JP5904721B2 - 分割予定ライン検出方法 - Google Patents
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Description
11 パッケージ基板
14 X軸送り機構
15a 第1分割予定ライン
15b 第2分割予定ライン
17 デバイス形成部
P1〜P5 第1アライメントマーク
P6〜P10 第2アライメントマーク
P11〜P13 第3アライメントマーク
P14〜P16 第4アライメントマーク
36 Y軸送り機構
44 Z軸送り機構
46 切削ユニット
50 切削ブレード
52 アライメントユニット
54 撮像ユニット
68 対物レンズ
70 キセノンフラッシュ
74 CCDカメラ
76 モニタ
Claims (1)
- 複数の第1分割予定ラインと該第1分割予定ラインに交差する複数の第2分割予定ラインとによって区画された各領域にデバイスが形成されるとともに、該複数の第1分割予定ラインの第1端部に該第1分割予定ラインに関連して形成された複数の第1アライメントマークと、該複数の第1分割予定ラインの該第1端部と反対側の第2端部に該第1分割予定ラインに関連して形成された複数の第2アライメントマークとを有する被加工物において、該第1アライメントマークと該第2アライメントマークとを撮像して該第1分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出方法であって、
X軸方向に移動可能なチャックテーブルで被加工物を保持する保持工程と、
該チャックテーブルに保持された被加工物に撮像手段を位置付けて該撮像手段をX軸方向に直交するY軸方向に移動しながら該撮像手段のストロボ光を該第1アライメントマークの間隔に対応して照射して該第1アライメントマークを第1の方向に順々に撮像し、該第1アライメントマークの座標値を検出して該第1アライメントマークの座標値をメモリに格納する第1アライメントマーク撮像工程と、
該チャックテーブルをX軸方向に移動して該撮像手段を被加工物の該第2端部に位置付けるチャックテーブル移動工程と、
該チャックテーブル移動工程を実施した後、該撮像手段を該第1の方向と反対の第2の方向に移動しながら該第2アライメントマークの間隔に対応して該撮像手段からストロボ光を照射して該第2アライメントマークを順々に撮像し、該第2アライメントマークの座標値を検出して該第2アライメントマークの座標値をメモリに格納する第2アライメントマーク撮像工程と、
該第1アライメントマーク撮像工程によってメモリに格納された該第1アライメントマークの座標値と該第2アライメントマーク撮像工程によってメモリに格納された該第2アライメントマークの座標値とに基づいて、Y軸方向に対応する該第1アライメントマークと該第2アライメントマークとを結んだ直線を第1分割予定ラインとして検出する分割予定ライン検出工程と、
を具備し、
該第1アライメントマーク撮像工程及び該第2アライメントマーク撮像工程では、該撮像手段の中心座標位置に対する該第1アライメントマーク及び該第2アライメントマークのそれぞれの座標位置を、該第1アライメントマーク及び該第2アライメントマークのそれぞれの座標値としてメモリに格納することを特徴とする分割予定ライン検出方法。
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