JP5846768B2 - 加工装置 - Google Patents
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Images
Description
14 X軸送り機構
20 チャックテーブル
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
60 水充填室
68 対物レンズ
70 キセノンフラッシュ
74 対物レンズアセンブリ
77 貫通孔
78 対物レンズ
82 光量調整器
92 遮光板
94 CCDカメラ
96 モニタ
98 キセノンフラッシュ
100 光量調整器
112 光ファイバ
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを備えた加工装置であって、
該撮像手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像するカメラと、
該カメラの光軸上に配設されたハーフミラーと、
該ハーフミラーを介して該チャックテーブルに保持された被加工物を垂直照明するキセノンフラッシュからなる第1ストロボ光源と、
該カメラの光軸を中心として一方の端面が該チャックテーブルに保持された被加工物に対面して環状に配設された複数の光ファイバと、
該複数の光ファイバの他方の端面に光を入射して該チャックテーブルに保持された被加工物をリング照明するキセノンフラッシュからなる第2ストロボ光源と、
該第1ストロボ光源と該ハーフミラーとの間に配設された第1光量調整器と、
該第2ストロボ光源と該複数の光ファイバの他方の端面との間に配設された第2光量調整器と、を含み、
該カメラは、該第1ストロボ光源又は該第2ストロボ光源の発光に同期して被加工物を撮像できるように構成されており、
該第1及び第2光量調整器の各々は、回転軸を有する回転板と、該第1ストロボ光源又は該第2ストロボ光源から照射されるストロボ光を透過する該回転板に形成された開口部と、該回転軸の回転角度に応じて該開口部を透過する光量を最大値と最小値の間で連続的に又は段階的に変化させる遮光板とを含むことを特徴とする加工装置。 - 該第1及び第2光量調整器は、該回転軸に連結されたパルスモータを更に含む請求項1記載の加工装置。
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