が検出された複数の良品
であるペレット１０のうち、第１のペレット１０ａが前
記突上げ用ニ−ドル１６により突上げられ、この第１の
ペレット１０ａは図１に示すマウントヘッド１１ａによ
り吸着される。次に、このマウントヘッド１１ａは軸９
により第３の矢印８の方向に回転される。これにより、
前記マウントヘッド１１ａは、図示せぬ搬送レ−ルによ
ってダイボンディング部１２に搬送されたフ−プフレ−
ム１３の上方に移動される。この後、前記マウントヘッ
ド１１ａにより吸着されている第１のペレット１０ａは
移動手段１１によって下降されることにより、前記フ−
プフレ−ム１３の上に第１のペレット１０ａがマウント
される。この際のペレット１０ａがマウントヘッド１１
ａにより移動される軌跡は第４の矢印１８により示され
ている。

【００１９】次に、前記フ−プフレ−ム１３は１ピッチ
の長さだけ前記搬送レ−ルにより送られる。これによ
り、前記マウントされた第１のペレット１０ａは検査用
カメラ１４の視野範囲に位置する。この際の１ピッチの
長さとは、マウントされたペレット１０ａ、１０ｂ相互
間の長さである。

【００２０】この後、前記位置が検出された複数の良品
であるペレット１０のうち、第２のペレット１０ｂは、
マウントヘッド１１ａにより吸着され、フ−プフレ−ム
１３の上にマウントされる。この際、前記第１のペレッ
ト１０ａのマウントの状態は、特願昭６３−１１３３５
５に記載された外観検査方法により検査される。

【００２１】すなわち、被検査物体である第１のペレッ
ト１０ａの外観像が検査用カメラ１４によって撮像され
ることにより、前記第１のペレット１０ａについての図
示せぬ画像デ−タが得られる。この画像デ−タは画像処
理部１５に送られる。この後、前記画像処理部１５にお
いて、前記画像デ−タは電気信号に変換されて、図示せ
ぬ被検体濃淡画像メモリに格納された被検体濃淡画像が
得られる。次に、基準濃淡画像の相対度数ヒストグラム
と前記被検体濃淡画像の相対度数ヒストグラムとの全体
又は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム
部分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出され
る。また、基準濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムと
被検体濃淡画像の累積相対度数ヒストグラムとの全体又
は指定濃度範囲で切取られたそれぞれのヒストグラム部
分のパタ−ンの一致度が相関係数を用いて検出される。
これにより、前記第１のペレット１０ａのマウント状態
が検査される。具体的には、ペレット１０の回転などに
よるマウント位置のずれ、マウントされたペレット１０
の水平度、即ちペレット１０がフ−プフレ−ム１３に対
して平行にマウントされていること、マウント位置にお
けるペレット１０の有無等が検査される。

【００２２】上記実施例によれば、ダイボンディング部
１２の上方にペレット１０のマウント状態が検査される
検査用カメラ１４を設け、この検査用カメラ１４を画像
処理部１５に接続している。このため、マウントされた
第１のペレット１０ａの外観像を検査用カメラ１４によ
って撮像することにより、前記第１のペレット１０ａに
ついての画像デ−タを得ることができる。この画像デ−
タを前記画像処理部１５によって上述したように処理す
ることにより、第１のペレット１０ａのマウント状態を
検査することができる。すなわち、ペレット１０の回転
などによるマウント位置のずれ、マウントされたペレッ
ト１０の水平度、マウント位置におけるペレット１０の
有無等を検査することができる。したがって、従来のよ
うに作業者にリ−ドフレ−ムの抜取り検査をさせる必要
がなく、フ−プフレ−ム１３の自動化された超合理化ラ
インを構築することができ、半導体生産ラインを無人化
することができる。

【００２３】さらに、フレ−ムが連続していることによ
り、従来のように抜取り検査ができないフ−プフレ−ム
１３においても、ペレット１０のマウント状態を検査す
ることができる。

【００２４】また、画像処理部１５に接続された検査用
カメラ１４によりダイボンディング後のペレット１０の
外観検査を全数実施している。すなわち、全てのペレッ
ト１０についてマウント不良を検査している。このた
め、製品の品質を向上させることができる。

【００２５】また、検査用カメラ１４によってマウント
位置におけるペレット１０の有無を検査している。この
結果、マウント位置にペレット１０がマウントされてい
ないことが続いた場合は、ペレット１０がピックアップ
されていないと言える。このことから、マウントヘッド
１１ａの孔づまり等のピックアップ異常を検出すること
ができる。

【００２６】また、位置決め用カメラ８により撮像され
たパタ−ン入力デ−タを処理するための画像処理部１５
に検査用カメラ１４を接続している。このため、検査用
カメラ１４により撮像された画像デ−タを処理するた
め、ダイボンディング装置に他の画像処理部を設ける必
要がない。この結果、前記他の画像処理部を設けること
によるダイボンディング装置のコストアップを抑えるこ
とができる。

【００２７】また、フ−プフレ−ム１３の上に第１のペ
レット１０ａをマウントした後、１ピッチの長さだけ前
記フ−プフレ−ム１３を搬送レ−ルにより搬送し、前記
第１のペレット１０ａを検査用カメラ１４により検査し
ている。このように、フ−プフレ−ム１３の上にペレッ
ト１０ａをマウントした後、すぐにこのペレット１０ａ
のマウント状態を検査しているため、マウント不良の原
因となるダイボンディング装置の異常を早く発見するこ
とができる。この結果、マウント不良の発生件数を最少
限に抑えることができる。

【００２８】尚、上記実施例では、フ−プフレ−ム１３
の上に第１のペレット１０ａをマウントした後、１ピッ
チの長さだけ前記フ−プフレ−ム１３を搬送レ−ルによ
り搬送すると、第１のペレット１０ａが検査用カメラ１
４の視野範囲に入るようにこのカメラ１４を設けている
が、フ−プフレ−ム１３の上に第１のペレット１０ａを
マウントした後、２乃至１０ピッチの長さだけ前記フ−
プフレ−ム１３を搬送レ−ルにより搬送すると、第１の
ペレット１０ａが検査用カメラ１４の視野範囲に入るよ
うにこのカメラ１４を設けることも可能である。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
ペレットをマウント手段によりフレ−ムの上にマウント
した状態が撮像される第２のカメラを具備している。し
たがって、フレ−ムの上にマウントされたペレットをマ
ウント検査用カメラによって撮像することにより、ペレ
ットが正常にマウントされているかを検査することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例によるダイボンディング装置
を示す斜視図。

【図２】この発明の図１に示すダイボンディング装置を
模式的に示す図。

【符号の説明】

1 …基台、2 …ウェ−ハ載置台、3 …テ−ブル、4 …第
１の移動手段、4a…第１の矢印、5 …第２の移動手段、
5a…第２の矢印、6 …ウェ−ハ、7 …支持体、8 …位置
決め用カメラ、9 …軸、10…ペレット、11…移動手段、
11a …マウントヘッド、12…ダイボンディング部、13…
フ−プフレ−ム、14…検査用カメラ、15…画像処理部、
16…突上げ用ニ−ドル、17…ウェ−ハシ−ト、18…第４
の矢印、20…ハ−フミラ−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 載置台の上に載置された複数のペレット
   が撮像される第１のカメラと、 前記ペレットをマウント手段によりフレ−ムの上にマウ
   ントした状態が撮像される第２のカメラと、 前記第１のカメラによる第１の画像デ−タが処理され前
   記ペレットの位置が検出され、前記第２のカメラによる
   第２の画像デ−タが処理されマウント不良が検出される
   画像処理部と、 を具備することを特徴とするダイボンディング装置。