JP2014165309A - エッジ検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
エッジ検出装置1は、分割予定ライン16に沿ってレーザ光を照射することで形成されたレーザグルーブ22と、レーザグルーブ22に沿って研削ブレードSP2で研削することで形成されたレーザグルーブ22より深いカーフ29とを有する半導体ウエハ10に対し、上方から分割予定ライン16と、レーザグルーブ22と、カーフ29とを撮像するCCD40と、分割予定ライン16とCCD40との間に配置された対物レンズ30と、対物レンズ30とCCD40とを結ぶ観察光軸に対し斜め方向から観察領域に光を照射する照明装置50とを備えている。
【選択図】図10
Description
カーフ24,29の検出は、二値化処理あるいはエッジ検出により行う。
黒い対象物検出を二値化処理で行う場合は、データ設定あるいは公知の自動しきい 値設定アルゴリズム(例:大津の自動しきい値決定方法など)を使用し、黒い対象物を抽出し、抽出結果の輪郭をカーフ24,29とする。
エッジ検出を行う場合は、検出ウィンドウ内の最も黒い領域中心を基準 に、カーフの外側に向かい黒から白に変化する変化点を検出する。カーフ24,29のエッジは変化点のエッジ強度をさらに微分した二次微分のゼロクロスを採用することにより、サブピクセル座標で計算される。さらに、エッジ検出処理の前処理として二値化処理で概略の輪郭位置を計算し、この輪郭位置近傍でエッジ検出を行うことで処理速度の改善も可能となる。
レーザグルーブ22の色が白く見える視認性の場合は、データ設定により白い対象物の検出アルゴリズムとして処理される。おおよそのレーザグルーブ22の大きさをデータ設定から、カーフ24,29の大きさをブレードデータから推定できる。レーザグルーブ22の幅からカーフ24,29の幅を除いた領域の輝度の分布傾向(例えば平均値)が白となり、この特性を利用した検出対象職の自動判定も可能である。
白い対象物(レーザグルーブ22)の検出を二値化処理で行う場合は、データ設定あるいは既存の自動しきい値設定アルゴリズム(例:大津の自動しきい値決定方法など)を使用し、白い対象物を画像からしきい値処理で抽出する。抽出結果の輪郭座標を画素にアクセスすることで把握することができ、この輪郭をレーザグルーブ22と認識する。レーザグルーブ22は黒いカーフ24,29により分断されている可能性があるので、検出の際に除外する。検出ウィンドウ内の上下に分けて抽出を行う。あるいは中央部を白く塗りつぶす。あるいはカーフ24,29の領域を検出対象範囲外として画素へのアクセスを行わない。これらにより、検出ウィンドウ内の白い領域の抽出を行えば、白いレーザグルーブ22の輪郭を検出することができる。
エッジ検出を行う場合は、顕微鏡中心から、あるいはおおよそのカーフ24,29の外側から、あるいは既にカーフ24,29の検出結果がある場合はこの外側から、レーザグルーブ22の外側に向かい、白から黒に変化する変化点を検出する。 カーフ24,29のエッジは変化点のエッジ強度をさらに微分した輝度の二次微分のゼロクロスを採用することで、サブピクセル座標で計算される。または、エッジ検出処理の前処理として二値化処理で概略の輪郭位置を計算し、この輪郭位置近傍でエッジ検出を行うことで処理速度の改善も可能である。
Claims (4)
- 分割予定ラインに沿ってレーザ光を照射することで形成されたレーザグルーブと、前記レーザグルーブに沿って研削ブレードで研削することで形成された前記レーザグルーブより深いカーフとを有する半導体ウエハに対し、上方から前記分割予定ラインを撮像する撮像手段と、
前記分割予定ラインと前記撮像手段との間に配置された対物レンズと、
前記対物レンズと前記撮像手段とを結ぶ観察光軸に対し斜め方向から前記半導体ウエハに光を照射する照明装置と、
を備えるエッジ検出装置。 - 前記照明装置は、平面視において、前記分割予定ラインに対する垂直方向からの光強度より、前記分割予定ラインに対する斜め方向からの光強度が大きい請求項1に記載のエッジ検出装置。
- 前記照明装置が、前記観察光軸を囲むリング状に配列された照明装置で構成される請求項1又は2記載のエッジ検出装置。
- 前記対物レンズは、前記カーフの深さより浅い被写界深度を有する請求項1から3のいずれか記載のエッジ検出装置。
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020061461A (ja) * | 2018-10-10 | 2020-04-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
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2013
- 2013-02-25 JP JP2013034504A patent/JP2014165309A/ja active Pending
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