JP5481671B2 - 高分子アクチュエータ素子用電極膜及びそれを有する高分子アクチュエータ素子 - Google Patents

Description

本発明は、高分子アクチュエータ素子用電極膜及びそれを有する高分子アクチュエータ素子に関する。

医療機器、産業用機器、パーソナルロボット、及びマイクロマシン等の分野において、小型アクチュエータの必要性が高まっている。
小型アクチュエータの一種として、従来から高分子アクチュエータが提案されている。
高分子アクチュエータは、大きく分けると、（１）ポリピロール、ポリアニリン等の電子導電性ポリマーの電解質中におけるレドックス伸縮を利用したもの（電子導電性高分子アクチュエータ）、及び（２）イオン交換膜と接合電極とからなり、イオン交換膜の含水状態において、イオン交換膜に電位差をかけてイオン交換膜に湾曲、変形を生じさせることにより、アクチュエータとして機能させることのできるもの（イオン導電性高分子アクチュエータ）の２種のものが知られている。
従来の電子導電性高分子アクチュエータ、及びイオン導電性高分子アクチュエータは、いずれも、その動作のために電解質を必要とするので、主に電解質水溶液中で使用される。この制限により、高分子アクチュエータの用途は、極めて限られていた。したがって、空中で駆動するアクチュエータ素子の開発は、高分子アクチュエータの幅広い用途の拡大のために不可欠である。

このような高分子アクチュエータを空中で使用するためには、水の蒸発を防ぐ必要がある。そのため、樹脂コーティングの方法が報告されているが、この方法では、完全にコーティングするのが困難なこと、また、電極反応によるわずかな気体発生によってもコーティングが破れること、さらに、コーティング自身が変形応答の抵抗となることから、実用化されていない。また、水の代わりに、プロピレンカーボネート等の高沸点有機溶媒等も使用されている。しかし、これについても同様の問題がある。しかも、水に比べてイオン導電性が小さいので、応答性が劣る点でも問題がある。また、電極表面での酸化・還元反応のため、耐久性に問題がある。
上記問題を解決するために、カーボンナノチューブとイオン液体とのゲルを、導電性、及び伸縮性を有する活性層として用いることにより、空気中、又は真空中でも作動可能なアクチュエータ素子が提案されている（非特許文献１参照）。
このようなアクチュエータ素子は、例えば、ポリマー及びイオン液体を含有するゲル電解質膜の両側に、導電フィラー、イオン液体、及びポリマーを含有する導電層を張り合わせた構造を有する。両導電層間に電位をかけると、イオン液体が分極して、プラス極にはアニオンが集まり、一方、マイナス極にはカチオンが集まる。通常用いられるイオン液体は、カチオンの方がアニオンより大きいので、マイナス極は膨潤し、一方、プラス極は収縮して、その結果、アクチュエータ素子はプラス極側に屈曲する。
例えば、特許文献１には、カーボンナノチューブとイオン性液体とポリマーとのゲル状物質からなるアクチュエータ素子用電極層を有するアクチュエータ素子が提案されている。
しかし、なお、変位量が大きく、変位速度が高く、及び変位時の発生力が大きい高分子アクチュエータ素子の開発が求められている。

特許第４０３８６８５号

ポリマープレプリンツジャパン（ＰｏｌｙｍｅｒＰｒｅｐｒｉｎｔｓ，Ｊａｐａｎ），２００４年，第５３巻，第２号，ｐ．４８１６−４８１７ｐ．２３５５

本発明は、変位量が大きく、変位速度が高く、及び変位時の発生力が大きい高分子アクチュエータ素子の提供を可能にする高分子アクチュエータ素子用電極膜を提供することを目的とする。
本発明は、変位量が大きく、変位速度が高く、及び変位時の発生力が大きい高分子アクチュエータ素子を提供する事を、更なる目的とする。

本発明は、フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）、イオン液体（Ｃ）、及び導電性フィラー（Ｄ）を含有する高分子アクチュエータ素子用電極膜に関する。
また、本発明は、フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）、イオン液体（Ｃ）、及び導電性フィラー（Ｄ）を含有する高分子アクチュエータ素子用電極膜を有する高分子アクチュエータ素子用電極膜に関する。
好ましくは、前記フッ素ゴム（Ｂ）としては、架橋フッ素ゴムである。
前記フッ素樹脂（Ａ）、及び前記フッ素ゴム（Ｂ）の少なくともいずれか一方は、ビニリデンフルオライド単位を含有する。
また、好ましくは、前記フッ素樹脂（Ａ）、及び前記フッ素ゴム（Ｂ）の全体に対するビニリデンフルオライド単位の比率が、６０モル％以上である。
また、好ましくは、前記フッ素樹脂（Ａ）：前記フッ素ゴム（Ｂ）の重量比が、８０：２０〜２０：８０である。
また、好ましくは、前記電極膜は、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の合計５〜７０重量％、イオン液体（Ｃ）２０〜８０重量％、及び導電性フィラー（Ｄ）１〜４０重量％を含有する。

本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜を有する高分子アクチュエータ素子は、空気中、又は真空中で使用することができ、変位量が大きく、変位速度が高く、及び変位時の発生力が大きい。

本発明の高分子アクチュエータ素子の一態様の概略を示す図である。 本発明の高分子アクチュエータ素子の別の一態様の概略を示す図である。 本発明の高分子アクチュエータ素子の別の一態様の概略を示す図である。 本発明の高分子アクチュエータ素子の別の一態様の概略を示す図である。 高分子アクチュエータ素子の変位試験の概略を示す図である。

本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜は、フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）、イオン液体（Ｃ）、及び導電性フィラー（Ｄ）を含有する。
なお、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）は、いずれもフッ素ポリマーから構成されるが、当業者に通常理解されるように、前者はゴム状弾性を示さないが、一方、後者はゴム状弾性を示すことで区別される。後述のように、フッ素樹脂（Ａ）には、融点を有する結晶性樹脂と、ゴム転移温度が室温より高い非晶性樹脂が包含される。フッ素樹脂（Ａ）のうち結晶性樹脂は融点を有することでも、融点を有さないフッ素ゴム（Ｂ）と区別することができる。
フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の混合物は、イオン液体との相溶性を有する必要がある。このため、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の少なくともいずれか一方、好ましくは両方が、極性を有する必要がある。当該極性は、例えば、極性を有する含フッ素オレフィンに由来する構造単位によって付与される。好ましくは、水素原子を有する構造単位である、ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）に由来する構造単位によって付与される。なお、本明細書中、ビニリデンフルオライドに由来する構造単位を、ビニリデンフルオライド単位と略称する場合がある。
したがって、前記フッ素樹脂（Ａ）、及び前記フッ素ゴム（Ｂ）の少なくともいずれか一方（より好ましくは両方）が、ビニリデンフルオライド単位を含有する。
フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全体に対する（すなわち、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全構造単位の合計モル数に対する）ビニリデンフルオライド単位の比率は、イオン液体との相溶性の観点からは、好ましくは、６０モル％以上である。また、当該比率は、アクチュエータ素子の変位量の観点からは、好ましくは、９５モル％以下、より好ましくは９０モル％以下である。
本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜における、このビニリデンフルオライド単位のモル含有率（モル％）は、例えば、ＮＭＲによって測定することができる。なお、本明細書中、ビニリデンフルオライド単位のモル含有率をＶｄＦ比と略称する場合がある。
具体的には、例えば、ポリマーをアセトン−ｄ６に溶解させ、Ｖａｒｉａｎ ＮＭＲ Ｓｙｓｔｅｍ４００にてトリフルオロ酢酸を基準物質として¹⁹ＦのＮＭＲ測定を行う。−８９〜−１１０ｐｐｍのシグナルをＶｄＦ由来のシグナルとし、ＶｄＦ由来のシグナルとその他のシグナルの強度比からＶｄＦ比が算出される。
なお、後述のように、フッ素ゴム（Ｂ）は架橋されていることが好ましいが、本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜が架橋されたフッ素ゴム（Ｂ）を含有していることは、例えば、アセトンなどの極性溶媒に溶解しない高分子が存在していることや、粘性の周波数依存性を測定し、低周波数においても粘性が一定にならずに変化することによって、判別できる。

＜フッ素樹脂（Ａ）＞
フッ素樹脂（Ａ）は、イオン液体との相溶性を有するものが好ましい。このようなフッ素樹脂としては、例えば、極性を有するフッ素樹脂が挙げられる。
極性を有するフッ素樹脂としては、例えば、極性を有する含フッ素オレフィンに由来する構造単位、なかでも、ビニリデンフルオライド単位を含有する含フッ素（共）重合体が好ましい。
当該フッ素樹脂（Ａ）におけるビニリデンフルオライド単位のモル含有率は、イオン液体との相溶性の観点からは、好ましくは４０モル％以上、より好ましくは６０モル％以上である。また、この比率は、アクチュエータ素子の変位量の観点からは、好ましくは、９５モル％以下、より好ましくは９０モル％以下である。
また、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全体に対するビニリデンフルオライド単位の比率を調整する観点からは、下記のフッ素ゴム（Ｂ）におけるビニリデンフルオライド単位の比率が低い場合は、当該フッ素樹脂（Ａ）におけるビニリデンフルオライド単位の比率は、高いことが好ましい。

また、極性を有するフッ素樹脂としては、イオン液体との相溶性との観点からは、側鎖及び／又は主鎖の末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ（Ｒは、炭素数１〜２０の炭化水素基を示す。）、ヨウ素原子、エポキシ基、及び（メタ）アクリロイル基から選択される基を有することが好ましい。また、主鎖構造にエステル結合、アミド結合、及びエーテル結合、及びウレタン結合から選択される結合を有することが好ましい。
また、フッ素樹脂（Ａ）には、上述のように、融点を有する結晶性樹脂と、ゴム転移温度が室温より高い非晶性樹脂が包含されるが、なかでも、結晶性の樹脂が好ましい。

前記含フッ素（共）重合体として具体的には、下記式（Ａ１）で表されるものが好ましい。
−（Ｍ^a1）−（Ｎ^a1）− （Ａ１）
（式中、
構造単位Ｍ^a1はビニリデンフルオライド（ｍ^a1）由来の構造単位であり、
構造単位Ｎ^a1は単量体（ｍ^a1）と共重合可能な単量体（ｎ^a1）由来の構造単位である。）
当業者に明らかなように、式（Ａ１）は、構造単位Ｍ^a1、及び構造単位Ｎ^a1が、任意の組み合わせ及び順序で結合していてもよいことを表す。
当該含フッ素（共）重合体における構造単位Ｍ^a1のモル含有率は、好ましくは、４０〜９５モル％、より好ましくは、６０〜９０モル％である。
単量体（ｎ^a1）としては、単量体（ｍ^a1）と共重合可能なものであれば、いかなるものでもよいが、例えば、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、トリフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）、トリフルオロプロピレン、テトラフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、トリフルオロブテン、テトラフルオロイソブテン、及びパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）等の含フッ素単量体；並びに、例えばエチレン、プロピレン、及びアルキルビニルエーテル等の非含フッ素単量体が挙げられる。
フッ素樹脂（Ａ）としては、融点が室温以上２００℃以下のものが好ましい。より好ましくは８０℃以上１７０℃以下である。また、引張破断強度は１０ＭＰａ以上の樹脂が好ましく、引張弾性率は５０ＭＰａ以上の樹脂が好ましい。さらに、メチルペンタノンなど非プロトン性極性溶媒に溶解することが好ましい。

フッ素樹脂（Ａ）は、市販品（例、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１、２５０１、２７５１（アルケマ社）、ＴＨＶ２２０Ｇ、４１５Ｇ、５００Ｇ（ダイニオン社）、など）にて入手するか、又は公知の方法によって、製造することができる。

＜フッ素ゴム（Ｂ）＞
フッ素ゴム（Ｂ）もまた、イオン液体との相溶性を有するものが好ましい。このようなフッ素ゴムとしては、例えば、極性を有するフッ素化オレフィン（例、ビニリデンフルオライド等の水素原子を有するフッ素化オレフィン）に由来する構造単位を含有する非パーフルオロフッ素ゴム等が挙げられる。
また、フッ素ゴム（Ｂ）は架橋されていることが好ましい。架橋方法としては、フッ素ゴムの架橋法として用いられている公知の方法を適用でき、例えば、ポリアミン架橋、ポリオール架橋、パーオキサイド架橋、及び複素環架橋のいずれも採用できる。なかでも、架橋反応制御の容易さの点で、パーオキサイド架橋が好ましい。
パーオキサイド架橋に用いられる架橋剤としては、熱や酸化還元系の存在下で容易にパーオキシラジカルを発生し得る有機過酸化物であればよく、具体的には、例えば１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，５，５−トリメチルシクロヘキサン、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジヒドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、α，α−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−ｐ−ジイソプロピルベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）−ヘキシン−３、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゼン、ｔ−ブチルパーオキシマレイン酸、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネートなどを挙げることができる。
これらの中でも、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサンが好ましい。
パーオキサイド架橋に用いられる架橋促進剤としては、例えば、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）、トリアクリルホルマール、トリアリルトリメリテート、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンビスマレイミド、ジプロパギルテレフタレート、ジアリルフタレート、テトラアリルテレフタレートアミド、トリアリルホスフェート、ビスマレイミド、フッ素化トリアリルイソシアヌレート（１，３，５−トリス（２，３，３−トリフルオロ−２−プロペニル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６−トリオン）、トリス（ジアリルアミン）−Ｓ−トリアジン、亜リン酸トリアリル、Ｎ，Ｎ−ジアリルアクリルアミド、１，６−ジビニルドデカフルオロヘキサン、ヘキサアリルホスホルアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラアリルフタルアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラアリルマロンアミド、トリビニルイソシアヌレート、２,４,６−トリビニルメチルトリシロキサン、トリ（５−ノルボルネン−２−メチレン）シアヌレート、トリアリルホスファイトなどが挙げられる。これらの中でも、架橋性、架橋物の物性の点から、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）が好ましい。

非パーフルオロフッ素ゴムとしては、ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）系フッ素ゴム、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／プロピレン系フッ素ゴム、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／プロピレン／ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）系フッ素ゴム、エチレン／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）系フッ素ゴム、エチレン／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）／ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）系フッ素ゴム、エチレン／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）／テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）系フッ素ゴム、フルオロシリコーン系フッ素ゴム、又はフルオロホスファゼン系フッ素ゴム等が挙げられ、これらをそれぞれ単独で、又は本発明の効果を損なわない範囲で任意に組み合わせて用いることができる。
なかでも、本発明の効果の観点からは、ビニリデンフルオライド系フッ素ゴムが好ましい。
当該ビニリデンフルオライド系フッ素ゴムにおけるビニリデンフルオライド単位のモル含有率は、イオン液体との相溶性の観点からは、好ましくは４０モル％以上、より好ましくは６０モル％以上である。また、この比率は、ゴムとしての性質を示す観点からは、好ましくは、８５モル％以下である。
また、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全体に対するビニリデンフルオライド単位の比率を調整する観点からは、上記のフッ素樹脂（Ａ）におけるビニリデンフルオライド単位の比率が低い場合は、このようなフッ素ゴム（Ｂ）（ビニリデンフルオライド系フッ素ゴム）におけるビニリデンフルオライド単位の比率は、高いことが好ましい。

ビニリデンフルオライド系フッ素ゴムとして具体的には、下記式（Ｂ１）で表されるものが好ましい。

−（Ｍ^b1）−（Ｍ^b2）−（Ｎ^b1）− （Ｂ１）
（式中、
構造単位Ｍ^b1はビニリデンフルオライド（ｍ^b1）由来の構造単位であり、
構造単位Ｍ^b2はビニリデンフルオライド以外の含フッ素エチレン性単量体（ｍ^b2）由来の構造単位であり、
構造単位Ｎ^b1は単量体（ｍ^b1）及び単量体（ｍ^b2） と共重合可能な単量体（ｎ^b1）由来の構造単位である。）
当業者に明らかなように、式（Ｂ１）は、構造単位Ｍ^b1、構造単位Ｍ^b2、及び構造単位Ｎ^b1が、任意の組み合わせ及び順序で結合していてもよいことを表す。

式（Ｂ１）で示されるビニリデンフルオライド系フッ素ゴムは、好ましくは、構造単位Ｍ^b1を４５〜８５モル％、構造単位Ｍ^b2を５５〜１５モル％含有し、より好ましくは、構造単位Ｍ^b1を６０〜８０モル％、構造単位Ｍ^b2を４０〜２０モル％含有する。
構造単位Ｎ^b1は、構造単位Ｍ^b1と構造単位Ｍ^b2の合計量に対して、０〜１０モル％であることが好ましい。

ビニリデンフルオライド以外の含フッ素エチレン性単量体（ｍ^b2）としては、１種又は２種以上の単量体が利用でき、例えばテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、トリフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）、トリフルオロプロピレン、テトラフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、トリフルオロブテン、テトラフルオロイソブテン、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）、フッ化ビニル等の含フッ素単量体が挙げられる。これらのなかでも、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）が好ましい。

単量体（ｎ^b1）としては、単量体（ｍ^b1）及び単量体（ｍ^b2）と共重合可能なものであれば、いかなるものでもよいが、例えばエチレン、プロピレン、アルキルビニルエーテル等が挙げられる。

また、単量体（ｎ^b1）としては、架橋部位を与える単量体が好ましい。

このような架橋部位を与える単量体としては、
式（Ｂ２）：

（式中、
Ｙ^b1は、水素原子、フッ素原子、又はメチル基であり、
Ｒ_f ^b1は、フルオロアルキレン基、パーフルオロアルキレン基、フルオロポリオキシアルキレン基、又はパーフルオロポリオキシアルキレン基であり、
Ｒ^b1は、水素原子、又はメチル基であり、
Ｘ^b1は、ヨウ素原子、又は臭素原子である。）
で表されるヨウ素又は臭素含有単量体、
式（Ｂ３）：

（式中、
ｍは、０〜５の整数であり、
ｎは、１〜３の整数であり、
Ｘ^b2は、シアノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、臭素原子、又はヨウ素原子である。）
で表される単量体、
式（Ｂ４）：

（式中、ｐは１〜１０の整数である。）
で表される単量体、
特公平５−６３４８２号公報、及び特開平７−３１６２３４号公報に記載されているパーフルオロ（６，６−ジヒドロ−６−ヨード−３−オキサ−１−ヘキセン）、及びパーフルオロ（５−ヨード−３−オキサ−１−ペンテン）等のヨウ素含有単量体、
特開平４−２１７９３６号公報に記載されているＣＦ₂＝ＣＦＯＣＦ₂ＣＦ₂ＣＨ₂Ｉ等のヨウ素含有単量体、
特開平４−５０５３４１号公報に記載されている臭素含有単量体、及び
特開平４−５０５３４５号公報、及び特開平５−５０００７０号公報に記載されているシアノ基含有単量体、カルボキシル基含有単量体、及びアルコキシカルボニル基含有単量体等が挙げられる。
これらは、それぞれ単独で、又は任意に組み合わせて用いることができる。

このようなビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）系フッ素ゴムとして、具体的に好ましくは、ＶｄＦ／ＨＦＰ系ゴム、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ系ゴム、ＶｄＦ／ＣＴＦＥ系ゴム、及びＶｄＦ／ＣＴＦＥ／ＴＦＥ系ゴム等が挙げられる。

フッ素ゴム（Ｂ）は、市販品にて入手するか、又は公知の方法によって、製造することができる。

＜イオン液体（Ｃ）＞
本発明に用いられるイオン液体（Ｃ）は、常温溶融塩又は単に溶融塩等とも称されるものであり、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を呈する塩である。

本発明においては、従来より知られた各種のイオン液体を使用することができるが、常温（室温）又は可及的に常温に近い温度において液体状態を呈し安定なものが好ましい。
本発明においては、常温溶融塩であって、導電率が０．１Ｓｍ-1以上のものが好ましい。

イオン液体（Ｃ）としては、例えば、下記の式（Ｃ１）〜（Ｃ４）で表わされるカチオン（好ましくは、イミダゾリウムイオン）と、アニオン（Ｘ-）からなるものが好ましい。

式（Ｃ１）：

式（Ｃ２）：

式（Ｃ３）：
［ＮＲ^c _xＨ_4-x］⁺
式（Ｃ４）：
［ＰＲ^c _xＨ_4-x］⁺

これらの式（Ｃ１）〜（Ｃ４）において、Ｒcは、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１２のアルキル基、又はハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基（当該アルキル基は、メチレン部に換えてエーテル結合を有していてもよく、炭素と酸素の合計数が３〜１２である。）であり、式（Ｃ１）においてＲc1は炭素数１〜４のハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基又は水素原子である。
式（Ｃ３）及び（Ｃ４）において、ｘはそれぞれ１〜４の整数である。
式（Ｃ１）において、Ｒ^cとＲ^c1は、異なることが好ましい。

さらに、イオン液体（Ｃ）としては、また、下記の式（Ｃ５）で表わされるカチオン（好ましくは、イミダゾリウムイオン）とアニオン（Ｘ^-）からなるものも好ましい。
式（Ｃ５）：

［式中、
Ｒ^caは、
同一又は異なって、ハロゲン原子、官能基、又は有機基であり；
ｎｃ５は、
０〜３の整数であり；
Ｒ^cfc1は、
（１）式（ｃ）：

（式中、
Ｒ^cc1、Ｒ^cc2及びＲ^cc3は、同一又は異なって、
（ａ）水素原子、
（ｂ）ハロゲン原子、
（ｃ）官能基、又は
（ｄ）ハロゲン原子で置換されていてもよく、かつエーテル結合を含んでいてもよい重合性基を有していてもよい１価の有機基である。）で示される基、又は
（２）式（Ｃ５）からＲ^cfc1基を除いたものである残基で置換されていてもよい１価の有機基
である。）であり；及び
Ｒ^cdは、
水素原子又は１価の有機基である。］
で示される含フッ素イミダゾール化合物塩
も好ましい。

式（Ｃ１）〜（Ｃ５）で表わされるカチオンの好ましい具体例としては、例えば１−エチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−イソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−イソブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ｓｅｃブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシエチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−メトキシエチルイミダゾリウムカチオン、１−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチルイミダゾリウムカチオン、１−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−ブチルイミダゾリウムカチオン、１−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシエチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−メトキシエチルイミダゾリウムカチオン等の非フッ素系イミダゾール化合物カチオン；１−メチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロイソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチル−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−エチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−イソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−イソブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ｓｅｃブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メトキシメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メトキシエチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−２−フルオロ−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ヘプタフルオロプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ヘプタフルオロイソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１−ジフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、及び１，２−ジメチル−３−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン等のフッ素系イミダゾール化合物カチオンが例示できるが、これらに限定されるものではない。

なかでも、式（Ｃ１）〜（Ｃ５）で表されるカチオンとしては、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−イソブチルイミダゾリウムカチオン、等が好ましい。

アニオン（Ｘ-）としては、テトラフルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロリン酸アニオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド酸アニオン、過塩素酸アニオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ジシアンアミドアニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、有機カルボン酸アニオン、及びハロゲンイオンより選ばれる少なくとも１種が好ましい。

式（Ｃ１）〜（Ｃ５）で表されるカチオン（好ましくは、イミダゾリウムイオン）と、アニオン（Ｘ-）からなる塩は、公知の方法、例えば、特開２００７−２０４６８２号公報に記載の公知の方法、又はそれに準じる方法等によって製造することができる。

＜導電性フィラー（Ｄ）＞
導電性ナノフィラー（Ｄ）としては、導電性ナノカーボン材及び導電性金属ナノ粒子が挙げられ、これらのうちの１種又は２種以上を選択して用いることができる。ここにいう「ナノフィラー」とは、少なくとも１つの部分がナノレベル（０．１ｎｍから１０００ｎｍ）の構造（粒子状、シート状、層状、針状、棒状、繊維状、筒状）を有するフィラーを意味する。
以下、各導電性ナノフィラーについて詳述する。

（１）導電性ナノカーボン材
ナノレベルの構造を有する炭素原子から構成される化合物のうち導電性をもつ化合物であり、具体的には以下のものが例示できる。

（１−１）フラーレン
球状に結合した構造をもつ炭素数が６０以上の炭素分子である。

（１−２）カーボンナノボール（カーボンブラック）
炭化水素化合物の不完全燃焼物が熱分解することにより生成される黒色か帯灰黒色の粉末である。

（１−３）カーボンナノファイバー
鉄やコバルト等の金属触媒を用いて気相の炭素源を適切な条件下で熱分解することにより合成される。繊維状炭素の組織としては、炭素網面の繊維軸に対する配向が平行（リボン型）、垂直（プレートレット型）、傾斜（へリングボーン型）の３種類が主に知られている。

（１−４）カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）
カーボンナノファイバーの一種である。炭素によって形成される６員環ネットワーク（グラフェンシート）が単層あるいは多層の同軸管状になった“フラーレン”フラーレンの一種である。単層のものをシングルウォールナノチューブ（ＳＷＮＴ）、複層のものをマルチウォールナノチューブ（ＭＷＮＴ）という。特に二層のものはダブルウォールナノチューブ（ＤＷＮＴ）とも呼ばれる。

（１−５）カーボンナノホーン（ＣＮＨ）
カーボンナノファイバーの一種である。炭素によって形成される６員環ネットワーク（グラフェンシート）が通常多層の角（ホーン）状に繋がった炭素構造物である。

なお、これらのナノカーボン材としては、化学工業５６巻、Ｐ５０−６２（２００５）に記載されるものや、Ｌａｎｇｍｕｉｒ、１１巻、Ｐ３６８２−３８６６（１９９５）に記載のもの等も挙げられる。そして、これらナノカーボン材の中では、カーボンナノファイバーが好ましく、さらにカーボンナノチューブが特に好ましい。

（２）導電性金属ナノ粒子
粒径が１ｎｍ〜１００ｎｍの金属粒子である。金属ナノ粒子の構成金属は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ロジウム、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉛、チタン、及びタンタルから選択される１種の金属からなるナノ粒子、又は金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ロジウム、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉛、チタン、タンタル、及び炭素のうちから選択される２種以上の金属からなる合金からなるナノ粒子を利用することでき、目的・用途に合わせて適宜選定する。

これらの導電性ナノフィラーは使用する環境により適宜選択すればよいが、表面積が大きいことと、量子効果等により高い伝導性を有する点で、導電性ナノカーボン材、さらにはカーボンナノチューブが好ましい。実用に供されるカーボンナノチューブの好適な例として、一酸化炭素を原料として比較的量産が可能なＨｉＰｃｏ（カーボン・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド社製）が挙げられるが、これに限定されるものではない。

導電性フィラー（Ｄ）は、市販品にて入手するか、又は公知の方法によって、製造することができる。

＜高分子アクチュエータ素子用電極膜＞
上述のように、本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜における、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全体に対するビニリデンフルオライド単位の比率は、好ましくは、イオン液体との相溶性の観点からは、６０モル％以上である。また、当該比率は、アクチュエータ素子の変位量の観点からは、好ましくは、９０モル％以下、より好ましくは８７モル％以下である。
当該比率は、フッ素樹脂（Ａ）におけるビニリデンフルオライド単位の比率、フッ素ゴム（Ｂ）におけるビニリデンフルオライド単位の比率、及びフッ素樹脂（Ａ）：フッ素ゴム（Ｂ）の重量比によって、調整することができる。
なお、当該比率は、製造後の本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜においては、ＮＭＲによって測定することができる。

本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜における、フッ素樹脂（Ａ）：フッ素ゴム（Ｂ）の重量比は、通常９０：１０〜２０：８０、好ましくは８０：２０〜２０：８０、より好ましくは８０：２０〜５０：５０である。
アクチュエータ素子の変位量の観点からは、フッ素ゴム（Ｂ）の比率が高いことが好ましく、一方、アクチュエータ素子の発生力の観点からは、フッ素樹脂（Ａ）の比率が高いことが好ましい。

本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜は、好ましくは、フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の合計５〜７０重量％、イオン液体（Ｃ）２０〜８０重量％、及び導電性フィラー（Ｄ）１〜４０重量％を含有する。
本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜の厚さは、好ましくは、０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍである。
アクチュエータ素子の変位量の観点からは、当該厚さが小さいことが好ましく、一方、アクチュエータ素子の発生力観点からは、当該厚さが大きいことが好ましい。

＜高分子アクチュエータ素子＞
本発明の高分子アクチュエータ素子は、上記で説明した、本発明の電極膜を有する。
本発明の高分子アクチュエータ素子としては、例えば、イオン伝導層の表面に、本発明の電極膜が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成されたものが挙げられる。
当該電極膜（電極膜）に電位差を与えることにより、本発明の高分子アクチュエータ素子に、湾曲及び変形を生じさせることができる。
また、前記電極膜の、外側表面（すなわち、イオン伝導層側とは反対側の表面）に導電層が形成されたアクチュエータ素子もまた、本発明の高分子アクチュエータ素子の例として挙げられる。
本発明の高分子アクチュエータ素子として、より具体的には、例えば、イオン伝導層１を、その両側から、カーボンナノチューブとイオン液体とポリマーを含む、少なくとも一対の本発明の電極層２で挟んだ３層構造のものが挙げられる（図１）。また、電極の表面伝導性を増すために、２つの電極層２の各外側表面（すなわち、イオン伝導層側とは反対側の表面）に、それぞれ、さらに導電層３が形成された５層構造のアクチュエータ素子であってもよい（図２）。
イオン伝導層は、好ましくはゲル状組成物で構成される。かかるゲル状組成物は、好ましくは、ポリマーとイオン液体からなる。親水性イオン性液体とポリマーの重量比は、親水性イオン性液体：ポリマー＝１：４〜４：１が好ましく、親水性イオン性液体：ポリマー＝１：２〜２：１がより好ましい。
本発明のアクチュエータ素子に、例えば、０．５〜３Ｖの直流電圧を加えると、数秒以内に素子長の０．５〜１倍程度の変位を得ることができる。また、このアクチュエータ素子は、空気中あるいは真空中で、柔軟に作動することができる。このようなアクチュエータ素子の作動原理は、イオン伝導層１の表面に相互に絶縁状態で形成された一対の電極層２に電位差がかかると、電極層２内のカーボンナノチューブ相とイオン液体相の界面に電気二重層が形成され、それによる界面応力によって、電極層２が伸長又は収縮することに基づく。この際、本発明のアクチュエータ素子は、プラス極側に曲がる（すなわち、プラス側が収縮する）が、これは量子化学的効果により、カーボンナノチューブがマイナス極側でより大きくのびる効果があることと、現在よく用いられるイオン液体では、カチオンのイオン半径が大きく、その立体効果によりマイナス極側がより大きくのびるからであると考えられる。
また、図３に示すように、平面状のイオン伝導層１の表面に多数の電極層２の対を配置することにより、複雑な動きをさせることも可能である。このような素子により、蠕動運動による運搬や、マイクロマニピュレータなどを実現可能である。また、本発明のアクチュエータ素子の形状は、平面状とは限らず、任意の形状の素子が容易に製造可能である。例えば、図４に示すものは、径が１ｍｍ程度のイオン伝導層１のロッドの表面に４本の電極層２を形成したものである。この素子により、細管内に挿入できるようなアクチュエータが実現可能である。
本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜の厚さは、好ましくは、０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍである。アクチュエータ素子の変位量の観点からは、当該厚さが小さいことが好ましく、一方、アクチュエータ素子の発生力観点からは、当該厚さが大きいことが好ましい。

＜製造方法＞
本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜の作成法は、特には限定されず、高分子膜の製造における慣用の方法を用いることができる。
具体的には例えば、
（ｉ）フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）、所望により添加される架橋剤、所望により添加される架橋助剤、及び導電性フィラー（Ｄ）をフッ素樹脂の融点以上で混練したものを膜状に成型してイオン液体（Ｃ）を含浸する方法；
（ｉｉ）フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）を形成するポリマー、イオン液体（Ｃ）、導電性フィラー、架橋剤、及び所望により添加される架橋助剤を溶媒に溶解又は分散させて製膜する方法；又は
（ｉｉｉ）フッ素樹脂（Ａ）とイオン液体（Ｃ）とを溶媒に溶かした溶液に、架橋させたフッ素ゴム粒子と導電性フィラーを分散させそれをキャスト製膜する方法
等を用いればよい。
当該溶媒としては、フッ素樹脂（Ａ）等を溶解させられる溶媒を、適宜選択して用いればよい。このような溶媒としては、親水性溶媒と疎水性溶媒とを任意の割合で混合した溶媒を用いるのが好ましい。
本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜の作成法としては、なかでも、フッ素樹脂（Ａ）、フッ素ゴム（Ｂ）、所望により添加される架橋剤、所望により添加される架橋助剤、及びイオン液体（Ｃ）を溶媒に溶かした液体に、導電性フィラー（Ｄ）を分散させ、キャスト製膜した後、加熱してゴム成分を架橋する方法が、均一な膜ができる点で好ましい。
本発明の高分子アクチュエータ素子は、慣用の方法によって製造すればよい。例えば、各層の形成用の組成物を順次、展延法（キャスト法）により製膜し、溶媒を蒸発させて、膜を乾燥させればよい。又は、個別に製膜した膜を重ねあわせ、ヒータープレスで各層を接着させてよい。
この際にも、上記と同様に、親水性溶媒と疎水性溶媒とを任意の割合で混合した溶媒を用いるのが好ましい。

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが本発明はこれに限定されるものではない。
電極膜、及び電解質膜のＶｄＦ比は、これらをアセトン−ｄ６に溶解させ、Ｖａｒｉａｎ ＮＭＲ Ｓｙｓｔｅｍ４００にてトリフルオロ酢酸を基準物質として19ＦのＮＭＲ測定を行うことにより、求めた。−８９〜−１１０ｐｐｍのシグナルをＶｄＦ由来のシグナルとし、ＶｄＦ由来のシグナルとその他のシグナルの強度比からＶｄＦ比を算出した。

製造例１（フッ素ゴム重合体）
３０００ｍＬ内容積耐圧反応槽に純水１５００ｍＬ、パーフルオロオクタン酸アンモニウム７．５ｇを入れ、内部空間をテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）（１１／１９／７０モル比）混合ガスで充填置換後、１．４７ＭＰａ（ゲージ圧）（１５ｋｇ／ｃｍ²Ｇ）に加圧しＩ（ＣＦ₂ＣＦ₂）₂Ｉ ０．３ｍＬ（２５℃）を注入し、撹拌下に８０℃として過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）０．２％水溶液１０ｍＬを圧入した。約０．５時間の誘導時間後、圧力降下が起こるので、１．２７ＭＰａ（ゲージ圧）（１３ｋｇ／ｃｍ2Ｇ）まで低下したときＴＦＥ／ＶｄＦ／ＨＦＰ（２０／５０／３０モル比）混合ガスで１．４７ＭＰａ（ゲージ圧）（１５ｋｇ／ｃｍ²Ｇ）に再加圧する。以降、この方法で１．２７〜１．４７ＭＰａ（ゲージ圧）（１３〜１５ｋｇ／ｃｍ²Ｇ）の圧力範囲で重合を継続した。２０時間後急速降温、放圧して重合を停止した。生成ディスパージョンの固形物濃度は約２５％であり、７％カリミョウバン水溶液で凝析後、水洗、乾燥して得られた重合体を、以下、「重合体Ａ」と称する。

製造例２（電解質膜１：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート）
カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（商品名、アルケマ社）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート（１００ｍｇ／１００ｍｇ）、メチルペンタノン３ｍＬ、及びプロピレンカーボネート（ＰＣ）９００ｍｇを混合し、８０℃で２４時間撹拌した。この溶液を、２５ｍｍ×２５ｍｍの型に０．３ｍＬキャストし、４０℃で２４時間真空乾燥することで、電解質膜１を得た。

製造例３（電解質膜２：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート）
カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート（５０ｍｇ／５０ｍｇ／１００ｍｇ）、メチルペンタノン３ｍＬ、及びプロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、８０℃で２４時間撹拌した。この溶液にパーブチルＯ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、２５ｍｍ×２５ｍｍの型に０．３ｍＬキャストし、室温で２４時間真空乾燥させ、８０℃で１８０分間架橋させて、電解質膜２を得た。
ＮＭＲによる分析の結果、電解質膜のＶｄＦ比は８５．８モル％であった
。

実施例１（電極膜１：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（７０）／重合体Ａ（３０）／ブチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨｉＰｃｏカーボンナノチューブ）
ＨｉＰｃｏ（商品名；カーボン・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド社製）カーボンナノチューブ３０ｍｇ、ブチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（５６ｍｇ／２４ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーオキサイド（パーヘキサ２５Ｂ（商品名）、日本油脂（株）製）、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、１８０℃で３分間架橋させて、電極膜１を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８９．８モル％であった。

実施例２（電極膜２：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（５０）／重合体Ａ（５０）／ブチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、ブチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。
この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（４０ｍｇ／４０ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーヘキサ２５Ｂ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、１８０℃で３分間架橋させて、電極膜２を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８６．２モル％であった。

実施例３（電極膜３：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（７０）／重合体Ａ（３０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、及びプロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。
この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（５６ｍｇ／２４ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーヘキサ２５Ｂ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、１２５℃で１０分間架橋させて、電極膜３を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８９．８モル％であった。

実施例４（電極膜４：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（５０）／重合体Ａ（５０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、及びプロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。
この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（４０ｍｇ／４０ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーヘキサ２５Ｂ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、１２５℃で１０分間架橋させて、電極膜４を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８５．８モル％であった。

実施例５（電極膜５：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（３０）／重合体Ａ（７０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、プロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（２４ｍｇ／５６ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーヘキサ２５Ｂ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、１２５℃で１０分間架橋させて、電極膜５を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８１．８モル％であった。

実施例６（電極膜６：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（３０）／重合体Ａ（７０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、プロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（２４ｍｇ／５６ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーブチルＯ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。
その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、８０℃で１８０分間架橋させて、電極膜６を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８２．１モル％であった。

実施例７（電極膜７：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（５０）／重合体Ａ（５０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、プロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（４０ｍｇ／４０ｍｇ）、及びメチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーブチルＯ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。
その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、８０℃で１８０分間架橋させて、電極膜７を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８６．２モル％であった。

実施例８（電極膜８：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１（７０）／重合体Ａ（３０）／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、及びプロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。
この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／重合体Ａ（５６ｍｇ／２４ｍｇ）、メチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、パーブチルＯ、及びＴＡＩＣをそれぞれ０．０２０ｇずつ加え、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。
その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、８０℃で１８０分間架橋させて、電極膜８を作製した。
ＮＭＲによる分析の結果、電極膜のＶｄＦ比は８９．８モル％であった。

実施例９（素子１：実施例１の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜１（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子１を作製した。

実施例１０（素子２：実施例２の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜２（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子２を作製した。

実施例１１（素子３：実施例３の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜３（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子３を作製した。

実施例１２（素子４：実施例５の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜５（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子４を作製した。

実施例１３（素子５：実施例６の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜６（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子５を作製した。

実施例１４（素子６：実施例８の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜８（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃、１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子６を作製した。

比較例１（電極膜９：カイナーフレックスＰＰＡ２８０１／エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート／ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ）
ＨＩＰＣＯカーボンナノチューブ３０ｍｇ、エチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート１００ｍｇ、ジルコニアボール（１０ｍｍを２個、５ｍｍを５個）、メチルペンタノン２ｍＬ、プロピレンカーボネート９００ｍｇを混合し、ミキサーを用いて複合した（３０分／４００ｒｐｍ）。この複合液と、カイナーフレックスＰＰＡ２８０１を８０ｍｇ、メチルペンタノン２ｍＬを超音波で１０分間分散させた溶液とを混合し、さらにミキサーを
用いて複合した（３０分／５００ｒｐｍ）。
この複合物にメチルペンタノン２ｍＬを加え、超音波で１８０分間分散させ、室温で１２０分間攪拌させた後、８４ｍｍ×１２ｍｍの型に３ｍＬキャストした。その後、キャスト液を室温で２４時間真空乾燥させ、６０℃で２４時間真空乾燥させて、電極膜９を作製した。

比較例２（素子７：比較例１の電極膜＋製造例２の電解質膜）
電極膜９（１ｍｍ×１５ｍｍ）を２枚用意し、その間に電解質膜１を挟み、ヒータープレスで無加圧で８０℃１分間軟化させた後、１３５Ｎ、８０℃で１分間加圧することにより、素子７を作製した。

試験例１（高分子アクチュエータ素子用電極膜のヤング率試験）
引張り試験機（ＴＭＡ／ＳＳ６０００、セイコーインスツルメント株式会
社）を用い、上述の実施例及び比較例で作成した高分子アクチュエータ素子
用電極膜の応力−歪み特性から、ヤング率を求めた。
結果を表１に示す。

試験例２（高分子アクチュエータ素子の変位試験）
図５に示すようにして、レーザー変位計（ＬＣ２１００／２２２０、キーエンス株式会社）を用い、上述の実施例及び比較例で作成した素子を、それぞれ、１ｍｍ×１５ｍｍの短冊状に切り取り、電圧を加えたときの１０ｍｍの位置の変位を測定した。
結果を表２に示す。

本発明の高分子アクチュエータ素子用電極膜を有する高分子アクチュエータ素子は、空気中、又は真空中で使用することができ、変位量が大きく、変位速度が高く、及び変位時の発生力が大きいので、医療機器、産業用機器、パーソナルロボット、及びマイクロマシン等の分野において広く使用することができる。

１ イオン伝導層
２ 電極膜
３ 導電層

Claims (6)

1. フッ素樹脂（Ａ）、
   フッ素ゴム（Ｂ）、
   イオン液体（Ｃ）、及び
   導電性フィラー（Ｄ）
   を含有し、
   該フッ素樹脂（Ａ）、及び該フッ素ゴム（Ｂ）の少なくともいずれか一方が、ビニリデンフルオライド単位を含有する
   高分子アクチュエータ素子用電極膜。
2. フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の全体に対するビニリデンフルオライド単位の比率が、６０モル％以上である
   請求項１に記載の電極膜。
3. フッ素ゴム（Ｂ）が架橋フッ素ゴムである
   請求項１または２に記載の電極膜。
4. フッ素樹脂（Ａ）：フッ素ゴム（Ｂ）の重量比が、８０：２０〜２０：８０である
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の電極膜。
5. フッ素樹脂（Ａ）、及びフッ素ゴム（Ｂ）の合計５〜７０重量％、
   イオン液体（Ｃ）２０〜８０重量％、及び
   導電性フィラー（Ｄ）１〜４０重量％を含有する
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の電極膜。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の電極膜を有する高分子アクチュエータ素子。