JP5395366B2 - 磁気素子のスピンバルブ構造およびcpp−gmrスピンバルブ構造、ならびに磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法 - Google Patents
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Description
本実施例では、次のような構成のボトム型スピンバルブ構造のサンプルを作製した。
シード層 :Ta1/Ru1
AFM層 :IrMn7
AP2層 :Fe10Co901/Fe70Co301.4/Fe10Co902
結合層 :Ru0.75
AP1層 :Fe70Co301.5/Cu0.2/Fe70Co301.5
複合スペーサ層:Cu0.3/ZnO1.5/Cu0.3
フリー層 :Fe70Co300.8/CoFeB1.2/Ni90Fe106
キャップ層 :Cu3/Ru1/Ta6/Ru3
本実施例では、次のような構成のボトム型スピンバルブ構造のサンプルを作製した。
本実施例では、次のような構成のボトム型スピンバルブ構造のサンプルを作製した。
本実施例では、次のような構成のボトム型スピンバルブ構造のサンプルを作製した。
本実施例では、次のような構成のボトム型スピンバルブ構造のサンプルを作製した。
Claims (19)
- 反平行層(AP2層)と、結合層と、他の反平行層(AP1層)とを順次積層してなる構造(AP2層/結合層/AP1層)を有するピンド層と、
フリー層と、
前記ピンド層と前記フリー層との間に、金属層(M層)と半導体または半金属層(S層)とを含むS/M/Sという積層構造を有する複合スペーサと
を備えたことを特徴とする磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記磁気素子が、第1の磁気シールドを有するCPP−GMR(面直交電流型巨大磁気抵抗効果素子)として構成されたものであり、
前記第1の磁気シールドの上に形成されたシード層と、
前記シード層の上に形成された反強磁性(AFM)層と、
前記フリー層の上に形成されたキャップ層と
を備え、
前記AP2層が前記AFM層に接し、前記AP1層が前記複合スペーサに接している
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記AP2層が、Coz Fe(100-z) /Coy Fe(100-y) /Coz Fe(100-z) という複合構造を有する(但し、y=0〜60原子%、z=75〜100原子%)
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記M層は0.1nm〜5nmの膜厚を有し、前記S層は0.1nm〜5nmの膜厚を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記S層が、 MgO、ZnX Mg(100-X) O(但し、x=0〜99原子%)、ZnCuO、ZnCdO、ZnAlO、ZnSe、ZnTe、Si、Ge、TiO2 、AlN、GaN、InN、AlP、AlAs、AlSb、GaP、GaAs、GaSb、InP、InAs、ZnS、CdS、CdTe、HgTe、PbS、PbSe、PbTe、SnTe、Cu2 O、FeSi2 、CrMnSi、Mg2 Si、RuSi3 およびIr3 Si5 よりなる群から選ばれる半導体、
または、
Sb、Bi、CoSi、CoX Fe(100-X) Si、CoX Ni(100-X) Si、CoX Mn(100-X) Si、CoX Cr(100-X) SiおよびFeSiよりなる群から選ばれる半金属
によって構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記M層が、Ag、Au、Cr、AlおよびMgよりなる群から選ばれる元素で構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 前記S層のうちの1以上の層に、Si、B、Mg、Mn、Al、Cu、Cd、Cr、Ti、Zr、Hf、Ru、Mo、Nb、Co、Fe およびNiよりなる群から選ばれる1以上の元素が、0〜20原子%という出来上がり濃度でドープされている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子のスピンバルブ構造。 - 基板上に形成されたシード層と、
前記シード層上に形成されたAFM層と、
前記AFM層上に形成された、AP2層/結合層/AP1層なる3層構造を有するピンド層と、
前記ピンド層のAP1層上に形成された、金属層(M層)とMgO,Zn X Mg (100-X) O(但し、x=0〜99原子%),ZnCuO,ZnCdO,ZnAlO,TiO 2 ,またはCu 2 Oよりなる群から選ばれる半導体によって構成されているS層とを含むM/SまたはS/Mという積層構造を有する複合スペーサと、
前記複合スペーサ上に形成されたフリー層と、
前記フリー層上に形成されたキャップ層と
を備えたことを特徴とするCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 前記シード層は、タンタル(Ta)からなる下層と、ルテニウム(Ru)からなる上層との複合層であり、
前記AFM層は、イリジウムマンガン(IrMn)からなり、
前記AP2層は、CoZFe(100-Z) /CoYFe(100-Y) /CoZFe(100-Z) なる組成を有し(但し、yは0ないし60原子%、zは75ないし100原子%)、
前記結合層は、ルテニウム(Ru)からなり、
前記AP1層は、[CoFe/Cu]k /CoFeなる積層構造を有する(但し、k=1, 2, または3)
ことを特徴とする請求項8に記載のCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 前記複合スペーサが、M/S、S/M、M/S/M、S/M/S、M/S/M/S/M、または(M/S/M)n という積層構造を有する(但し、nは1より大きい整数)
ことを特徴とする請求項8に記載のCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 前記M層は0.1nm〜5nmの膜厚を有し、前記S層は0.1nm〜5nmの膜厚を有する
ことを特徴とする請求項8記載のCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 前記M層が、Ag、Au、Cr、AlおよびMgよりなる群から選ばれる元素で構成されている
ことを特徴とする請求項8に記載のCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 前記S層のうちの1以上の層に、Si、B、Mg、Mn、Al、Cu、Cd、Cr、Ti、Zr、Hf、Ru、Mo、Nb、Co、Fe およびNiよりなる群から選ばれる1以上の元素が、0〜20原子%という出来上がり濃度でドープされている
ことを特徴とする請求項8に記載のCPP−GMRスピンバルブ構造。 - 基板上にシード層を形成するステップと、
前記シード層上にAFM層を形成するステップと、
前記AFM層上に、AP2層/結合層/AP1層なる3層構造を有するピンド層を形成するステップと、
前記ピンド層のAP1層上に、金属層(M層)と半導体または半金属層(S層)とを含むS/M/Sという積層構造を有する複合スペーサを形成するステップと
前記複合スペーサ上にフリー層を形成するステップと、
前記フリー層上にキャップ層を形成するステップと
を含むことを特徴とする磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。 - 前記スピンバルブ構造をCPP−GMR用の構造とし、
すべての層をスパッタ成膜装置によって形成する
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。 - 前記M層を0.1nm〜5nmの膜厚で形成し、前記S層を0.1nm〜5nmの膜厚で形成する
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。 - 前記S層が、
ZnO、MgO、ZnX Mg(100-X) O(但し、x=0〜99原子%)、ZnCuO、ZnCdO、ZnAlO、ZnSe、ZnTe、Si、Ge、TiO2 、AlN、GaN、InN、AlP、AlAs、AlSb、GaP、GaAs、GaSb、InP、InAs、ZnS、CdS、CdTe、HgTe、PbS、PbSe、PbTe、SnTe、Cu2 O、FeSi2 、CrMnSi、Mg2 Si、RuSi3 およびIr3 Si5 よりなる群から選ばれる半導体、
または、
Sb、Bi、CoSi、CoX Fe(100-X) Si、CoX Ni(100-X) Si、CoX Mn(100-X) Si、CoX Cr(100-X) SiおよびFeSiよりなる群から選ばれる半金属
によって構成されている
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。 - 前記S層を構成する基本材料と不純物とを含むターゲットをスパッタすることにより、前記S層のうちの1以上の層に、Si、B、Mg、Mn、Al、Cu、Cd、Cr、Ti、Zr、Hf、Ru、Mo、Nb、Co、Fe およびNiよりなる群から選ばれる1以上の元素を、0〜20原子%という出来上がり濃度でドープする
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。 - 金属層または金属合金層AB(但し、AおよびBは金属元素)を成膜したのち、前記スパッタ成膜装置内の酸化室において、プラズマ酸化、自然酸化またはラジカル酸化のプロセスを行なって前記金属層または金属合金層ABを酸化することにより、前記S層を、金属酸化物層または三成分酸化物(ternary oxide) 層ABOとして形成する
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法。
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US7918014B2 (en) * | 2005-07-13 | 2011-04-05 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing a CPP structure with enhanced GMR ratio |
US7780820B2 (en) * | 2005-11-16 | 2010-08-24 | Headway Technologies, Inc. | Low resistance tunneling magnetoresistive sensor with natural oxidized double MgO barrier |
JP4786331B2 (ja) | 2005-12-21 | 2011-10-05 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP4514721B2 (ja) | 2006-02-09 | 2010-07-28 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気記憶装置 |
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JP4550777B2 (ja) | 2006-07-07 | 2010-09-22 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気メモリ |
KR100803215B1 (ko) * | 2006-08-31 | 2008-02-14 | 삼성전자주식회사 | 개구 구비 금속막과 그 형성방법, 개구 구비 금속막을포함하는 광 전송모듈 및 이를 포함하는 열보조자기기록헤드 |
JP4492604B2 (ja) * | 2006-11-10 | 2010-06-30 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
JP4328348B2 (ja) * | 2006-11-21 | 2009-09-09 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
JP4492617B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2010-06-30 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子および磁気ディスク装置 |
JP4388093B2 (ja) | 2007-03-27 | 2009-12-24 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置 |
US7826180B2 (en) * | 2007-06-26 | 2010-11-02 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect device of the CPP structure, and magnetic disk system |
US8289650B2 (en) * | 2007-09-19 | 2012-10-16 | Seagate Technology Llc | HAMR recording head having a sloped wall pole |
US7978442B2 (en) | 2007-10-03 | 2011-07-12 | Tdk Corporation | CPP device with a plurality of metal oxide templates in a confining current path (CCP) spacer |
US20090161268A1 (en) * | 2007-12-22 | 2009-06-25 | Tsann Lin | Current-perpendicular-to-plane read sensor with amorphous ferromagnetic and polycrystalline nonmagnetic seed layers |
US20090174971A1 (en) * | 2008-01-03 | 2009-07-09 | Yoshihiro Tsuchiya | Cpp-type magneto resistive effect element having a pair of magnetic layers |
US8747629B2 (en) * | 2008-09-22 | 2014-06-10 | Headway Technologies, Inc. | TMR device with novel free layer |
JP5039006B2 (ja) | 2008-09-26 | 2012-10-03 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP5039007B2 (ja) | 2008-09-26 | 2012-10-03 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP2010080839A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置 |
US8029853B2 (en) * | 2008-11-20 | 2011-10-04 | Tdk Corporation | Fabrication process for magnetoresistive devices of the CPP type |
US8845867B2 (en) * | 2008-12-09 | 2014-09-30 | Tdk Corporation | Method for manufacturing magnetoresistance effect element using simultaneous sputtering of Zn and ZnO |
US8345390B2 (en) * | 2009-02-26 | 2013-01-01 | Tdk Corporation | Magnetoresistive effect element in CPP-type structure and magnetic disk device |
US8274764B2 (en) * | 2009-03-10 | 2012-09-25 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect element provided with GaN spacer layer |
WO2010119928A1 (ja) * | 2009-04-16 | 2010-10-21 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 強磁性トンネル接合体とそれを用いた磁気抵抗効果素子並びにスピントロニクスデバイス |
US8551626B2 (en) * | 2009-06-25 | 2013-10-08 | Seagate Technology Llc | CCP-CPP magnetoresistive reader with high GMR value |
US8154828B2 (en) * | 2009-07-10 | 2012-04-10 | Tdk Corporation | Magnetoresistive effect element in CPP-type structure and magnetic disk device |
US8331063B2 (en) * | 2009-07-10 | 2012-12-11 | Tdk Corporation | Magnetoresistive effect element in CPP-type structure and magnetic disk device |
US20110236723A1 (en) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | Tsann Lin | CURRENT-PERPENDICULAR-TO-PLANE (CPP) READ SENSOR WITH Co-Fe BUFFER LAYERS |
WO2011122078A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | 株式会社日立製作所 | 磁気抵抗素子、磁気ディスク装置及び磁気抵抗記憶装置 |
US8692343B2 (en) | 2010-04-26 | 2014-04-08 | Headway Technologies, Inc. | MR enhancing layer (MREL) for spintronic devices |
US8379350B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-02-19 | Tdk Corporation | CPP-type magnetoresistive element including spacer layer |
WO2012014415A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 株式会社日立製作所 | 岩塩構造薄膜をシードとして用いた低抵抗かつ高効率のスピン注入素子 |
US8351151B2 (en) * | 2010-11-02 | 2013-01-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Thermally assisted magnetic write head employing a near field transducer (NFT) having a diffusion barrier layer between the near field transducer and a magnetic lip |
US8405935B2 (en) * | 2010-12-28 | 2013-03-26 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect element having spacer layer including main spacer layer containing gallium oxide and nonmagnetic layer |
JP5739685B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2015-06-24 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP5644620B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2014-12-24 | Tdk株式会社 | スピン伝導素子及び磁気ヘッド |
US20120298998A1 (en) * | 2011-05-25 | 2012-11-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming oxide semiconductor film, semiconductor device, and method for manufacturing semiconductor device |
US8310790B1 (en) * | 2011-06-11 | 2012-11-13 | Nhk Spring Co., Ltd | Remote drive rotary head dual stage actuator |
JP5705683B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2015-04-22 | 株式会社日立製作所 | トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド |
US9103654B1 (en) | 2012-04-11 | 2015-08-11 | Louisiana Tech University Research Foundation, A Division Of Louisiana Tech University Foundation, Inc. | GMR nanowire sensors |
US10718636B1 (en) | 2012-04-11 | 2020-07-21 | Louisiana Tech Research Corporation | Magneto-resistive sensors |
US9784802B1 (en) | 2012-04-11 | 2017-10-10 | Louisiana Tech Research Corporation | GMR nanowire sensors |
JP5902071B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-04-13 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッド及び磁気記憶装置 |
US9082872B2 (en) * | 2013-01-02 | 2015-07-14 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic read head with MR enhancements |
US20150213815A1 (en) * | 2014-01-29 | 2015-07-30 | Seagate Technology Llc | Synthetic antiferromagnetic reader |
US9922670B1 (en) * | 2015-04-30 | 2018-03-20 | Seagate Technology Llc | Method of manufacturing a recessed data reader pinning structure with vertical sidewall |
US9679589B2 (en) * | 2015-09-11 | 2017-06-13 | Seagate Technology Llc | Magnetoresistive sensor with enhanced uniaxial anisotropy |
CN105220118B (zh) * | 2015-10-27 | 2017-10-20 | 福州大学 | 一种Al掺杂Mg2Si基热电薄膜及其制备方法 |
US10062732B2 (en) * | 2016-05-24 | 2018-08-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | DMTJ structure for sub-25NM designs with cancelled flowering field effects |
JP6943019B2 (ja) * | 2017-05-26 | 2021-09-29 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、センサ、高周波フィルタ及び発振素子 |
JP7066222B2 (ja) * | 2018-04-04 | 2022-05-13 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 面直電流巨大磁気抵抗素子、その前駆体、及びその製造方法 |
US10755733B1 (en) * | 2019-03-05 | 2020-08-25 | Sandisk Technologies Llc | Read head including semiconductor spacer and long spin diffusion length nonmagnetic conductive material and method of making thereof |
CN110634972B (zh) * | 2019-09-30 | 2020-12-15 | 东北财经大学 | 一种具有氮化镁壳层的氧化亚铜/锌铜氧/氧化锌器件 |
US11094338B1 (en) * | 2020-07-09 | 2021-08-17 | Western Digital Technologies, Inc. | SOT film stack for differential reader |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5923503A (en) * | 1995-03-15 | 1999-07-13 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film magnetic head and production method thereof |
JP3293437B2 (ja) | 1995-12-19 | 2002-06-17 | 松下電器産業株式会社 | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型ヘッド及びメモリー素子 |
US5627704A (en) | 1996-02-12 | 1997-05-06 | Read-Rite Corporation | Thin film giant magnetoresistive CPP transducer with flux guide yoke structure |
US5668688A (en) | 1996-05-24 | 1997-09-16 | Quantum Peripherals Colorado, Inc. | Current perpendicular-to-the-plane spin valve type magnetoresistive transducer |
US5930084A (en) * | 1996-06-17 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Stabilized MR sensor and flux guide joined by contiguous junction |
JP2001067627A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Toshiba Corp | ディスク記憶装置及び同装置に適用する磁気ヘッド装置 |
JP3833512B2 (ja) * | 2000-10-20 | 2006-10-11 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
JP3565268B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2004-09-15 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
US6775903B2 (en) * | 2001-09-17 | 2004-08-17 | Headway Technolog | Method for fabricating a top magnetoresistive sensor element having a synthetic pinned layer |
JP2003248909A (ja) | 2002-02-27 | 2003-09-05 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド及びそれを備える磁気記録再生装置、並びに磁気メモリ |
US6801410B2 (en) * | 2002-06-03 | 2004-10-05 | Seagate Technology Llc | Side flux guide for current perpendicular to plane magnetoresistive transducer |
JP4487472B2 (ja) | 2002-07-05 | 2010-06-23 | 株式会社日立製作所 | 磁気抵抗効果素子、及びこれを備える磁気ヘッド、磁気記録装置、磁気メモリ |
JP3648504B2 (ja) | 2002-09-06 | 2005-05-18 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドおよび磁気再生装置 |
US6870711B1 (en) * | 2004-06-08 | 2005-03-22 | Headway Technologies, Inc. | Double layer spacer for antiparallel pinned layer in CIP/CPP GMR and MTJ devices |
JP4308109B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2009-08-05 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、およびハードディスク装置 |
JP4568152B2 (ja) | 2004-09-17 | 2010-10-27 | 株式会社東芝 | 磁気記録素子及びそれを用いた磁気記録装置 |
JP4309363B2 (ja) | 2005-03-16 | 2009-08-05 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気再生ヘッド及び磁気情報再生装置 |
US7518835B2 (en) * | 2005-07-01 | 2009-04-14 | Grandis, Inc. | Magnetic elements having a bias field and magnetic memory devices using the magnetic elements |
US7918014B2 (en) | 2005-07-13 | 2011-04-05 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing a CPP structure with enhanced GMR ratio |
US7583481B2 (en) * | 2005-09-23 | 2009-09-01 | Headway Technologies, Inc. | FCC-like trilayer AP2 structure for CPP GMR EM improvement |
JP2007095750A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Canon Anelva Corp | 磁気抵抗効果素子 |
US7672088B2 (en) * | 2006-06-21 | 2010-03-02 | Headway Technologies, Inc. | Heusler alloy with insertion layer to reduce the ordering temperature for CPP, TMR, MRAM, and other spintronics applications |
JP4343940B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2009-10-14 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置および磁気抵抗効果素子の製造方法 |
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