JP5453303B2 - 発光装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記課題の解決を図るべくなされたものであって、隣接する下部電極層間でのリーク電流の抑制し、クロストークの発生を有効に防止し得る発光装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る発光装置は、基板の上方に形成され、窪み部を有する平坦化膜と、前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に形成された第1下部電極層と、前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に前記窪み部を挟んで前記第1下部電極層と隣接して形成された第2下部電極層と、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の上方に形成された半導体性中間層と、 前記第1下部電極層の端部、前記第1下部電極層と隣接する前記第2下部電極層の端部、および前記平坦化膜の窪み部を覆って形成された隔壁と、を具備し、前記平坦化膜の窪み部は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層との間で、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下し、前記平坦化膜の窪み部の上面には、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されており、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の端部の膜厚は、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の中央部の膜厚よりも薄い。
本発明の一態様に係る発光装置は、基板の上方に形成され、窪み部を有する平坦化膜と、前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に形成された第1下部電極層と、前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に前記窪み部を挟んで前記第1下部電極層と隣接して形成された第2下部電極層と、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の上方に形成された半導体性中間層と、 前記第1下部電極層の端部、前記第1下部電極層と隣接する前記第2下部電極層の端部、および前記平坦化膜の窪み部を覆って形成された隔壁と、を具備し、前記平坦化膜の窪み部は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層との間で、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下し、前記平坦化膜の窪み部の上面には、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されており、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の端部の膜厚は、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の中央部の膜厚よりも薄い。
また、本発明の一態様に係る発光装置では、基板の上方に形成され、窪み部を有する平坦化膜と、 前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に形成された第1下部電極層と、前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に前記窪み部を挟んで前記第1下部電極層と隣接して形成された第2下部電極層と、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の上方に形成された半導体性中間層と、前記第1下部電極層の端部、前記第1下部電極層と隣接する前記第2下部電極層の端部、および前記平坦化膜の窪み部を覆って形成された隔壁と、を具備し、前記平坦化膜の窪み部は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層との間で、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下し、前記平坦化膜の窪み部の上面には、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されており、前記窪み部の側面は、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されていない領域を有し、前記半導体性中間層と、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層とは、前記窪み部の側面において前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されていない領域により分断されている。
従って、本発明の一態様に係る発光装置では、クロストークの発生が防止される。
本発明の一態様に係る発光装置では、上記のように、窪み部の側面が、第1下部電極層および第2下部電極層の各々の下方に入り込んだ形状とされており、これにより、平坦化膜の窪み部の側面には半導体性中間層が形成されていない領域を有することとなる。
また、本発明の一態様に係る発光装置では、前記第1下部電極層には、前記半導体性中間層側に第1透明導電膜による層が含まれ、前記第2下部電極層には、前記半導体性中間層側に第2透明導電膜による層が含まれ、前記半導体性中間層は、前記第1透明導電膜による層上および前記第2透明導電膜による層上に形成されている。
また、本発明の一態様に係る発光装置では、上記構成において、前記第1下部電極層の上方であって前記半導体性中間層上に形成された第1発光層と、前記第2下部電極層の上方であって前記半導体性中間層上に形成された第2発光層と、を具備し、前記隔壁は、前記第1発光層と前記第2発光層とを区画する。
従って、本発明の一態様に係る発光装置では、優れた発光特性を有する。
本発明の一態様に係る発光装置では、第1発光層および第2発光層の上方に形成された上部電極層を具備することができる。
本発明の一態様に係る発光装置では、上部電極層が陰極層であるという構成とすることができる。
本発明の一態様に係る発光装置では、半導体性中間層が正孔注入層である。半導体性中間層を正孔注入層とした構成の発光装置では、第1下部電極層から第1発光層への正孔の注入、および第2下部電極層から第2発光層への正孔の注入が、正孔注入層により促進される。
また、本発明の一態様に係る発光装置では、上記構成において、前記窪み部の深さは、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の中央部の膜厚よりも大きい。
また、本発明の一態様に係る発光装置の製造方法では、基板を準備する第1工程と、前記基板の上方に平坦化膜を形成する第2工程と、前記平坦化膜上に第1下部電極層と第2下部電極層とを形成する第3工程と、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との上にレジストを形成する第4工程と、前記第1下部電極層と前記第2電極層との間の、前記レジストが形成されていない前記平坦化膜の領域をエッチングすることにより、前記レジストが形成されていない前記平坦化膜の領域の前記平坦化膜の上面が、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下した窪み部を形成する第5工程と、前記第1下部電極層上、前記第2下部電極層上、および前記窪み部の底面上に半導体性中間層を形成する第6工程と、を含み、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層の端部の膜厚を、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層の中央部の膜厚よりも薄く形成する。
また、本発明の一態様に係る発光装置の製造方法では、基板を準備する第1工程と、前記基板の上方に平坦化膜を形成する第2工程と、前記平坦化膜上に第1下部電極層と第2下部電極層とを形成する第3工程と、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層自体をマスクとして、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との間の前記平坦化膜の領域をエッチングすることにより、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との間の前記平坦化膜の領域に、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下した窪み部を形成する第4工程と、前記第1下部電極層上、前記第2下部電極層上、および前記窪み部の底面上に半導体性中間層を形成する第5工程と、を含み、前記窪み部の側面は、前記半導体性中間層が形成されていない領域を有し、前記半導体性中間層を、前記窪み部の側面において前記半導体性中間層が形成されていない領域により分断する。
また、本発明の一態様に係る発光装置の製造方法では、上記構成において、前記エッチングは、ドライエッチングである。
なお、以下の説明で用いる実施の形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例示であって、本発明は、その本質的部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。
1.表示装置1の全体構成
以下では、発光装置の一例としての有機EL表示装置1で説明する。
図1に示すように、有機EL表示装置1は、表示パネル10と、これに接続された駆動制御部20とを有し構成されている。表示パネル10は、有機材料の電界発光現象を利用した有機ELパネルであり、複数の有機EL素子が配列され構成されている。図2に示すように、表示パネル10は、基板100の上に各サブピクセルに対応してTFT101が形成されており、TFT101には、ソース信号配線31および電源配線32が接続されている。図2に示すように、TFT101が形成された基板100の上には、下部電極層110、発光積層体120および上部電極層130が順に積層形成されている。なお、表示パネル10の詳細構成については、後述する。
なお、実際の有機EL表示装置1では、表示パネル10に対する駆動制御部20の配置については、これに限られない。
表示パネル10の構成について、図3および図4を用い説明する。
図3に示すように、表示パネル10は、各々が赤(R)、緑(G)、青(B)の何れか発光色を有する有機発光層を備えるサブピクセル11a,11b,11cが隣接形成されている。表示パネル10は、トップエミッション型の有機ELディスプレイである。
基板100は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベースとして形成されている。
平坦化膜103は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル系樹脂材料などの有機化合物を用い形成されている。
下部電極層110は、例えば、Ag(銀)、APC(銀、パラジウム、銅の合金)、ARA(銀、ルビジウム、金の合金)、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)などから形成されている。なお、本実施の形態のように、トップエミッション型の有機ELの場合には、高反射性の材料を用い形成されていることが好ましい。
半導体性層121は、例えば、WOX(酸化タングステン)またはMoWOX(モリブデン−タングステン酸化物)などの金属酸化物、あるいは金属窒化物または金属酸窒化物を用い形成されている。
発光層122は、ホールと電子とが注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。発光層122の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。
隔壁123は、樹脂等の有機材料で形成されており絶縁性を有する。隔壁123の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。隔壁123は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。さらに、隔壁123はエッチング処理、ベーク処理など施されることがあるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、撥水性をもたせるために、表面をフッ素処理することもできる。
電子注入層124は、上部電極層130から注入された電子を発光層122へ輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
上部電極層(陰極層)130は、例えば、ITO、IZO(酸化インジウム亜鉛)などで形成される。トップエミッション型の有機EL素子100a,100b,100cの場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。光透過性については、透過率が80[%]以上とすることが好ましい。
封止層131は、発光層122などが水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、SiN(窒化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)などの材料を用い形成される。トップエミッション型の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。
図3に示すように、本実施の形態に係る有機EL表示装置1では、表示パネル10において、平坦化膜103における第1下部電極層110aと第2下部電極層110bとの間に窪み部103aが設けられている。平坦化膜103における窪み部103aは、平坦化膜103aの他の上面よりも沈下しており、窪み部103aの上面には、窪み部内形成層121bが形成されている。そして、図3の二点鎖線で囲む部分に示すように、平坦化膜103の窪み部103aにおける窪み部内形成層121bは、端部での膜厚t2が、それよりも中央部側の膜厚t1よりも薄くなっている。
さらに、図3に示すように、表示パネル10では、隔壁123が、平坦化膜103における窪み部103aの形成に伴い窪んだ形状部分にも入り込んで形成されているので、隔壁123の密着性を向上させることができ、隔壁123が剥離し難い。よって、本実施の形態に係る有機EL表示装置1では、高い信頼性を有する。
表示パネル10の製造方法について、図5から図7を用い説明する。なお、図5から図7においても、一部を抜き出し、模式的に示している。
次に、基板100におけるZ軸上側主面100fにTFT層およびパッシベーション膜102を形成し、さらに、その上を覆うように平坦化膜1030を積層形成する(図5(b)を参照)。なお、図5(b)では、図示の都合上、TFT層の構成の内、ソース101aのみを図示している。
次に、下部電極層110上にレジスト500を残した状態で、エッチング(例えば、ドライエッチング)を行うことにより、平坦化膜103において、第1下部電極層110aと第2下部電極層110bとの間の、レジスト500が形成されていない領域1031fに、窪み部103aを形成する(図6(c)を参照)。なお、図6(c)に示すように、下部電極層110の両縁110s(図6(b)を参照)と、窪み部103aの開口縁との間には、若干の距離が保たれる。これは、図6(b)および図6(c)に示すように、下部電極層110の両縁110sが、レジスト500の下方に入り込んでいることに起因する。
次に、図7(a)に示すように、下部電極層110および平坦化膜103における窪み部103aの底面上に対して、半導体性材料を堆積させて、半導体性層121を積層形成する。半導体性層121は、下部電極層110上の半導体性中間層121aと平坦化膜103の窪み部103aの底面上の窪み部内形成層121bとを含む。
以上のようにして、表示パネル10の要部が完成する。
さらに、本実施の形態に係る製造方法では、図6(b)および図6(c)に示すように、下部電極層110の形成のためのレジスト500を、下部電極層110を形成した後も除去することなく、平坦化膜103の窪み部103aを形成する際のマスクとして、そのまま用いている。よって、窪み部103aの形成のために新たなマスクを用いなくてもよく、製造工程を簡略化することができ、製造コストの低減が可能となる。
1.表示パネル10の構成
本実施の形態に係る有機EL表示装置では、表示パネル12の構成を除き、上記実施の形態1に係る有機EL表示装置1と同一の構成を有する。以下では、表示パネル12の構成について、図8を用い説明する。
図8に示すように、本実施の形態に係る表示パネル12においても、平坦化膜143における第1下部電極層150aと第2下部電極層150bとの間の領域に窪み部143aが設けられている。平坦化膜143における窪み部143aは、平坦化膜143aの他の上面よりも沈下している点で、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同様である。また、窪み部143aの底面上に、窪み部内形成層161bが形成されている点も、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同様である。
さらに、図8に示すように、本実施の形態に係る表示パネル12でも、隔壁163が、平坦化膜143の窪み部143aに伴い窪んだ形状部分にも入り込んで形成されているので、隔壁163の密着性を向上させることができ、隔壁163が剥離し難い。よって、本実施の形態に係る有機EL表示装置でも、高い信頼性を有する。
表示パネル12の製造方法について、図9および図10を用い説明する。なお、図9および図10においても、一部を抜き出し、模式的に示している。
本実施の形態に係る表示パネル12の製造方法においても、図10(a)に示すように、平坦化膜143における第1下部電極層150aと第2下部電極層150bとの間に窪み部143aを形成した状態で、半導体性層161を形成するので、シャドーイング効果により、窪み部143aにおける側面143sの一部において半導体性層161が形成されない領域が生じる(図8の二点鎖線で囲む部分を参照)。このため、第1下部電極層150a上の半導体性中間層161aと、これに隣接する窪み部内形成層161bとが、電気的に接続されない状態となる。第2下部電極層150b上の半導体性中間層161aと、これに隣接する窪み部内形成層161bとについても、同様である。
1.表示パネル14の構成
本実施の形態に係る有機EL表示装置でも、表示パネル14の構成を除き、上記実施の形態1,2に係る有機EL表示装置1,・・と同一の構成を有する。以下では、表示パネル14の構成について、図11を用い説明する。
2.平坦化膜183における窪み部183aと半導体性層201
図11に示すように、本実施の形態に係る表示パネル14においても、平坦化膜183における第1下部電極層190aと第2下部電極層190bとの間の領域に窪み部183aが設けられている。平坦化膜183における窪み部183aは、平坦化膜183aの他の上面よりも沈下している点で、上記実施の形態1,2に係る表示パネル10,12と同様である。また、窪み部183aの底面上に、窪み部内形成層201bが形成されている点も、上記実施の形態1,2に係る表示パネル10,12と同様である。
なお、図11に示すように、本実施の形態に係る表示パネル14でも、隔壁203が、平坦化膜183の窪み部183aの形成に伴い窪んだ形状部分にも入り込んで形成されているので、上記同様に、隔壁203が剥離し難く、有機EL表示装置が高い信頼性を有する。
表示パネル14の製造方法について、図12および図13を用い説明する。なお、図12および図13においても、一部を抜き出し、模式的に示している。
本実施の形態に係る表示パネル14の製造方法においても、図13(a)に示すように、平坦化膜183における第1下部電極層190aと第2下部電極層190bとの間に窪み部183aを形成した状態で、半導体性層201を形成するので、シャドーイング効果により、窪み部183aにおける側面183sの少なくとも一部において半導体性層201が形成されない領域が生じる(図11の二点鎖線で囲む部分を参照)。このため、第1下部電極層190a上の半導体性中間層201aと、これに隣接する窪み部内形成層201bとが、電気的に接続されない状態となる。第2下部電極層190b上の半導体性中間層201aと、これに隣接する窪み部内形成層201bとについても、同様である。
1.表示パネル16の構成
本実施の形態に係る有機EL表示装置でも、表示パネル16の構成を除き、上記実施の形態1,2,3に係る有機EL表示装置1,・・と同一の構成を有する。以下では、表示パネル16の構成について、図14を用い説明する。
2.平坦化膜223における窪み部223aと半導体性層241
図14に示すように、本実施の形態に係る表示パネル16においても、平坦化膜223における第1下部電極層230aと第2下部電極層230bとの間の領域に窪み部223aが設けられている。平坦化膜223における窪み部223aは、平坦化膜223aの他の上面よりも沈下している点で、上記実施の形態1,2,3に係る表示パネル10,12,14と同様である。また、窪み部223aの底面上に、窪み部内形成層241bが形成されている点も、上記実施の形態1,2,3に係る表示パネル10,12,14と同様である。
なお、図14に示すように、本実施の形態に係る表示パネル16でも、隔壁243が、平坦化膜223の窪み部223aの形成に伴い窪んだ形状部分にも入り込んで形成されているので、上記同様に、隔壁243が剥離し難く、有機EL表示装置が高い信頼性を有する。
表示パネル16の製造方法について、図15から図17を用い説明する。なお、図15から図17においても、一部を抜き出し、模式的に示している。
本実施の形態に係る表示パネル16の製造方法においても、図16(c)に示すように、平坦化膜223における第1下部電極層230aと第2下部電極層230bとの間に窪み部223aを形成した状態で、半導体性層241を形成するので、シャドーイング効果により、窪み部223aにおける側面223sの少なくとも一部において半導体性層241が形成されない領域が生じる(図14の二点鎖線で囲む部分を参照)。このため、第1下部電極層190a上の半導体性中間層201aと、これに隣接する窪み部内形成層241bとが、電気的に接続されない状態となる。第2下部電極層230b上の半導体性中間層241aと、これに隣接する窪み部内形成層241bとについても、同様である。
上記実施の形態1,2,3,4では、隔壁123,163,203,243について、所謂、ピクセルバンクを採用したが、必ずしもこれに限られない。例えば、図18に示すように、所謂、ラインバンク構造の隔壁263を採用し、これにより、X軸方向でのサブピクセル19a,19b,19cの各発光層を区画することとしてもよい。
さらに、上記実施の形態1,2,3,4では、下部電極層110,150,190,230が陽極であり、上部電極層130,170,210,250が陰極である構成を採用したが、陽極と陰極との位置が逆転した構成とすることもできる。
さらに、平坦化膜103,143,183,223の各窪み部103a,143a,183a,223aの形状やサイズは、添付した図面に示すものに限定されるものではない。例えば、工程面で許容される場合には、窪み部の深さをより深くすることで、さらに確実に下部電極層間でのリーク電流を防止できる。
10,12,14,16,18.表示パネル
11a,11b,11c,13a,13b,13c,15a,15b,15c,17a,17b,17c,19a,19b,19c.サブピクセル
20.駆動制御部
21,22,23,24.駆動回路
25.制御回路
31.ソース信号配線
32.電源配線
100.基板
101.TFT
101a.ソース
102.パッシベーション膜
103,143,183,223.平坦化膜
103a,143a,183a,223a.窪み部
104.コンタクトホール
110,150,190,230.下部電極層
110a,150a,190a,230a.第1下部電極層
110b,150b,190b,230b.第2下部電極層
120,160,200,240.発光積層体
121,161,201,241.半導体性層
121a,161a,201a,241a.半導体性中間層
121b,161b,201b,241b.窪み部内形成層
122,162,202,242.発光層
122a,162a,202a,242a.第1発光層
122b,162b,202b,242b.第2発光層
123,163,203,243,263.隔壁
124,164,204,244.電子注入層
130,170,210,250.上部電極層
131,171,211,251.封止層
143s,183s,223s.窪み部側面
500,501,502,503,504.レジスト
1030,1031,1431,1831,2231.平坦化膜
1100,1500,1900.金属膜
2301.金属層
2301a.第1金属層
2301b.第2金属層
2302.透明導電層
2302a.第1透明導電層
2302b.第2透明導電層
2303.金属膜
2304.透明導電膜
Claims (16)
- 基板の上方に形成され、窪み部を有する平坦化膜と、
前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に形成された第1下部電極層と、
前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に前記窪み部を挟んで前記第1下部電極層と隣接して形成された第2下部電極層と、
前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の上方に形成された半導体性中間層と、
前記第1下部電極層の端部、前記第1下部電極層と隣接する前記第2下部電極層の端部、および前記平坦化膜の窪み部を覆って形成された隔壁と、を具備し、
前記平坦化膜の窪み部は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層との間で、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下し、
前記平坦化膜の窪み部の上面には、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されており、
前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の端部の膜厚は、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の中央部の膜厚よりも薄い
発光装置。 - 基板の上方に形成され、窪み部を有する平坦化膜と、
前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に形成された第1下部電極層と、
前記平坦化膜上であって前記窪み部の形成領域外に前記窪み部を挟んで前記第1下部電極層と隣接して形成された第2下部電極層と、
前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の上方に形成された半導体性中間層と、
前記第1下部電極層の端部、前記第1下部電極層と隣接する前記第2下部電極層の端部、および前記平坦化膜の窪み部を覆って形成された隔壁と、を具備し、
前記平坦化膜の窪み部は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層との間で、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下し、
前記平坦化膜の窪み部の上面には、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されており、
前記窪み部の側面は、前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されていない領域を有し、
前記半導体性中間層と、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層とは、前記窪み部の側面において前記半導体性中間層と同一材料の層が形成されていない領域により分断されている
発光装置。 - 前記窪み部の側面は、前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の各々の下方に入り込んだ形状である
請求項2に記載の発光装置。 - 前記第1下部電極層には、前記半導体性中間層側に第1透明導電膜による層が含まれ、
前記第2下部電極層には、前記半導体性中間層側に第2透明導電膜による層が含まれ、
前記半導体性中間層は、前記第1透明導電膜による層上および前記第2透明導電膜による層上に形成されている
請求項1から請求項3の何れか1項に記載の発光装置。 - 前記基板と前記平坦化膜との間には、TFT層が形成され、
前記平坦化膜は、前記TFT層上に形成されている
請求項1から請求項4の何れか1項に記載の発光装置。 - 前記第1下部電極層の上方であって前記半導体性中間層上に形成された第1発光層と、
前記第2下部電極層の上方であって前記半導体性中間層上に形成された第2発光層と、を具備し、
前記隔壁は、前記第1発光層と前記第2発光層とを区画する
請求項1から請求項4の何れか1項に記載の発光装置。 - 前記第1発光層および前記第2発光層の上方に形成された上部電極層を具備する
請求項6に記載の発光装置。 - 前記上部電極層は、陰極層である
請求項6に記載の発光装置。 - 前記第1下部電極層および前記第2下部電極層は、陽極層であり、
前記半導体性中間層は、正孔注入層である
請求項1から請求項8の何れか1項に記載の発光装置。 - 前記窪み部の深さは、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層と同一材料の層の中央部の膜厚よりも大きい
請求項1から請求項9の何れか1項に記載の発光装置。 - 基板を準備する第1工程と、
前記基板の上方に平坦化膜を形成する第2工程と、
前記平坦化膜上に第1下部電極層と第2下部電極層とを形成する第3工程と、
前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との上にレジストを形成する第4工程と、
前記第1下部電極層と前記第2電極層との間の、前記レジストが形成されていない前記平坦化膜の領域をエッチングすることにより、前記レジストが形成されていない前記平坦化膜の領域の前記平坦化膜の上面が、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下した窪み部を形成する第5工程と、
前記第1下部電極層上、前記第2下部電極層上、および前記窪み部の底面上に半導体性中間層を形成する第6工程と、を含み、
前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層の端部の膜厚を、前記平坦化膜の窪み部の上面に形成された前記半導体性中間層の中央部の膜厚よりも薄く形成する
発光装置の製造方法。 - 基板を準備する第1工程と、
前記基板の上方に平坦化膜を形成する第2工程と、
前記平坦化膜上に第1下部電極層と第2下部電極層とを形成する第3工程と、
前記第1下部電極層および前記第2下部電極層自体をマスクとして、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との間の前記平坦化膜の領域をエッチングすることにより、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との間の前記平坦化膜の領域に、前記平坦化膜の他の上面よりも沈下した窪み部を形成する第4工程と、
前記第1下部電極層上、前記第2下部電極層上、および前記窪み部の底面上に半導体性中間層を形成する第5工程と、を含み、
前記窪み部の側面は、前記半導体性中間層が形成されていない領域を有し、
前記半導体性中間層を、前記窪み部の側面において前記半導体性中間層が形成されていない領域により分断する
発光装置の製造方法。 - 前記第4工程において、
前記第4工程のエッチングにより、前記第1下部電極層と前記第2下部電極層との間の前記平坦化膜に形成された窪み部は、その側面が前記第1下部電極層および前記第2下部電極層の各々の下方に入り込んだ形状である
請求項12に記載の発光装置の製造方法。 - 前記エッチングは、ドライエッチングである
請求項12または請求項13に記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1下部電極層には、前記半導体性中間層側に第1透明導電膜による層が含まれ、
前記第2下部電極層には、前記半導体性中間層側に第2透明導電膜による層が含まれ、
前記第6工程において、前記半導体性中間層は、前記第1透明導電膜による層上および前記第2透明導電膜による層上に形成される
請求項11に記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1下部電極層には、前記半導体性中間層側に第1透明導電膜による層が含まれ、
前記第2下部電極層には、前記半導体性中間層側に第2透明導電膜による層が含まれ、
前記第5工程において、前記半導体性中間層は、前記第1透明導電膜による層上および前記第2透明導電膜による層上に形成される
請求項12に記載の発光装置の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220152984A (ko) * | 2015-04-30 | 2022-11-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시장치 및 이의 제조 방법 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010092797A1 (ja) | 2009-02-10 | 2010-08-19 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP5357194B2 (ja) | 2009-02-10 | 2013-12-04 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
KR101386828B1 (ko) | 2009-09-29 | 2014-04-17 | 파나소닉 주식회사 | 발광 소자 및 그것을 이용한 표시 장치 |
JP5209123B2 (ja) | 2009-11-04 | 2013-06-12 | パナソニック株式会社 | 表示パネル装置及びその製造方法 |
JP5620494B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-11-05 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP5620495B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-11-05 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
CN103053040B (zh) | 2010-08-06 | 2015-09-02 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
WO2012017490A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
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JP5543599B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-07-09 | パナソニック株式会社 | 発光素子の製造方法 |
JP5677432B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-02-25 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
WO2012017485A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
CN103053041B (zh) | 2010-08-06 | 2015-11-25 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
JP5612691B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
JP5612692B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
WO2012017491A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
JP6155020B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2017-06-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及びその製造方法 |
KR101504331B1 (ko) * | 2013-03-04 | 2015-03-19 | 삼성전자주식회사 | 발광소자 패키지 |
JP6282428B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2018-02-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
JP6300231B2 (ja) * | 2014-06-25 | 2018-03-28 | パナソニック株式会社 | 有機el素子 |
JP2016063197A (ja) | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置、及び表示装置の製造方法 |
CN106972032B (zh) * | 2017-05-22 | 2020-08-25 | 上海天马有机发光显示技术有限公司 | 阵列基板及包含其的显示面板 |
JP2021163577A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置および電子機器 |
WO2022137342A1 (ja) * | 2020-12-22 | 2022-06-30 | シャープ株式会社 | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
Family Cites Families (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
JP3599964B2 (ja) | 1997-07-29 | 2004-12-08 | パイオニア株式会社 | 発光ディスプレイ及びその製造方法 |
CN100530760C (zh) * | 1998-03-17 | 2009-08-19 | 精工爱普生株式会社 | 薄膜构图的衬底及其表面处理 |
JP3078257B2 (ja) * | 1998-04-15 | 2000-08-21 | ティーディーケイ株式会社 | 有機el表示装置及びその製造方法 |
US6762552B1 (en) * | 1999-11-29 | 2004-07-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Organic electroluminescent device and a method of manufacturing thereof |
US6838696B2 (en) * | 2000-03-15 | 2005-01-04 | Advanced Display Inc. | Liquid crystal display |
US20040113168A1 (en) * | 2001-02-21 | 2004-06-17 | Ivan Eliashevich | Light extraction efficiency of gan based leds |
JP4055503B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2008-03-05 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子 |
JP3778176B2 (ja) * | 2002-05-28 | 2006-05-24 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置および電子機器 |
JP4615197B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2011-01-19 | シャープ株式会社 | Tftアレイ基板の製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
JP2004127551A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Seiko Epson Corp | 有機el装置とその製造方法、および電子機器 |
JP2004192890A (ja) | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Sony Corp | 有機電界発光素子 |
JP2004192935A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置 |
KR100919199B1 (ko) * | 2002-12-31 | 2009-09-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계방식 액정표시소자 |
JP4138672B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2008-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
JP2005011572A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | 有機el装置とその製造方法、並びに電子機器 |
US7667229B2 (en) * | 2005-06-03 | 2010-02-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Electronic device including conductive members between a first workpiece and second workpiece |
JP4101823B2 (ja) * | 2005-06-13 | 2008-06-18 | 株式会社東芝 | 半導体素子、電極形成方法及び半導体素子の製造方法 |
WO2007013692A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescence element, exposure device and image forming apparatus |
JP2007220393A (ja) | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、その製造方法およびこれを備える電子機器 |
JP4864520B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2012-02-01 | 三菱電機株式会社 | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 |
US20070241665A1 (en) * | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescent element, and manufacturing method thereof, as well as display device and exposure apparatus using the same |
JP2007286081A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置 |
JP2008059868A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
KR101473021B1 (ko) | 2006-09-08 | 2014-12-15 | 도판 인사츠 가부시키가이샤 | 적층체 |
JP2008089634A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2009071162A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Rohm Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2009128577A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Hitachi Ltd | 有機発光表示装置 |
JP2009133914A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Sony Corp | 表示装置 |
JP2009135053A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 電子デバイス、表示装置および電子デバイスの製造方法 |
US8158988B2 (en) * | 2008-06-05 | 2012-04-17 | International Business Machines Corporation | Interlevel conductive light shield |
JP4555880B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2010-10-06 | 株式会社沖データ | 積層半導体発光装置及び画像形成装置 |
EP2172977A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
WO2010047217A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP5572942B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2014-08-20 | 住友化学株式会社 | 発光装置およびその製造方法 |
WO2010092797A1 (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-19 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
TWI511288B (zh) * | 2009-03-27 | 2015-12-01 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置 |
JP5453952B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-03-26 | ソニー株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法、並びに表示装置およびその製造方法 |
JP5642447B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2014-12-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2011036981A1 (en) * | 2009-09-24 | 2011-03-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
KR20120093864A (ko) * | 2009-10-09 | 2012-08-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
WO2011055631A1 (en) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP5423325B2 (ja) * | 2009-11-10 | 2014-02-19 | ソニー株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
KR101830195B1 (ko) * | 2009-12-18 | 2018-02-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치와 그것의 제작 방법 |
KR101007136B1 (ko) * | 2010-02-18 | 2011-01-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR101929190B1 (ko) * | 2010-03-05 | 2018-12-17 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP5519532B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2014-06-11 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルおよびそれを備えた有機el表示装置並びに有機el表示パネルの製造方法 |
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Cited By (2)
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KR20220152984A (ko) * | 2015-04-30 | 2022-11-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시장치 및 이의 제조 방법 |
KR102583622B1 (ko) * | 2015-04-30 | 2023-09-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시장치 및 이의 제조 방법 |
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