JP5046127B2 - 高アスペクト比のカーボンナノチューブとイオン液体から構成される導電性薄膜、アクチュエータ素子 - Google Patents
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Description
ンナノチューブのみで均質な導電性のよい電極フィルムを作成することは困難であった。そのために、結着剤としてポリマーを加えることにより、キャストという簡便な方法で、導電性薄膜が簡便に得ることが可能となったが、ポリマーを加えることにより、カーボンナノチューブの均一混合が妨げられることになり、また、電子伝導、イオン伝導が阻害されるという問題点があった。
1. アスペクト比が104以上のカーボンナノチューブから構成される導電性薄膜。
2. 長さが50μm以上のカーボンナノチューブから構成される導電性薄膜。
3. さらにイオン液体を含む、項1または2に記載の導電性薄膜。
4. 前記導電性薄膜が、前記カーボンナノチューブを必要に応じてイオン液体を含む溶媒中、ジェットミル及び/又は超音波処理を用いて分散させ、得られた分散液を用いて製造されたものである、項1〜3のいずれかに記載の導電性薄膜。
5. 項1〜4のいずれかに記載の導電性薄膜層とイオン伝導層を有する積層体。
6. 項5に記載の積層体を含むアクチュエータ素子。
7. イオン伝導層の表面に、項3に記載の導電性薄膜を電極とする導電性薄膜層が互いに絶縁状態で少なくとも2個形成され、当該導電性薄膜層に電位差を与えることにより変
形可能に構成されている項6に記載のアクチュエータ素子。
8. 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ(CNT)および溶媒を含む分散液を超音波もしくはジェットミルにより調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いてCNT薄膜を形成する工程;
工程4:工程3で得られたCNT薄膜をイオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する工程
;
工程5;工程2の溶液を用いてイオン伝導層を形成する工程
工程6;工程4で得られた導電性薄膜と工程5で得られたイオン伝導層を積層して積層体を形成するか、工程3で得られたCNT薄膜と工程5で得られたイオン伝導層を積層した後
イオン液体に含浸する工程を行って、積層体を形成する工程
(但し、工程5と工程3ないし工程4の順序は問わない。また、工程6で「イオン液体に
含浸する工程」を行う場合には、工程4は行う必要はない)
9. 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ(CNT)、溶媒及びイオン液体を含む分散液を超音波もしくはジェットミルにより調製する工程
;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いる導電性薄膜の形成と工程2の溶液を用いるイオン伝導層の形成を同時にあるいは順次行い、導電性薄膜層とイオン伝導層の積層体を形成する工程。
10. 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ及び溶媒を混合し、ジェットミル及び/又は超音波処理を用いて分散させて分散液を調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、CNT
薄膜を形成する工程
工程4:工程3で得られたCNT薄膜をイオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する工程
;
工程5:必要に応じて、工程3で作製したCNT薄膜もしくは工程4で作製した導電性薄膜
の熱厚密化を行い、密度を大きくする工程、あるいは数枚のCNT薄膜もしくは導電性薄膜
を熱圧着すると同時に厚密化し、密度を大きくする工程(但し、CNT薄膜の熱厚密化もしくは数枚のCNT薄膜の熱圧着の後には、イオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する)
工程6:工程2の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、イオン伝導層を形成する工程;
工程7:工程5で形成した導電性薄膜と工程6で形成したイオン伝導層を、圧着により積層し、積層体を形成する工程(但し、工程6と工程3ないし工程4の順序は問わない)。
11. 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ、溶媒及びイオン液体を混合し、ジェットミル及び/又は超音波処理を用いて分散させて分散液を調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、導電性薄膜を形成、その後、必要に応じて、作製した導電性薄膜の熱厚密化を行い、密度を大きくする工程、あるいは数枚の導電性薄膜を熱圧着すると同時に厚密化し、密度を大きくする工程;
工程4:工程2の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、イオン伝導層を形成する工程;
工程5:工程3で形成した導電性薄膜と工程4で形成したイオン伝導層を、圧着により積層し、積層体を形成する工程(但し、工程3と工程4の順序は問わない)。
電性薄膜には、ポリマーは含まれない。また、イオン液体は任意成分であって、イオン液体を最初からカーボンナノチューブとともに溶剤に混合した分散液を調製し、導電性薄膜を形成してもよく、カーボンナノチューブと溶媒の分散液からイオン液体を含まないCNT
薄膜を形成し、該CNT薄膜にイオン液体を含浸して、カーボンナノチューブとイオン液体
から構成される導電性薄膜としてもよい。
に好ましくは200〜300MPa程度である。
タンスルホニル)イミド酸イオン((CF3SO2)2N-)、過塩素酸イオン(ClO4 -)、トリス(
トリフルオロメタンスルホニル)炭素酸イオン(CF3SO2)3C-)、トリフルオロメタンスル
ホン酸イオン(CF3SO3 -)、ジシアンアミドイオン((CN)2N-)、トリフルオロ酢酸イオン
(CF3COO-)、有機カルボン酸イオンおよびハロゲンイオンが例示できる。
、テトラフルオロホウ酸イオン、ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド酸イオン((CF3SO2)2N-)のものが、具体的に例示でき、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムイオンとビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド酸イオン((CF3SO2)2N-)からなるイオン液体が特に好ましい。なお、カチオン及び/又はアニオンを2種以上使用し、融点をさらに下げることも可能である。
ものであれば、使用可能である。
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体[PVDF(HFP)]などの水素原子を有するフッ素化オレフィンとパーフッ素化オレフィンの共重合体、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)などの水素原子を有するフッ素化オレフィンのホモポリマー、パーフルオロスルホン酸(Nafion,ナフィオン)、ポリ−2−ヒドロキシエチルメタクリレート(poly-
HEMA)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)などのポリ(メタ)アクリレート類、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)などが挙げられる。
カーボンナノチューブ:
6〜90重量%、好ましくは9〜66重量%、より好ましくは20〜50重量%;
イオン液体:
10〜94重量%、好ましくは34〜91重量%、より好ましくは50〜80重量%;
である。
ある。一方、得られた導電性薄膜層の強度の問題から、CNTは一定以上含まれるのがよい
。
、超音波処理(超音波洗浄機、プローブ型超音波ホモジナイザー)、ジェットミル、
などを用いて分散液を得る。超音波処理あるいはジェットミル処理の時間は、10分から15時間程度、好ましくは30分〜7時間程度が挙げられる。
を得ることができる。
の両側から、カーボンナノチューブとイオン液体とポリマーを含む導電性薄膜層(電極層)2,2で挟んだ3層構造のものが挙げられる(図2A) 。また、電極の表面伝導性を増すために、電極層2,2の外側にさらに導電層3,3が形成された5層構造のアクチュエータ素子であってもよい(図2B) 。
好ましい。導電性薄膜層の厚さは、10〜500μmであるのが好ましく、50〜300μmであるのがより好ましい。また、各層の製膜にあたっては、スピンコート、印刷、スプレー等も用いることができる。さらに、押し出し法、射出法等も用いることができる。
れている)に0.5〜4Vの直流電圧を加えると、数秒以内に素子長の0.5〜1倍程度の変位を得ることができる。また、このアクチュエータ素子は、空気中あるいは真空中で、柔軟に作動することができる。
、プラス極側に曲がるのは、量子化学的効果により、カーボンナノチューブがマイナス極側でより大きくのびる効果があることと、現在よく用いられるイオン液体では、カチオン4のイオン半径が大きく、その立体効果によりマイナス極側がより大きくのびるからであると考えられる。図3において、4はイオン液体のカチオンを示し、5はイオン液体のア
ニオンを示す。
なお、イオン伝導層表面への導電性薄膜層の形成は少なくとも2層必要であるが、図4に
示すように、平面状のイオン伝導層1の表面に多数の導電性薄膜層2を配置することにより、複雑な動きをさせることも可能である。このような素子により、蠕動運動による運搬や、マイクロマニピュレータなどを実現可能である。また、本発明のアクチュエータ素子の形状は、平面状とは限らず、任意の形状の素子が容易に製造可能である。例えば、図4に示すものは、径が1mm程度のイオン伝導層1のロッドの周囲に4本の導電性薄膜層2を形成したものである。この素子により、細管内に挿入できるようなアクチュエータが実現可能である。
1. 使用した薬品、材料
使用したイオン液体(IL):
エチルメチルイミダゾリウム ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド(EMITFSI)
実施例で用いたアスペクト比104以上のカーボンナノチューブは、独立行政法人産業技術総合研究所ナノカーボン研究センターで作製された、平均長約600μmの単層カーボンナノチューブ(LS-CNT)である。
使用したイオン伝導体用ベースポリマー:ポリフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(PVDF(HFP)) (III)
N,N’-ジメチルアセトアミド(DMAc)
プロピレンカーボネート(PC)
メチルペンタノン(MP)
2.ゲル電解質キャスト液の一般的作製方法
IL 100mg、PVDF(HFP) 100mg、PC 360mg、MP 3mlを、80℃に液温を上げて30分以上撹
拌し、作製したキャスト液0.3mlを25mmx25mmのキャスト枠中にキャストし、溶媒を蒸発させて、ゲル電解質フィルムを得る。厚みは約20μm程度である。
3.電極/電解質ゲル/電極3層構造からなるアクチュエータ素子の変位測定方法
図1に示す様にレーザー変位計を用い、素子を1mmx15mmの短冊状に切り取り、電圧を加えた時の10mmの位置の変位を測定した。
4.電極導電率測定法
電極の導電率は、電極の両端、および、表面の2点間に金ペーストで直径50μmの金線
を接合し、両端の金線に定電流源で一定電流を流し、表面に接続した接点間の電圧を測定することで、電極の抵抗を測定した。この時の電極の厚みd、電極の幅をbとすると断面積S=bdである。流した電流がI、測定した電圧がV、電圧測定端子間距離がLとすると、
コンダクタンス G=I/V[S]
導電率=GL/S[Scm-1]
となる。
5.破断強度測定
引張り試験機(TMA/SS6000、セイコーインスツルメンツ株式会社)を用い、試料が破断した時の応力[Pa]から、その試料の破断強度を求めた。
・単層カーボンナノチューブ(以下、LS-CNTと記述する)15mg、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル(以下EMITFSIと記述する)15mg、N,N-ジ
メチルアセトアミド(以下DMAcと記述する)3mlをガラス容器に秤量し、攪拌器を用いて
、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。
・超音波洗浄器(BRANSONIC ULTRASONIC CLEANER 5510J-DTH)を用いて3時間超音波照射
を実施しLS-CNT、EMITFSIをDMAc溶液に分散させた。
・DMAcを6ml添加した後、再び攪拌器を用いて、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。・得られたLS-CNT分散液をジェットミル装置に入れ、100MPa、5Passの条件でジェットミル処理を実施した。
・25mm×25mmのテフロン(登録商標)モールド中にSG-CNT分散液を2.4mlキャストし50℃、1日間ホットプレート上に静置し、DMAcを蒸発させた。
・テフロン(登録商標)モールドからLS-CNT/EMITFSI膜を剥がした後、50℃で1日間真空乾燥機にて真空乾燥を実施した。
・さらに80℃で3日間真空乾燥を実施してLS-CNT/EMITFSI膜を得た。・・・・(A)
・単層カーボンナノチューブ(以下、LS-CNTと記述する)15mg、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル(以下EMITFSIと記述する)15mg、N,N-ジ
メチルアセトアミド(以下DMAcと記述する)3mlをガラス容器に秤量し、攪拌器を用いて
、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。
・超音波洗浄器(BRANSONIC ULTRASONIC CLEANER 5510J-DTH)を用いて3時間超音波照射
を実施しLS-CNT、EMITFSIをDMAc溶液に分散させた。
・DMAcを6ml添加した後、再び攪拌器を用いて、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。・25mm×25mmのテフロン(登録商標)モールド中にLS-CNT分散液を2.4mlキャストし50℃、1日間ホットプレート上に静置し、DMAcを蒸発させた。
・テフロン(登録商標)モールドからLS-CNT/EMITFSI膜を剥がした後、50℃で1日間真空乾燥機にて真空乾燥を実施した。
・さらに80℃で3日間真空乾燥を実施してLS-CNT/EMITFSI膜を得た。・・・・(B)
・単層カーボンナノチューブ(以下、LS-CNTと記述する)15mg、N,N-ジメチルアセトアミド(以下DMAcと記述する)3mlをガラス容器に秤量し、攪拌器を用いて、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。
・プローブ式のホモジナイザー(NIHON SEIKI US-50)を用いて5分間超音波照射を実施した。
・DMAcを6ml添加した後、再び攪拌器を用いて、2時間、700rpmの条件で攪拌を実施した。・25mm×25mmのテフロン(登録商標)モールド中にLS-CNT分散液を2.4mlキャストし50℃、1日間ホットプレート上に静置し、DMAcを蒸発させた。・・・(1)
・EMITFSI 15mgとDMAc 9mlを秤量し、6時間、300rpmの条件で攪拌を実施した後、
(1)のテフロン(登録商標)モールド中に2.4mlキャストし、50℃、1日間ホットプレート上に静置し、DMAcを蒸発させた。
・テフロン(登録商標)モールドからLS-CNT/EMITFSI膜を剥がした後、50℃で1日間真空乾燥機にて真空乾燥を実施した。
・ さらに80℃で3日間真空乾燥を実施してLS-CNT/EMITFSI膜を得た。・・・・(C)
Claims (4)
- 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ(CNT)および溶媒を含む分散液を超音波もしくはジェットミルにより調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いてCNT薄膜を形成する工程;
工程4:工程3で得られたCNT薄膜をイオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する工程
;
工程5;工程2の溶液を用いてイオン伝導層を形成する工程
工程6;工程4で得られた導電性薄膜と工程5で得られたイオン伝導層を積層して積層体を形成するか、工程3で得られたCNT薄膜と工程5で得られたイオン伝導層を積層した後
イオン液体に含浸する工程を行って、積層体を形成する工程
(但し、工程5と工程3ないし工程4の順序は問わない。また、工程6で「イオン液体に
含浸する工程」を行う場合には、工程4は行う必要はない) - 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ(CNT)、溶媒及びイオン液体を含む分散液を超音波もしくはジェットミルにより調製する工程
;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いる導電性薄膜の形成と工程2の溶液を用いるイオン伝導層の形成を同時にあるいは順次行い、導電性薄膜層とイオン伝導層の積層体を形成する工程。 - 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ及び溶媒を混合し、ジェットミル及び/又は超音波処理を用いて分散させて分散液を調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、CNT
薄膜を形成する工程
工程4:工程3で得られたCNT薄膜をイオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する工程
;
工程5:工程3で作製したCNT薄膜もしくは工程4で作製した導電性薄膜の熱厚密化を行
い、密度を大きくする工程、あるいは数枚のCNT薄膜もしくは導電性薄膜を熱圧着すると
同時に厚密化し、密度を大きくする工程(但し、CNT薄膜の熱厚密化もしくは数枚のCNT薄
膜の熱圧着の後には、イオン液体に含浸して、導電性薄膜を形成する)
工程6:工程2の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、イオン伝導層を形成する工程;
工程7:工程5で形成した導電性薄膜と工程6で形成したイオン伝導層を、圧着により積層し、積層体を形成する工程(但し、工程6と工程3ないし工程4の順序は問わない)。 - 以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程1:アスペクト比が104以上あるいは、長さが50μm以上のカーボンナノチューブ、溶媒及びイオン液体を混合し、ジェットミル及び/又は超音波処理を用いて分散させて分散液を調製する工程;
工程2:ポリマー、溶媒及びイオン液体を含む溶液を調製する工程;
工程3:工程1の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、導電性薄膜を形成、その後、作製した導電性薄膜の熱厚密化を行い、密度を大きくする工程、あるいは数枚の導電性薄膜を熱圧着すると同時に厚密化し、密度を大きくする工程;
工程4:工程2の分散液を用いキャスト、印刷、塗布、押し出しまたは射出により、イオン伝導層を形成する工程;
工程5:工程3で形成した導電性薄膜と工程4で形成したイオン伝導層を、圧着により積層し、積層体を形成する工程(但し、工程3と工程4の順序は問わない)。
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