JP5751940B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
11 パッケージ基板
14 X軸送り機構
15a 第1分割予定ライン
15b 第2分割予定ライン
17 デバイス形成部
P1〜P5 第1アライメントマーク
P6〜P10 第2アライメントマーク
P11〜P13 第3アライメントマーク
P14〜P16 第4アライメントマーク
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
68 対物レンズ
70 キセノンフラッシュ
74 CCDカメラ
76 モニタ
82 座標記憶部
84 照射指示部
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像し加工すべき領域を検出する撮像手段と、該チャックテーブルと該撮像手段とを相対的に移動する移動手段とを備えた加工装置であって、
該移動手段は、パルスモータと、該パルスモータによって回転駆動されるボールねじと、該ボールねじに螺合するナットを備えた可動部と、該可動部の位置を検出する位置検出部とを含み、
該撮像手段は、被加工物を撮像するカメラと、該カメラの撮像領域にストロボ光を照射するストロボ光源と、該位置検出部から出力される信号に基づき該ストロボ光源を駆動する制御手段とを含み、
該チャックテーブルと該撮像手段の何れかが該可動部に配設されており、
該制御手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物の撮像すべき領域の座標が記憶された座標記憶部と、該ストロボ光源を駆動する照射指示部とを含み、
該照射指示部は、該照射指示部が該ストロボ光源を駆動する駆動信号を出力したときからストロボ光が照射されるまでの遅れ時間を(S)とし、該可動部の移動速度を(V)としたとき、該座標記憶部に記憶された座標から(VS)を減じた値と該位置検出部から出力される信号とが一致した際、該ストロボ光源を駆動する駆動信号を出力することを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
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JP2011130211A JP5751940B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011130211A JP5751940B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 加工装置 |
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JP2012254512A JP2012254512A (ja) | 2012-12-27 |
JP5751940B2 true JP5751940B2 (ja) | 2015-07-22 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2011130211A Active JP5751940B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 加工装置 |
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- 2011-06-10 JP JP2011130211A patent/JP5751940B2/ja active Active
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