JP5705683B2 - トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド - Google Patents
トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP5705683B2 JP5705683B2 JP2011180588A JP2011180588A JP5705683B2 JP 5705683 B2 JP5705683 B2 JP 5705683B2 JP 2011180588 A JP2011180588 A JP 2011180588A JP 2011180588 A JP2011180588 A JP 2011180588A JP 5705683 B2 JP5705683 B2 JP 5705683B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- ferromagnetic
- lattice
- seed
- barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 77
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims description 50
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims description 50
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 153
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 119
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 51
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical group [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 48
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 107
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 66
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 54
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 15
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 12
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 MgZnO Substances 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 description 3
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
図1は、本発明によるトンネル磁気抵抗効果素子の一例を示す断面模式図である。このトンネル磁気抵抗効果素子1は、下地膜300、非磁性シード膜310、強磁性膜305、障壁膜307、強磁性膜308、保護膜309を積層して形成され、非磁性シード膜310を格子定数が強磁性膜305の格子定数の√2倍よりも小さい面心立方格子の物質を用いることにより面積抵抗と磁気抵抗比が改善される。本実施例では、トンネル磁気抵抗効果素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図4は、本発明によるトンネル磁気抵抗効果素子の一例を示す断面模式図である。このトンネル磁気抵抗効果素子2は、下地膜300、配向制御膜301、反強磁性膜302、強磁性膜303、非磁性シード膜304、強磁性膜305、絶縁シード膜306、障壁膜307、強磁性膜308、保護膜309を積層して形成されている。非磁性シード膜304は実施例1と同様に強磁性膜305の格子定数を小さくする材料を選択する。また絶縁シード膜306には強磁性膜305より格子定数が大きく、かつ障壁膜307と格子整合したときに障壁膜307よりも格子定数の小さい岩塩構造の物質を配置することにより、面積抵抗と磁気抵抗比が改善される。本実施例では、トンネル磁気抵抗効果素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図7は、本発明によるトンネル磁気抵抗効果素子の一例を示す断面模式図である。このトンネル磁気抵抗効果素子3は、下地膜300、配向制御膜301、反強磁性膜302、強磁性膜303、非磁性シード膜304、強磁性膜305、強磁性シード膜311、障壁膜307、強磁性膜308、保護膜309を積層して形成され、強磁性シード膜311に格子定数が障壁膜307の格子定数の1/√2よりも小さく、かつ強磁性膜305よりも大きい物質を配置することにより面積抵抗と磁気抵抗比が改善される。本実施例では、トンネル磁気抵抗効果素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図8は、本発明によるトンネル磁気抵抗効果素子の一例を示す断面模式図である。このトンネル磁気抵抗効果素子4は、下地膜300、非磁性シード膜310、強磁性膜305、金属シード膜306、障壁膜307、強磁性膜308、保護膜309を積層して形成され、非磁性シード膜310を格子定数が強磁性膜305の格子定数の√2倍よりも小さく、かつ強磁性膜305よりも大きい面心立方格子の物質を用いることにより面積抵抗と磁気抵抗比が改善される。金属シード膜306として、特に障壁膜307で用いられた金属酸化物の金属を用いると、金属シード膜の一部酸化により障壁膜との接続性がよい。本実施例では、トンネル磁気抵抗効果素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図9は、本発明による非局所スピン注入素子の一例を示す断面模式図である。この非局所スピン注入素子5は、下地膜300、非磁性シード膜310、強磁性膜305、障壁膜307、非磁性導電膜312、保護膜309を積層して形成されている。強磁性膜305は、(001)配向した体心立方格子の膜であり、障壁膜307は(001)配向した岩塩構造の酸化物の膜である。強磁性膜305はCo,Fe,及びNiを少なくとも一種含む材料で構成することができる。非磁性シード膜310に格子間隔が強磁性膜305の格子定数よりも小さい面心立方格子の物質を用いることにより、面積抵抗RAとスピン分極率が改善される。本実施例では、非局所スピン注入素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図10は、本発明による非局所スピン注入素子の一例を示す断面模式図である。この非局所スピン注入素子6は、下地膜300、非磁性シード膜310、障壁膜307、強磁性膜308、反強磁性膜302、保護膜309を積層して形成されている。強磁性膜308は、(001)配向した体心立方格子の膜であり、障壁膜307は(001)配向した岩塩構造の酸化物の膜である。強磁性膜305はCo,Fe,及びNiを少なくとも一種含む材料で構成することができる。非磁性シード膜310に格子間隔が障壁膜307の格子定数よりも小さい面心立方格子の物質を用いることにより、面積抵抗RAとスピン分極率が改善される。また、本実施例で用いられた非磁性シード膜307は、純粋スピン流の流れる非磁性導電膜にもなっている。本実施例では、非局所スピン注入素子はマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し、成膜後300℃で磁界中でのアニール処理を施した。
図11は、本発明による磁気メモリセルの構成例を示す断面模式図である。この磁気メモリセルは、メモリセルとして実施例1〜4に示したトンネル磁気抵抗効果素子1〜4のいずれか1種類の素子を搭載している。
図13は、本発明による記録・再生磁気ヘッドの構成例を示す模式図である。この記録・再生磁気ヘッドは、再生磁気ヘッドとして、実施例1〜4に示したトンネル磁気抵抗効果素子1〜4、あるいは実施例5,6に示した非局所スピン注入素子5,6のいずれか1つを搭載している。601はスライダアーム、602は磁気ヘッド、603は本実施例に係る再生ヘッド部位、604は垂直記録方式やエネルギーアシストによる記録ヘッド部位をそれぞれ示す。
Claims (13)
- 第一の強磁性膜と、
前記第一の強磁性膜の上に設けられた障壁膜と、
前記障壁膜の上に設けられた第二の強磁性膜と、
前記第一の強磁性膜の下に設けられた非磁性シード膜とを有し、
前記第一の強磁性膜と前記第二の強磁性膜は(001)配向した体心立方格子の膜、前記障壁膜は(001)配向した岩塩構造のMg 1-a X a O(XはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0<a≦1)の膜であり、前記非磁性シード膜は前記第一の強磁性膜と格子整合し、かつ前記第一の強磁性膜と格子整合した格子間距離が前記第一の強磁性膜より小さい非磁性金属膜であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。 - 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記第一の強磁性膜と第二の強磁性膜はCo,Fe,及びNiを少なくとも一種含む体心立方格子であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記非磁性シード膜はPd,Rh,Pt,Al,Cu,Ag,Au,Ir,及びPbを少なくとも一種含んだ面心立方格子で、その格子定数は前記第一の強磁性膜の格子定数の√2倍よりも小さいことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記非磁性シード膜はNa,V,Cr,Rb,Mo,Ba,及びWを少なくとも一種含んだ体心立方格子で、その格子定数は前記第一の強磁性膜の格子定数よりも小さいことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記第一の強磁性膜と前記障壁膜との間に絶縁シード膜を有し、前記絶縁シード膜は(001)配向した岩塩構造のMg1-bYbO(YはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0≦b<1)からなり、前記絶縁シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数よりも小さいことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記第一の強磁性膜と前記障壁膜との間に金属シード膜を有し、前記金属シード膜はMg1-cZc(ZはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0≦c≦1)からなり、前記金属シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数よりも小さいことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記第一の強磁性膜と前記障壁膜との間に強磁性シード膜を有し、前記強磁性シード膜はCo,Fe,及びNiを少なくとも一種含む体心立方格子の強磁性体からなり、前記強磁性シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数の1/√2倍よりも小さいことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
- 記録磁界を発生する磁極を有する記録部と、トンネル磁気抵抗効果素子を備える再生部を有する磁気ヘッドにおいて、
前記トンネル磁気抵抗効果素子は、第一の強磁性膜と、前記第一の強磁性膜の上に設けられた障壁膜と、前記障壁膜の上に設けられた第二の強磁性膜と、前記第一の強磁性膜の下に設けられた非磁性シード膜とを有し、前記第一の強磁性膜と前記第二の強磁性膜は(001)配向した体心立方格子の膜、前記障壁膜は(001)配向した岩塩構造のMg 1-a X a O(XはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0<a≦1)の膜であり、前記非磁性シード膜は前記第一の強磁性膜と格子整合し、かつ前記第一の強磁性膜と格子整合した格子間距離が前記第一の強磁性膜より小さい非磁性金属膜であることを特徴とする磁気ヘッド。 - 強磁性膜と、前記強磁性膜の上に設けられた障壁膜と、前記障壁膜の上に設けられた非磁性導電膜と、前記強磁性膜の下に設けられた非磁性シード膜とを有する非局所スピン注入素子において、
前記強磁性膜は(001)配向した体心立方格子の膜、前記障壁膜は(001)配向した岩塩構造のMg 1-a X a O(XはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0<a≦1)の膜であり、前記非磁性シード膜は前記強磁性膜と格子整合し、かつ前記強磁性膜と格子整合した格子間距離が前記強磁性膜より小さい非磁性金属膜であることを特徴とする非局所スピン注入素子。 - 請求項9記載の非局所スピン注入素子において、前記強磁性膜と前記障壁膜との間に絶縁シード膜を有し、前記絶縁シード膜は(001)配向した岩塩構造のMg1-bYbO(YはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0≦b<1)からなり、前記絶縁シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数よりも小さいことを特徴とする非局所スピン注入素子。
- 請求項9記載の非局所スピン注入素子において、前記強磁性膜と前記障壁膜との間に金属シード膜を有し、前記金属シード膜はMg1-cZc(ZはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0≦c≦1)からなり、前記金属シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数よりも小さいことを特徴とする非局所スピン注入素子。
- 請求項9記載の非局所スピン注入素子において、前記強磁性膜と前記障壁膜との間に強磁性シード膜を有し、前記強磁性シード膜はCo,Fe,及びNiを少なくとも一種含む体心立方格子の強磁性体からなり、前記強磁性シード膜の格子定数は前記障壁膜の格子定数の1/√2倍よりも小さいことを特徴とする非局所スピン注入素子。
- 記録磁界を発生する磁極を有する記録部と、非局所スピン注入素子を備える再生部を有する磁気ヘッドにおいて、
前記非局所スピン注入素子は、強磁性膜と、前記強磁性膜の上に設けられた障壁膜と、前記障壁膜の上に設けられた非磁性導電膜と、前記強磁性膜の下に設けられた非磁性シード膜とを有し、前記強磁性膜は(001)配向した体心立方格子の膜、前記障壁膜は(001)配向した岩塩構造のMg 1-a X a O(XはZn,Cd,Ca,Sr,Ba,及びBの内から選んだ一種又は二種以上、0<a≦1)の膜であり、前記非磁性シード膜は前記強磁性膜と格子整合し、かつ前記強磁性膜と格子整合した格子間距離が前記強磁性膜より小さい非磁性金属膜であることを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011180588A JP5705683B2 (ja) | 2011-08-22 | 2011-08-22 | トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011180588A JP5705683B2 (ja) | 2011-08-22 | 2011-08-22 | トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013045800A JP2013045800A (ja) | 2013-03-04 |
JP5705683B2 true JP5705683B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=48009500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011180588A Expired - Fee Related JP5705683B2 (ja) | 2011-08-22 | 2011-08-22 | トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5705683B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6640766B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2020-02-05 | 株式会社東芝 | 磁性素子、圧力センサ、磁気ヘッド、および磁性メモリ |
JP6299897B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2018-03-28 | Tdk株式会社 | トンネル層 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4834834B2 (ja) * | 2006-05-08 | 2011-12-14 | 国立大学法人東北大学 | トンネル磁気抵抗素子、不揮発性磁気メモリ、発光素子および3端子素子 |
JP4496189B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2010-07-07 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果型素子および磁気抵抗効果型ランダムアクセスメモリ |
US8031441B2 (en) * | 2007-05-11 | 2011-10-04 | Headway Technologies, Inc. | CPP device with an enhanced dR/R ratio |
JP5181388B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-04-10 | 秋田県 | 強磁性積層構造及びその製造方法 |
JP2009302378A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Fujitsu Ltd | トンネル磁気抵抗効果素子およびこれを用いた磁気抵抗デバイス |
JP2012502447A (ja) * | 2008-09-03 | 2012-01-26 | キヤノンアネルバ株式会社 | 非晶質または微結晶質MgOトンネル障壁に用いる優先グレイン成長強磁性シード層 |
WO2010026667A1 (en) * | 2008-09-03 | 2010-03-11 | Canon Anelva Corporation | Ferromagnetic preferred grain growth promotion seed layer for amorphous or microcrystalline mgo tunnel barrier |
JP2010109208A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Fujitsu Ltd | トンネル磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗デバイス |
JP5318191B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2013-10-16 | 株式会社日立製作所 | 磁気メモリ |
JP2011123923A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置 |
-
2011
- 2011-08-22 JP JP2011180588A patent/JP5705683B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013045800A (ja) | 2013-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5096702B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子及びそれを搭載した不揮発性磁気メモリ | |
JP5337817B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、それを用いた磁気メモリセル及び磁気ランダムアクセスメモリ | |
JP5123365B2 (ja) | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ | |
US7777261B2 (en) | Magnetic device having stabilized free ferromagnetic layer | |
CN101183704B (zh) | 隧道磁阻器件、其制造方法、磁头及磁存储器 | |
JP4745414B2 (ja) | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ | |
US9042165B2 (en) | Magnetoresistive effect element, magnetic memory cell using same, and random access memory | |
US9006704B2 (en) | Magnetic element with improved out-of-plane anisotropy for spintronic applications | |
US10953319B2 (en) | Spin transfer MRAM element having a voltage bias control | |
JP5143444B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、それを用いた磁気メモリセル及び磁気ランダムアクセスメモリ | |
US20120320666A1 (en) | Magnetoresistive Element and Magnetic Memory | |
JP2009027177A (ja) | Stt−mtj−mramセルおよびその製造方法 | |
KR20090059038A (ko) | 열-보조 기입 자기 소자 | |
JP2007294737A (ja) | トンネル磁気抵抗効果素子、それを用いた磁気メモリセル及びランダムアクセスメモリ | |
US9053800B2 (en) | Memory element and memory apparatus | |
US8644058B2 (en) | Spin-injection element, and magnetic field sensor and magnetic recording memory employing the same | |
WO2009110119A1 (ja) | 強磁性トンネル接合素子および強磁性トンネル接合素子の駆動方法 | |
JP2008091551A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気記憶装置、および磁気メモリ装置 | |
JP2005019484A (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気ヘッド | |
JP5705683B2 (ja) | トンネル磁気抵抗効果素子、非局所スピン注入素子、及びそれを用いた磁気ヘッド | |
WO2012014415A1 (ja) | 岩塩構造薄膜をシードとして用いた低抵抗かつ高効率のスピン注入素子 | |
US20220246836A1 (en) | Composite recording structure for an improved write profermance | |
JP7127770B2 (ja) | 面直磁化強磁性半導体ヘテロ接合素子、およびこれを用いた磁気記憶装置並びにスピンロジック素子 | |
JP5562946B2 (ja) | トンネル磁気抵抗効果素子、それを用いた磁気メモリセル及びランダムアクセスメモリ | |
JP2013016820A (ja) | トンネル磁気抵抗効果素子、それを用いた磁気メモリセル及びランダムアクセスメモリ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141021 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150225 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5705683 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |