JP5826707B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Description
まず、後述する基板検査装置30において検査されるプリント基板について、説明する。図1は、プリント基板9の一例を示した図である。図1に示すように、プリント基板9は、ベース板部91と、ベース板部91の上面に形成された配線パターン92とを有する。ベース板部91は、ガラスエポキシや紙フェノール等の絶縁材料より形成される。配線パターン92は、フォトリソグラフィ工程において、銅箔等の導体をエッチングすることにより、形成される。
続いて、本発明の一実施形態に係る基板検査装置30を備えた基板検査システム1について、説明する。図3は、基板検査システム1の構成を示した図である。この基板検査システム1は、プリント基板9の製造工程において、配線パターン92の欠陥検査を行うためのシステムである。図3に示すように、基板検査システム1は、データサーバ10、CAM編集機20、基板検査装置30、およびベリファイ装置40を備えている。
続いて、基板検査装置30のより詳細な構成について、説明する。
図6は、上述した基板検査装置30における欠陥検査の手順を示したフローチャートである。図7は、図6中のステップS3における検査データの生成手順を示したフローチャートである。図8は、制御部35におけるデータ処理の様子を、概念的に示したブロック図である。以下では、図6〜図8を参照しつつ、基板検査装置30における欠陥検査について、説明する。なお、図8中の画像取得部351、情報測定部352、シミュレーション部353、およびデータ照合部354は、例えば、コンピュータのCPUが、メモリ等に記憶されたデータを参照しつつ動作することにより、実現される。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
9 プリント基板
10 データサーバ
20 CAM編集機
30 基板検査装置
31 ハウジング
32 テーブル
33 テーブル移動機構
34 撮像部
35 制御部
40 ベリファイ装置
51,52,53 HUB
60 描画装置
91 ベース板部
92 配線パターン
93 検査領域
94 測定用パターン
351 画像取得部
352 情報測定部
353 シミュレーション部
354 データ照合部
355 表示部
356 入力部
921 個片パターン
D1 個片設計データ
D2 全体設計データ
D3 画像データ
D4 エッチング曲線
D5 検査データ
Claims (6)
- 基板の表面にエッチングにより形成された配線パターンの欠陥検査を行う基板検査装置であって、
基板の表面に形成された測定用パターンからエッチング情報を測定する情報測定手段と、
前記エッチング情報を用いて、設計データにエッチングシミュレーションを行うことにより、検査データを生成するシミュレーション手段と、
基板の表面に形成された配線パターンを撮影し、得られた画像データと前記検査データとを照合させることにより、欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を備え、
基板の表面に、複数の検査領域が設定され、
複数の前記検査領域のそれぞれに、前記測定用パターンが設けられ、
前記情報測定手段は、複数の前記測定用パターンのそれぞれについて、エッチング情報を測定し、
前記シミュレーション手段は、複数の前記検査領域のそれぞれに含まれる測定用パターンから得られたエッチング情報を用いて、前記検査領域ごとにエッチングシミュレーションを行う基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置であって、
前記検査領域内に、複数の個片パターンが含まれ、
前記シミュレーション手段は、一部の個片パターンの設計データに対して、前記エッチングシミュレーションを行うとともに、前記エッチングシミュレーションの結果を多面付けすることにより、前記検査データを生成する基板検査装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板検査装置であって、
ユーザの操作により、複数の前記検査領域を設定する領域設定手段
をさらに備える基板検査装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板検査装置であって、
前記配線パターンと前記測定用パターンとが、単一の基板の表面に形成されている基板検査装置。 - 基板の表面にエッチングにより形成された配線パターンの欠陥検査を行う基板検査方法であって、
基板の表面に、複数の検査領域が設定され、
複数の前記検査領域のそれぞれに、測定用パターンが設けられ、
a)基板の表面に形成された複数の前記測定用パターンのそれぞれについてエッチング情報を測定する工程と、
b)複数の前記検査領域のそれぞれに含まれる前記測定用パターンから得られた前記エッチング情報を用いて、設計データに前記検査領域ごとにエッチングシミュレーションを行うことにより、検査データを生成する工程と、
c)基板の表面に形成された配線パターンを撮影し、得られた画像データと前記検査データとを照合させることにより、欠陥を検出する工程と、
を単一の装置において行う基板検査方法。 - 請求項5に記載の基板検査方法であって、
前記工程b)においては、前記配線パターンを構成する複数の固片パターンのうち、一部の個片パターンの設計データに対して、前記エッチングシミュレーションを行うとともに、前記エッチングシミュレーションの結果を多面付けすることにより、前記検査データを生成する基板検査方法。
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