JP5732636B2 - 配向カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記第1の水冷管は前記石英窓に気密に接続され、該第1の水冷管の先端には該石英窓を貫通して雄ねじ部が設けられ、該雄ねじ部にアンテナが螺着されていることが好ましい。
本比較例では図1に示すCVD装置1を用いて、配向カーボンナノチューブの製造を行った。
Claims (6)
- アンテナ型プラズマCVD装置を用いる配向カーボンナノチューブの製造方法であって、
該CVD装置は、処理室と、該処理室の外部に設けられたマイクロ波印加手段とを備え、該処理室は石英窓を介して該マイクロ波印加手段に気密に接続され、該マイクロ波印加手段は、内部に第1の水冷管を備え、該石英窓はアンテナを備え、
カーボンナノチューブの原料となる気体の流通下、所定の圧力に減圧された該処理室に、該石英窓を介して該マイクロ波印加手段により印加されるマイクロ波を導入することによりアンテナにプラズマを発生させ、
基材上に形成された反応防止層と該反応防止層上に形成された触媒材料層とを備える基板を、プラズマの発生領域に対し、該領域で発生したラジカルに副生するイオンの攻撃を避け得る距離であり、該ラジカルがラジカル状態を維持して到達し得る距離を存して保持すると共に、
該アンテナの先端を、マイクロ波の定在波の腹の位置に一致するように制御することを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1記載の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記第1の水冷管は前記石英窓に気密に接続され、該第1の水冷管の先端には該石英窓を貫通して雄ねじ部が設けられ、該雄ねじ部にアンテナが螺着されていることを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記マイクロ波印加手段は、外周に沿って設けられた第2の水冷管を備えることを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記基板を650〜800℃の温度に維持することを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記処理室内の圧力を2.66〜13.33kPaの範囲に保持すると共に、前記プラズマ発生のために印加する電力を60〜180Wの範囲に保持することを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載の配向カーボンナノチューブの製造方法において、前記触媒材料層は、2nm未満の範囲の厚さを備えることを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
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