JP5533881B2 - 電子装置及びノイズ抑制方法 - Google Patents
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Description
本発明は、互いに重なる2つの配線基板を有する電子装置及びノイズ抑制方法に関する。
コンピュータ等に代表される電子機器の多くは、複数の配線基板を用いて構成されている。例えば大規模集積回路(LSI:Large Scale Integration)等の半導体装置は、通常、専用の配線基板であるパッケージ配線基板に搭載された形態でマザーボード等に実装される。近年の半導体装置の高周波化に伴い、高周波回路から発生する電磁雑音が電子機器内部の他の電子回路に電磁干渉し、電子機器の動作に支障をきたすケースが見られるようになった。
一方、近年はメタマテリアルの一種であるEBG(Electromagnetic Band Gap)の開発が進んでいる。EBGは、誘電体または金属等を二次元または三次元で周期的に配置した構造をとることにより、その内部または平面上で特定周波数帯の電磁波の伝搬を抑制するバンドギャップを形成するものである。
例えば特許文献1には、多層配線構造を有するマザーボードの内部にEBGパターンを設けることにより、マザーボードのコネクタ間で干渉が生じることが抑制できる、と記載されている。
また特許文献2には、インターポーザにおいて半導体装置の下方に位置する領域にEBG構造を設けることが記載されている。
Shahrooz Shahparnia et al, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTROMAGNETIC COMPATIBILITY, VOL.46, NO.4, NOVEMBER 2004
Shawn D. Rogers, IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES, VOL.53, NO.8, AUGUST 2005
マザーボードとパッケージ配線基板など、互いに重なる2つの配線基板間の接続は、これら2つの配線基板の間に設けられた接続端子で行われることが多い。このような場合において、接続端子を伝達する信号によって、接続端子からノイズが発生することがある。しかし上記した文献に記載のEBGは、配線基板の内部に形成されている。このため、接続端子から発生するノイズのように、互いに重なる2つの配線基板の間の空間を伝播するノイズを遮断することはできなかった。
本発明の目的は、互いに重なる2つの配線基板の間の空間を伝播するノイズを遮断することができる電子装置及びノイズ抑制方法を提供することにある。
本発明によれば、第1配線基板と、
前記第1配線基板に接続している第2配線基板と、
を備え、
前記第1配線基板は第1導体を有し、
前記第2配線基板は、前記第1導体と対向する領域に少なくとも一部が形成されている第2導体を有し、
前記第2導体を用いて、導体の繰り返し構造が形成されており、
前記第2導体は、前記第2配線基板が有する他の導体層から電気的に独立している電子装置が提供される。
前記第1配線基板に接続している第2配線基板と、
を備え、
前記第1配線基板は第1導体を有し、
前記第2配線基板は、前記第1導体と対向する領域に少なくとも一部が形成されている第2導体を有し、
前記第2導体を用いて、導体の繰り返し構造が形成されており、
前記第2導体は、前記第2配線基板が有する他の導体層から電気的に独立している電子装置が提供される。
本発明によれば、電気部品が実装される第1配線基板に第1導体を設け、
前記第1配線基板及び前記電気部品が実装される第2配線基板のうち前記第1導体に対向する領域の少なくとも一部に第2導体を設け、
前記第1導体及び前記第2導体の少なくとも一方に、繰り返し構造を持たせることにより、前記第1導体及び前記第2導体を用いてEBG(Electromagnetic Band Gap)構造の少なくとも一部を形成して、前記第1配線基板と前記第2配線基板の間の空間においてノイズが伝播することを抑制するノイズ抑制方法が提供される。
前記第1配線基板及び前記電気部品が実装される第2配線基板のうち前記第1導体に対向する領域の少なくとも一部に第2導体を設け、
前記第1導体及び前記第2導体の少なくとも一方に、繰り返し構造を持たせることにより、前記第1導体及び前記第2導体を用いてEBG(Electromagnetic Band Gap)構造の少なくとも一部を形成して、前記第1配線基板と前記第2配線基板の間の空間においてノイズが伝播することを抑制するノイズ抑制方法が提供される。
本発明によれば、互いに重なる2つの配線基板の間の空間を伝播するノイズを遮断することができる。
上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
図1(a)は、第1の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。図1(b)は、図1(a)のA−A´断面から下を見た図であり、マザーボード200の表面の構成を示している。図1(c)は、図1(a)のA−A´断面から上を見た図であり、パッケージ配線基板300の表面の構成を示している。
この電子装置は、パッケージ100及びマザーボード200を備える。パッケージ100は、パッケージ配線基板300及び半導体チップ10を備える。半導体チップ10は電子部品の一例であり、パッケージ配線基板300に実装されている。本図に示す例では、半導体チップ10はパッケージ配線基板300にフリップチップ実装されているが、他の実装形式により実装されていても良い。マザーボード200には、パッケージ100が実装されている。パッケージ配線基板300は第1配線基板の一例であり、マザーボード200は第2配線基板の一例である。
パッケージ配線基板300は第1導体としての第1導体パターン310を有しており、マザーボード200は第2導体としての第2導体パターン210を有している。第2導体パターン210は、第1導体パターン310の少なくとも一部に対向する領域、すなわち平面視において第1導体パターン310と少なくとも一部が重なる領域に形成されている。そして第1導体パターン310及び第2導体パターン210の少なくとも一方を用いて、導体の繰り返し構造が形成されている。本実施形態では、第1導体パターン310及び第2導体パターン210は、少なくとも一方は、互いに対向している領域に繰り返し構造、例えば周期構造を有している。そして第1導体パターン310及び第2導体パターン210は、EBG(Electromagnetic Band Gap)構造体20の少なくとも一部を構成している。そして第2導体パターン210は、マザーボード200が有する他の導体から電気的に独立している。本実施形態では、第2導体パターン210は、マザーボード200が有する他の導体とは直接接続していない。
本図に示す例では、第1導体パターン310はシート状の導体パターンであり、第2導体パターン210は、互いに離間している複数の島状の導体パターンである。そして第2導体パターン210の島状の導体パターンは、それぞれ補助接続部材410を介して第1導体パターン310に接続している。補助接続部材410は一端にヘッダーを有するピンである。このヘッダーは例えば円形や矩形の導体パターンになっており、パッケージ配線基板300の第1導体パターン310にハンダ30を用いて接続されている。なお補助接続部材410の他端はハンダ32を用いて第2導体パターン210の中心に接続されている。そして複数の第2導体パターン210は、補助接続部材410及び第1導体パターン310を介して互いに導通している。
またマザーボード200は、第2導体パターン210の一つ下の配線層に、導体パターン230を有している。導体パターン230は、グラウンドプレーン及び電源プレーンの一方、例えばグラウンドプレーンであり、平面視において第2導体パターン210が形成されている領域に延在している。
本図に示す例では、パッケージ配線基板300は外部接続端子320を有しており、マザーボード200は外部接続端子220を有している。外部接続端子320は、例えば電極パッドであり、パッケージ配線基板300のうちマザーボード200に対向する面302に形成されている。外部接続端子220は、例えば電極パッドであり、マザーボード200のうちパッケージ配線基板300に対向する面202に形成されている。外部接続端子220,320は、接続部材400により互いに接続されている。そして平面視においてEBG構造体20は、外部接続端子220,320及び接続部材400を取り囲むように形成されている。
第2導体パターン210及び外部接続端子220はそれぞれ複数形成されている。そして第1導体パターン310は面302に形成されており、外部接続端子320と同一の導体層を用いて形成されている。また第2導体パターン210は面202に形成されており、外部接続端子220と同一の導体層により形成されている。
第2導体パターン210及び外部接続端子220は、同一の格子を構成するように配置されている。すなわち第2導体パターン210の配置周期と外部接続端子220の配置周期は同一であり、かつ外部接続端子220に最も近い第2導体パターン210と外部接続端子220の間隔は、外部接続端子220の相互間隔に等しい。第2導体パターン210は外部接続端子220と平面形状が同じであり、例えば正方形である。
接続部材400は補助接続部材410と同様のピンであり、一端側のヘッダー部分がパッケージ配線基板300の外部接続端子320にハンダ30を用いて接続されており、他端がハンダ32を用いて外部接続端子220の中心に接続されている。接続部材400の形状と補助接続部材410の形状は、互いに等しい。
パッケージ配線基板300の外部接続端子320は、パッケージ配線基板300の内部配線やビアを介して、半導体チップ10に接続している。このため半導体チップ10は、パッケージ配線基板300の内部配線、ビア、及び外部接続端子320、並びに接続部材400を介してマザーボード200の外部接続端子220に接続している。半導体チップ10は、電源ライン、グラウンドライン、及び信号ラインそれぞれがマザーボード200に接続している。
パッケージ配線基板300及びマザーボード200はそれぞれ多層配線基板であり、誘電層及び導体層を交互に積層することにより形成されている。そしてパッケージ配線基板300に形成されたシート状の第1導体パターン310は、パッケージ配線基板300の多層配線(第1導体パターン310より一層内側の導体パターン311を含む)及びビア、並びに外部接続端子320、接続部材400、及び外部接続端子220を介して、マザーボード200の電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち、上記した導体パターン230とは逆の種類、例えば電源プレーンに接続している。ただし第1導体パターン310は、マザーボード200の電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち、上記した導体パターン230が接続しているプレーンと同じ種類のプレーンに接続しても良い。またマザーボード200に形成された第2導体パターン210は、接続部材400以外の導電体には接続していない。
なお、パッケージ配線基板300の面302にはレジスト層304が形成されており、マザーボード200の面202にはレジスト層204が形成されている。レジスト層304は、外部接続端子320及び第1導体パターン310を露出するための開口305を有しており、レジスト層204は外部接続端子220及び第2導体パターン210を露出するための開口205を有している。
EBG構造体20は、パッケージ配線基板300とマザーボード200の間隔、並びに島状の第2導体パターン210の大きさ、配列、マザーボード200の材料、及び第2導体パターン210と導体パターン230の間隔によって各容量の大きさが制御され、補助接続部材410の材料、長さ、及び太さによってインダクタンス成分が制御される。パッケージ配線基板300とマザーボード200の間隔は、接続部材400及び補助接続部材410の形状によって制御することができる。これらを調節することにより、EBG構造体20のバンドギャップ帯を調節することができる。
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態においてEBG構造体20はいわゆるマッシュルーム型のEBGであり、その単位セル50は、島状の第2導体パターン210、補助接続部材410、シート状の第1導体パターン310及び導体パターン230のうち島状の第2導体パターン210に対向している領域により構成される。詳細には、導体パターン230が上側の導体プレーンに相当し、第1導体パターン310が下側の導体プレーンに相当する。また補助接続部材410がマッシュルームのインダクタンス部分に相当し、第2導体パターン210がマッシュルームのヘッド部分に相当している。そして単位セル50が繰返し、例えば周期的に配列されることにより、EBG構造体20が形成される。
このような構成において、第2導体パターン210と導体パターン230の間で容量が形成されることにより、導体パターン230と第1導体パターン310の間をノイズが伝播することを抑制する。第2導体パターン210はマザーボード200に形成され、第1導体パターン310はパッケージ配線基板300に形成されている。このため、EBG構造体20はマザーボード200とパッケージ配線基板300の間の空間に形成されていることになる。従って、この空間内をノイズが伝播して外部に放射されることが抑制される。
このノイズの発生源としては、例えば接続部材400がある。接続部材400から放射されるノイズの周波数が、EBG構造体20のバンドギャップに含まれるようにEBG構造体20を設計すると、接続部材400から放射されたノイズがパッケージ100とマザーボード200の間の空間から漏れることが抑制される。
また本実施形態では、第1導体パターン310はパッケージ配線基板300のうちマザーボード200に対向する面302に形成されている。このため、第1導体パターン310と第2導体パターン210の距離を狭くして、EBG構造体20の容量成分を大きくすることができる。特に本実施形態では、第2導体パターン210もマザーボード200のうちパッケージ配線基板300に対向する面202に形成されているため、第1導体パターン310と第2導体パターン210の距離をさらに狭くして、EBG構造体20の容量成分をさらに大きくすることができる。
なお本実施形態において、パッケージ配線基板300とマザーボード200の間に樹脂を注入しても良い。この場合、この樹脂の材質を調節することにより、EBG構造体20が有する容量の大きさを調節することができる。
また「繰り返し」単位セル50を配置する場合、互いに隣り合う単位セル50において、同一のビアや接続部材の間隔(中心間距離)が、ノイズとして想定している電磁波の波長λの1/2以内となるようにするのが好ましい。また「繰り返し」には、いずれかの単位セル50において構成の一部が欠落している場合も含まれる。また単位セル50が2次元配列を有している場合には、「繰り返し」には単位セル50が部分的に欠落している場合も含まれる。また「周期的」には、一部の単位セル50において構成要素の一部がずれている場合や、一部の単位セル50そのものの配置がずれている場合も含まれる。すなわち厳密な意味での周期性が崩れた場合においても、単位セル50が繰り返し配置されている場合には、メタマテリアルとしての特性を得ることができるため、「周期性」にはある程度の欠陥が許容される。なおこれらの欠陥が生じる要因としては、単位セル間に配線やビア、接続部材を通す場合、既存の配線レイアウトや基板間接続構造にメタマテリアル構造を追加する場合において既存のビアやパターン、接続部材によって単位セルが配置できない場合、製造誤差、及び既存のビアやパターン、接続部材を単位セルの一部として用いる場合などが考えられる。
図2は、第2の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて、第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず、マザーボード200に形成された第2導体パターン210は、シート状の導体パターンになっている。またパッケージ配線基板300に形成された第1導体パターン310は、複数の島状の導体パターンになっている。そしてパッケージ配線基板300は、第1導体パターン310より一層内側に、導体パターン311を有している。導体パターン311は、パッケージ配線基板300の多層配線及びビア、並びに外部接続端子320、接続部材400、及び外部接続端子220を介して、マザーボード200の電源プレーン又はグラウンドプレーン、例えばグラウンドプレーンに接続している。第1導体パターン310は、パッケージ配線基板300の他の導体から電気的に独立している。そして複数の第1導体パターン310は、複数の補助接続部材410及び第2導体パターン210を介して互いに導通している。
本実施形態において第2導体パターン210は、マザーボード200に形成されたビア232を介して、マザーボード200の内部配線層に位置している導体パターン230に接続している。導体パターン230は、電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち上記した導体パターン311が接続していないプレーンと同じ種類のプレーン、例えば電源プレーンである。ただし導体パターン230は、電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち導体パターン311が接続しているプレーンと同じ種類のプレーンであっても良い。そして島状の第1導体パターン310は、補助接続部材410以外の導電体には接続していない。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第1導体パターン310、補助接続部材410、並びにシート状の導体パターン311及び第2導体パターン210のうち島状の第1導体パターン310に対向している領域により構成される。詳細には、第2導体パターン210が下側の導体プレーンに相当し、導体パターン311が上側の導体プレーンに相当する。また補助接続部材410がマッシュルームのインダクタンス部分に相当し、第1導体パターン310がマッシュルームのヘッド部分に相当している。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図3は、第3の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて第1の実施形態又は第2の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。図3には、第2の実施形態と同様の場合を示している。
まず、ピン形状の接続部材400及び補助接続部材410の代わりにハンダ402及びEBG用ハンダ412が用いられている。そしてマザーボード200とパッケージ配線基板300の間の空間は樹脂420を用いて封止されている。
また半導体チップ10はパッケージ配線基板300に対してフェイスアップ実装されており、ボンディングワイヤ12を介してパッケージ配線基板300に接続している。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また樹脂420の材料を調節することにより、EBG構造体20の容量成分の大きさを調節することができる。なお本実施形態において半導体チップ10は、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様に、フリップチップ実装されていても良い。
図4は、第4の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、ピン状の補助接続部材410の形状が、ピン状の接続部材400の形状と異なる点、及び第1導体パターン310の代わりに誘電層315を有する点を除いて、第1の実施形態又は第2の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。本図は、第2の実施形態と同様の場合を示している。
詳細には、補助接続部材410は接続部材400とは径が異なっている。これにより、補助接続部材410のインダクタンスの大きさを制御できる範囲が広くなる。また誘電層315は接着性を有しており、パッケージ配線基板300の面302上に形成されている。補助接続部材410のヘッダーは、例えば円形や矩形の導体パターンとなっている。そしてヘッダーのサイズ及び誘電層315の厚さの少なくとも一方を変えることにより、補助接続部材410のヘッダーと導体パターン311の間に生じる容量の大きさを変えることができる。
本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図5(a)は、第5の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。図5(b)は、図5(a)に示した電子装置をA−A´断面から下に見た図であり、マザーボード200の表面の構成を示している。この電子装置は、以下の点を除いて第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず、マザーボード200は第2導体パターン210を備えていない。そして、ピン状の補助接続部材410は、ヘッダーが誘電層211を介してマザーボード200の誘電層に接続しており、先端が第1導体パターン310に接続している。誘電層211は接着性を有しており、補助接続部材410のヘッダーの全面に設けられている。補助接続部材410のヘッダーは、例えば円形や矩形の導体パターンとなっている。そしてヘッダーのサイズ及び誘電層211の厚さの少なくとも一方を変えることにより、補助接続部材410のヘッダーと導体パターン230の間に生じる容量の大きさを変えることができる。また補助接続部材410のヘッダーの平面形状は、外部接続端子220の平面形状と異なっている。このため、補助接続部材410のヘッダーと導体パターン230の間に生じる容量の大きさを、さらに広い範囲で変えることができる。
本実施形態によっても、第1の実施形態に係る半導体装置と同様の効果を得ることができる。
また補助接続部材410、誘電層211、マザーボード200の誘電層、及び導体パターン230により容量が形成される。この容量は、誘電層211の誘電率及び厚さにより制御することができる。従って、EBG構造体20の特性を調節できる範囲が広くなる。
図6(a)は、第6の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図であり、図6(b)は図6(a)の電子装置に用いた補助接続部材430の構成を示す斜視図である。本実施形態に係る電子装置は、直線状の補助接続部材410の代わりにミアンダ部分436を有する補助接続部材430が用いられている点を除いて、第1〜第5の実施形態のいずれかと同様の構成である。図6(a)は、第2の実施形態と同様の場合を示している。
補助接続部材430は、ヘッダー432と先端434の間に、ミアンダ部分436を有している。ミアンダ部分436は蛇行しており、これによりヘッダー432と先端434の間が長くなる。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また補助接続部材430がミアンダ部分436を有しているため、ミアンダ部分436の形状を調節することにより、EBG構造体20の特性を決めるインダクタンス値を調節することができる。
なお、補助接続部材430の代わりに、図6(c)に示す補助接続部材440を用いても良い。補助接続部材440は、ヘッダー442がスパイラルになっており、かつヘッダー442と先端444の間にもスパイラル部分446を有している。このようにしても、スパイラルの長さを調節することにより、EBG構造体20の特性を決めるインダクタンス値を調節することができる。
図7(a)は、第7の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図であり、図7(b)は図7(a)の電子装置に用いたソケット500の接続部520の構成を示す図である。本実施形態に係る電子装置は、ソケット500を備える点を除いて、第2の実施形態に示した電子装置と同様の構成である。すなわち本実施形態では、マザーボード200上にソケット500が固定されており、ソケット500にピン形状の補助接続部材410が着脱可能に差し込まれる。
ソケット500は、接続部520を備えている。接続部520は、複数の補助接続部材410それぞれに対応して設けられており、差込部522及び配線524を備えている。差込部522は、補助接続部材410が差し込まれる。配線524は一端が差込部522を介して補助接続部材410に接続しており、他端がマザーボード200の第2導体パターン210にハンダ32によって固定されている。
なお接続部520は接続部材400それぞれに対しても設けられている。接続部材400に対応している接続部520は、配線524の他端がマザーボード200の外部接続端子220にハンダ32によって固定されている。このように一つのソケット内には複数の接続部520が組み込まれているが、これら複数の接続部520は形状が統一されていても良いし、形状が異なる複数のタイプが混在していても良い。
配線524はインダクタンスを調節することを目的としてミアンダ部分526を有している。ただし図7(c)に示すように、配線524はミアンダ部分526の代わりに折れ曲がり部527を有していても良いし、図7(d)に示すように、スパイラル部分528を有していてもよい。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。またパッケージ100はソケット500によってマザーボード200に着脱可能に固定されているため、パッケージ100を容易に交換することができる。
なお本実施形態において、パッケージ100の構成及びマザーボード200の構成を、第1の実施形態と同様にしても良い。
図8(a)は、第8の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図であり、図8(b)は図8(a)の電子装置に用いたソケット500の接続部520の構成を示す図である。本実施形態に係る電子装置は、ソケット500を備える点を除いて第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。本実施形態に係るソケット500の構成は、配線524の他端に容量素子構成部材530を備えている点、及び第1導体パターン310が島状ではなくシート状になっており、複数の単位セル50で共通となっている点を除いて、第7の実施形態に示したソケット500と同様の構成である。
容量素子構成部材530は、導体パターン230に対向することにより容量素子を構成している。この容量素子は、導体パターン230を一方の電極としている。容量素子構成部材530は、電極532、誘電層534、及び絶縁性の接着層536を有している。電極532の上面は配線524の他端に接続している。誘電層534は電極532の下面に設けられている。接着層536は誘電層534の下面に設けられている。そして容量素子構成部材530は、接着層536によってマザーボード200の表面に固定されている。この状態において電極532と導体パターン230が誘電層534、接着層536、及びマザーボード200の誘電層を介して対向しているため、これらによって容量素子が構成される。
なお図8(b)に示す例では、配線524は直線状に延伸しているが、図8(c)に示すようにミアンダ部分526を有していても良いし、図8(d)に示すようにスパイラル部分528を有していても良い。また図8(f)及び図8(g)に示すように電極532の上にスパイラル部分528を設けても良い。また図8(e)に示すように、誘電層534を省略して電極532の下面に接着層536を直接設けても良い。この場合、誘電層534を省略した分、電極532と導体パターン230の間隔が狭くなるため、容量素子の容量が大きくなる。なお本実施形態においても一つのソケット内には複数の接続部520が組み込まれているが、これら複数の接続部520は形状が統一されていても良いし、形状が異なる複数のタイプが混在していても良い。
本実施形態によっても第7の実施形態と同様の効果を得ることができる。また電極532と導体パターン230が対向することにより容量素子が形成されている。この容量素子の容量は、例えば誘電層534の材質及び厚さによって調節することができる。従って、EBG構造体20の容量成分の調節幅がさらに大きくなる。
なお本実施形態において、パッケージ100の構成及びマザーボード200の構成を、第2の実施形態と同様にしても良い。
図9は、第9の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、EBG構造体20の単位セル50がビア312及び第3導体としての第3導体パターン314を有している点、及び導体パターン311が開口を有している点を除いて、第2の実施形態に示した電子装置と同様の構成である。
ビア312及び第3導体パターン314はパッケージ配線基板300の多層配線層内に設けられている。第3導体パターン314は、パッケージ配線基板300の内部配線層のうち導体パターン311より一つ内側の配線層に形成されており、平面視において島状の第1導体パターン310それぞれと対向する位置に島状に設けられている。第3導体パターン314は、例えば正方形であるが、これに限定されない。ビア312は、導体パターン311に設けられた開口を通り、第1導体パターン310と第3導体パターン314とを接続している。ビア312は、平面視において接続部材400と重なる位置に設けられているが、このような配置に限定はされない。
本実施形態によっても、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、EBG構造体20の単位セル50がビア312及び第3導体パターン314を有しているため、単位セル50内で構成するインダクタンスと容量の調整箇所が増え、バンドギャップ周波数帯の制御範囲を広くすることができる。
図10は、第10の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、EBG構造体20の単位セル50が第3導体パターン314の代わりにスタブ316を有している点を除いて、第9の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。スタブ316は一つの配線層に形成された配線である。本実施形態においてスタブ316は、平面視において第1導体パターン310と重なる領域にスパイラル状に延伸している。
本実施形態によっても、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、EBG構造体20の単位セル50がビア312及びスタブ316を有しているため、単位セル50内で構成するインダクタンスと容量の調整箇所が増え、バンドギャップ周波数帯の制御範囲を広くすることができる。また、スタブ316の形状を任意に変更することも可能であるため、パッケージ配線基板300内の導体パターンの設計自由度が大きくなる。
なお第1の実施形態において、マザーボード200の内部配線層に、第9の実施形態における第3導体パターン314に相当する導体パターンまたは第10の実施形態におけるスタブ316に相当する導体パターンを設け、この導体パターンと島状の第2導体パターン210とをビアを用いて接続してもよい。このようにしても、第9の実施形態または第10の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図11は、第11の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、接続部材400及び補助接続部材410が表面実装タイプではなくスルーホール実装タイプである点を除いて、第2の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
詳細には、マザーボード200には、スルーホール250,252が設けられている。スルーホール250はピン状の接続部材400を差し込むために設けられており、スルーホール252はピン状の補助接続部材410を差し込むために設けられている。スルーホール250は平面視において外部接続端子220と重なる位置に設けられており、スルーホール252は第2導体パターン210と重なる位置に設けられている。スルーホール250,252の内壁にはメッキ層254が設けられており、またスルーホール250,252の内部にはハンダ32が充填されている。
本実施形態によっても第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また補助接続部材410のインダクタンスを大きくすることができるため、EBG構造体20が有するバンドギャップ周波数帯を低周波数側にシフトさせることができる。
図12は、第12の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、導体パターン230を有していない点を除いて、第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第2導体パターン210、補助接続部材410、並びにシート状の第1導体パターン310のうち島状の第2導体パターン210に対向している領域により構成されている。このような構成において、互いに隣り合う第2導体パターン210の間で容量が形成されることにより、マッシュルームの近傍、すなわち補助接続部材410と第2導体パターン210の近傍においてノイズが伝播することを抑制する。補助接続部材410はマザーボード200とパッケージ配線基板300の間に位置しており、第2導体パターン210はマザーボード200に形成されている。従って、パッケージ配線基板300の裏面及びマザーボード200の表面それぞれにおけるノイズ伝播を抑制することができ、マザーボード200とパッケージ配線基板300の間の空間内をノイズが伝播して外部に放射されることが抑制される。
図13は、第13の実施形態にかかる電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、第1導体パターン310が島状であり、補助接続部材410以外には接続していない点、および導体パターン311を有していない点を除いて、第1の実施形態と同様の構成である。島状の第1導体パターン310は、平面形状が例えば第2導体パターン210と同様であり、平面視で互いに重なり合っている。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第1導体パターン310、島状の第2導体パターン210、及びシート状の導体パターン230のうち第2導体パターン210に対向している領域によって構成されている。このような構成において、互いに隣り合う第1導体パターン310の間で第1の容量が形成され、互いに隣り合う第2導体パターン210の間で第2の容量が形成される。また導体パターン230と第2導体パターン210の間で第3の容量が形成される。そして補助接続部材410がインダクタンス要素として機能する。
本実施形態におけるEBG構造体20は、補助接続部材410、第1導体パターン310、及び第2導体パターン210の近傍においてノイズが伝播することを抑制する。従って、パッケージ配線基板300の裏面及びマザーボード200の表面それぞれにおけるノイズ伝播を抑制することができ、マザーボード200とパッケージ配線基板300の間の空間内をノイズが伝播して外部に放射されることが抑制される。また上記したように、単位セル50の間には第1の容量、第2の容量、及び第3の容量を有しており、第12の実施形態と比較して単位セル50の間に形成される容量の種類が多くなる。従って、EBG構造体20が有するバンドギャップ周波数帯の調整幅を大きくできる。
図14は、第14の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、パッケージ配線基板300がシート状の導体パターン311を有している点を除いて、第13の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第1導体パターン310、島状の第2導体パターン210、シート状の導体パターン230のうち第2導体パターン210に対向している領域、及び導体パターン311のうち第1導体パターン310に対向している領域によって構成されている。このような構成において、互いに隣り合う第1導体パターン310の間で第1の容量が形成され、互いに隣り合う第2導体パターン210の間で第2の容量が形成される。また導体パターン230と第2導体パターン210の間で第3の容量が形成され、導体パターン311と第1導体パターン310の間で第4の容量が形成される。そして補助接続部材410がインダクタンス要素として機能する。
そして本実施形態におけるEBG構造体20は、導体パターン230と第1導体パターン310の間をノイズが伝播することを抑制する。また単位セル50が有する容量成分の種類が多くなる。従って、EBG構造体20が有するバンドギャップ周波数帯の調整幅を大きくできる。
図15は、第15の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、マザーボード200が島状の導体パターン234を有している点を除いて、第12の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
島状の導体パターン234は、第2導体パターン210より内層、例えば第2導体パターン210の一層下の導体層に形成されている。導体パターン234は周期的に配置されており、平面視において島状の第2導体パターン210の相互間を埋めるように位置している。そして一つの導体パターン234は、互いに隣り合う2つの第2導体パターン210に重なっている。導体パターン234の平面形状は例えば矩形であるが、これに限定されない。互いに隣り合う導体パターン234の中心間距離は、互いに隣り合う第2導体パターン210の中心間距離と同じである。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第2導体パターン210、補助接続部材410、シート状の第1導体パターン310のうち島状の第2導体パターン210に対向している領域、及び導体パターン234によって構成されている。そして互いに隣り合う第2導体パターン210それぞれと、導体パターン234の間で容量が形成される。そして第2導体パターン210と導体パターン234が重なっている面積を調節することにより、この容量を制御することができる。このため、EBG構造体20が有するバンドギャップ周波数帯の調整幅を大きくできる。
図16は、第16の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず補助接続部材410は、一端にヘッダー414を有しているとともに、他端にもヘッダー416を有している。ヘッダー416は例えば円形や矩形の導体パターンになっており、例えばヘッダー414と同一の平面形状を有している。
また第2導体パターン210は、第1導体パターン310と同様にシート状であり、EBG構造体20を形成すべき領域のほぼ全面に延在している。第2導体パターン210は、ビア232を介して導体パターン230に接続している。そして補助接続部材410のヘッダー414は誘電層415を介して第1導体パターン310に接しており、ヘッダー416は誘電層417を介して第2導体パターン210に接している。誘電層415,417は接着性を有しており、補助接続部材410をパッケージ配線基板300及びマザーボード200に固定している。
このような構成において、EBG構造体20の単位セル50は、第1導体パターン310、誘電層415、補助接続部材410、誘電層417、及び第2導体パターン210により形成されている。そして第1導体パターン310、誘電層415、及び補助接続部材410のヘッダー414により第1の容量が形成され、第2導体パターン210、誘電層417、及び補助接続部材410のヘッダー416により第2の容量が形成される。第1の容量及び第2の容量は、補助接続部材410のインダクタンス部分により互いに接続している。そして第1の容量、インダクタンス部分、及び第2の容量が繰り返し設けられることにより、バンドギャップ周波数帯が設定される。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の構成を得ることができる。またハンダを用いずに補助接続部材410をパッケージ配線基板300及びマザーボード200に固定することができる。また誘電層415,417の厚さを薄くすることにより、単位セル50の第1及び第2の容量を大きくして、EBG構造体20のバンドギャップ周波数帯を低くすることができる。
図17は、第17の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて第16の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まずパッケージ配線基板300は第1導体パターン310を有していない。そして補助接続部材410のヘッダー414は、誘電層415を介してパッケージ配線基板300の絶縁層に直接固定されている。またマザーボード200は第2導体パターン210を有していない。そして補助接続部材410のヘッダー416は、誘電層417を介してマザーボード200の絶縁層に直接固定されている。
そして平面視において補助接続部材410が配置されている領域には、導体パターン311及び導体パターン230がシート状に延在している。導体パターン311はマザーボード200の電源パターン及びグラウンドパターンの一方に接続しており、導体パターン230はマザーボード200の電源パターン及びグラウンドパターンの他方に接続している。
このような構成において、EBG構造体20の単位セル50は、導体パターン311、パッケージ配線基板300内の絶縁層、誘電層415、補助接続部材410、誘電層417、マザーボード200内の絶縁層、及び導体パターン230により形成されている。そして導体パターン311、パッケージ配線基板300内の絶縁層、誘電層415、及び補助接続部材410のヘッダー414により第1の容量が形成され、導体パターン230、マザーボード200内の絶縁層、誘電層417、及び補助接続部材410のヘッダー416により第2の容量が形成される。第1の容量及び第2の容量は、補助接続部材410のインダクタンス部分により互いに接続している。
本実施形態によっても第1の実施形態と同様の構成を得ることができる。またハンダを用いずに補助接続部材410をパッケージ配線基板300及びマザーボード200に固定することができる。
図18は、第18の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、EBG構造体20の単位セル50の構造が異なる点、及び接続部材400の代わりにハンダ402が用いられている点を除いて、第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
図19は、本実施形態におけるEBG構造体20の構成を模式的に示す斜視図である。なお説明のため、図18と上下を逆にして示している。本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、島状の第2導体パターン210に開口212を設け、開口212内に第4導体としての島状の第4導体パターン218を配置し、第4導体パターン218と第2導体パターン210を配線219で接続した構成である。
この単位セル50において、第1導体パターン310と第2導体パターン210の間には、寄生容量CRが形成される。そして互いに隣り合う第2導体パターン210によって、第1の容量C1が形成され、第4導体パターン218と第2導体パターン210の間に第2の容量C2が形成される。また第1導体パターン310それぞれは寄生インダクタンスLRを有している。また配線219は、第2導体パターン210と第4導体パターン218の間にインダクタンスLLを与える。すなわち単位セル50の等価回路は、マッシュルーム構造の等価回路と同様である。
本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また補助接続部材410を設ける必要がなく、導体のパターニングによってEBG構造体20を形成することができるため、EBG構造体20の製造ばらつきを小さくすることができる。
図20は、第19の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて第3の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず、マザーボード200の第2導体パターン210には、開口212が形成されている。開口212は、第2導体パターン210のうちEBG用ハンダ412に対向する領域及びその周囲に形成されている。そして開口212内には、接続用導体216が設けられている。接続用導体216はEBG用ハンダ412に対向しており、レジスト層204に設けられた開口を介して、EBG用ハンダ412に接続している。
開口212内には第2配線214が設けられている。第2配線214は一端(図21に図示)が開口212の縁に接続しており、他端(図21に図示)が接続用導体216に接続している。すなわち接続用導体216は、第2配線214を介して第2導体パターン210に接続している。
またパッケージ配線基板300には第3配線317が設けられている。第3配線317は第1導体パターン310と同一層に形成されており、一端(図21に図示)が第1導体パターン310に接続しており、他端(図21に図示)が開放端になっている。
図21(a)は、図20のA−A´断面から下を見た図であり、マザーボード200の表面の構成を示している。本図においてレジスト層204の図示は省略している。開口212及び接続用導体216は互いに相似であり、かつ同心になっている。本図に示す例では、開口212及び接続用導体216は矩形である。ただし開口212及び接続用導体216は相似でなくてもよい。第2配線214は、接続用導体216の周囲を周回するようにスパイラル状に延伸している。ただし第2配線214の形状は本図に示す例に限定されない。
図21(b)は、図20のA−A´断面から上を見た図であり、パッケージ配線基板300の表面の構成を示している。本図においてレジスト層304の図示は省略している。第3配線317は、第1導体パターン310の周囲を周回するようにスパイラル状に延伸している。ただし第3配線317の形状は本図に示す例に限定されない。
第3配線317は、対向する第2導体パターン210と電気的に結合することで、第2導体パターン210をリターンパスとするマイクロストリップ線路を形成している。第3配線317の一端はオープン端になっている。このため、上記したマイクロストリップ線路は、一端がオープン端となり、その結果、オープンスタブとして機能する。そして単位セル50は、第1導体パターン310と第2導体パターン210からなる平行平板をオープンスタブでシャントした等価回路で表現することができ、オープンスタブの共振周波数において第1導体パターン310と第2導体パターン210が短絡されている。短絡される周波数はオープンスタブのスタブ長で制御することができるため調整が容易であり、また単位セル50を小型にすることができる
本実施形態によっても、第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第2配線214を設けているため、単位セル50のインダクタンスを大きくすることができる。接続用導体216と第2導体パターン210の間にも容量が形成されるため、単位セル50の容量の調整幅を大きくすることができる。
また接続用導体216を第2導体パターン210から切り離しているため、接続用導体216にEBG用ハンダ412を接合させるときに、接続用導体216が温まりやすくなる。
また第1導体パターン310に第3配線317を設けているため、単位セル50のインダクタンスを大きくすることができる。
図22の各図は、第19の実施形態における第2配線214の変形例を示す図である。図22(a)に示す例では、第2配線214は接続用導体216の一辺と、開口212の縁のうちその一辺に対向している部分とを直線で結んでいる。
図22(b)に示す例では、第2配線214は接続用導体216の4つの辺それぞれに設けられている。第2配線214は、それぞれ、接続用導体216の一辺と、開口212の縁のうちその一辺に対向している部分とを直線で結んでいる。
図22(c)に示す例は、第2配線214それぞれに切断可能部213が設けられている点を除いて、図22(b)に示す例と同様である。切断可能部213は、第2配線214の他の部分より細くなっており、またレジスト層204に設けられた開口(図示せず)により、レジスト層204から露出している。このため第2配線214は、切断可能部213において切断可能になっている。この場合、切断可能部213によって切断すなわち断線する第2配線214の数を調節することにより、単位セル50の周波数特性を調節することができる。
図22(d)に示す例は、第2配線214の少なくとも一つが予め断線部215によって断線されている点を除いて、図22(b)に示す例と同様である。断線部215は、レジスト層204に設けられた開口により、レジスト層204から露出している。そしてこの開口内に導電体217、例えば導電性ペーストやハンダを埋め込むことにより、断線部215を埋めて、第2配線214の両端を短絡することができるようになっている。この場合、断線部215を埋めて両端が短絡している第2配線214の数を調節することにより、単位セル50の周波数特性を調節することができる。
図23の各図は、第19の実施形態における第3配線317の変形例を示す図である。図23(a)に示す例において、互いに隣り合う第3配線317は、開放端側が互いに重なりながらスパイラルを形成するように、かつ互いが短絡しないように延伸している。このようにすると、隣り合う単位セル50の干渉度合いを調節することができる。隣り合う単位セル50の干渉度合いを調節すると、単位セル50のインダクタンス及び容量を調節することになり、その結果、単位セル50の周波数特性を調節することができる。
図23(b)に示す例では、第3配線317は少なくとも一つの切断可能部318を有している。切断可能部318は、第3配線317の他の部分より細くなっており、またレジスト層304に設けられた開口(図示せず)により、レジスト層304から露出している。このため第3配線317は、切断可能部318において切断可能になっている。この場合、切断可能部318によって切断すなわち断線する箇所を調節することにより、第3配線317の実効長が変わるため、単位セル50の周波数特性を調節することができる。
図23(c)に示す例では、第3配線317は少なくとも一つの断線部319を有している。断線部319は、レジスト層304に設けられた開口により、レジスト層304から露出している。そしてこの開口内に導電体350、例えば導電性ペーストやハンダを埋め込むことにより、断線部319を埋めて、第3配線317の実効長を長くすることができるようになっている。この場合も、単位セル50の周波数特性を調節することができる。
図24は、第20の実施形態に係る電子装置の構成を示す断面図である。図25は、図24のA−A´断面から下を見た図であり、マザーボード200の表面の構成を示している。図24は図25のB−B´断面を示している。本実施形態に係る電子装置は、以下の点を除いて第19の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
パッケージ配線基板300には第1テスト端子306,308が設けられており、マザーボード200には第2テスト端子206,208が設けられている。第1テスト端子306,308及び第2テスト端子206,208は、いずれもEBG構造を試験するための端子である。
具体的には、第1テスト端子306、308は、パッケージ配線基板300のうちマザーボード200とは対向しない面に設けられている。第1テスト端子306はビア330を介してテスト用接続端子340に接続しており、第1テスト端子308はビア332を介してテスト用接続端子342に接続している。テスト用接続端子340,342は、いずれもハンダ413を介して第2導体パターン210に接続している。ハンダ413の間には、EBG用ハンダ412が位置している。すなわち第1テスト端子306,308は、これらの間にEBG構造が位置するように設けられている。第1テスト端子306,308の両サイドには、開示しないビアを介して、EBG構造を構成している他の導体に接続したテスト端子が配置されている。
また第2テスト端子206は、マザーボード200のうちパッケージ配線基板300に対向する面に設けられているが、パッケージ配線基板300とは重ならないように配置されている。そして第2テスト端子206は、第2導体パターン210すなわちEBG構造を構成している導体に接続している。また第2テスト端子208は、図示しないビアを介してEBG構造を構成している他の導体に接続している。
なお第1テスト端子306,308の配置及び数、並びに第2テスト端子206,208の配置及び数は、上記した例に限定されない。また第1テスト端子306,308及び第2テスト端子206,208の少なくとも一つに接続用のコネクタを設けてもよい。
本実施形態によれば、第19の実施形態と同様の効果が得られる。また第1接続端子306,308及び第2接続端子206,208を設けたため、マザーボード200にパッケージ配線基板300を実装した後に、EBG構造体のテストを行うことができる。また第2配線214が図22(c)又は(d)の構成をとるか、又は第3配線317が図23(b)又は(c)の構成をとっている場合、EBG構造体のテストを行った後に、EBG構造体の調整を行うことができる。
図26(a)は、第21の実施形態に係る電子装置の構成の要部を示す断面図である。図26(b)は、図26(a)のA−A´断面から下を見た図であり、マザーボード200の表面の構成を示している。図26(c)は、図26(a)のA−A´断面から上を見た図であり、パッケージ配線基板300の表面の構成を示している。この電子装置は、以下の点を除いて、第1の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず、マザーボード200に形成された第2導体パターン210は、図26(b)に示すようにシート状の導体パターンになっている。またパッケージ配線基板300に形成された第1導体パターン310は、図26(c)に示すように複数の島状の導体パターンになっている。そしてパッケージ配線基板300は、半導体チップを搭載していない。パッケージ配線基板300は、第1導体パターン310より一層内側に、導体パターン311を有している。導体パターン311は、パッケージ配線基板300内のビア334及び外部接続層503、ハンダ402、並びにマザーボード200の外部接続層502及びビア232を介して、マザーボード200の導体パターン501に接続している。導体パターン501は、電源プレーン又はグラウンドプレーン、例えばグラウンドプレーンであるか、またはこれに接続している。外部接続層502及び外部接続層503は、図26(b)及び(c)に示すようにシート状のパターンであり、その上には、各々複数、例えば2つのハンダ402が形成されている。第1導体パターン310は、パッケージ配線基板300の他の導体から電気的に独立している。そして複数の第1導体パターン310は、複数のEBG用ハンダ412及び第2導体パターン210を介して互いに導通している。
本実施形態において第2導体パターン210は、マザーボード200に形成されたビア235を介して、マザーボード200の内部配線層に位置している導体パターン230に接続している。導体パターン230は、電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち上記した導体パターン311が接続していないプレーンと同じ種類のプレーン、例えば電源プレーンである。ただし導体パターン230は、電源プレーン及びグラウンドプレーンのうち導体パターン311が接続しているプレーンと同じ種類のプレーンであっても良い。そして島状の第1導体パターン310は、EBG用ハンダ412以外の導電体には接続していない。
また第2導体パターン210には、各EBG用ハンダ412に対向する領域に開口255が設けられている。開口255内には、島状の導体257と、線路部256が設けられている。導体257はEBG用ハンダ412に接続しており、線路部256は導体257と第2導体パターン210の本体とを接続している。本図に示す例において、線路部256は導体257の周囲を取り囲むようにスパイラル状に延伸している。また第1導体パターン310は、島状の導体360及び線路部362を備えている。導体360はEBG用ハンダ412に接続している。線路部362は、導体360の周囲を取り囲むようにスパイラル状に延伸している。
本実施形態においてEBG構造体20の単位セル50は、導体パターン311、第1導体パターン310、EBG用ハンダ412、及び第2導体パターン210のうち第1導体パターン310に対向している領域(導体257及び線路部256を含む)により構成される。詳細には、第2導体パターン210が下側の導体プレーンに相当し、導体パターン311が上側の導体プレーンに相当する。またEBG用ハンダ412、導体257、及び線路部256がマッシュルームのインダクタンス部分に相当し、第1導体パターン310がマッシュルームのヘッド部分に相当している。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。またパッケージ配線基板300が半導体チップを搭載していないため、パッケージ配線基板300単体をノイズ抑制用のディスクリート部品として取り扱うことができる。このため、マザーボード200から発生するノイズを抑制するために、パッケージ配線基板300をマザーボード200上の所望の箇所に搭載することができる。また、パッケージ配線基板300を複数個並べてマザーボード200上に搭載することも可能である。
さらに、第1導体パターン310は導体360の周辺を取り囲むように線路部362を備え、また第2導体パターン210は、導体257の周辺を取り囲む経路状の線路部256を備えているため、EBGを構成する単位セル50のインダクタ成分、容量成分の制御範囲が拡大できる。また、第2導体パターン210は開口255を備えているため、第2導体パターン210のうち単位セル50を構成する部分の熱容量が小さくできる。この場合、導体257が温まりやすくなるため、マザーボード200にパッケージ配線基板300を搭載する時のハンダ付けが容易になる。
なお本実施形態では、パッケージ配線基板300とマザーボード200との接続端子は、マトリックス状にEBG用ハンダ412が2箇所、それ以外が2箇所の計4箇所の場合を示したが、これにとらわれることなく、EBG用ハンダとそれ以外の接続個所は一対でも良い。またさらに多くのマトリックスを形成しても良く、任意の配列に組み上げることが可能である。また、構成するEBG構造はマッシュルーム構造に線路部やスリット部を備える場合を示したが、これにとらわれることなく任意のEBG構造を適用することが可能である。
図27(a)は、第22の実施形態に係る電子装置の構成の要部を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて、第21の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
まず、EBGの単位セル50は、線路部やスリット部を備えていない。また、第1導体パターン310と第2導体パターン210間を接続するリード505を備える。第1導体パターン310とリード505は、ボンディングワイヤ14で接続される。リード505と第2導体パターン210との接続は、ハンダ402を用いて行われる。すなわち第1導体パターン310と第2導体パターン210は、リード505及びボンディングワイヤ14を介して互いに接続している。パッケージ配線基板300周りは、モールド樹脂504で覆われ、モールド樹脂504からはリード505の端子部分のみが露出している。モールド樹脂504はボンディングワイヤ14による接続個所を保護する役割も備えている。本実施形態では、リード505がEBGの単位セル50のインダクタンス部分に相当する。リード形状の変更により、単位セル50内のインダクタンス成分を調整することができる。
図27(b)は、図27(a)に示した電子装置の上面図である。パッケージ配線基板300は左側に等ピッチで配置された3本のリード505を備える。これら3本のリード505は、いずれもEBGを構成している。また右側にも等ピッチで配置された3本のリード505を備える。左側のリード505は、マザーボード200のレジスト層204に形成された開口部258内において、第2導体パターン210にハンダ402を用いて接続されている。また、右側のリード505は、マザーボード200のレジスト層204に形成された開口部259において、外部接続層502にハンダ402を用いて接続されている。パッケージ配線基板300の外部接続層503は島状であり、ビア334を介して導体パターン311と接続している。
なお本実施例では、パッケージ配線基板300とマザーボード200との接続部は、マトリックス状にEBG側が左側に3列、それ以外が右側に3列の計6箇所の場合を示したが、これにとらわれることはない。例えば、EBG側のリード505とそれ以外のリード505は一対でも良く、またさらに図27(a)の奥行き方向に端子をさらに多く並べることも可能である。また、EBGを構成する端子であるEBG側のリード505とそれ以外の端子であるリード505を任意に並べることが可能である。また、第1導体パターン310とリード505の接続をボンディングワイヤ14により行う場合を示しているが、これにとらわれることなくハンダ等の接続手段を用いても良い。さらに、本実施形態では、パッケージ配線基板300のパッケージ形態としてSOP(Small Outline Package)の場合を示しているが、これにとらわれることなく、リードの形状、リードをパッケージ配線基板300外に出す位置は、パッケージ配線基板300の辺や面を任意に選択することが可能である。
図28は、第23の実施形態に係る電子装置の構成の要部を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて、第22の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
図28のEBGの単位セル50は、パッケージ配線基板300とマザーボード200とを接続するピンコンタクト508を備える。具体的には、ピンコンタクト508は、パッケージ配線基板300上の第1導体パターン310及び外部接続層503それぞれに設けられている。マザーボード200には、ピンコンタクト508を挿入するための部品搭載用のスルーホール509が設けられている。マザーボード200内の第2導体パターン210と導体パターン230はスルーホール509を介して接続されており、また、外部接続層502と導体パターン501も別のスルーホール509を介して接続されている。スルーホール509内にピンコンタクト508が挿入され、これらがハンダ402を用いて接続されることで、パッケージ配線基板300とマザーボード200とが接続される。本実施形態では、ピンコンタクト508が、EBGの単位セル50のインダクタンス部分に相当する。ピンコンタクト形状の変更により、単位セル50内のインダクタンス成分を調整することができる。
なお本実施例においても、第22の実施形態と同様に、パッケージ配線基板300とマザーボード200との接続部は、奥行き方向に端子を任意に並べることも可能であり、EBGを構成する端子であるEBG側のピンコンタクト508とそれ以外の端子であるピンコンタクト508を任意に組み合わせて並べることも可能である。
図29は、第24の実施形態に係る電子装置の構成の要部を示す断面図である。この電子装置は、以下の点を除いて、第22の実施形態に係る電子装置と同様の構成である。
図29のEBGの単位セル50は、薄膜配線層507を備える。詳細には、本実施形態では、第22の実施形態で用いたパッケージ配線基板300の代わりに、シリコン基板506とその上に形成する多層の薄膜配線層507を備えている。薄膜配線層507は、ポリイミドやSiO2等の絶縁膜と銅やニッケル等のメタルを用いて形成されている。薄膜プロセスを用いることにより、メタル層間の絶縁膜を薄く形成できるため、EBGを構成する単位セル50の容量成分の制御範囲が拡大できるという効果がある。
なお本実施例においても、第22の実施形態と同様に、パッケージ配線基板300とマザーボード200との接続部は、奥行き方向に端子を任意に並べることも可能であり、EBGを構成する端子であるEBG側のリード505とそれ以外の端子であるリード505を任意に組み合わせて並べることも可能である。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。例えば上記した各実施形態において、第1導体パターン310をパッケージ配線基板300のうちマザーボード200に対向している面302に形成したが、パッケージ配線基板300の内部配線層に第1導体パターン310を形成しても良い。また第2導体パターン210をマザーボード200のうちパッケージ配線基板300に対向している面202に形成したが、マザーボード200の内部配線層に第2導体パターン210を形成しても良い。
またEBG構造体20の構成は上記した実施形態に限定されず、EBGとしての特性を示す任意の構造体をEBG構造体20として適用することができる。
また上記実施形態では、パッケージ配線基板に実装される電子素子として半導体チップを例示したが、半導体チップ以外の電気部品を用いても良い。またランドグリッドアレイで用いるランドのように、パッケージをボードに機械的に押し付けて電気的接続を得る構造に、上記した各実施形態に示した構造を適用しても良い。またEBG構造体20の配置場所は上記した例に限定されない。
この出願は、2009年11月10日に出願された日本特許出願2009−257059、2010年3月12日に出願された日本特許出願2010−055539、及び2010年9月16日に出願された日本特許出願2010−207829を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
Claims (25)
- 第1配線基板と、
前記第1配線基板に接続している第2配線基板と、
を備え、
前記第1配線基板は第1導体を有し、
前記第2配線基板は、前記第1導体と対向する領域に少なくとも一部が形成されている第2導体を有し、
前記第2導体を用いて、導体の繰り返し構造が形成されており、
前記第2導体は、前記第2配線基板が有する他の導体から電気的に独立している電子装置。 - 請求項1に記載の電子装置において、
前記第1配線基板のうち前記第2配線基板に対向する面に形成された第1外部接続端子と、
前記第2配線基板のうち前記第1配線基板に対向する面に形成された第2外部接続端子と、
前記第1外部接続端子と前記第2外部接続端子を接続する接続部材と、
をさらに備え、
平面視において前記第1導体及び前記第2導体は、前記第1外部接続端子、前記第2外部接続端子、及び前記接続部材を取り囲むように形成されている電子装置。 - 請求項1又は2に記載の電子装置において、
前記第1導体は、前記第1配線基板のうち前記第2配線基板に対向する面に形成されている電子装置。 - 請求項1〜3のいずれか一つに記載の電子装置において、
前記第2導体は、前記第2配線基板のうち前記第1配線基板に対向する面に形成されている電子装置。 - 請求項1〜4のいずれか一つに記載の電子装置において、
前記第1導体及び前記第2導体は、EBG(Electromagnetic Band Gap)構造の少なくとも一部を構成している電子装置。 - 請求項5に記載の電子装置において、
前記第1配線基板に設けられ、前記EBG構造を試験するための端子である第1テスト端子と、
前記第2配線基板に設けられ、前記第1テスト端子と共に前記EBG構造を試験するための端子である第2テスト端子と、
を備える電子装置。 - 請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体装置において、
前記第1配線基板又は前記第2配線基板上に実装された電子部品をさらに備える電子装置。 - 請求項1〜7のいずれか一つに記載の電子装置において、
前記第1導体及び前記第2導体の一方は、シート状の導体であり、
前記第1導体及び前記第2導体の他方は互いに離間している複数の島状の導体であり、
さらに前記複数の島状の導体に対して設けられ、前記島状の導体を前記シート状の導体に接続する複数の補助接続部材と、
を備える電子装置。 - 請求項8に記載の電子装置において、
さらに、前記第1配線基板及び前記第2配線基板のうち前記複数の島状の導体を有する配線基板に設けられ、前記複数の島状の導体より前記配線基板の内層に位置しており、前記複数の島状の導体と少なくとも一部が対向しているシート状の導体を備える電子装置。 - 請求項8又は9に記載の電子装置において、
前記補助接続部材はピンである電子装置。 - 請求項10に記載の電子装置において、
前記ピンはスパイラル状に延伸している部分又はミアンダ状に延伸している部分を有している電子装置。 - 請求項8又は9に記載の電子装置において、
前記補助接続部材は、
前記シート状の導体又は前記複数の島状の導体の一方に接続し、前記複数の島状の導体に対応している複数のピンと、
前記シート状の導体又は前記複数の島状の導体の他方に接続しており、前記複数のピンが差し込まれるソケットと、
を備える電子装置。 - 請求項12に記載の電子装置において、
前記ソケットは、
前記複数のピンに対して設けられ、前記ピンが差し込まれる差込部と、
前記差込部に差し込まれた前記ピンと、前記シート状の導体又は前記複数の島状の導体の他方と、を接続する配線と、
を備え、前記配線はスパイラル状に延伸している部分又はミアンダ状に延伸している部分を有している電子装置。 - 請求項12又は13に記載の電子装置において、
前記ソケットは、
前記複数のピンに対して設けられ、前記ピンが差し込まれる差込部と、
前記シート状の導体又は前記複数の島状の導体の他方に対向することにより、前記他方を一方の電極とした容量素子を構成する容量素子構成部材と、
前記容量素子構成部材と前記差込部に差し込まれた前記ピンとを接続する配線と、
を備える電子装置。 - 請求項14に記載の電子装置において、
前記容量素子構成部材は、前記シート状の導体又は前記複数の島状の導体の他方に固定されている電子装置。 - 請求項8〜15のいずれか一項に記載の電子装置において、
前記シート状の導体は、前記補助接続部材の周囲に位置する開口と、
前記開口内に設けられ、前記補助接続部材に接続する接続用導体と、
前記開口内に設けられ、前記接続用導体と前記シート状の導体とを接続する第2配線と、
を備える電子装置。 - 請求項16に記載の電子装置において、
複数の前記第2配線を備え、
少なくとも一つの前記第2配線は断線しており、かつ少なくとも一つの前記第2配線は断線していない電子装置。 - 請求項8〜17のいずれか一項に記載の電子装置において、
前記島状の導体に一端が接続し、他端が開放端になっている第3配線を備える電子装置。 - 請求項18に記載の電子装置において、
前記第3配線は途中で断線している電子装置。 - 請求項2に記載の電子装置において、
前記接続部材はハンダである電子装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の電子装置において、
前記第2配線基板及び前記第1配線基板の一方は、他方に搭載されており、
前記一方は、電子部品を搭載しておらず、前記一方のみでディスクリート部品を構成している電子装置。 - 請求項21に記載の電子装置において、
前記一方は、プリント配線基板である電子装置。 - 請求項21に記載の電子装置において、
前記一方は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成された多層配線層を備えている電子装置。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の電子装置において、
前記第2導体を前記第1導体に接続するリードを備える電子装置。 - 電気部品が実装される第1配線基板に第1導体を設け、
前記第1配線基板及び前記電気部品が実装される第2配線基板のうち前記第1導体に対向する領域の少なくとも一部に第2導体を設け、
前記第1導体及び前記第2導体の少なくとも一方に、繰り返し構造を持たせることにより、前記第1導体及び前記第2導体を用いてEBG(Electromagnetic Band Gap)構造の少なくとも一部を形成して、前記第1配線基板と前記第2配線基板の間の空間においてノイズが伝播することを抑制するノイズ抑制方法。
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