JP6017263B2 - ウェーハの形状測定装置 - Google Patents
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Description
前記基準入射角は5度であることが好ましい。
ウェーハ送り部20は、Xテーブル24を有している。このXテーブル24は、面取り装置10の本体ベース11に設置されたX軸ベース21、2本のX軸ガイドレール22、22、4台のX軸リニアガイド23、23…、及びボールスクリュー(不図示)とステッピングモータ(不図示)とを備えたX軸駆動部25によって、図1の紙面に直交するX方向に移動される。
砥石回転部50は、外周加工砥石52を備えており、この外周加工砥石52は、スピンドル51を介して不図示のモータに連結されている。これにより、外周加工砥石52は、前記モータの動力がスピンドル51を介して伝達されて軸心CHを中心に回転される。
図2は、ウェーハテーブル34に取り付けられたツルアー41の側面図である。
図3は、外周加工砥石52の構成を示した説明図である。
図2に示したツルアー41としては、加工されるウェーハWと略同径、同厚の円盤状GC砥石が用いられ、砥石の粒度は#320である。また、図3の砥石52Aは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石であり、粒度#600である。砥石52Bは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石であり、粒度#800である。砥石52Dは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石であり、粒度#3000である。
スピンドル51は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、8,000rpmで回転される。また、外周精研スピンドル54はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、35,000rpmで回転される。ノッチ粗研スピンドル60は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルであり、80,000rpmで回転される。ノッチ精研スピンドル57は、エアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、150,000rpmで回転される。
この加工においては、図3の砥石52Aが8,000rpmで回転されている。この状態でZテーブル31がZ軸駆動手段30によって移動され、ツルアー41の高さが砥石52Aの溝52aと一致する高さに位置決めされる。この後、Yテーブル28が砥石52Aに向かって移動されると、ツルアー41の外周部が砥石52Aの溝52a内に切り込まれるとともに、ウェーハテーブル34がθ軸モータ32によって低速で1回転することにより、ツルアー41の外周部が面取り加工される。これによって、ツルアー41の外周部に溝52aの形状が転写される。
この工程では、まずZテーブル31をZ軸駆動手段30によって移動して、ツルアー41の高さを、砥石52Dの溝形成位置に位置決めする。
簡略して説明すると、回転中の砥石52Bの溝52bに、回転中のウェーハWの外周部を押し当てて、ウェーハWの外周面を粗研削する。
実施の形態の形状測定装置70は、図4に示すようにウェーハWの主面PSを水平姿勢で吸着保持して回転可能な測定テーブル72、LED照明装置(照明手段)74、上面用CCDカメラ(第1の撮像手段)76、下面用CCDカメラ(第2の撮像手段)78、画像処理装置(画像処理手段)80、及びモニタ82から構成されている。
図10は、ノッチ部Nの直線部90に発生している研削条痕104であって、平面視において略三角形形状の研削条痕104を誇大表示した説明図である。
図10に示した略三角形形状の研削条痕104の斜面のうち、頂部106に対してノッチ部Nの開口部110の側に位置する一方の斜面112には、LED照明装置74からの光が入射するので、一方の斜面112では光を反射する。これに対し、頂部106に対して円弧状部92の側に位置する他方の斜面116に向う光は、遮光板102によって遮光されているので、他方の斜面116には光が入射し難くなる。これにより、他方の斜面116で反射される光の量は、一方の斜面112で反射される光の量よりも大幅に少なくなる。
Claims (7)
- ウェーハの主面に対して垂直な棒状の回転砥石によりウェーハの外周部に形成され、且つ前記ウェーハの主面に対して傾斜して形成された面取り面を有するノッチ部であって、前記面取り面には前記回転砥石の研削により当該面取り面の幅方向に平行な研削条痕が形成されているノッチ部の前記研削条痕の形状を測定するウェーハの形状測定装置において、
前記ウェーハの主面に対して平行な方向から前記ノッチ部に光を照射するとともに前記ノッチ部の開口幅よりも広い範囲に光を照射する照明手段と、
前記照明手段と前記ノッチ部との間に配置され、前記照明手段から照射された光のうち、中心部の光を通過させ、かつ周辺部の光を遮光する遮光手段と、
前記照明手段から照射された光によって照明された前記ノッチ部の前記面取り面の前記研削条痕を前記ウェーハの主面に対して直交する方向から撮像する撮像手段と、
を備え、
前記ノッチ部の前記面取り面は、前記ウェーハの外周部に各々の一端部が連結される両側の直線状部と、前記両側の前記直線状部の各々の他端部が連結される円弧状部とからなるU字形状に形成され、
前記遮光手段は、前記照明手段から前記ノッチ部の前記直線状部に入射する光の光線のうち、前記直線状部の法線に対して前記円弧状部側に傾いた方向から入射する光線であって前記直線状部の法線に対する光線の入射角が基準入射角以上である光線を遮光する、ウェーハの形状測定装置。 - 前記基準入射角は5度である、請求項1に記載のウェーハの形状測定装置。
- 前記照明手段から照射される光の波長は570nm以下である、請求項1又は2に記載のウェーハの形状測定装置。
- 前記照明手段と前記遮光手段の間に設けられ、前記照明手段から照射された光を拡散する拡散手段を更に備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載のウェーハの形状測定装置。
- 前記撮像手段は、前記ウェーハを挟んで一方側に配置された第1の撮像手段と、前記ウ
ェーハを挟んで他方側に配置された第2の撮像手段とを備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載のウェーハの形状測定装置。 - 前記照明手段は、複数の青色発光LEDを正方状に配置したパネル型の光源を有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のウェーハの形状測定装置。
- 前記ノッチ部の算術平均粗さRaが0.08μmである、請求項1〜6のいずれか1項に記載のウェーハの形状測定装置。
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