JP5662561B2 - 基材上にニオブドープチタニアフィルムを蒸着させる方法およびこれにより作製された被覆基材 - Google Patents
基材上にニオブドープチタニアフィルムを蒸着させる方法およびこれにより作製された被覆基材 Download PDFInfo
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Description
本出願は、基材上に透明で導電性のニオブドープチタニアフィルムを蒸着させる方法およびこれにより作製された被覆基材に関し、より詳細には、化学気相蒸着法の如き熱分解被覆法により、ガラス基材上にニオブドープチタニアフィルムを被覆して被覆基材を提供することに関する。この被覆基材は、光電池装置、エレクトロクロミック装置用の電極、冷蔵庫や航空機の窓用の電気加熱画像パネル、有機発光ダイオード、住居および商業窓用の低放射率被覆剤の製造に使用することができるが、これらに限定されるものではない。
基材の表面上に蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムを有するガラスシート基材上を非限定的な例とする基材は、これも非限定的な例であるが、光電池の用途、電気タッチパネル、エレクトロクロミック装置用の電極、有機発光ダイオード、防曇性の商業冷蔵庫の扉や航空機の透明材料用の電気加熱ガラス、赤外線反射窓の如き住居および商業窓用の低放射率被覆剤の製造に使用されている。本考察において特に興味深いのは、当分野で通常CVD法と称される化学気相蒸着被覆法により蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムであり、このCVD法は例えば、米国特許第4,853,257号、同第5,356,718号および同第7,413,767号に開示されているが、これらに限定されるものではない。CVD法によりガラス上に蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムの最も一般的なものは、通常フッ素でドープされた酸化錫フィルムである。
本明細書で使用される、「内」、「外」、「左」、「右」、「上」、「下」、「水平」、「垂直」等の場所または方向に関する語は、図面に示された発明そのものに関する。しかし、本発明では様々な代替の方位を想定することができ、よってこれらの語は限定的に考慮されるべきではないことを理解すべきである。さらに、本明細書および請求の範囲で使用される、寸法、物理的特性などを表す全ての数字は、全ての場合において「約」なる語で修飾されるように理解すべきである。したがって、反する記載がない限り、以下の明細書および請求の範囲において記される数値は、本発明で所望されるおよび/または得ようとされる特性に応じて変化し得る。最低限、そして、請求の範囲への均等論の適用を制限することが意図されないように、少なくとも各数値パラメーターは報告されている有効数字の数や通常の四捨五入の技法を鑑みて解釈されるべきである。また、本明細書で開示される全ての範囲は、それに含まれるいかなる全ての部分的な範囲を包含すると理解されるべきである。たとえば、「1〜10」と記載された範囲は、最小値の1と最大値の10の間に含まれるいかなる全ての部分範囲を包含すると考えるべきで、すなわち、たとえば1〜6.7または3.2〜8.1または5.5〜10といった、最小値の1またはそれ以上から始まり最大値の10またはそれ以下で終わる全ての部分範囲が包含されると考えるべきである。また、本明細書で使用される「上方で移動される(moved over)
」、「上方に被覆される(coated over)」、「上方に適用される(applied over)」および「上方に位置される(positioned over)」なる語は、上側で移動され、被覆され、位置されるが、必ずしも表面が接触するわけではない。たとえば、第1のフィルムが表面の「上に被覆される」と記載される場合は、この表面と第1のフィルムとの間に第2のフィルムが存在することが排除されるものではない。
Claims (18)
- 表面を有するガラス基材、
基材の表面の上方に被覆層、及び
基材の表面の上方に、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルム、
を有する被覆物品において、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムがニオブドープ酸化チタンフィルムであり、
被覆層が、色抑制層、反真珠光層、ナトリウムバリアおよびこれらの組み合わせからなる群から選ばれ、
被覆層が、基材と熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムとの間にある中間被覆層であり、
中間被覆層が、異なる屈折率を有する混合された金属酸化物の勾配層を含み、中間被覆層の中の1つの金属酸化物のパーセント含有率が、基材の表面からの距離が増大するにつれて減少する、
被覆物品。 - ガラス基材が連続したガラスリボンおよびガラスシートからなる群より選ばれる、請求項1に記載の被覆物品。
- 中間被覆層の第1の表面が基材の表面と表面同士が接触し、ニオブドープ酸化チタンフィルムが中間被覆層の反対側の第2の表面と表面同士が接触している、請求項1又は2に記載の被覆物品。
- ニオブドープ酸化チタンフィルムが、200nm以上2μm以下の範囲の厚さ、1.2Ω/□より大きいシート抵抗値、及び2.3以上の屈折率を有する、請求項1から3のいずれか一項に記載の被覆物品。
- 前記基材の表面が、基材の第1の表面であり、
基材が、第1の表面の反対側に第2の表面を有し、
基材の第1の表面が基材の空気側の表面であり、
基材の第2の表面が錫が拡散された表面であり、
前記の空気側と錫が拡散されたその反対側とを有する基材が、
ガラスフロート法によって作製されたことの特徴を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載の被覆物品。 - 混合された金属酸化物の勾配層が、酸化シリコンである第1の金属酸化物と酸化錫である第2の金属酸化物とを含み、
酸化シリコンが酸化錫よりも屈折率が低く、
基材の表面における、酸化シリコンのパーセント含有率が、酸化錫より大きく、
中間被覆層の中の酸化シリコンのパーセント含有率が、基材の表面からの距離が増大するにつれて減少し、
前記の酸化シリコンのパーセント含有率が減少するにつれて酸化錫のパーセント含有率が増加する、請求項1から5のいずれか一項に記載の被覆物品。 - 熱分解で蒸着された透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムが、化学気相蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、大気プラズマ蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、スプレー熱分解蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、プラズマエネルギー被覆気相蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム及びこれらの組み合わせの群から選ばれる、請求項1から6のいずれか一項に記載の被覆物品。
- 熱分解で蒸着された透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムが、化学気相蒸着法で蒸着された、透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムである、請求項7に記載の被覆物品。
- 表面を有するガラス基材、
基材の表面の上方に被覆層、及び
基材の表面の上方に、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルム、
を有する被覆物品において、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムがニオブドープ酸化チタンフィルムであり、
被覆層が、色抑制層、反真珠光層、ナトリウムバリアおよびこれらの組み合わせからなる群から選ばれ、
被覆層が基材と熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムとの間にある中間被覆層であり、
中間被覆層が第1の均一な金属酸化物層及び第2の均一な金属酸化物層を含み、
第1の均一な金属酸化物層が、高い屈折率を有し、基材と熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムとの間にあり、
第2の均一な金属酸化物層が、低い屈折率を有し、第1の均一な金属酸化物と基材との間にあり、
第2の均一な金属酸化物層が第1の酸化シリコン層であり、
第1の均一な金属酸化物層が第1の酸化錫層であり、
第1の酸化錫層の上方に第2の均一な酸化シリコン層、
第2の酸化シリコン層の上方に第2の均一な酸化錫層、及び
第2の酸化錫層の上方に熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルム
を含む、
被覆物品。 - 表面を有するガラス基材、
基材の表面の上方に被覆層、及び
基材の表面の上方に、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルム、
を有する被覆物品において、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムがニオブドープ酸化チタンフィルムであり、
被覆層が、色抑制層、反真珠光層、ナトリウムバリアおよびこれらの組み合わせからなる群から選ばれ、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムが、基材と被覆層との間にあり、
被覆層が、異なる屈折率を有する混合された金属酸化物の勾配層を含み、被覆層の中の1つの金属酸化物のパーセント含有率が、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムからの距離が増大するにつれて減少する、
被覆物品。 - 混合された金属酸化物の勾配層が、酸化シリコンである第1の金属酸化物と酸化錫である第2の金属酸化物とを含み、
酸化シリコンが酸化錫よりも屈折率が低く、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムにおける、酸化シリコンのパーセント含有率が、酸化錫より大きく、
勾配層の中の酸化シリコンのパーセント含有率が、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムからの距離が増大するにつれて減少し、
前記の酸化シリコンのパーセント含有率が減少するにつれて酸化錫のパーセント含有率が増加する、請求項10に記載の被覆物品。 - 表面を有するガラス基材、
基材の表面の上方に被覆層、及び
基材の表面の上方に、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルム、
を有する被覆物品において、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムがニオブドープ酸化チタンフィルムであり、
被覆層が、色抑制層、反真珠光層、ナトリウムバリアおよびこれらの組み合わせからなる群から選ばれ、
熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムが、基材と被覆層との間にあり、
被覆層が第1の均一な金属酸化物層及び第2の均一な金属酸化物層を含み、
第1の均一な金属酸化物層が、高い屈折率を有し、熱分解で蒸着された透明で導電性の酸化物フィルムの上方にあり、
第2の均一な金属酸化物層が、低い屈折率を有し、第1の均一な金属酸化物と基材との間にあり、
第2の均一な金属酸化物層が第1の酸化シリコン層であり、
第1の均一な金属酸化物層が第1の酸化錫層であり、
第1の酸化錫層の上方に第2の均一な酸化シリコン層、及び第2の酸化シリコン層の上方に第2の均一な酸化錫層
を含む、
被覆物品。 - 中間被覆層の第1の表面が基材の表面と表面同士が接触し、ニオブドープ酸化チタンフィルムが中間被覆層の反対側の第2の表面と表面同士が接触している、請求項9に記載の被覆物品。
- ガラス基材が連続したガラスリボンおよびガラスシートからなる群より選ばれる、請求項9から13のいずれか一項に記載の被覆物品。
- ニオブドープ酸化チタンフィルムが、200nm以上2μm以下の範囲の厚さ、1.2Ω/□より大きいシート抵抗値、及び2.3以上の屈折率を有する、請求項9から14のいずれか一項に記載の被覆物品。
- 前記の基材の表面が、基材の第1の表面であり、
基材が、第1の表面の反対側に第2の表面を有し、
基材の第1の表面が基材の空気側の表面であり、
基材の第2の表面が錫が拡散された表面であり、
前記の空気側と錫が拡散されたその反対側とを有する基材が、
ガラスフロート法によって作製されたことの特徴を有する、請求項9から15のいずれか一項に記載の被覆物品。 - 熱分解で蒸着された透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムが、化学気相蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、大気プラズマ蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、スプレー熱分解蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム、プラズマエネルギー被覆気相蒸着透明導電性ニオブドープ酸化チタンフィルム及びこれらの組み合わせの群から選ばれる、請求項9から16のいずれか一項に記載の被覆物品。
- 熱分解で蒸着された透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムが、化学気相蒸着法で蒸着された、透明で導電性のニオブドープ酸化チタンフィルムである、請求項17に記載の被覆物品。
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