JP6016150B2 - 研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 - Google Patents
研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6016150B2 JP6016150B2 JP2016024994A JP2016024994A JP6016150B2 JP 6016150 B2 JP6016150 B2 JP 6016150B2 JP 2016024994 A JP2016024994 A JP 2016024994A JP 2016024994 A JP2016024994 A JP 2016024994A JP 6016150 B2 JP6016150 B2 JP 6016150B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- light
- grinding
- notch
- notch portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
ウェーハ送り部20は、Xテーブル24を有している。このXテーブル24は、面取り装置10の本体ベース11に設置されたX軸ベース21、2本のX軸ガイドレール22、22、4台のX軸リニアガイド23、23…、及びボールスクリュー(不図示)とステッピングモータ(不図示)とを備えたX軸駆動部25によって、図1の紙面に直交するX方向に移動される。
砥石回転部50は、外周加工砥石52を備えており、この外周加工砥石52は、スピンドル51を介して不図示のモータに連結されている。これにより、外周加工砥石52は、前記モータの動力がスピンドル51を介して伝達されて軸心CHを中心に回転される。
図2は、ウェーハテーブル34に取り付けられたツルアー41の側面図である。
図3は、外周加工砥石52の構成を示した説明図である。
図2に示したツルアー41としては、加工されるウェーハWと略同径、同厚の円盤状GC砥石が用いられ、砥石の粒度は#320である。また、図3の砥石52Aは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石であり、粒度#600である。砥石52Bは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石であり、粒度#800である。砥石52Dは、直径202mmのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石であり、粒度#3000である。
スピンドル51は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、8,000rpmで回転される。また、外周精研スピンドル54はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、35,000rpmで回転される。ノッチ粗研スピンドル60は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルであり、80,000rpmで回転される。ノッチ精研スピンドル57は、エアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルであり、150,000rpmで回転される。
この加工においては、図3の砥石52Aが8,000rpmで回転されている。この状態でZテーブル31がZ軸駆動手段30によって移動され、ツルアー41の高さが砥石52Aの溝52aと一致する高さに位置決めされる。この後、Yテーブル28が砥石52Aに向かって移動されると、ツルアー41の外周部が砥石52Aの溝52a内に切り込まれるとともに、ウェーハテーブル34がθ軸モータ32によって低速で1回転することにより、ツルアー41の外周部が面取り加工される。これによって、ツルアー41の外周部に溝52aの形状が転写される。
この工程では、まずZテーブル31をZ軸駆動手段30によって移動して、ツルアー41の高さを、砥石52Dの溝形成位置に位置決めする。
簡略して説明すると、回転中の砥石52Bの溝52bに、回転中のウェーハWの外周部を押し当てて、ウェーハWの外周面を粗研削する。
実施の形態の形状測定装置70は、図4に示すようにウェーハWの主面PSを水平姿勢で吸着保持して回転可能な測定テーブル72、LED照明装置(照明手段)74、上面用CCDカメラ(第1の撮像手段)76、下面用CCDカメラ(第2の撮像手段)78、画像処理装置(画像処理手段)80、及びモニタ82から構成されている。
図10は、ノッチ部Nの直線部90に発生している研削条痕104であって、平面視において略三角形形状の研削条痕104を誇大表示した説明図である。
図10に示した略三角形形状の研削条痕104の斜面のうち、頂部106に対してノッチ部Nの開口部110の側に位置する一方の斜面112には、LED照明装置74からの光が入射するので、一方の斜面112では光を反射する。これに対し、頂部106に対して円弧状部92の側に位置する他方の斜面116に向う光は、遮光板102によって遮光されているので、他方の斜面116には光が入射し難くなる。これにより、他方の斜面116で反射される光の量は、一方の斜面112で反射される光の量よりも大幅に少なくなる。
上記に詳述した実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
Claims (4)
- ウェーハの主面に対して垂直な棒状の回転砥石によりウェーハの外周部に形成されたU字形状のノッチ部であって、且つ前記回転砥石による研削による研削スリップ条痕が形成されているノッチ部の前記研削スリップ条痕を観察する研削スリップ条痕観察装置において、
前記ノッチ部は、直線状部と、前記直線状部の間に位置する円弧状部とを有し、
前記回転砥石の研削により前記直線状部に形成されている前記研削スリップ条痕は、当該研削スリップ条痕の頂部に対して前記ノッチ部の開口側に位置する第1斜面と、前記頂部に対して前記円弧状部側に位置する第2斜面とを有しており、
前記ウェーハの主面に対して平行な方向から前記ノッチ部に向けて光を照射する照明手段と、
前記照明手段から前記ノッチ部に向けて照射された光を、前記ウェーハの主面と平行面内で各方位に拡散する拡散手段と、
前記拡散手段を通過して前記ノッチ部に向かう光の幅のうち、前記ノッチ部の開口幅の方向に平行な方向の幅を制限する遮光手段であって、前記直線状部に形成されている前記研削スリップ条痕の前記第2斜面に入射する光を制限し且つ前記第1斜面に入射する光の通過を許容する遮光手段と、
前記ウェーハの主面に対して直交する方向から前記ノッチ部を撮像する撮像手段と、
を備える研削スリップ条痕観察装置。 - 前記ノッチ部には、前記ウェーハの主面に対して傾斜して形成された面取り面であって、前記ウェーハの外周部に各々の一端部が連結される両側の前記直線状部と、前記両側の前記直線状部の各々の他端部が連結される前記円弧状部とからなるU字形状の面取り面が形成され、
前記面取り面には、当該面取り面の幅方向に沿って前記研削スリップ条痕が形成されており、
前記遮光手段は、前記照明手段から前記ノッチ部の前記直線状部に入射する光の光線のうち、前記直線状部の法線に対して前記円弧状部側に傾いた方向から入射する光線であって前記直線状部の法線に対する光線の入射角が基準入射角以上である光線を遮光する請求項1に記載の研削スリップ条痕観察装置。 - 前記照明手段から照射される光の波長は570nm以下である、請求項1又は2に記載の研削スリップ条痕観察装置。
- ウェーハの主面に対して垂直な棒状の回転砥石によりウェーハの外周部に形成されたU字形状のノッチ部であって、且つ前記回転砥石による研削による研削スリップ条痕が形成されているノッチ部の前記研削スリップ条痕を観察する研削スリップ条痕観察方法において、
前記ノッチ部は、直線状部と前記直線状部の間に位置する円弧状部とを有し、
前記回転砥石の研削により前記直線状部に形成されている前記研削スリップ条痕は、当該研削スリップ条痕の頂部に対して前記ノッチ部の開口側に位置する第1斜面と、前記頂部に対して前記円弧状部側に位置する第2斜面とを有しており、
前記ウェーハの主面に対して平行な方向から前記ノッチ部に向けて光を照射する照明ステップと、
前記照明ステップで前記ノッチ部に向けて照射された光を、前記ウェーハの主面と平行面内で各方位に拡散する拡散ステップと、
前記拡散ステップで拡散されて前記ノッチ部に向かう光の幅のうち、前記ノッチ部の開口幅の方向に平行な方向の幅を制限する遮光ステップであって、前記直線状部に形成されている前記研削スリップ条痕の前記第2斜面に入射する光を制限し且つ前記第1斜面に入射する光の通過を許容する遮光ステップと、
前記ウェーハの主面に対して直交する方向から前記ノッチ部を撮像する撮像ステップと、
を有する研削スリップ条痕観察方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016024994A JP6016150B2 (ja) | 2016-02-12 | 2016-02-12 | 研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016024994A JP6016150B2 (ja) | 2016-02-12 | 2016-02-12 | 研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012236483A Division JP6017263B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | ウェーハの形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016128831A JP2016128831A (ja) | 2016-07-14 |
JP6016150B2 true JP6016150B2 (ja) | 2016-10-26 |
Family
ID=56384271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016024994A Active JP6016150B2 (ja) | 2016-02-12 | 2016-02-12 | 研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6016150B2 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4606634A (en) * | 1984-07-27 | 1986-08-19 | Owens-Illinois, Inc. | System for detecting selective refractive defects in transparent articles |
JP3338080B2 (ja) * | 1992-06-02 | 2002-10-28 | 株式会社神戸製鋼所 | ディスク外周部検査装置 |
JP3668294B2 (ja) * | 1995-08-22 | 2005-07-06 | オリンパス株式会社 | 表面欠陥検査装置 |
JP3282786B2 (ja) * | 1996-07-29 | 2002-05-20 | 東芝セラミックス株式会社 | ウエハの形状認識装置 |
JP2000046743A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Kobe Steel Ltd | 欠陥検査装置 |
JP2001004341A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウェーハ形状測定装置 |
JP2005268530A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 半導体ウエハのアライメント装置 |
JP2005308615A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Olympus Corp | 表面欠陥検査装置 |
JP2008277596A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Micro Engineering Inc | 表面キズ欠陥検査装置 |
JP2009020038A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
JP5144401B2 (ja) * | 2008-07-01 | 2013-02-13 | 直江津電子工業株式会社 | ウエハ用検査装置 |
JP2010181249A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Kobelco Kaken:Kk | 形状測定装置 |
-
2016
- 2016-02-12 JP JP2016024994A patent/JP6016150B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016128831A (ja) | 2016-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007147433A (ja) | セラミック板の欠陥検出方法と装置 | |
TWI672739B (zh) | 產品製造裝置和製造方法 | |
JP6020869B2 (ja) | ウェーハ形状測定装置及び方法、並びにウェーハ面取り装置 | |
KR101115010B1 (ko) | 웨이퍼 검사 장치 | |
TW201730551A (zh) | 檢查裝置 | |
TW201834051A (zh) | 工件的檢查方法、工件的檢查裝置及加工裝置 | |
JP6017263B2 (ja) | ウェーハの形状測定装置 | |
JP6905357B2 (ja) | ウエーハのうねり検出方法及び研削装置 | |
TWI824071B (zh) | 中心檢測方法 | |
KR20170000320A (ko) | 스크라이브 장치 | |
JP6065343B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
JP6016150B2 (ja) | 研削スリップ条痕観察装置及び研削スリップ条痕観察方法 | |
JP5328025B2 (ja) | エッジ検出装置及びこれを用いた工作機械、エッジ検出方法 | |
JP2014085296A (ja) | ウェーハ形状測定装置 | |
JP6283971B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
JP5505790B2 (ja) | ダイシング装置による検査方法 | |
JP2017090080A (ja) | 検査装置 | |
JP2010197313A (ja) | 製品形状の検査システム | |
TW201818066A (zh) | 刮痕檢測方法 | |
JP6817798B2 (ja) | ウエーハの研削方法及び研削装置 | |
JP6767849B2 (ja) | ウエーハ加工装置及びウエーハの加工方法 | |
KR102557511B1 (ko) | 검사 장치 | |
JP6989392B2 (ja) | 板状物の加工方法 | |
KR20200122999A (ko) | 분할 가공 장치 | |
JP2014165308A (ja) | エッジ検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160520 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160902 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6016150 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |